專利名稱：懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及一種碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管具有小的尖端曲率半徑，高的縱橫比率，以及極高的機(jī)械強(qiáng)度，能夠在外加電場(chǎng)強(qiáng)度的作用下發(fā)射出大量的電子，是一種性能優(yōu)秀的冷陰極材料。而利用碳納米管作為陰極材料制作的場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器則是一種新型的平板顯示設(shè)備，無論是從顯示器的大小、響應(yīng)時(shí)間、顯示亮度等等方面，場(chǎng)致發(fā)射顯示器都具有相當(dāng)大的優(yōu)勢(shì)。這種顯示器能夠?qū)崿F(xiàn)完全平板化，厚度小，解析度佳，占用極少的空間，視角寬，工作溫區(qū)大，不受磁場(chǎng)影響，也不存在發(fā)射線，代表著未來顯示器的發(fā)展趨勢(shì)。
目前，在大多數(shù)的三極結(jié)構(gòu)碳納米管陰極的場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器件當(dāng)中，都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的控制模式。這種結(jié)構(gòu)形式的柵極控制作用比較顯著，但是所形成的柵極電流過大，柵極電壓居高不下，這些都是其需要克服之處。當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓以后，就會(huì)在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子；所發(fā)射的電子在陽極高電壓的作用下，加速向陽極運(yùn)動(dòng)，轟擊熒光粉層而發(fā)出可見光。由于器件結(jié)構(gòu)、碳納米管陰極漿料、陰極的制作工藝等等各種因素綜合的結(jié)果，使得碳納米管的電子發(fā)射所需要的柵極電壓有些過高，不能符合低壓平板器件的質(zhì)量體系要求，還需要進(jìn)一步的改進(jìn)。由于從碳納米管陰極所發(fā)射的電子需要經(jīng)過柵極結(jié)構(gòu)，受到柵極正電壓的影響，部分電子要被柵極結(jié)構(gòu)所截留，也就形成了柵極的工作電流，這不利于進(jìn)一步增加陽極工作電流，也就無法進(jìn)一步增強(qiáng)器件的顯示亮度，因此減小柵極電流也是要解決的問題。那么，在實(shí)際器件的制作過程中，對(duì)于上述問題，都是值得認(rèn)真思考和急需解決的。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板以及四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)。
所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層中存在斜面孔，斜面孔中暴露出底部的柵極引線層；間隔層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住空余的阻滯層部分；間隔層中斜面孔在間隔層上表面的截面形成一個(gè)中空的圓形孔，斜面孔的內(nèi)側(cè)壁是傾斜的，即從間隔層的上表面開始，依次逐漸向下傾斜，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止，上表面處截面圓形孔的直徑最大，下表面處截面圓形孔的直徑要比上表面截面圓形孔的直徑?。恍泵婵變?nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層依附于斜面孔內(nèi)側(cè)壁的全部表面上，和底部的柵極引線層是相互連通的；間隔層斜面孔上面的印刷的絕緣漿料層形成附加間隔層；附加間隔層的上表面為平面，與間隔層的上表面相平齊；附加間隔層要覆蓋住全部的柵極引線層以及調(diào)控柵極層部分；間隔層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極升高層；陰極升高層呈現(xiàn)箭頭型形狀，底部為平面，和間隔層緊密接觸，頂部為箭頭型，向兩側(cè)分別形成斜坡面，且斜坡面的傾斜方向與斜面孔內(nèi)側(cè)壁的傾斜方向是相一致的；陰極升高層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層依附在箭頭型陰極升高層的斜坡面上，但其前端要沿著斜坡面的方向向前延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極升高層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要覆蓋住陰極升高層上表面除了陰極過渡層和陰極導(dǎo)電層以外的所有表面；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫、鉛；陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)間隔層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；5)調(diào)控柵極層的制作在斜面孔內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；6)附加間隔層的制作在間隔層的斜面孔中印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成附加間隔層；7)陰極升高層的制作在間隔層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極升高層；8)陰極引線層的制作在陰極升高層的上表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；9)陰極過渡層的制作在陰極引線層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；10)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；11)陰極覆蓋層的制作在陰極升高層的表面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)陽極玻璃面板的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。
20)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟19具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)中，將柵極結(jié)構(gòu)制作了碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的斜下方。當(dāng)在柵極引線層上施加適當(dāng)電壓以后，就會(huì)通過與柵極引線層相互連通的調(diào)控柵極層將外界電壓轉(zhuǎn)換成碳納米管陰極表面頂端的強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。所發(fā)射的電子在陽極高電壓的作用下加速向陽極運(yùn)動(dòng)，轟擊熒光粉層而發(fā)出可見光。由于柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極的斜下方，故所發(fā)射的電子束不會(huì)受到柵極結(jié)構(gòu)的截留，這樣就極大地減小了柵極電流，增大了陽極的工作電流，有利于提高器件的顯示亮度。
其次，在所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)中，將碳納米管制備在了呈現(xiàn)懸空狀態(tài)的陰極過渡層上面的陰極導(dǎo)電層的上面，并且斜向的陰極導(dǎo)電層和調(diào)控柵極層是相向?qū)?yīng)的。這樣，就可以極大地縮減柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，從而進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，有利于進(jìn)一步提高器件的顯示圖像質(zhì)量。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡(jiǎn)化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場(chǎng)致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]以及四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[14]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[16]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[12]以及懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑[19]附屬元件。
所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、柵極引線層[3]、間隔層[4]、調(diào)控柵極層[5]、附加間隔層[6]、陰極升高層[7]、陰極引線層[8]、陰極過渡層[9]、陰極導(dǎo)電層[10]、陰極覆蓋層[11]和碳納米管[12]部分。
所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層中存在斜面孔，斜面孔中暴露出底部的柵極引線層；間隔層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住空余的阻滯層部分；間隔層中斜面孔在間隔層上表面的截面形成一個(gè)中空的圓形孔，斜面孔的內(nèi)側(cè)壁是傾斜的，即從間隔層的上表面開始，依次逐漸向下傾斜，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止，上表面處截面圓形孔的直徑最大，下表面處截面圓形孔的直徑要比上表面截面圓形孔的直徑小；斜面孔內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層依附于斜面孔內(nèi)側(cè)壁的全部表面上，和底部的柵極引線層是相互連通的；間隔層斜面孔上面的印刷的絕緣漿料層形成附加間隔層；附加間隔層的上表面為平面，與間隔層的上表面相平齊；附加間隔層要覆蓋住全部的柵極引線層以及調(diào)控柵極層部分；間隔層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極升高層；陰極升高層呈現(xiàn)箭頭型形狀，底部為平面，和間隔層緊密接觸，頂部為箭頭型，向兩側(cè)分別形成斜坡面，且斜坡面的傾斜方向與斜面孔內(nèi)側(cè)壁的傾斜方向是相一致的；陰極升高層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層依附在箭頭型陰極升高層的斜坡面上，但其前端要沿著斜坡面的方向向前延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極升高層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要覆蓋住陰極升高層上表面除了陰極過渡層和陰極導(dǎo)電層以外的所有表面；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫、鉛；陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)間隔層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；5)調(diào)控柵極層[5]的制作在斜面孔內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；6)附加間隔層[6]的制作在間隔層的斜面孔中印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成附加間隔層；7)陰極升高層[7]的制作在間隔層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極升高層；8)陰極引線層[8]的制作在陰極升高層的上表面上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；9)陰極過渡層[9]的制作在陰極引線層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成陰極過渡層；10)陰極導(dǎo)電層[10]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極升高層的表面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場(chǎng)致發(fā)射特性；15)陽極玻璃面板[13]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；16)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；17)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝配到一起，并將消氣劑[19]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；20)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟18具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟20具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]以及四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[14]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[16]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑[19]附屬元件；其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層[3]、碳納米管[12]以及懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層中存在斜面孔，斜面孔中暴露出底部的柵極引線層；間隔層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住空余的阻滯層部分；間隔層中斜面孔在間隔層上表面的截面形成一個(gè)中空的圓形孔，斜面孔的內(nèi)側(cè)壁是傾斜的，即從間隔層的上表面開始，依次逐漸向下傾斜，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止，上表面處截面圓形孔的直徑最大，下表面處截面圓形孔的直徑要比上表面截面圓形孔的直徑??；斜面孔內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層依附于斜面孔內(nèi)側(cè)壁的全部表面上，和底部的柵極引線層是相互連通的；間隔層斜面孔上面的印刷的絕緣漿料層形成附加間隔層；附加間隔層的上表面為平面，與間隔層的上表面相平齊；附加間隔層要覆蓋住全部的柵極引線層以及調(diào)控柵極層部分；間隔層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極升高層；陰極升高層呈現(xiàn)箭頭型形狀，底部為平面，和間隔層緊密接觸，頂部為箭頭型，向兩側(cè)分別形成斜坡面，且斜坡面的傾斜方向與斜面孔內(nèi)側(cè)壁的傾斜方向是相一致的；陰極升高層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層依附在箭頭型陰極升高層的斜坡面上，但其前端要沿著斜坡面的方向向前延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極升高層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要覆蓋住陰極升高層上表面除了陰極過渡層和陰極導(dǎo)電層以外的所有表面；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層可以為金屬金、銀、鋁、銅、鉬、鉻、錫、鉛；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)間隔層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；5)調(diào)控柵極層[5]的制作在斜面孔內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；6)附加間隔層[6]的制作在間隔層的斜面孔中印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成附加間隔層；7)陰極升高層[7]的制作在間隔層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極升高層；8)陰極引線層[8]的制作在陰極升高層的上表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；9)陰極過渡層[9]的制作在陰極引線層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；10)陰極導(dǎo)電層[10]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極升高層的表面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)陽極玻璃面板[13]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；19)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板以及四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及懸空尖型陰極下柵結(jié)構(gòu)，具有成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J31/15GK101071740SQ20071005462
公開日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院