專利名稱：等離子體無極放電燈和組合光源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種適合小型光纖耦合的等離子體無極放電燈和一種微型放電燈-鎢鹵素?zé)艚M合光源，更具體的說，涉及這樣一種等離子體無極放電燈，即在密封的圓柱燈泡中央同軸地放置一個(gè)空心圓柱管，泡內(nèi)充有氘氣、氫氣、惰性氣體等，并且利用電容耦合方式，在高頻電磁場(chǎng)激勵(lì)下產(chǎn)生從紫外線到可見光譜范圍內(nèi)的連續(xù)光譜輻射，圓柱燈泡兩端封有透紫外線的輸出窗，一端接有紫外光學(xué)透鏡，由光纖耦合輸出。
背景技術(shù)：
與小型無極氘燈相關(guān)的外國專利有德國賀利氏儀器公司(HeaueusInstrument GmbH)的Ernst Smolka，Werner Sohwarz，PeterMaech，Klaus-Juegen Dialz等分別申請(qǐng)了德國專利DE4120730A1、英國專利GB2257562A、以及美國專利US2257562A.采用石英空心石英管外纏線圈的電感耦合方式激勵(lì)等離子體產(chǎn)生紫外-可見光輻射的無極放電燈方案，這種方案中采用電感線圈會(huì)使驅(qū)動(dòng)電源的高頻脈沖電源波形的上升特性變壞，使脈沖峰值電流下降，并且在高速開關(guān)時(shí)由于反向電動(dòng)勢(shì)產(chǎn)生反向電涌電壓，容易損壞激勵(lì)電源的晶體管，而且電感線圈有較大的分布電容限定了放電特性的能量輸出，因此它不適于我們選作小型無極放電燈的結(jié)構(gòu)型式。
德國賀利氏儀器公司還申請(qǐng)了三篇美國專利US.No.5801495[1]，US.No.6504319[2]和US.No.5814951[3]的采用電容耦合激勵(lì)的無極氘燈設(shè)計(jì)方案都是采用膜孔在同一光軸上的膜片式結(jié)構(gòu)，前兩篇專利是三片式(中間加兩個(gè)間隔環(huán))，第[3]篇是單片式結(jié)構(gòu)，膜片的數(shù)量和間隔以及膜片的孔徑和厚度以及膜片材料成為專利的主要內(nèi)容。這種片式結(jié)構(gòu)在沿基軸不同位置形成的等離子體流體橫截面分布不均勻，膜孔中央的截面上等離子體流密度最高，產(chǎn)生的光輻射效率也高，在膜間隔塊中央的截面上等離子體流密度最小，產(chǎn)生的光輻射效率也低.另外由于插入多膜片的介質(zhì)或金屬片，會(huì)減少膜片間高頻激勵(lì)電場(chǎng)的場(chǎng)強(qiáng)，電容激勵(lì)耦合效率因此會(huì)降低，因而還會(huì)帶來無極放電燈較高且產(chǎn)生光輻射的啟動(dòng)時(shí)間較長(zhǎng)的不足，并且與沿軸向位置等離子體流密度較高且分布均勻的較理想狀態(tài)比較而言，這種膜片結(jié)構(gòu)仍然不夠理想。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述傳統(tǒng)問題，因此本發(fā)明的一個(gè)目的就是提出了一種等離子體無極放電燈和一種微型放電燈-鎢鹵素?zé)艚M合光源。
在本發(fā)明的一方面中，在等離子體無極放電燈中，在圓柱體燈泡殼體兩端封有透紫外線的輸出窗和石英玻璃窗，窗外緊貼著一對(duì)金屬圓環(huán)盤以作為射頻電容激勵(lì)電極，外殼內(nèi)同軸放置等離子體激發(fā)管，泡內(nèi)充有小于103帕壓強(qiáng)的氣體，等離子體輻射激發(fā)管由支撐體支撐并真空隔斷了泡內(nèi)兩邊，通過高頻激勵(lì)電容耦合激發(fā)無極放電燈產(chǎn)生紫外-可見光的連續(xù)光譜輻射。
根據(jù)這個(gè)方面，圓柱體燈泡殼體是由石英玻璃制成的，并且輸出窗是石英玻璃窗。
根據(jù)這個(gè)方面，支撐體是介質(zhì)環(huán)。
根據(jù)這個(gè)方面，等離子體激發(fā)管是由耐高溫1000度以上的電真空材料構(gòu)成的，電真空材料是氧化鋁瓷、透明氧化鋁瓷、氧化硼瓷、石英玻璃管、或者低羥基石英玻璃管，并且泡內(nèi)氣體為氘氣、氫氣、或者惰性氣體。
根據(jù)這個(gè)方面，在高頻電磁場(chǎng)作用下，激發(fā)泡內(nèi)氣體產(chǎn)生輝光放電，并在等離子體激發(fā)管(4)內(nèi)放電密度被加濃D/d倍后形成等離子振蕩等離子流的電子溫度迅速提高，當(dāng)?shù)入x子體流的濃度和強(qiáng)度達(dá)到足夠的閾值時(shí)，等離子體流內(nèi)發(fā)生分子激發(fā)躍遷，產(chǎn)生呈連續(xù)波譜的光譜輻射，其中D為圓柱體燈泡的內(nèi)徑，d為中心圓柱管的內(nèi)徑。產(chǎn)生輝光放電的條件是氣體壓強(qiáng)小于103乇電離離子0密度大于1100個(gè)/立方厘米。
根據(jù)這個(gè)方面，泡內(nèi)氣體為氘氣，并且當(dāng)電子溫度達(dá)到14500度(K)時(shí)，可以產(chǎn)生峰值為200nm的紫外-可見光的連續(xù)波譜的光譜輻射，經(jīng)輸出窗和會(huì)聚透鏡由光纖耦合輸出。
根據(jù)這個(gè)方面，圓柱體燈泡內(nèi)徑D與等離子體激發(fā)管內(nèi)徑d之比為10-100，d取0.1-5.0，等離子體激發(fā)管長(zhǎng)度1與d之比為2-50。
根據(jù)這個(gè)方面，在介質(zhì)環(huán)和圓柱體燈泡殼體的中央部分涂上一圈導(dǎo)電層，形成射頻觸發(fā)電極以降低無極放電燈的射頻觸發(fā)電壓。
根據(jù)這個(gè)方面，導(dǎo)電層為ITO氧化銦錫或?qū)щ娛?br> 根據(jù)這個(gè)方面，在等離子體激發(fā)管對(duì)著光纖的端口外安置反射鏡，該反射鏡軸向方向要達(dá)到石英輸出窗的位置，其中反射鏡的形狀是拋物面形或者反射鏡的形狀是錐面形。
根據(jù)這個(gè)方面，圓柱體燈泡殼體可以是陶瓷泡殼，輸出窗可以是藍(lán)寶石輸出窗，石英玻璃窗采用陶瓷夾封環(huán)以可使無極放電燈能達(dá)到低于185nm的遠(yuǎn)紫外波段。
在本發(fā)明的一方面中，該微型放電燈-鎢鹵素?zé)艚M合光源包括前面所描述的無極放電燈，并且在該無極放電燈的上下兩端裝上激勵(lì)電容片，一端接上會(huì)聚透鏡和輸出光纖端頭，另一端接入鎢鹵素?zé)簟?br>

結(jié)合隨后的附圖，從下面的詳細(xì)說明中可顯而易見的得出本發(fā)明的上述及其他目的、特征及優(yōu)點(diǎn)。在附圖中圖1給出了整體無極放電燈-鎢鹵素?zé)艄饫w耦合組合光源方框圖；圖2給出了藍(lán)寶石窗結(jié)構(gòu)的無極放電燈-鎢鹵素?zé)艄饫w耦合組合光源方框圖；以及圖3給出了微型無極氘燈輸出能量的波譜圖。
具體實(shí)施例方式
在下文中，參考附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的說明。在附圖中，相同的附圖標(biāo)記表示相同或者相似的部分，即使它們是在不同附圖中進(jìn)行描述的。在下面描述中，當(dāng)形成本發(fā)明的主題而不會(huì)造成不清楚時(shí)，省略對(duì)這里所采用的已知功能和步驟進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖1給出了整體無極放電燈-鎢鹵素?zé)艄饫w耦合組合光源方框圖。
在圖1中，1是透紫外線的人造合成石英玻璃，即輸出窗；2是無極放電燈圓柱體燈泡殼體；3是支撐體，優(yōu)選的是介質(zhì)環(huán)；4是等離子激發(fā)管，也被稱為等離子體輻射激發(fā)管；5是石英玻璃窗片；6是石英玻璃片外涂復(fù)的導(dǎo)電環(huán)涂層(ITO或石墨涂層)；7是電容耦合極片，也被稱為射頻電容激勵(lì)電極；8是降低觸發(fā)電壓的外涂層；9是降低觸發(fā)電壓的內(nèi)涂層；10是會(huì)聚作用的反射鏡；11是能聚紫外線的光學(xué)會(huì)聚透鏡；12是光纖端頭；13是鎢鹵素?zé)簦?4是電容耦合激勵(lì)電源，或者為激勵(lì)電容片或外激勵(lì)電源；15是無極氘燈軸線；D是無極氘燈泡殼內(nèi)徑；d是等離子激發(fā)管內(nèi)徑；L是等離子激發(fā)管長(zhǎng)度。
如圖1所示，由透紫外線的人造合成石英玻璃1、無極放電燈圓柱體燈泡殼體2、以及石英玻璃窗片5構(gòu)成了密閉的石英外殼。殼內(nèi)有等離子激發(fā)管4以及其支撐體3。支撐體優(yōu)選的是介質(zhì)環(huán)。會(huì)聚作用的反射鏡10套在等離子激發(fā)管4上。透紫外線的會(huì)聚透鏡11、光纖端頭12、以及鎢鹵素?zé)?3同軸排列。電容耦合激勵(lì)電源14通過燈泡兩端的導(dǎo)電環(huán)實(shí)現(xiàn)無極氘燈的射頻放電。
也就是說，支撐體3和等離子激發(fā)管4裝配對(duì)中后套上零10，放入1人造合成石英玻璃和無極放電燈圓柱體燈泡殼體2封接的泡殼予組件內(nèi)，再與石英玻璃窗片5的石英玻璃片封接，進(jìn)行排氣烘烤后充入2-100乇的氘氣和一定比例的稀有氣體，即組成了無極放電燈。將無極放電燈與鎢鹵素?zé)?3，光學(xué)會(huì)聚透鏡11，光纖端頭12，加上輔助套件(未畫)同軸地裝配好，將電容耦合激勵(lì)電源14接入電容耦合片7上就構(gòu)成了組合光源。
具體地說，在一個(gè)密封的圓柱體燈泡殼體內(nèi)，同軸放置一個(gè)耐高溫，真空性能良好的絕緣管，該絕緣管優(yōu)選的是等離子體激發(fā)管，其材質(zhì)為氧化鋁瓷，透明氧化鋁瓷，氧化硼瓷，石英玻璃管，低羥基石英玻璃管等。泡內(nèi)充有小于103帕壓強(qiáng)的氣體，如氘氣、氫氣、以及惰性氣體等。圓柱體燈泡殼體兩端封有透紫外線的輸出窗1和石英玻璃窗片，兩端窗外放置環(huán)形平板作電容或者窗外緊貼著-對(duì)金屬圓環(huán)盤作射頻電容激勵(lì)電極。等離子體激發(fā)管用支撐體支撐并真空隔斷了泡內(nèi)兩邊，該支撐體優(yōu)選的是介質(zhì)環(huán)。通過高頻激勵(lì)電容耦合激發(fā)無極放電燈產(chǎn)生紫外—可見光的連續(xù)光譜輻射。也就是說，在高頻電磁場(chǎng)作用下，激發(fā)泡內(nèi)氣體產(chǎn)生輝光放電(條件是氣體壓強(qiáng)小于103乇電離離子0密度大于1100個(gè)/立方厘米)，并在圓柱管內(nèi)放電密度被加濃(D/d)倍后形成等離子振蕩(D為柱形燈泡的內(nèi)徑，d為中心圓柱管的內(nèi)徑)，等離子流的電子溫度迅速提高，當(dāng)?shù)入x子體流的濃度和強(qiáng)度達(dá)到足夠的閾值(每種氣體都不相同)時(shí)，等離子體流內(nèi)發(fā)生分子激發(fā)躍遷，產(chǎn)生呈連續(xù)波譜的光譜輻射(高頻激勵(lì)是激發(fā)等離子體諧振的分次波的)，例如無極氘燈當(dāng)電子溫度達(dá)到14500度(K)時(shí)，可以產(chǎn)生峰值為200nm的紫外-可見光的連續(xù)波譜的光譜輻射，經(jīng)泡殼兩端的透紫外的光學(xué)輸出窗及會(huì)聚透鏡由光纖耦合輸出。
等離子體輻射是按適合絕對(duì)黑體的Planck定理和Stefan-Boltzmann定律作了修正的“灰體”輻射理論之Wiens定律等離子體輻射的峰值波長(zhǎng)λ(nm)＝289800/T.
式中，T為等離子體流核心的電子溫度(K)，例如輻射峰值波長(zhǎng)為200nm的等離子體流核心的電子溫度為14500度(K)，我們演算高頻激勵(lì)電壓(V)與等離子體束流(I)的關(guān)系為V＝KO*(I)^0.5式中，K0*與燈結(jié)構(gòu)，充氣氣體，充氣壓強(qiáng)等有關(guān)的常數(shù)，它和泡內(nèi)氣體壓強(qiáng)P的0.2次方((P)^0.2)成正比，并和激勵(lì)等離子體的空心圓柱管長(zhǎng)度與內(nèi)徑之比(l/d)成正比。
等離子體激發(fā)管是由耐高溫1000度(C)以上的電真空材料，如氮化硼瓷、透明氧化鋁瓷、以及低羥基石英管等構(gòu)成，支撐盤片材料亦相同。此二件構(gòu)成的組件與石英泡殼兩端石英窗片封接成密封的無極放電燈，進(jìn)行排氣并充入1-100乇稀有氣體，或氘氣，氫氣等形成了無極放電燈的主體，在燈體兩端裝上激勵(lì)電容片，一端接上聚焦透鏡和輸出光纖，另一端接入鎢鹵素?zé)艟蜆?gòu)成了微型放電(氘)燈-鎢鹵素?zé)艚M合光源。
石英玻殼內(nèi)徑D與等離子體輻射激發(fā)管內(nèi)徑d之比為10-100，d取0.1-5.0，等離子體輻射激發(fā)管長(zhǎng)度1與d之比為2-50。
為降低無極放電燈啟動(dòng)的觸發(fā)電壓，在泡內(nèi)的介質(zhì)支撐環(huán)及殼外圓柱體的中央部分涂上一圈導(dǎo)電層(如ITO氧化銦錫或?qū)щ娛?，形成射頻觸發(fā)電極，這能降低無極放電燈的射頻觸發(fā)電壓。
在等離子體激發(fā)管對(duì)著光纖的端口外安置紫外光反射鏡，面積要足夠大，軸向方向要達(dá)到石英輸出窗的位置。反射鏡的形狀可以是拋物面形也可是錐面形的，把反射的能量集中到光纖的會(huì)聚透鏡上。
在工藝上采用專門的氘等離子體射頻放電處理工序，對(duì)無極放電燈內(nèi)部零部件作徹底的表面清潔(在線自動(dòng)進(jìn)行)處理，達(dá)到超潔凈且高可靠的水平。
為了進(jìn)一步將無極放電燈的輻射譜線提高185nm(UV-C)波段，就要把石英窗片改為藍(lán)寶石窗片，還要把無極放電燈的泡殼材料改為氧化鋁瓷，與夾封磁環(huán)一起封接，如圖2所示。
圖2給出了藍(lán)寶石窗結(jié)構(gòu)的無極放電燈-鎢鹵素?zé)艄饫w耦合組合光源方框圖。
在圖2中，除了5是石英玻璃窗片(此處為夾封封接形式)，16是優(yōu)質(zhì)藍(lán)寶石窗片，17是陶瓷泡殼，18是陶瓷夾封環(huán)之外，相同的附圖標(biāo)記表示與圖1相同的部件。
如圖2所示，陶瓷泡殼17內(nèi)含整體式等離子體激發(fā)管，套上會(huì)聚作用的反射鏡10通過軸上放置的會(huì)聚透鏡11、光纖端頭12和鎢鹵素?zé)?3，由外激勵(lì)電源通過電容耦合極片產(chǎn)生紫外-可見光軸射。殼體陶瓷材料包括氧化鋁陶瓷，透明氧化鋁陶瓷，氧化鈹陶瓷，氮化硼陶瓷等，與藍(lán)寶石窗片和石英窗片的封接都是采用夾封的形式，夾封窗片的兩邊都是相同的材料。陶瓷泡殼17的中心是把等離子體激發(fā)管連成一體，套上會(huì)聚作用的反射鏡后，將零件5、16、17、18在真空封接爐內(nèi)封接，在封接的同時(shí)充入2-100乇的氘氣及相應(yīng)的適量稀有氣體，制成無極氣體放電燈。其工作原理與圖1的工作原理相同，在此不省略對(duì)其的描述。
為使無極放電燈能達(dá)到低于185nm的遠(yuǎn)紫外(UV-C)波段，本發(fā)明采用了藍(lán)寶石輸出窗的結(jié)構(gòu)，無極放電等外殼采用氧化鋁瓷、鎂橄欖瓷等，窗片采用陶瓷夾封環(huán)的夾封技術(shù)，如圖2所示。
殼體材料為低羥基石英玻璃管(羥基含量5-10ppm)是專門生產(chǎn)的。
圖3給出了微型無極氘燈輸出能量的波譜圖(此圖中240nm以下的波段被光纖的帶寬不夠所截止)。
無極放電燈的圓管放電體內(nèi)，高頻場(chǎng)激勵(lì)起的等離子體流各截面上的分布均勻、激勵(lì)強(qiáng)度高、效率高、UV輸出大。
由于在等離子體放電管內(nèi)高頻場(chǎng)激勵(lì)起的等離子流分布均勻且穩(wěn)定，激發(fā)的等離子體的分子躍遷產(chǎn)生穩(wěn)定的光譜輻射亦成必然的了，對(duì)測(cè)量用的光譜儀最重視的指標(biāo)漂移、噪聲、以及穩(wěn)定度，本發(fā)明給出了最好的答案。
本發(fā)明的無極放電燈由于高頻激勵(lì)場(chǎng)分布的優(yōu)勢(shì)，無極放電燈具有啟動(dòng)快、能量集中、電子效率高的特點(diǎn)。
本發(fā)明中由于采用了激勵(lì)環(huán)技術(shù)，可降低無極放電燈的啟動(dòng)觸發(fā)電壓，這無疑對(duì)降低電源功耗、實(shí)現(xiàn)光譜儀的微型化、便攜式極為有利。
本發(fā)明的無極放電燈具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零件少、工藝流程短、工藝過程控制一致性好、易于量產(chǎn)。
本發(fā)明在等離子放電管兩端口外設(shè)置了紫外光反射盤，使輸出到光纖上的輻射角減小，能量更集中，輸出光效率也有較大提高。
本發(fā)明相關(guān)的無極放電燈泡內(nèi)充氣體積的有效比例最大，這是我們圓柱形結(jié)構(gòu)等離子體放電燈比之膜孔結(jié)構(gòu)等離子放電燈的優(yōu)點(diǎn)，帶來的直接效果是因泡內(nèi)存儲(chǔ)的氣體量較大無極放電燈的壽命較長(zhǎng)。
本發(fā)明采用的是真空性能、密封性能、離子轟擊下的放氣性能良好的材料，包括99％氧化鋁瓷，低羥基石英管(含二氧化硅99.95％以上，羥基達(dá)5-10ppm)，人工合成石英玻璃窗片(用四氯化硅為原料)等，以及采用高可靠真空電子器件的先進(jìn)技術(shù)，包括高純水超聲波清洗，等離子體流在線表面處理等，它的直接效果是使采用本發(fā)明的無極放電燈達(dá)到高可靠，長(zhǎng)壽命水平。
本發(fā)明適合同軸串列式的微型無極氘燈-鎢鹵素?zé)艚M合光源、體積小、耦合效率高、傳輸譜線帶寬不失真。
雖然參考其某些優(yōu)選實(shí)施例而給出并描述了本發(fā)明，但是對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說應(yīng)該明白的是，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的情況下可對(duì)其結(jié)構(gòu)及細(xì)節(jié)做出各種變化。因此，本發(fā)明的范圍并不局限于這些實(shí)施例，而是由隨后權(quán)利要求及其等效體來定義。
權(quán)利要求
1.一種等離子體無極放電燈，其特征在于在圓柱體燈泡殼體(2)兩端封有透紫外線的輸出窗(1)和石英玻璃窗(5)，窗外緊貼著一對(duì)金屬圓環(huán)盤以作為射頻電容激勵(lì)電極(7)，外殼(2)內(nèi)同軸放置等離子體激發(fā)管(4)，泡內(nèi)充有小于103帕壓強(qiáng)的氣體，等離子體激發(fā)管(4)由支撐體(3)支撐并真空隔斷了泡內(nèi)兩邊，通過高頻激勵(lì)電容耦合激發(fā)無極放電燈產(chǎn)生紫外-可見光的連續(xù)光譜輻射。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的等離子體無極放電燈，其中圓柱體燈泡殼體(2)是由石英玻璃制成的，并且輸出窗(1)是石英玻璃窗。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的等離子體無極放電燈，其中支撐體(3)是介質(zhì)環(huán)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的等離子體無極放電燈，其中等離子體激發(fā)管(4)是由耐高溫1000度以上的電真空材料構(gòu)成的。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的等離子體無極放電燈，其中電真空材料是氧化鋁瓷、透明氧化鋁瓷、氧化硼瓷、石英玻璃管、或者低羥基石英玻璃管。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的等離子體無極放電燈，其中泡內(nèi)氣體為氘氣、氫氣、或者惰性氣體。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的等離子體無極放電燈，其中在高頻電磁場(chǎng)作用下，激發(fā)泡內(nèi)氣體產(chǎn)生輝光放電，并在等離子體激發(fā)管(4)內(nèi)放電密度被加濃D/d倍后形成等離子振蕩等離子流的電子溫度迅速提高，當(dāng)?shù)入x子體流的濃度和強(qiáng)度達(dá)到足夠的閾值時(shí)，等離子體流內(nèi)發(fā)生分子激發(fā)躍遷，產(chǎn)生呈連續(xù)波譜的光譜輻射，其中D為圓柱體燈泡的內(nèi)徑，d為中心圓柱管的內(nèi)徑。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的等離子體無極放電燈，其中產(chǎn)生輝光放電的條件是氣體壓強(qiáng)小于103乇電離離子0密度大于1100個(gè)/立方厘米。
9.根據(jù)權(quán)利要求6的等離子體無極放電燈，其中泡內(nèi)氣體為氘氣，并且當(dāng)電子溫度達(dá)到14500度(K)時(shí)，可以產(chǎn)生峰值為200nm的紫外-可見光的連續(xù)波譜的光譜輻射，經(jīng)輸出窗(5)和會(huì)聚透鏡(11)由光纖耦合輸出。
10.根據(jù)權(quán)利要求1的等離子體無極放電燈，其中圓柱體燈泡內(nèi)徑D與等離子體激發(fā)管(4)內(nèi)徑d之比為10-100，d取0.1-5.0，等離子體激發(fā)管(4)長(zhǎng)度1與d之比為2-50。
11.根據(jù)權(quán)利要求3的等離子體無極放電燈，其中在介質(zhì)環(huán)(3)和圓柱體燈泡殼體(2)的中央部分涂上一圈導(dǎo)電層(6)，形成射頻觸發(fā)電極以降低無極放電燈的射頻觸發(fā)電壓。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的等離子體無極放電燈，其中導(dǎo)電層(6)為ITO氧化銦錫或?qū)щ娛?br> 13.根據(jù)權(quán)利要求1的等離子體無極放電燈，其中在等離子體激發(fā)管(4)對(duì)著光纖的端口外安置反射鏡(10)，該反射鏡(10)軸向方向要達(dá)到石英輸出窗(1)的位置。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的等離子體無極放電燈，其中反射鏡的形狀是拋物面形。
15.根據(jù)權(quán)利要求13的等離子體無極放電燈，其中反射鏡的形狀是錐面形。
16.根據(jù)權(quán)利要求1的等離子體無極放電燈，其中圓柱體燈泡殼體(2)是陶瓷泡殼，并且輸出窗(1)是藍(lán)寶石輸出窗。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的等離子體無極放電燈，其中石英玻璃窗(5)采用陶瓷夾封環(huán)(18)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的等離子體無極放電燈，其中無極放電燈能達(dá)到低于185nm的遠(yuǎn)紫外波段。
19.一種微型放電燈-鎢鹵素?zé)艚M合光源，包括根據(jù)權(quán)利要求1的無極放電燈，并且在該無極放電燈的上下兩端裝上激勵(lì)電容片(14)，一端接上會(huì)聚透鏡(10)和輸出光纖端頭(12)，另一端接入鎢鹵素?zé)?13)。
全文摘要
在圓柱體燈泡殼體(2)兩端封有透紫外線的輸出窗(1)和石英玻璃窗(5)，窗外緊貼著一對(duì)金屬圓環(huán)盤以作為射頻電容激勵(lì)電極(7)，外殼(2)內(nèi)同軸放置等離子體輻射激發(fā)管(4)，泡內(nèi)充有小于103帕壓強(qiáng)的氣體，等離子體輻射激發(fā)管(4)由支撐體(3)支撐并真空隔斷了泡內(nèi)兩邊，通過高頻激勵(lì)電容耦合激發(fā)無極放電燈產(chǎn)生紫外－可見光的連續(xù)光譜輻射。
文檔編號(hào)H01J65/04GK101026082SQ20071006442
公開日2007年8月29日 申請(qǐng)日期2007年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月14日
發(fā)明者朱錦林, 袁希平, 韓有光 申請(qǐng)人:北京真美視聽技術(shù)有限責(zé)任公司, 北京普析通用儀器有限責(zé)任公司