專利名稱：一種微波管柵極的成型制造裝置及成型制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微波管制造技術(shù)，具體地說涉及一種微波管柵極的成型制造裝 置及成型制造方法。
背景技術(shù)：
微波管中的柵控電子槍重要組成部分是柵極，柵極的柵網(wǎng)制造和柵網(wǎng)對柵 極的性能影響很大。傳統(tǒng)柵網(wǎng)制造工藝一般采用電火花加工。即先把鉬片沖壓 成具有一定曲率半徑的弧面，然后采用電火花加工工藝把弧面鉬片鏤空加工成 所需要的結(jié)構(gòu)。但是電火花加工工藝加工出的柵網(wǎng)在精度方面還不盡人意。由 于平面柵網(wǎng)已經(jīng)具有了一定的結(jié)構(gòu)圖案，因此在沖壓成型的過程中極易發(fā)生變 形現(xiàn)象。任何一根柵絲的拉伸不均勻或者沖頭與平面柵網(wǎng)表面的稍微不垂直以 及沖頭與平面柵網(wǎng)定位的偏差都會造成柵網(wǎng)成型后結(jié)構(gòu)上的不對稱，使柵網(wǎng)成 型不合格。在微波器件結(jié)構(gòu)尺寸日益小型化的今天，對其零部件的尺寸精度要 求也日益提高。目前，通過傳統(tǒng)柵網(wǎng)制造工藝加工出的柵網(wǎng)精度已很難滿足這些要求。另 外由于電火花加工出來的柵網(wǎng)表面不容易處理干凈，制成的柵網(wǎng)上的網(wǎng)絲上常 常有毛刺和其它黑色附著物導致表面不光滑，容易造成柵極打火，這樣，柵控 電子槍柵極截獲電流偏大，從而影響微波管的性能和產(chǎn)品的成品率。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種微波管柵極 的成型制造裝置及成型制造方法，以達到通過柵極的成型制造裝置及成型制造 方法加工出的微波管柵極具有加工精度高、光潔度高、合格率高等目的。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是， 一種微波管柵極的成型制造 裝置，其特征在于所述成型制造裝置包括成型陽模、成型陰模、定位銷、成 型基座組成，所述成型陽模呈銷釘狀，通過墊圈插入成型陰模的銷孔內(nèi)，所述 的成型陰模與成型基座上對應的設有至少兩個以上定位銷孔，成型陰模通過插 入定位銷孔的定位銷、柵極柵網(wǎng)與成型基座相連接。微波管柵極的成型制造裝置，所述的成型陰模與成型基座的連接端面為相 適配的曲面。微波管柵極的成型制造裝置，所述的成型陰模與成型基座上對應的設有四 個定位銷孔。微波管柵極的成型制造裝置，所述的成型陰模和成型基座采用硬度不同的 材料。微波管柵極的成型制造裝置，所述的成型基座與定位銷為滑動配合。 微波管柵極的成型制造裝置，所述的成型基座材料為無氧銅。 本發(fā)明另一種技術(shù)方案是， 一種微波管柵極的成型制造方法，其特征在于 采用光刻方法制作出的平面柵網(wǎng)裝配柵極的成型制造裝置中，通過采取一定的 工藝手段，使平面柵網(wǎng)成型為有一定曲率半徑的曲面柵網(wǎng)，該方法包含下列步 驟；a) 用定位銷把平面柵網(wǎng)安裝到成型陰模上；b) 通過定位銷3連接成型基座上面的定位銷孔，把安裝有平面柵網(wǎng)的成型 陰模安裝到成型基座上；c) 把成型陽模1通過成型陰模上面的銷孔安裝到上述組件中；d) 把上述裝配好的成型制造裝置加熱至一定的溫度，然后放到壓力機的工 作臺面上，對成型陽模的受力面施加一定的壓力，使平面柵網(wǎng)成型在成型基座中；e)拆下帶有成型柵網(wǎng)的成型基座，把其放入特殊的溶液中，使成型柵網(wǎng)與 成型基座分離。微波管柵極的成型制造方法，所述的成型制造裝置加熱溫度為300°C±20。C。微波管柵極的成型制造方法，所述溶液為刻蝕溶液可以刻蝕銅的刻蝕溶液。微波管柵極的成型制造方法，所述刻蝕溶液濃度為某酸酐28%，某酸2% 質(zhì)量分數(shù)。借鑒現(xiàn)代集成電路制造工藝，采用光刻法加工平面柵網(wǎng)，將平面柵網(wǎng)的 加工精度由原來的機械加工精度提高到光學精度。通過上述的微波管柵極的 成型制造方法使平面柵網(wǎng)成型為具有一定曲率半徑的曲面柵網(wǎng)。一種微波管柵極的成型制造裝置及成型制造方法，由于采用上述的微波管 柵極的成型制造裝置及成型制造方法，與現(xiàn)有技術(shù)相比；加工出的柵極柵網(wǎng)具 有加工精度高，光潔度高，合格率高等優(yōu)點。與電火花加工相比，光刻工藝加 工具有精度高，定位準等優(yōu)點，表面處理干凈，不需要電火花加工后復雜的表 面處理工作，節(jié)省了人力物力，極大的克服了微波管柵極打火這一缺點。通過 柵極的成型制造裝置能夠使平面柵網(wǎng)在受力后能夠陷進基座中成型。同時平面 柵網(wǎng)的設計上具有定位孔，從而可以通過定位銷的作用來保證成型陽模和平面 柵網(wǎng)的精確定位，提高柵網(wǎng)成型后結(jié)構(gòu)上對稱度的精度。
圖1為本發(fā)明微波管柵極的成型制造裝置剖面結(jié)構(gòu)示意圖； 在圖1中，1、成型陽模；2、成型陰模；3、定位銷；4、成型基座；5、墊 圈；6、銷孔；7、定位銷孔；8、柵網(wǎng)。
具體實施方式
下面對照附圖，通過對實施例的描述，對本發(fā)明的具體實施方式
如所涉及 的各構(gòu)件的形狀、構(gòu)造、各部分之間的相互位置及連接關(guān)系、各部分的作用及 工作原理、制造工藝及方法等，作進一步詳細的說明，以幫助本領(lǐng)域的技術(shù)人 員對本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思、技術(shù)方案有更完整、準確和深入的理解。如圖1所示， 一種微波管柵極的成型制造裝置，所述成型制造裝置包括成型陽模l、成型陰模2、定位銷3、成型基座4組成，所述成型陽模l呈銷釘狀， 通過墊圈5插入成型陰模2的銷孔6內(nèi)，所述的成型陰模2與成型基座4上對 應的設有四個定位銷孔7，成型陰模2通過插入定位銷孔7的定位銷3、柵極柵 網(wǎng)8與成型基座4相連接。成型陰模2與成型基座4的連接端面為相適配的曲 面。成型基座4與定位銷3為滑動配合。成型陰模2和成型基座4采用硬度不 同的材料，成型基座4材料為無氧銅，成型基座4為一次性夾具。成型陽模1 和成型陰模2選用硬度較高并且耐磨的材料，成型陽模1和成型陰模2之間配 合的公差設計尺寸為滑配。成型基座4選用比較軟的材料，以能夠使平面柵網(wǎng)8 在受力后能夠陷進基座中成型。同時平面柵網(wǎng)8的設計上具有定位孔，從而可 以通過定位銷3的作用來保證成型陽模1和平面柵網(wǎng)8的精確定位，提高柵網(wǎng)8 成型后結(jié)構(gòu)上對稱度的精度。一種微波管柵極的成型制造方法，微波管中的柵極通常要求具有一定的曲 率半徑。這就要求在采用光刻方法加工出平面柵網(wǎng)后，還需要再采用一定的工 藝手段把平面柵網(wǎng)加工成為所需要的曲面柵網(wǎng)。采用光刻方法制作出的平面柵 網(wǎng)裝配柵極的成型制造裝置中，通過采取柵極的成型制造方法柵極的成型制造 方法，使平面柵網(wǎng)成型為有一定曲率半徑的曲面柵網(wǎng)，該方法包含下列步驟； a)用定位銷3把平面柵網(wǎng)8安裝到成型陰模2上；b)通過定位銷3連接成型基座4上面的定位銷孔7，把安裝有平面柵網(wǎng)8的成型陰模2安裝到成型基座4上; c)把成型陽模1通過成型陰模2上面的銷孔6安裝到上述組件中；d)把上述 裝配好的成型制造裝置加熱至一定的溫度，成型制造裝置加熱溫度為300°C±20 °C，然后放到壓力機的工作臺面上，對成型陽模1的受力面施加一定的壓力， 使平面柵網(wǎng)8成型在成型基座4中；e)拆下帶有成型柵網(wǎng)的成型基座4，把其放 入刻蝕溶液可以刻蝕銅的刻蝕溶液。刻蝕溶液濃度為某酸酐28%，某酸2°/。質(zhì)量 分數(shù)，使成型柵網(wǎng)8與成型基座4分離。曲面柵網(wǎng)8從成型基座4中分離出來 后的尺寸會有一些回彈，回彈量的大小與成型基座4的硬度有關(guān)。上面結(jié)合附圖對本發(fā)明進行了示例性描述，顯然本發(fā)明具體實現(xiàn)并不受上 述方式的限制，只要采用了本發(fā)明的方法構(gòu)思和技術(shù)方案進行的各種非實質(zhì)性 的改進，或未經(jīng)改進將本發(fā)明的構(gòu)思和技術(shù)方案直接應用于其它場合的，均在 本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于所述成型制造裝置包括成型陽模(1)、成型陰模(2)、定位銷(3)、成型基座(4)組成，所述成型陽模(1)呈銷釘狀，通過墊圈(5)插入成型陰模(2)的銷孔(6)內(nèi)，所述的成型陰模(2)與成型基座(4)上對應的設有至少兩個以上定位銷孔(7)，成型陰模(2)通過插入定位銷孔(7)的定位銷(3)、柵極柵網(wǎng)(8)與成型基座(4)相連接。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于所述 的成型陰模(2)與成型基座(4)的連接端面為相適配的曲面。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于所述 的成型陰模(2)與成型基座(4)上對應的設有四個定位銷孔(7)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于 所述的成型陰模(2)和成型基座(4)采用硬度不同的材料。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于 所述的成型基座(4)與定位銷(3)為滑動配合。
6、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于所述 的成型基座(4)材料為無氧銅。
7、 一種微波管柵極的成型制造方法，其特征在于采用光刻方法制作出的 平面柵網(wǎng)裝配柵極的成型制造裝置中，通過采取一定的工藝手段，使平面柵網(wǎng) 成型為有一定曲率半徑的曲面柵網(wǎng)，該方法包含下列步驟；a) 用定位銷(3)把平面柵網(wǎng)安裝到成型陰模(2)上；b) 通過定位銷3連接成型基座(4)上面的定位銷孔(7)，把安裝有平面柵網(wǎng)(8)的成型陰模(2)安裝到成型基座(4)上；c) 把成型陽模l通過成型陰模2上面的銷孔(6)安裝到上述組件中；d) 把上述裝配好的成型制造裝置加熱至一定的溫度，然后放到壓力機的工作 臺面上，對成型陽模(1)的受力面施加一定的壓力，使平面柵網(wǎng)(8)成型在成型基座(4)中；e) 拆下帶有成型柵網(wǎng)的成型基座(4)，把其放入特殊的溶液中，使成型柵網(wǎng) O與成型基座(4)分離。
8、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的微波管柵極的成型制造方法，其特征在于所述 的成型制造裝置加熱溫度為300°C±20°C。
9、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的微波管柵極的成型制造方法，其特征在于所述 溶液為刻蝕溶液可以刻蝕銅的刻蝕溶液。
10、根據(jù)權(quán)利要求9所述的微波管柵極的成型制造方法，其特征在于所述 刻蝕溶液濃度為-某酸酐28%，某酸2%質(zhì)量分數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種微波管柵極的成型制造裝置及成型制造方法，一種微波管柵極的成型制造裝置，其特征在于所述成型制造裝置包括成型陽模、成型陰模、定位銷、成型基座組成，所述成型陽模呈銷釘狀，通過墊圈插入成型陰模的銷孔內(nèi)，所述的成型陰模與成型基座上對應的設有至少兩個以上定位銷孔，成型陰模通過插入定位銷孔的定位銷、柵極柵網(wǎng)與成型基座相連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比；加工出的柵極柵網(wǎng)具有加工精度高，光潔度高，合格率高等優(yōu)點。通過柵極的成型制造裝置能夠使平面柵網(wǎng)在受力后能夠陷進基座中成型。同時平面柵網(wǎng)的設計上具有定位孔，從而可以通過定位銷的作用來保證成型陽模和平面柵網(wǎng)的精確定位，提高柵網(wǎng)成型后結(jié)構(gòu)上對稱度的精度。
文檔編號H01J9/02GK101256923SQ20071030253
公開日2008年9月3日 申請日期2007年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月28日
發(fā)明者任振國, 侯信磊, 吳華夏, 榮 李, 沙瑩瑩, 趙艷珩, 鄧清東 申請人:安徽華東光電技術(shù)研究所