專利名稱：掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種掃描電子顯微鏡用樣品裝載裝置。
技術背景-目前，國內外在應用掃描電子顯微鏡觀察多樣品時，常用碳導電膠 或者導電雙面膠帶將小樣品臺粘在大基座上進行觀察，其導電性能和操 作方便程度和對顯微鏡的真空度都有影響。發(fā)明內容本實用新型的目的在于提供一種結構合理，使用方便，工作性能好 的掃描電子顯微鏡多樣裝載組合裝置。 本實用新型的技術解決方案是一種掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，包括與電子顯微鏡匹配 的支座，其特征是支座上設置帶有多個槽的基座，基座上的各槽中分 別插裝一個樣品座?；系母鞑壑蟹謩e插裝不同大小、形狀、角度的樣品座。樣品座 底部設置與基座槽接觸的彈性鋼珠裝置。本實用新型結構合理，樣品更換方便、快捷；可以進行多樣品、多 角度、不同大小樣品座的組合；減少了對樣品室真空度的影響和污染； 使用高導電性金屬精密加工，插槽和彈性鋼珠確保金屬部件之間連接的 導電性；可以任何型號和廠家的掃描電子顯微鏡匹配使用。


以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。 圖1是本實用新型一個實施例的結構示圖。 圖2是圖1中一個樣品座的結構示圖。
具體實施方式
一種掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，包括與電子顯微鏡匹配的支座1，支座1上設置帶有多個槽2的基座3，基座上的各槽中分別 插裝不同大小、形狀、角度的樣品座4。樣品座4底部設置與基座槽接 觸的彈性鋼珠裝置5。
權利要求1、一種掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，包括與電子顯微鏡匹配的支座，其特征是支座上設置帶有多個槽的基座，基座上的各槽中分別插裝一個樣品座。
2、 根據(jù)權利要求1所述的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置， 其特征是基座上的各槽中分別插裝不同大小、形狀、角度的樣品座。
3、 根據(jù)權利要求1或2所述的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝 置，其特征是樣品座底部設置與基座槽接觸的彈性鋼珠裝置。
專利摘要本實用新型公開了一種掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，包括與電子顯微鏡匹配的支座，支座上設置帶有多個槽的基座，基座上的各槽中分別插裝一個樣品座。本實用新型結構合理，樣品更換方便、快捷；可以進行多樣品、多角度、不同大小樣品座的組合；減少了對樣品室真空度的影響和污染；使用高導電性金屬精密加工，插槽和彈性鋼珠確保金屬部件之間連接的導電性；可以任何型號和廠家的掃描電子顯微鏡匹配使用。
文檔編號H01J37/20GK201122570SQ20072013119
公開日2008年9月24日 申請日期2007年12月4日 優(yōu)先權日2007年12月4日
發(fā)明者張?zhí)煲? 朱昌來, 琳 林 申請人:南通大學