專利名稱：陰極放電裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種陰極放電裝置，特別是一種可大尺寸化的中空陰極放電裝置。
背景技術(shù)：
在石化燃料日漸短缺的情勢(shì)下，尋求各類替代能源已刻不容緩。替代能源方案又以太陽(yáng)能最為經(jīng)濟(jì)與環(huán)保，因此各國(guó)政府如美國(guó)及德國(guó)已將太陽(yáng)能的開發(fā)列為國(guó)家能源發(fā)展計(jì)劃。然而受限于太陽(yáng)電池的效率，太陽(yáng)能的利用率有限，為了提升利用率，有兩種做法其一提升太陽(yáng)能電池的效率，其二是降低太陽(yáng)能電池的制造成本，然而因?yàn)槭芟抻诎雽?dǎo)體的固態(tài)特性，提升太陽(yáng)能電池的效率不易達(dá)成，但是增加太陽(yáng)能電池的覆蓋面積卻是可行的。 制作太陽(yáng)能電池薄膜的方法主要為電漿輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù)，由于都會(huì)大樓的玻璃建材已趨大面積化，為提高產(chǎn)能，應(yīng)用于大面積玻璃基板的太陽(yáng)能電池薄膜制程也有大面積化與連續(xù)式生產(chǎn)的趨勢(shì)，此趨勢(shì)剛好符合TFT-LCD面積的不斷演進(jìn)。近年來(lái)，光電技術(shù)突飛猛進(jìn)，包括太陽(yáng)能電池、液晶薄膜晶體管顯示器等，皆須要能做大面積連續(xù)制程的電漿源裝置，然而目前應(yīng)用在TFT-LCD電漿制程的電漿源裝置在擴(kuò)大電漿面積的情況下，面臨電漿均勻度的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的為提供一種陰極放電裝置，其包括一陽(yáng)極、一陰極及多個(gè)陰極腔室。該陰極位于該陽(yáng)極內(nèi)，該陰極內(nèi)部具有多個(gè)氣體流道及至少一流道通孔，該多個(gè)氣體流道經(jīng)由該流道通孔相通。該多個(gè)陰極腔室位于該陰極內(nèi)，每一該陰極腔室具有一腔室氣體入口與一腔室氣體出口 ，且每一該陰極腔室經(jīng)由其腔室氣體入口與該氣體流道相通。
根據(jù)上述構(gòu)想，其中該陽(yáng)極與該陰極之間隔著一絕緣材料。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該陰極放電裝置更包括一流道氣體入口，其中該陰極放電裝
置吸入一工作氣體，該工作氣體經(jīng)由該流道氣體入口 ，流入該多個(gè)氣體流道之一，并經(jīng)由該
流道通孔，流入其它氣體流道，再經(jīng)由該腔室氣體入口 ，流入該陰極腔室。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中經(jīng)由該多個(gè)陰極腔室的該腔室氣體出口所噴出的電漿的噴出
方向不平行。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該陰極包括一陰極第一部分及一陰極第二部分，該陰極第一部分位于該陰極第二部分之內(nèi)，該陰極第一部分與該陰極第二部分為一體成型或分離配置。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該陰極腔室包括一陰極腔室第一部分及一陰極腔室第二部分，該陰極腔室第一部分位于該陰極第一部分之內(nèi)，而該陰極腔室第二部分位于該陰極第二部分之內(nèi)。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該陰極腔室第一部分與該陰極腔室第二部分具有不同的大小或形狀。
根據(jù)上述構(gòu)想，其中陰極放電裝置還包括一饋電元件與一電源供應(yīng)器，該饋電元
件與該陰極電性連接，該電源供應(yīng)器電性連接至該饋電元件，提供電流至該陰極。 本發(fā)明的另一目的為提供一種陰極放電裝置，其包括一陽(yáng)極、多個(gè)陰極及多個(gè)饋
電元件。該多個(gè)陰極位于該陽(yáng)極內(nèi)，每一該陰極內(nèi)部具有至少一氣體流道及至少一陰極腔
室，該陰極腔室具有一腔室氣體入口與一腔室氣體出口，且該陰極腔室經(jīng)由其腔室氣體入
口與該氣體流道相通。該多個(gè)饋電元件與該多個(gè)陰極電性連接。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該陰極放電裝置包括一電源供應(yīng)器，其電性連接至該多個(gè)饋電元件的至少其中之一。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該陰極放電裝置更包括至少一流道氣體入口，其中該陰極放電裝置吸入一工作氣體，該工作氣體經(jīng)由該流道氣體入口 ，流入該氣體流道，再經(jīng)由該腔室氣體入口，流入該陰極腔室。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該工作氣體于該陰極腔室中，產(chǎn)生電漿，該電漿經(jīng)由該陰極腔室的該腔室氣體出口噴出。 本發(fā)明的又一目的為提供一種陰極放電裝置，其包括多個(gè)陰極放電組件及一電極連接元件。其中每一該陰極放電組件包括一陽(yáng)極、一陰極、多個(gè)陰極腔室及多個(gè)饋電元件。該陰極位于該陽(yáng)極內(nèi)，該陽(yáng)極與該陰極之間隔著一絕緣材料，該陰極內(nèi)部具有至少一氣體流道。該多個(gè)陰極腔室位于該陰極內(nèi)，每一該陰極腔室具有一腔室氣體入口與一腔室氣體出口 ，每一該陰極腔室經(jīng)由其腔室氣體入口與該氣體流道相通。該多個(gè)饋電元件與該陰極電性連接。該電極連接元件電性連接至每一該陰極放電組件的該多個(gè)饋電元件的至少其中之一。
根據(jù)上述構(gòu)想，其中該氣體流道包括一第一氣體流道、一第二氣體流道及至少一流道通孔，該第一氣體流道及該第二氣體流道通過(guò)該流道通孔相通。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該陰極放電裝置更包括至少一流道氣體入口，其中該陰極放
電裝置吸入一工作氣體，該工作氣體經(jīng)由該流道氣體入口 ，流入該第一氣體流道，再經(jīng)由該
流道通孔，流入該第二氣體流道，再經(jīng)由該腔室氣體入口 ，流入該多個(gè)陰極腔室。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該工作氣體通常選自氫氣、氦氣、氬氣、氧氣、氮?dú)?、氨氣及?br> 烷至少其中之一。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該工作氣體于該多個(gè)陰極腔室中，產(chǎn)生電漿，該電漿經(jīng)由該多個(gè)陰極腔室的該腔室氣體出口噴出。 根據(jù)上述構(gòu)想，其中該陰極放電裝置更包括一電源供應(yīng)器，其電性連接至該電極連接元件，該電源供應(yīng)器經(jīng)由該電極連接元件所電性連接的饋電元件，提供電流至每一該陰極放電組件的該陰極。 本發(fā)明的有益效果針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，本案發(fā)明團(tuán)隊(duì)經(jīng)深入研究分析，終于開發(fā)出可應(yīng)用于太陽(yáng)能電池等光電裝置的大面積薄膜制程的中空陰極放電的電漿源裝置，通過(guò)工作氣體流道的穩(wěn)壓作用，電漿具有高均勻度與高解離度的特性，并可提高成膜速率，可根本解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，大幅提升太陽(yáng)能電池等光電裝置的制造技術(shù)、產(chǎn)品性能、產(chǎn)品的
質(zhì)量穩(wěn)定性及質(zhì)量可靠度，并顯著降低生產(chǎn)成本，造福大眾使用者。


圖1為本發(fā)明第一實(shí)施例的陰極放電裝置的側(cè)面剖面示意圖。
圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例的陰極放電裝置沿著圖1中的A-A'橫斷面的剖面示意 圖。 圖3為本發(fā)明第二實(shí)施例的的陰極放電裝置的剖面示意圖。 圖4為本發(fā)明第三實(shí)施例的的陰極放電裝置的剖面示意圖。 圖5為本發(fā)明第三實(shí)施例的陰極放電裝置的立體示意圖。 圖6為本發(fā)明第四實(shí)施例的的陰極放電裝置的剖面示意圖。 圖7為本發(fā)明第四實(shí)施例的陰極放電裝置的立體示意圖。 [OOSO]主要部分代表符號(hào)說(shuō)明
5:電槳 10A、10B、100、200 :陰極放電裝置 210a、210b :陰極放電組件 11、110:陽(yáng)極 21、21a、21b、121a、121b、221a、221b :陰極 22、22a、22b、22c :絕緣材料元件 23a、23b :氣體流道 23c :流道通孔 24a、24b :流道氣體入口 25、25a、25b :陰極腔室 26 :工作氣體 27a:腔室氣體入口 27b :腔室氣體出口 41、41a、41b、141a、141b、241a、241b :饋電裝置 42、142、242 :電極連接元件 43、143、243 :電源供應(yīng)器 44a、44b、44c、44d、44e、44f、144、244 :饋電裝置插槽
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明將通過(guò)下述的較佳實(shí)施例并配合圖示，作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
〔第一實(shí)施例〕 圖1為本發(fā)明第一實(shí)施例的陰極放電裝置的側(cè)面剖面示意圖，圖2為本發(fā)明第一 實(shí)施例的陰極放電裝置沿著圖1中的A-A'橫斷面的剖面示意圖，意即沿陰極管方向的剖面 示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D2，陰極放 裝置10A包括陽(yáng)極11、陰極21及陰極腔室25。陰極21位于 陽(yáng)極11內(nèi)部，其間可隔著絕緣材料元件22a、22b及22c。 陰極21包括多個(gè)陰極腔室25，陰極21可分為陰極第一部分21a及陰極第二部分 21b，即相接觸的兩對(duì)象，以方便機(jī)械加工制作，也可以是一體成型。陰極腔室25可分為陰 極腔室第一部分25a及陰極腔室第二部分25b，其中，陰極腔室第一部分25a位于陰極第一 部分21a內(nèi)，陰極腔室第二部分25b位于陰極第二部分21b內(nèi)。 請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D1及圖2，陰極第一部分21a內(nèi)部具有第一氣體流道23a、第二氣體 流道23b、流道通孔23c、陰極腔室第一部分25a，以及腔室氣體入口 27a。腔室氣體出口 27b則位于陰極腔室第二部分25b的下方，并位于陽(yáng)極11內(nèi)。 請(qǐng)參照?qǐng)D2，陰極放電裝置10A可包括饋電裝置41與電源供應(yīng)器43。饋電裝置41 與陰極21電性連接；電源供應(yīng)器43則提供電流，經(jīng)由饋電裝置41，輸入陰極21。
從圖1可以看出，陰極21及陽(yáng)極11之間可間隔著多個(gè)絕緣材料元件22。陰極放 電裝置10A可包括饋電裝置41a及41b、多個(gè)饋電裝置的插槽44a-f及電極連接元件42。圖 2中的電源供應(yīng)器43(未示于圖1中)與電極連接元件42電性連接，可提供電流經(jīng)由電極 連接元件42、饋電裝置41a及41b，輸入電流至陰極21。 請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D1，工作氣體26經(jīng)由兩端氣體流道入口 24a及24b，流入第一氣體流 道23a，再經(jīng)由多個(gè)流道通孔23c，流入第二氣體流道23b，然后經(jīng)由腔室氣體入口 27a，流入 陰極腔室25中。工作氣體26在陰極腔室25內(nèi)產(chǎn)生放電現(xiàn)象，生成電漿5(示于圖2中，未 示于圖1中)，經(jīng)由腔室氣體出口 27b噴出。 上述的陰極腔室第一部分25a及陰極腔室第二部分25b可設(shè)計(jì)為圓柱體、圓錐體、 四方形柱體或四方形錐體，在本實(shí)施例中采用圓柱體。至于陰極腔室第二部分25b的截面 積可較陰極腔室第一部分25a的截面積稍大，所以電漿流入陰極腔室第二部分25b有擴(kuò)大， 再經(jīng)由腔室氣體出口 27b產(chǎn)生噴出的效果。此二截面積也可以相同。 上述的第一氣體流道23a及第二氣體流道23b可設(shè)計(jì)為互相平行，但也可以不平 行。工作氣體26則通常選自氫氣、氦氣、氬氣、氧氣、氮?dú)?、氨氣及硅烷等氣體，并可依所要 鍍膜的材料，做對(duì)應(yīng)性的選擇。例如要鍍二氧化硅，則選擇氧氣，配合硅烷的使用；要鍍氮化 硅，則選擇氨氣，配合硅烷的使用；要鍍硅，則選擇硅烷；而氬氣為惰性氣體，不易與其它物 質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，可用于產(chǎn)生電漿。 在本實(shí)施例中，工作氣體26雖然由兩端氣體流道入口 24a及24b通入，由于本發(fā)
明具有第一氣體流道23a、第二氣體流道23b及流道通孔23c的設(shè)計(jì)，會(huì)使得工作氣體26的
壓力密度在第二氣體流道23b中均勻分布。此乃因?yàn)楣ぷ鳉怏w26會(huì)在第一氣體流道23a
中較接近飽和狀態(tài)時(shí)，經(jīng)由多個(gè)流道通孔23c流入第二氣體流道23b中。由于多個(gè)流道通
孔23c的分布設(shè)計(jì)，使得第二氣體流道23b中各段的氣體壓力十分均勻。 現(xiàn)有技術(shù)由于僅有單一氣體流道，因此靠近流道兩端的氣體壓力較大，靠近中間
部份的氣體壓力較小，所以便會(huì)發(fā)生流入靠近兩端的陰極腔室中的工作氣體的氣體壓力較
高，而流入靠近中間部份的陰極腔室中的工作氣體的氣體壓力較低的現(xiàn)象。工作氣體于陰
極腔室中的氣體壓力會(huì)嚴(yán)重影響電漿密度，進(jìn)而嚴(yán)重影響鍍膜的厚度及密度?，F(xiàn)有技術(shù)由
于整排陰極腔室中的電漿密度差異很大，尤其當(dāng)管狀的陰極很長(zhǎng)，其內(nèi)部的陰極腔室的數(shù)
量很多時(shí)，特別是運(yùn)用在大尺寸鍍膜時(shí)，電漿密度不均勻的問(wèn)題便極嚴(yán)重。 本實(shí)施例，由于具有第一氣體流道23a、第二氣體流道23b及流道通孔23c的設(shè)計(jì)，
使得第二氣體流道23b中各段的氣體壓力十分均勻，進(jìn)而使各陰極腔室中的工作氣體的氣
體壓力十分接近，所以能大幅提升整體電漿的均勻度，解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，成功突破大尺
寸鍍膜技術(shù)瓶頸?！驳诙?shí)施例〕 本實(shí)施例所提供的陰極放電裝置與第一實(shí)施例大部份皆相同，唯一的區(qū)別在于 第一實(shí)施例中的多個(gè)陰極腔室25設(shè)計(jì)為平行排列且垂直向下，所以電漿經(jīng)由其腔室氣體 出口 27b噴出時(shí)，皆為垂直向下噴出。至于本實(shí)施例則將陰極腔室設(shè)計(jì)為與垂直方向傾斜
7一角度。圖3為本發(fā)明第二實(shí)施例的陰極放電裝置的剖面示意圖。請(qǐng)同時(shí)參考圖2及圖3， 即可看出本實(shí)施例與第一實(shí)施例的差異。本實(shí)施例的陰極放電裝置，從陰極管方向的剖面 看去，陰極腔室與垂直方向夾一小角度，例如5 30度，同時(shí)可將排列為第奇數(shù)個(gè)的陰極 腔室設(shè)計(jì)為逆時(shí)針夾一小角度(例如-12度)，而將排列為第偶數(shù)個(gè)的陰極腔室設(shè)計(jì)為順時(shí) 針夾一小角度(例如+12度)。如此，可擴(kuò)大電漿噴出的范圍。
〔第三實(shí)施例〕 圖4為本發(fā)明第三實(shí)施例的的陰極放電裝置的剖面示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D4，本實(shí)施例 中，陰極放電裝置100包括一個(gè)陽(yáng)極110及兩個(gè)陰極121a與121b，其中每個(gè)陰極與第一實(shí) 施例中的陰極21的構(gòu)造幾乎完全相同，意即并排兩個(gè)管狀的陰極121a與121b，其被包含在 陽(yáng)極110之內(nèi)，即兩個(gè)陰極121a與121b共享一個(gè)陽(yáng)極110。兩個(gè)陰極121a及121b各具有 一饋電裝置141a及141b。陰極放電裝置100可具有電極連接元件142及電源供應(yīng)器143， 電源供應(yīng)器143與電極連接元件142電性連接，可提供電流經(jīng)由電極連接元件142、饋電裝 置141a及141b，輸入電流至陰極121a及121b。 圖5為本發(fā)明第三實(shí)施例的陰極放電裝置的立體示意圖。 一般而言，陰極上靠近 電流輸入點(diǎn)(即饋電裝置的位置)的部份較遠(yuǎn)離電流輸入點(diǎn)的部份所接收的電流稍強(qiáng)。請(qǐng) 參照?qǐng)D5，本實(shí)施例中，饋電裝置141a位于靠近陰極121a(圖中未標(biāo)示)的一端，而饋電裝 置141b則位于靠近陰極121b(圖中未標(biāo)示)的另一端。 由于饋電裝置141a及141b分別位于兩個(gè)陰極121a及121b的兩端，所以能平衡 兩端的電流強(qiáng)度，使得電漿均勻度更佳，尤其對(duì)大尺寸鍍膜的效果特別顯著。由圖5中可以 看到陰極放電裝置100還包括多個(gè)饋電裝置插槽144，可以視實(shí)際需要，調(diào)整饋電裝置的位 置，以達(dá)到電流分布最佳均勻化，因?yàn)樗斎氲碾娏髁看笮∫矔?huì)些許影響電流分布。
〔第四實(shí)施例〕 圖6為本發(fā)明第四實(shí)施例的的陰極放電裝置的剖面示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D6 ，本實(shí)施例 中，陰極放電裝置200包括兩個(gè)陰極放電組件210a及210b，每個(gè)陰極放電組件與第一實(shí)施 例中的陰極放電裝置IOA構(gòu)造幾乎完全相同，意即并排兩個(gè)陰極放電裝置IOA。兩個(gè)陰極放 電組件210a及210b各具有一饋電裝置241a及241b。陰極放電裝置200具有電極連接元 件242及電源供應(yīng)器243，電源供應(yīng)器243與電極連接元件242電性連接，可提供電流經(jīng)由 電極連接元件242、饋電裝置241a及241b，輸入電流至陰極放電組件210a及210b的陰極。
圖7為本發(fā)明第四實(shí)施例的陰極放電裝置的立體示意圖。 一般而言，陰極上靠近 電流輸入點(diǎn)(即饋電裝置的位置)的部份較遠(yuǎn)離電流輸入點(diǎn)的部份所接收的電流稍強(qiáng)。請(qǐng) 參照?qǐng)D7，本實(shí)施例中，饋電裝置241a位于靠近陰極放電組件210a(圖中未標(biāo)示)的一端， 而饋電裝置241b則位于靠近陰極放電組件210b(圖中未標(biāo)示)的另一端。
由于饋電裝置241a及241b分別位于兩組陰極放電組件210a及210b的兩端，所 以能平衡兩端的電流強(qiáng)度，使得電漿均勻度更佳，尤其對(duì)大尺寸鍍膜的效果特別顯著。由圖 7中可以看到陰極放電裝置200還包括多個(gè)饋電裝置插槽244，可以視實(shí)際需要，調(diào)整饋電 裝置的位置，以達(dá)到電流分布最佳均勻化。 綜上所述，本案提供嶄新的陰極放電裝置，以新穎的技術(shù)思維及設(shè)計(jì)，能使得整體 來(lái)說(shuō)輸入陰極各段的電流更加均勻化，并使得產(chǎn)生電漿的工作氣體于各個(gè)陰極腔室中的壓 力也更加均勻化，進(jìn)而達(dá)到整體電漿的均勻化，可以解決現(xiàn)有技術(shù)中用于大尺寸的鍍膜時(shí)，電漿均勻度太差的問(wèn)題，成功突破大尺寸鍍膜技術(shù)瓶頸，對(duì)于太陽(yáng)能發(fā)電設(shè)備及液晶顯示 器等對(duì)大尺寸鍍膜技術(shù)殷切期盼的產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)，乃是一大福音，尤其能促進(jìn)太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)，并對(duì) 環(huán)境保護(hù)做出貢獻(xiàn)。 本發(fā)明得由熟悉本技藝的人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附權(quán)利要求所 欲保護(hù)的。
權(quán)利要求
一種陰極放電裝置，其特征在于，包括一陽(yáng)極；一陰極，位于該陽(yáng)極內(nèi)，該陰極內(nèi)部具有多個(gè)氣體流道及至少一流道通孔，該多個(gè)氣體流道經(jīng)由該流道通孔相通；以及多個(gè)陰極腔室，位于該陰極內(nèi)，每一該陰極腔室具有一腔室氣體入口與一腔室氣體出口，且每一該陰極腔室經(jīng)由其腔室氣體入口與該氣體流道相通。
2. 如權(quán)利要求l的陰極放電裝置，其特征在于，該陽(yáng)極與該陰極之間隔著一絕緣材料。
3. 如權(quán)利要求l的陰極放電裝置，其特征在于，還包括一流道氣體入口，其中該陰極放電裝置吸入一工作氣體，該工作氣體經(jīng)由該流道氣體入口 ，流入該多個(gè)氣體流道之一，并經(jīng)由該流道通孔，流入其它氣體流道，再經(jīng)由該腔室氣體入口 ，流入該陰極腔室。
4. 如權(quán)利要求3的陰極放電裝置，其特征在于，該工作氣體選自氫氣、氦氣、氬氣、氧氣、氮?dú)?、氨氣及硅烷至少其中之一?br> 5. 如權(quán)利要求3的陰極放電裝置，其特征在于，該工作氣體于該多個(gè)陰極腔室中，產(chǎn)生電漿，該電漿經(jīng)由該多個(gè)陰極腔室的該腔室氣體出口噴出。
6. 如權(quán)利要求5的陰極放電裝置，其特征在于，經(jīng)由該多個(gè)陰極腔室的該腔室氣體出口所噴出的電漿的噴出方向不平行。
7. 如權(quán)利要求l的陰極放電裝置，其特征在于，該陰極包括一陰極第一部分及一陰極第二部分，該陰極第一部分位于該陰極第二部分之內(nèi)，該陰極第一部分與該陰極第二部分為一體成型或分離配置。
8. 如權(quán)利要求7的陰極放電裝置，其特征在于，該陰極腔室包括一陰極腔室第一部分及一陰極腔室第二部分，該陰極腔室第一部分位于該陰極第一部分之內(nèi)，而該陰極腔室第二部分位于該陰極第二部分之內(nèi)。
9. 如權(quán)利要求8的陰極放電裝置，其特征在于，該陰極腔室第一部分與該陰極腔室第二部分具有不同的大小或形狀。
10. 如權(quán)利要求l的陰極放電裝置，其特征在于，還包括一饋電元件與該陰極電性連接。
11. 一種陰極放電裝置，其特征在于，包括一陽(yáng)極；多個(gè)陰極，位于該陽(yáng)極內(nèi)，每一該陰極內(nèi)部具有至少一氣體流道及至少一陰極腔室，該陰極腔室具有一腔室氣體入口與一腔室氣體出口，且該陰極腔室經(jīng)由其腔室氣體入口與該氣體流道相通；以及多個(gè)饋電元件，與該多個(gè)陰極電性連接。
12. 如權(quán)利要求ll的陰極放電裝置，其特征在于，包括一電源供應(yīng)器，其電性連接至該多個(gè)饋電元件的至少其中之一。
13. 如權(quán)利要求ll的陰極放電裝置，其特征在于，還包括至少一流道氣體入口，其中該陰極放電裝置吸入一工作氣體，該工作氣體經(jīng)由該流道氣體入口 ，流入該氣體流道，再經(jīng)由該腔室氣體入口 ，流入該陰極腔室。
14. 如權(quán)利要求13的陰極放電裝置，其特征在于，該工作氣體于該陰極腔室中，產(chǎn)生電漿，該電漿經(jīng)由該陰極腔室的該腔室氣體出口噴出。
15. —種陰極放電裝置，其特征在于，包括多個(gè)陰極放電組件，其中每一該陰極放電組件包括一陽(yáng)極；一陰極，位于該陽(yáng)極內(nèi)，該陽(yáng)極與該陰極之間隔著一絕緣材料，該陰極內(nèi)部具有至少一氣體流道；多個(gè)陰極腔室，位于該陰極內(nèi)，每一該陰極腔室具有一腔室氣體入口與一腔室氣體出口 ，每一該陰極腔室經(jīng)由其腔室氣體入口與該氣體流道相通；以及多個(gè)饋電元件，與該陰極電性連接；以及一電極連接元件，電性連接至每一該陰極放電組件的該多個(gè)饋電元件的至少其中之
16. 如權(quán)利要求15的陰極放電裝置，其特征在于，該氣體流道包括一第一氣體流道、一第二氣體流道及至少一流道通孔，該第一氣體流道及該第二氣體流道通過(guò)該流道通孔相通。
17. 如權(quán)利要求16的陰極放電裝置，其特征在于，還包括至少一流道氣體入口，其中該陰極放電裝置吸入一工作氣體，該工作氣體經(jīng)由該流道氣體入口 ，流入該第一氣體流道，再經(jīng)由該流道通孔，流入該第二氣體流道，再經(jīng)由該腔室氣體入口 ，流入該多個(gè)陰極腔室。
18. 如權(quán)利要求17的陰極放電裝置，其特征在于，該工作氣體選自氫氣、氦氣、氬氣、氧氣、氮?dú)狻睔饧肮柰橹辽倨渲兄弧?br> 19. 如權(quán)利要求17的陰極放電裝置，其特征在于，該工作氣體于該多個(gè)陰極腔室中，產(chǎn)生電漿，該電漿經(jīng)由該多個(gè)陰極腔室的該腔室氣體出口噴出。
20. 如權(quán)利要求15的陰極放電裝置，其特征在于，還包括一電源供應(yīng)器，其電性連接至該電極連接元件，該電源供應(yīng)器經(jīng)由該電極連接元件所電性連接的饋電元件，提供電流至每一該陰極放電組件的該陰極。
全文摘要
本發(fā)明是提供一種陰極放電裝置，其包括一陽(yáng)極、一陰極以及多個(gè)陰極腔室。其中該陰極位于該陽(yáng)極內(nèi)，該陰極內(nèi)部具有多個(gè)氣體流道及至少一流道通孔，其中該多個(gè)氣體流道經(jīng)由該流道通孔相通；該多個(gè)陰極腔室位于該陰極內(nèi)，每一該陰極腔室具有一腔室氣體入口與一腔室氣體出口，每一該陰極腔室經(jīng)由該腔室氣體入口與該氣體流道相通。本發(fā)明可應(yīng)用于太陽(yáng)能電池等光電裝置的大面積薄膜制程的中空陰極放電的電漿源裝置，通過(guò)工作氣體流道的穩(wěn)壓作用，電漿具有高均勻度與高解離度的特性，并可提高成膜速率，大幅提升太陽(yáng)能電池等光電裝置的制造技術(shù)、產(chǎn)品性能、產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定性及質(zhì)量可靠度，并顯著降低生產(chǎn)成本，造福大眾使用者。
文檔編號(hào)H01J37/32GK101752171SQ20081018438
公開日2010年6月23日 申請(qǐng)日期2008年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月10日
發(fā)明者何榮振, 吳佩珊, 梁沐旺, 沈添沐, 簡(jiǎn)榮禎, 董福慶, 陳冠州, 陳家銘 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院