專利名稱：等離子功率供給裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有多個(gè)功率供給單元的等離子功率供給裝置以及一種用于運(yùn)行具有多個(gè)功率供給單元的等離子功率供給裝置的方法。
背景技術(shù)：
在平板顯示器(FPD)制造工藝中，在多個(gè)步驟中對(duì)襯底——例如玻璃板的較大表面均勻地進(jìn)行鍍膜。由建筑玻璃鍍膜已知的是，在等離子工藝中借助于濺射/陰極濺射對(duì)較大的玻璃表面進(jìn)行鍍膜，更確切地說(shuō)，既反應(yīng)地又常規(guī)地進(jìn)行鍍膜。為此，借助電流源或者電壓源產(chǎn)生等離子體，所述等離子體從目標(biāo)材料中脫離，所述目標(biāo)材料沉積在襯底—— 例如玻璃板上。在沉積之前，原子還可以根據(jù)所期望的鍍膜在反應(yīng)過(guò)程中與氣體原子或分
丁纟口口。在建筑玻璃鍍膜中，使玻璃板在等離子室(鍍膜室)中連續(xù)地從濺射源旁邊通過(guò)， 并且因此鍍膜被均勻地鍍敷。為此，等離子分布必然在僅僅一個(gè)軸線上(即一維地，也就是說(shuō)與襯底的運(yùn)動(dòng)方向垂直地)是均勻的。在建筑玻璃鍍膜中，既使用DC濺射工藝也使用中頻(MF)濺射工藝。后者以(MF) 功率供給單元運(yùn)行。在此，由單相電壓或多相電壓產(chǎn)生經(jīng)調(diào)節(jié)的或未經(jīng)調(diào)節(jié)的中間電路電壓。借助逆變器電路(例如，橋式電路)將中間電路電壓轉(zhuǎn)換成中頻(MF)交變電壓 (10-500kHz)。將MF輸出功率信號(hào)連接到振蕩回路上，所述振蕩回落被激勵(lì)以產(chǎn)生振蕩。所述振蕩回路可以是串聯(lián)振蕩回路或者是并聯(lián)振蕩回路。借助具有電壓源特性的輸出功率信號(hào)激勵(lì)串聯(lián)振蕩回路，而借助具有電流源特性的輸出功率信號(hào)激勵(lì)并聯(lián)回路。通常，將MF功率——也就是說(shuō)由功率供給單元生成的具有10_500kHz范圍內(nèi)的頻率的交變信號(hào)耦合輸出給振蕩回路的線圈以及連接到鍍膜設(shè)備的鍍膜室中的兩個(gè)電極上， 從而在鍍膜室中可以產(chǎn)生等離子體。所述電極在MF激勵(lì)系統(tǒng)中交替地作為陽(yáng)極和陰極工作。在FPD制造工藝中，由于其尺寸，在不移動(dòng)襯底的情況下對(duì)襯底進(jìn)行平面地鍍膜。因?yàn)閺膸灼椒矫字翈资椒矫椎南鄬?duì)較大的襯底在整個(gè)表面上被同時(shí)鍍膜并且故障率必須非常小——因?yàn)镕DP不可以由多個(gè)部分組裝而成，所以對(duì)設(shè)備、等離子室、電極、目標(biāo)以及最后對(duì)等離子功率供給裝置提出新的要求。為了在一個(gè)工作步驟中對(duì)整個(gè)表面進(jìn)行鍍膜，每工作步驟需要比在建筑玻璃鍍膜的情況下高得多的功率。為了產(chǎn)生等離子體，F(xiàn)PD制造工藝需要具有50至200kW以及更高功率的功率供給單元。在此，功率供給單元應(yīng)當(dāng)可在不造成高耗費(fèi)的情況下在各個(gè)功率等級(jí)之間重新配置，即例如從50kW重新配置為100kW。等離子室中的多個(gè)目標(biāo)往往由多個(gè)功率供給單元供電。在此，具有挑戰(zhàn)的是，在各個(gè)功率供給單元的短時(shí)間中斷或功率波動(dòng)的情況下也將功率均勻地輸送到整個(gè)表面上。在等離子鍍膜時(shí)可能出現(xiàn)電弧，在出現(xiàn)電弧的情況下電流在等離子中尋找導(dǎo)電通道。其原因是除了襯底本身以外等離子室的部件、諸如其內(nèi)壁也以導(dǎo)電性特別差的材料涂覆，所述材料隨后充電到擊穿電壓。必須避免這樣的電弧或者在其出現(xiàn)時(shí)盡可能快地熄滅這樣的電弧。因此，已知的是，設(shè)置電弧識(shí)別裝置。如果現(xiàn)在對(duì)于與磁控管連接的功率供給單元確定已經(jīng)出現(xiàn)電弧或者有出現(xiàn)電弧的危險(xiǎn)，則必須采取相應(yīng)的應(yīng)對(duì)措施，例如中斷功率輸送。但是如果在大的等離子室中使用多個(gè)磁控管，則此外還須注意，盡可能均勻地進(jìn)行襯底的鍍膜。因此，由各個(gè)功率供給單元饋給的等離子工藝應(yīng)盡可能均勻地進(jìn)行。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是，提供一種等離子功率供給裝置，借助所述等離子功率供給裝置能夠?qū)崿F(xiàn)較大襯底的盡可能均勻的鍍膜。所述任務(wù)通過(guò)一種具有多個(gè)功率供給單元的等離子功率供給裝置解決，這些功率供給單元分別包括a)交變信號(hào)產(chǎn)生器；b)調(diào)制器，所述調(diào)制器以至少一個(gè)調(diào)制信號(hào)調(diào)制由所述交變信號(hào)產(chǎn)生器產(chǎn)生的交變信號(hào)；c)調(diào)制信號(hào)輸入端，所述調(diào)制信號(hào)輸入端與所述調(diào)制器連接；d)調(diào)制信號(hào)輸出端，所述調(diào)制信號(hào)輸出端與另一個(gè)功率供給單元的至少一個(gè)調(diào)制輸入端連接。通過(guò)所述措施，能夠以同一調(diào)制信號(hào)調(diào)制所有在每個(gè)功率供給單元中生成的交變信號(hào)。通過(guò)合適的調(diào)制信號(hào)，一方面可以調(diào)節(jié)或者控制功率供給單元的輸出功率，另一方面可以產(chǎn)生功率供給單元的輸出信號(hào)，所述輸出信號(hào)重復(fù)和/或在一確定的時(shí)間段內(nèi)不向所對(duì)應(yīng)的等離子工藝提供功率或者僅僅向所對(duì)應(yīng)的等離子工藝提供小的功率。因此，例如可以減少或者完全避免等離子室中電弧的產(chǎn)生。每個(gè)功率供給單元可以具有各自的調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器，所述調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器與調(diào)制信號(hào)輸出端和/或調(diào)制器連接。此外，通過(guò)功率供給單元彼此連接的方式，可以使由不同的功率供給單元生成的調(diào)制信號(hào)彼此疊加，并且因此以多個(gè)調(diào)制信號(hào)調(diào)制在一個(gè)功率供給單元中生成的交變信號(hào)。如果在一個(gè)功率供給單元中輸出功率波動(dòng)(這可能具有不同原因)，則功率供給單元的調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器可以使其他功率供給單元與所述功率波動(dòng)同步?？梢栽O(shè)置外部的調(diào)制信號(hào)生成器，其與至少一個(gè)功率供給單元的調(diào)制信號(hào)輸入端連接。通過(guò)預(yù)先給定外部的調(diào)制信號(hào)，可以控制功率供給單元中的至少一個(gè)的輸出功率、優(yōu)選控制所有功率供給單元的輸出功率。功率供給單元的調(diào)制信號(hào)輸出端和調(diào)制信號(hào)輸入端可以實(shí)現(xiàn)在一個(gè)共同的接口中。由此可以特別簡(jiǎn)單地構(gòu)造和實(shí)現(xiàn)調(diào)制信號(hào)輸入端和調(diào)制信號(hào)輸出端。所述交變信號(hào)產(chǎn)生器可以被構(gòu)造為自由振蕩器(Freisctwinger)。這意味著，交變信號(hào)的頻率不是外部預(yù)先給定的，而是自動(dòng)地基于振蕩回路的組件的大小產(chǎn)生。這還意味著，各個(gè)功率供給單元的交變信號(hào)不是彼此同步的。通過(guò)使用輸送給所有功率供給單元的調(diào)制信號(hào)可以進(jìn)行同步。尤其是可以實(shí)現(xiàn)功率供給單元的輸出信號(hào)的經(jīng)同步的起振和衰減，這導(dǎo)致均勻的鍍膜。功率供給單元可以通過(guò)調(diào)制信號(hào)輸入端和調(diào)制信號(hào)輸出端串行地彼此連接。這意味著功率供給單元的簡(jiǎn)單布線?？梢詫?duì)等離子工藝中的變化快速地進(jìn)行反應(yīng)。功率供給單元可以具有直流電壓產(chǎn)生器，用于生成中間電路電壓，交變信號(hào)產(chǎn)生器連接到所述中間電路電壓上。每個(gè)功率供給單元都可以連接到雙陰極單元上。雙陰極單元特別適于對(duì)較大的襯底表面進(jìn)行鍍膜。此外，至少一個(gè)調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器還可以包括電弧識(shí)別裝置或者與電弧識(shí)別裝置連接。由此可以根據(jù)識(shí)別到的電弧或者即將產(chǎn)生的電弧產(chǎn)生調(diào)制信號(hào)并且將所述調(diào)制信號(hào)傳遞給至少一個(gè)另外的功率供給單 元，從而可以相應(yīng)地調(diào)制所述功率供給單元或兩個(gè)功率供給單元的交變信號(hào)。此外，一種用于運(yùn)行具有多個(gè)功率供給單元的等離子功率供給裝置的方法也在本發(fā)明的范圍內(nèi)，其中，在每個(gè)功率供給單元中，a)產(chǎn)生交變信號(hào)；b)以至少一個(gè)調(diào)制信號(hào)調(diào)制所產(chǎn)生的交變信號(hào)；c)其中，作為調(diào)制信號(hào)使用在相應(yīng)的功率供給單元中產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)和/或外部產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)。功率供給單元可以被如此連接在一起，使得一個(gè)功率供給單元可以將其調(diào)制信號(hào)強(qiáng)制地施加給另一個(gè)功率供給單元，并且可以附加地從外部疊加一個(gè)調(diào)制信號(hào)。因此，同步地并且以相同的調(diào)制信號(hào)調(diào)制功率供給單元的全部交變信號(hào)。在此，可以將在一個(gè)功率供給單元中產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)輸送給至少一個(gè)另外的功率供給單元。因此，能夠以同一調(diào)制信號(hào)調(diào)制產(chǎn)生調(diào)制信號(hào)的功率供給單元的交變信號(hào)以及另一個(gè)功率供給單元的交變信號(hào)，其中所述調(diào)制信號(hào)被輸送給所述另一個(gè)功率供給單元。 這導(dǎo)致均勻的等離子鍍膜工藝。此外可以規(guī)定將在一個(gè)功率供給單元中產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)輸送給所有其他的功率供給單元，從而以同一調(diào)制信號(hào)調(diào)制所有功率供給單元。此外可以規(guī)定每個(gè)功率供給單元產(chǎn)生一個(gè)調(diào)制信號(hào)，所述調(diào)制信號(hào)被分別輸送給所有其他的功率供給單元。因此，每個(gè)功率供給單元都可以對(duì)識(shí)別到的電弧做出反應(yīng)，并且迫使其他的功率供給單元以相同的程度進(jìn)行反應(yīng)，以便使較大面積的襯底的鍍膜保持統(tǒng)
ο在此可以規(guī)定在至少一個(gè)功率供給單元中產(chǎn)生經(jīng)調(diào)制的輸出信號(hào)，其方式是，以一個(gè)內(nèi)部生成調(diào)制信號(hào)和一個(gè)外部生成的調(diào)制信號(hào)調(diào)制交變信號(hào)。在每個(gè)功率供給單元中可以產(chǎn)生直流電壓，并且隨后從所述直流電壓出發(fā)產(chǎn)生交變信號(hào)。優(yōu)選地借助所謂的自由振蕩器產(chǎn)生交變信號(hào)。對(duì)于大面積的等離子鍍膜工藝，有利的是，由每個(gè)功率供給單元產(chǎn)生具有IOkHz 至500kHz范圍內(nèi)的頻率和> 50kW的功率的交變信號(hào)。在每個(gè)功率供給單元中可以產(chǎn)生具有另一頻率的交變信號(hào)。這尤其是可以通過(guò)在功率供給單元中使用自由振蕩器來(lái)實(shí)現(xiàn)。在至少一個(gè)功率供給單元中可以實(shí)施電弧識(shí)別，從而可以保護(hù)襯底免受電弧損害。如已經(jīng)提到的那樣，可以在功率供給單元以外產(chǎn)生調(diào)制信號(hào)，并且將所述調(diào)制信號(hào)輸送給至少一個(gè)功率供給單元。優(yōu)選地，將所述調(diào)制信號(hào)串行地輸送給所有功率供給單元，從而以同一調(diào)制信號(hào)調(diào)制所有交變信號(hào)并且由此進(jìn)行同步。特別地，由此可以進(jìn)行功率調(diào)節(jié)。本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)由以下根據(jù)示出本發(fā)明重要細(xì)節(jié)的附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行的描述以及由權(quán)利要求書(shū)得出。各個(gè)特征可以單獨(dú)地或者以任意組合的形式在本發(fā)明的變型方案中實(shí)現(xiàn)。


在附圖中示意性地示出本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例并且以下參考附圖對(duì)其進(jìn)行闡述。附圖示出圖1 等離子功率供給裝置的示意圖；圖2 兩個(gè)功率供給單元，它們的調(diào)制輸入端以及調(diào)制輸出端彼此連接；圖3a 第一功率供給單元的具有第一頻率的交變信號(hào)；圖北第二功率供給單元的具有第二頻率的交變信號(hào)；圖如一個(gè)調(diào)制信號(hào)；圖4b 已經(jīng)以圖如的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖3a的交變信號(hào)；圖如已經(jīng)以圖如的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖北的交變信號(hào)；圖fe —個(gè)替代的調(diào)制信號(hào)；圖恥已經(jīng)以圖fe的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖3a的交變信號(hào)；圖5c 已經(jīng)以圖fe的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖北的交變信號(hào)；圖6a —個(gè)替代的調(diào)制信號(hào)；圖6b 已經(jīng)以圖6a的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖3a的交變信號(hào)；圖6c 已經(jīng)以圖6a的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖北的交變信號(hào)；圖7a —個(gè)替代的調(diào)制信號(hào)；圖7b 已經(jīng)以圖7a的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖3a的交變信號(hào)；圖7c 已經(jīng)以圖7a的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖北的交變信號(hào)；圖通過(guò)圖如和圖fe的調(diào)制信號(hào)的疊加組成的調(diào)制信號(hào)；圖8b :以圖8a的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖3a的交變信號(hào)；圖8c 以圖8a的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖北的交變信號(hào)；圖9a 通過(guò)圖如和圖6a的調(diào)制信號(hào)的疊加組成的調(diào)制信號(hào)；圖9b 以圖9a的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖3a的交變信號(hào)；圖9c 以圖9a的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖北的交變信號(hào)；圖IOa 通過(guò)圖如和圖7a的調(diào)制信號(hào)的疊加組成的調(diào)制信號(hào)；圖IOb 以圖IOa的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖3a的交變信號(hào)；圖IOc 以圖IOa的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖北的交變信號(hào)；圖Ila:第一調(diào)制信號(hào)；圖lib 第二調(diào)制信號(hào)；圖lie 通過(guò)圖Ila和圖lib的調(diào)制信號(hào)的疊加產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)；圖Ild 以圖Ilc的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖3a的交變信號(hào)；
圖lie 以圖lie的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的圖3b的交變信號(hào)。
具體實(shí)施例方式
圖1以示意圖示出等離子供電裝置10。在等離子室11中設(shè)置有襯底12，所述襯底12由多個(gè)磁控管13、14、15鍍膜。磁控管可以由具有磁體的雙陰極裝置構(gòu)成。襯底12的鍍膜由此盡可能均勻地進(jìn)行?；旧希ㄟ^(guò)每個(gè)磁控管13、14、15實(shí)施各自的等離子工藝。 磁控管13、14、15分別由功率供給單元16、17、18供給功率。功率供給單元16、17、18是所謂的MF供電裝置。這意味著，它們產(chǎn)生交變信號(hào)，所述交變信號(hào)產(chǎn)生10至500kHz范圍內(nèi)的頻率。如果交變信號(hào)沒(méi)有通過(guò)調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制，則在輸出端上提供所述交變信號(hào)并且由此控制磁控管13、14、15。在各個(gè)功率供給單元16-18中生成的交變信號(hào)可以具有不同的頻率。但是這些交變信號(hào)可以通過(guò)一個(gè)或多個(gè)調(diào)制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制，使得在功率供給單元 16、17、18的輸出端上施加經(jīng)調(diào)制的交變信號(hào)。通過(guò)調(diào)制信號(hào)，可以使施加在功率供給單元
16、17、18的輸出端上的經(jīng)調(diào)制的交變信號(hào)同步。功率供給單元16、17、18分別具有調(diào)制信號(hào)接口 19、20、21。通過(guò)調(diào)制信號(hào)接口 19、 20、21，功率供給單元16、17、18彼此連接，使得在功率供給單元16、17、18中生成的調(diào)制信號(hào)也可以被傳輸給其它的功率供給單元16、17、18。此外，可選地設(shè)置有外部的調(diào)制信號(hào)生成器22，其可以產(chǎn)生調(diào)制信號(hào)并且可以將所述調(diào)制信號(hào)輸送給至少一個(gè)功率供給單元16、
17、18。由于功率供給單元16、17、18通過(guò)調(diào)制接口19、20、21的串聯(lián)，在調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器22 中產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)也可被提供給所有的功率供給單元16、17、18。圖2以詳細(xì)示圖示例性地示出功率供給單元16、17。每個(gè)功率供給單元16、17包括一個(gè)交變信號(hào)產(chǎn)生器30、31，所述交變信號(hào)產(chǎn)生器30、31分別連接到直流供電裝置32、33 上并且具有逆變器34、35以及用于產(chǎn)生交變信號(hào)的振蕩回路36、37。此外，每個(gè)功率供給單元16、17具有調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器38、39，所述調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器38、39可以包括電弧識(shí)別裝置。 交變信號(hào)以及調(diào)制信號(hào)被提供給調(diào)制器40、41，在所述調(diào)制器40、41中產(chǎn)生輸出信號(hào)，尤其是經(jīng)調(diào)制的交變信號(hào)。此外，調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器38、39分別與調(diào)制信號(hào)輸出端42、43連接，其中，調(diào)制信號(hào)輸出端42、43分別與另一個(gè)功率供給單元16、17的至少一個(gè)調(diào)制信號(hào)輸入端 44,45連接。調(diào)制信號(hào)輸入端44、45又與調(diào)制器40、41連接，從而能夠以兩個(gè)調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器38、39的調(diào)制信號(hào)調(diào)制通過(guò)交變信號(hào)產(chǎn)生器30、31生成的交變信號(hào)。調(diào)制信號(hào)輸入端44 和調(diào)制信號(hào)輸出端42形成接口 19并且調(diào)制信號(hào)輸入端45和調(diào)制信號(hào)輸出端43形成接口 20。在圖3a中示出了交變信號(hào)50，所述交變信號(hào)50例如由交變信號(hào)產(chǎn)生器30產(chǎn)生并且具有第一頻率。在圖3b中示出了第二頻率的交變信號(hào)51，所述交變信號(hào)51例如由交變信號(hào)生成器31產(chǎn)生。如果不存在調(diào)制信號(hào)，則信號(hào)50、51作為輸出信號(hào)提供給磁控管13、14。在圖4a中示出了調(diào)制信號(hào)，所述調(diào)制信號(hào)例如由外部的調(diào)制信號(hào)生成器22產(chǎn)生。 在此情況中，調(diào)制信號(hào)52是脈沖信號(hào)。通過(guò)以信號(hào)52調(diào)制信號(hào)50產(chǎn)生在圖4b中示出的信號(hào)53。通過(guò)以調(diào)制信號(hào)52調(diào)制交變信號(hào)51產(chǎn)生在圖4c中示出的信號(hào)54?？梢钥闯?， 在位置55、56處在短時(shí)間間隔內(nèi)沒(méi)有向磁控管13、14提供功率。這同時(shí)進(jìn)行，因?yàn)橥ㄟ^(guò)調(diào)制信號(hào)52實(shí)現(xiàn)同步。
在圖fe中示出了替代的、正弦形的調(diào)制信號(hào)57。所述信號(hào)例如也可以是外部預(yù)先給定的。以調(diào)制信號(hào)57調(diào)制信號(hào)50產(chǎn)生圖恥的經(jīng)調(diào)制的交變信號(hào)58。相應(yīng)地以調(diào)制信號(hào)57調(diào)制交變信號(hào)51產(chǎn)生圖5c的信號(hào)59。在此也可以看出，通過(guò)調(diào)制信號(hào)57使具有不同的頻率的交變信號(hào)50、51同步。因此，同步地以類(lèi)似方式給向磁控管13、14輸送功率。圖6a示出另一調(diào)制信號(hào)60。通過(guò)以調(diào)制信號(hào)60調(diào)制交變信號(hào)50產(chǎn)生圖6b的信號(hào)61。通過(guò)以調(diào)制信號(hào)60調(diào)制交變信號(hào)51產(chǎn)生圖6c的信號(hào)62。在圖7a中示出了調(diào)制信號(hào)63的另一示例。如果以調(diào)制信號(hào)63調(diào)制交變信號(hào)50，則產(chǎn)生在圖7b中示出的信號(hào) 64。通過(guò)以調(diào)制信號(hào)63調(diào)制交變信號(hào)51產(chǎn)生圖7c的信號(hào)65。如從圖2的描述中可以得出的，也可以向調(diào)制器40、41輸送多個(gè)調(diào)制信號(hào)。通過(guò)調(diào)制信號(hào)52、57的疊加產(chǎn)生在圖8a中示出的調(diào)制信號(hào)66。通過(guò)以調(diào)制信號(hào)66調(diào)制交變信號(hào)50產(chǎn)生在圖8b中示出的信號(hào)67。相應(yīng)地通過(guò)以調(diào)制信號(hào)66調(diào)制交變信號(hào)51產(chǎn)生圖8c的信號(hào)68。調(diào)制信號(hào)52和60的疊加產(chǎn)生圖9a的調(diào)制信號(hào)69。以所述信號(hào)調(diào)制交變信號(hào)50產(chǎn)生圖9b的信號(hào)70，并且以信號(hào)61調(diào)制交變信號(hào)51產(chǎn)生圖9c的信號(hào)71。圖IOa繪出通過(guò)調(diào)制信號(hào)52和63的疊加而產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)72。以所述信號(hào)調(diào)制交變信號(hào)50產(chǎn)生圖IOb的信號(hào)73，并且以信號(hào)72調(diào)制信號(hào)51產(chǎn)生圖IOc的信號(hào)74。圖Ila示出例如由調(diào)制信號(hào)生成器38產(chǎn)生的并且用附圖標(biāo)記75表示的調(diào)制信號(hào)。圖lib示出例如由調(diào)制信號(hào)生成器39產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)。所述信號(hào)用附圖標(biāo)記76 表示。信號(hào)75、76既輸送給調(diào)制器40也輸送給調(diào)制器41，從而產(chǎn)生最終得到的調(diào)制信號(hào) 77。以調(diào)制信號(hào)77調(diào)制交變信號(hào)50產(chǎn)生信號(hào)78，并且以信號(hào)77調(diào)制交變信號(hào)51產(chǎn)生信號(hào)79。在此也可看出，信號(hào)78、79是彼此同步的。此外，圖Ila至lie示出功率供給單元 16,17可以將其調(diào)制信號(hào)強(qiáng)制地施加給其它的功率供給單元16、17。
權(quán)利要求
1.等離子功率供給裝置(10)，具有多個(gè)功率供給單元(16-18)，這些功率供給單元分別包括a)交變信號(hào)產(chǎn)生器(30，31)；b)調(diào)制器(40，41)，所述調(diào)制器以至少一個(gè)調(diào)制信號(hào)(52，57，60，63，66，69，72，75，76) 調(diào)制由所述交變信號(hào)產(chǎn)生器(30，31)產(chǎn)生的交變信號(hào)(50，51)；c)調(diào)制信號(hào)輸入端G4，45)，所述調(diào)制信號(hào)輸入端與所述調(diào)制器(40，41)連接；d)調(diào)制信號(hào)輸出端G2，43)，所述調(diào)制信號(hào)輸出端與另一個(gè)功率供給單元的至少一個(gè)調(diào)制輸入端(44，4 連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子功率供給裝置，其特征在于，設(shè)有外部的調(diào)制信號(hào)生成器(22)，所述外部的調(diào)制信號(hào)生成器與至少一個(gè)功率供給單元的調(diào)制信號(hào)輸入端04， 45)連接。
3.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的等離子功率供給裝置，其特征在于，在每個(gè)功率供給單元(16-18)中設(shè)有調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器(38，39，22)，所述調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生器與所述調(diào)制器 (40，41)和/或所述調(diào)制輸出端(40，41)連接。
4.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的等離子功率供給裝置，其特征在于，一個(gè)功率供給單元(16-18)的所述調(diào)制信號(hào)輸出端(42，4 和所述調(diào)制信號(hào)輸入端(44,4 是實(shí)現(xiàn)在一個(gè)接口(19-21)中的。
5.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的等離子功率供給裝置，其特征在于，所述交變信號(hào)產(chǎn)生器(30，31)被構(gòu)造為自由振蕩器。
6.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的等離子功率供給裝置，其特征在于，所述功率供給單元(16-18)通過(guò)所述調(diào)制信號(hào)輸入端和調(diào)制信號(hào)輸出端02-45)串行地彼此連接。
7.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的等離子功率供給裝置，其特征在于，所述功率供給單元(16-18)具有用于產(chǎn)生中間電路電壓的直流電壓產(chǎn)生器(32，33)，所述交變信號(hào)產(chǎn)生器(30，31)連接到所述中間電路電壓上。
8.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的等離子功率供給裝置，其特征在于，每個(gè)功率供給單元(16-18)都連接到雙陰極單元(13-15)上。
9.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的等離子功率供給裝置，其特征在于，至少一個(gè)調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生(38，39)包括電弧識(shí)別裝置或者與電弧識(shí)別裝置連接。
10.用于運(yùn)行具有多個(gè)功率供給單元(16-18)的等離子功率供給裝置(10)的方法，其中，在每個(gè)功率供給單元(16-18)中，a)產(chǎn)生交變信號(hào)(50，51)；b)以至少一個(gè)調(diào)制信號(hào)(52，57，60，63，66，69，72，75，76)調(diào)制所產(chǎn)生的交變信號(hào)(50，51)；c)其中，作為調(diào)制信號(hào)(52，57，60，63，66，69，72，75，76)使用在相應(yīng)的功率供給單元中產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)(52，57，60，63，66，69，72，75，76)和/或外部產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)(52，57， 60,63,66,69,72,75,76)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，將在一個(gè)功率供給單元(16-18)中產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)(52，57，60，63，66，69，72，75，76)輸送給至少一個(gè)另外的功率供給單元 (16-18)。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的方法，其特征在于，將在一個(gè)功率供給單元(16-18) 中產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)(52，57，60，63，66，69，72，75，76)輸送給所有其他的功率供給單元 (16-18)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，每個(gè)功率供給單元(16-18)產(chǎn)生一個(gè)調(diào)制信號(hào)(52，57，60，63，66，69，72，75，76)，所述調(diào)制信號(hào)被分別輸送給所有其他的功率供給單元(16-18)。
14.根據(jù)以上權(quán)利要求10至13中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在至少一個(gè)功率供給單元(16-18)中產(chǎn)生經(jīng)調(diào)制的輸出信號(hào)，其方式是，以內(nèi)部生成的調(diào)制信號(hào)和外部生成的調(diào)制信號(hào)(52，57，60，63，66，69，72，75，76)調(diào)制所述交變信號(hào)(50，51)。
15.根據(jù)以上權(quán)利要求10至14中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在每個(gè)功率供給單元(16-18)中產(chǎn)生直流電壓。
16.根據(jù)以上權(quán)利要求10至15中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，由每個(gè)功率供給單元(16-18)產(chǎn)生具有IOkHz至500kHz范圍內(nèi)的頻率和>50kW的功率的交變信號(hào)(50，51)。
17.根據(jù)以上權(quán)利要求10至16中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在每個(gè)功率供給單元(16-18)中產(chǎn)生具有另一頻率的交變信號(hào)(50，51)。
18.根據(jù)以上權(quán)利要求10至17中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在至少一個(gè)功率供給單元(16-18)中實(shí)施電弧識(shí)別。
19.根據(jù)以上權(quán)利要求10至18中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在所述功率供給單元(16-18)以外產(chǎn)生調(diào)制信號(hào)(52，57，60，63，66，69，72，75，76)，并且將所述調(diào)制信號(hào)輸送給至少一個(gè)功率供給單元(16-18)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種具有多個(gè)功率供給單元(16-18)的等離子功率供給裝置(10)，這些功率供給單元(16-18)分別包括a)交變信號(hào)產(chǎn)生器(30，31)；b)調(diào)制器(40，41)，所述調(diào)制器以至少一個(gè)調(diào)制信號(hào)(52，57，60，63，66，69，72，75，76)調(diào)制由所述交變信號(hào)產(chǎn)生器(30，31)產(chǎn)生的交變信號(hào)(50，51)；c)調(diào)制信號(hào)輸入端(44，45)，所述調(diào)制信號(hào)輸入端與所述調(diào)制器(40，41)連接；d)調(diào)制信號(hào)輸出端(42，43)，所述調(diào)制信號(hào)輸出端與另一個(gè)功率供給單元的至少一個(gè)調(diào)制輸入端(44，45)連接。
文檔編號(hào)H01J37/32GK102160140SQ200880131189
公開(kāi)日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2008年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月20日
發(fā)明者P·維德穆特 申請(qǐng)人:許廷格電子兩合公司