專利名稱：離子源裝卸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種離子源裝卸裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工藝中，離子注入是半導(dǎo)體制造中的重要一步，它是把特殊材料的 離子通過能量加速注入進(jìn)晶圓(wafer)。被注入進(jìn)晶圓的離子集中在晶圓的特定的層。離子注入是將帶有一定電荷和能量的離子束，經(jīng)過電場加速和磁場選擇后射入到 晶片中，以改變或調(diào)整晶片內(nèi)某些部分的電性。為了保證離子注入的質(zhì)量，需要定期對離子注入機(jī)臺進(jìn)行維護(hù)。在對離子注入機(jī) 臺進(jìn)行定期維護(hù)的時候，重新組裝離子源(SOURCE)是每一個周期保養(yǎng)都要進(jìn)行的環(huán)節(jié)。其 中產(chǎn)生離子的離子源內(nèi)部陰極(cathode)和內(nèi)部燈絲(filament)是重要的組成部分，需要 格外的小心維護(hù)。然而由于離子源的特殊金屬材料，重量可以達(dá)到15公斤。每一次在進(jìn)行拆卸和安 裝的過程中，都非常不便。請結(jié)合參見圖1及圖2，當(dāng)安裝離子源110時，需要先將離子源110安裝在鋼套120 中，再將鋼套120插入絕緣套130中，最后裝入電弧反應(yīng)室中。在安裝的過程中，由于離子 源110的本身重量，很容易造成離子源110與鋼套120相撞，那么在震動的過程中，很可能 會造成離子源內(nèi)部陰極和內(nèi)部燈絲111的損壞。而離子源是否有損壞，很難通過肉眼判斷， 因此確認(rèn)離子源是否好壞，需要在建立高真空的狀態(tài)下，加電和高壓來進(jìn)行測試。這樣需要 大量的時間和人力。而且在安裝離子源時，需將離子源110固定在鋼套120的定位削上，通過離子源上 的0形密封環(huán)實現(xiàn)密封。在安裝的過程中，由于離子源的重量，很有可能造成位置出現(xiàn)偏 差，會導(dǎo)致電弧反應(yīng)室中的真空泄漏，不能達(dá)到需要的真空狀態(tài)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中，在定期維護(hù)離子注入機(jī)臺需要裝卸離子源時，裝卸 困難，容易損壞離子源，且在安裝離子源時無法精確定位，安裝不能密封造成離子產(chǎn)生箱體 中的真空泄漏等技術(shù)問題。有鑒于此，本發(fā)明一種離子源裝卸裝置，用于在電弧反應(yīng)室裝卸離子源，包括半 圓柱形承托架，與離子源形狀匹配，以承托所述離子源；卡套，設(shè)置在所述半圓柱形托架一 端，與所述電弧反應(yīng)室的鋼套形狀匹配，用于卡合在所述鋼套上，其中所述卡套具有一開 口，與所述離子源形狀匹配，以供所述離子源進(jìn)出；以及把手，設(shè)置在所述卡套上部。可選的，所述半圓柱形承托架中設(shè)置有柱型滑輪。 可選的，所述柱型滑輪為6個，均勻分布在所述半圓柱形承托架中?？蛇x的，所述離子源裝卸裝置的材質(zhì)是金屬硬鋼材料。本發(fā)明所提供的離子源裝卸裝置，可以在裝卸離子源時，實現(xiàn)準(zhǔn)確定位，使離子源精確的插入鋼套中。在頻繁的對離子注入機(jī)周期保養(yǎng)中，可以保證離子源的質(zhì)量，同時會提 高安裝效率。確保維護(hù)的成功率，避免重復(fù)勞動。為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合附圖， 作詳細(xì)說明如下。


圖1所示為離子源組裝示意圖；圖2所示為離子源組裝分解的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3A、圖3B所示為本發(fā)明一實施例所提供的離子源裝卸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4所示為利用本發(fā)明一實施例所提供的離子源裝卸裝置裝卸離子源的示意圖。
具體實施例方式請結(jié)合參見圖3A，圖3B，其所示為本發(fā)明一實施例所提供的離子源裝卸裝置的結(jié) 構(gòu)示意圖。在本實施例中，該離子源裝卸裝置300包括半圓柱形承托架310，與離子源110 形狀匹配，以承托所述離子源110 ；卡套320，設(shè)置在所述半圓柱形托架310 —端，與電弧反 應(yīng)室的鋼套120形狀匹配，用于卡合于所述鋼套120上，其中所述卡套320具有一開口 321， 與所述離子源形狀匹配，以供所述離子源110進(jìn)出；以及把手330，設(shè)置在所述卡套320上 部。在本實施例中，半圓柱形承托架310，是根據(jù)離子源110的形狀設(shè)計，確保離子源 可以穩(wěn)固的放在裝置上，進(jìn)行平滑的移動。在半圓柱形承托架中設(shè)置有柱型滑輪340，使離子源110可以平滑的進(jìn)入鋼套120 中，并且準(zhǔn)確的進(jìn)入定位削中，減小移動過程中的摩擦力。在本實施例中，柱型滑輪340為 6個，均勻分布在所述半圓柱形承托架340中，但本發(fā)明對此柱型滑輪的數(shù)目并不做限制?？ㄌ?20，根據(jù)鋼套120的外形進(jìn)行制作，可以準(zhǔn)確的卡在鋼套120的外緣上，確保 安裝離子源110的時候，裝置的穩(wěn)固性。離子源裝卸裝置300采用金屬硬鋼材料制作而成，保證在使用過程中的安全性和 耐久性。以下詳述利用本實施例提供的離子源裝卸裝置裝卸離子源的具體操作過程，請參 見圖4。當(dāng)需要拆卸離子源對離子注入機(jī)進(jìn)行維護(hù)時，首先，利用離子源裝卸裝置300的 卡套320卡扣在鋼套120上，將離子源裝卸裝置300固定在鋼套120上，精確定位；其次，將 離子源110通過卡套320的開口 321從鋼套120中拉出，通過柱型滑輪340，盛放在半圓柱 形托架310上；最后，利用卡套320上的把手330將承載離子源110的離子源裝卸裝置300取走。當(dāng)安裝離子源時，首先，利用卡套320上的把手330將承載離子源110的離子源裝 卸裝置300拿來；其次，利用離子源裝卸裝置300的卡套320卡扣在鋼套120上，將離子源 裝卸裝置300固定在鋼套120上，精確定位；最后，將離子源110從半圓柱形托架310上利 用柱型滑輪340，通過卡套320的開口 321插入鋼套120。由于離子源裝卸裝置的各部件都是按照所需的離子源及相關(guān)部件的規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)制成，保證了離子源裝卸的精確定位，避免了離子源在裝卸過程中遭受可能的損壞，保證離子 源的質(zhì)量，同時會提高安裝效率。綜上所述，本發(fā)明實施例所提供的離子源裝卸裝置，可以在裝卸離子源時，實現(xiàn)準(zhǔn) 確定位，使離子源精確的插入鋼套中。在頻繁的對離子注入機(jī)周期保養(yǎng)中，可以保證離子源 的質(zhì)量，同時會提高安裝效率。確保維護(hù)的成功率，避免重復(fù)勞動。雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù) 領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動與潤飾，因此 本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種離子源裝卸裝置，用于在電弧反應(yīng)室裝卸離子源，其特征在于，包括半圓柱形承托架，與離子源形狀匹配，以承托所述離子源；卡套，設(shè)置在所述半圓柱形承托架一端，與所述電弧反應(yīng)室的鋼套形狀匹配，用于卡合在所述鋼套上，其中所述卡套具有一開口，與所述離子源形狀匹配，以供所述離子源進(jìn)出；以及把手，設(shè)置在所述卡套上部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子源裝卸裝置，其特征在于，其中所述半圓柱形承托架中 設(shè)置有柱型滑輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的離子源裝卸裝置，其特征在于，其中所述柱型滑輪為6個，均 勻分布在所述半圓柱形承托架中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子源裝卸裝置，其特征在于，其中所述離子源裝卸裝置的 材質(zhì)是金屬硬鋼材料。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種離子源裝卸裝置，用于在電弧反應(yīng)室裝卸離子源，包括半圓柱形承托架，與離子源形狀匹配，以承托所述離子源；卡套，設(shè)置在所述半圓柱形承托架一端，與所述電弧反應(yīng)室的鋼套形狀匹配，用于卡合在所述鋼套上，其中所述卡套具有一開口，與所述離子源形狀匹配，以供所述離子源進(jìn)出；以及把手，設(shè)置在所述卡套上部。利用該離子源裝卸裝置，可以在裝卸離子源時，實現(xiàn)準(zhǔn)確定位，使離子源精確的插入鋼套中。在頻繁的對離子注入機(jī)周期保養(yǎng)中，可以保證離子源的質(zhì)量，同時會提高安裝效率。確保維護(hù)的成功率，避免重復(fù)勞動。
文檔編號H01J37/317GK101866802SQ20091004928
公開日2010年10月20日 申請日期2009年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月14日
發(fā)明者許鹖 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司