專利名稱：準分子燈及具備該準分子燈的燈單元的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及準分子燈及具備該準分子燈的燈單元，特別涉及在準分子 燈的端部具備燈保持部的準分子燈及具備該準分子燈的燈單元。
背景技術：
在傳統(tǒng)工藝中，如專利文獻1所示，在半導體基板或液晶基板的制作 工序中，將清洗基板作為目的，使用具備照射真空紫外線的準分子燈的燈 單元。
圖20是表示從與現(xiàn)有技術的準分子燈103的長度方向正交的切剖面觀 看的紫外線照射裝置100的結構的剖面圖，圖21是表示從圖20所示的E 一E切剖面觀看的紫外線照射裝置100的剖面圖。
如這些圖所示，紫外線照射裝置100由燈單元101(圖上方)及搬運機構 102(圖下方)構成，該燈單元101在大約箱狀地構成的筐體104內具備準分 子燈103，該搬運機構102是載置燈單元101且搬運被照射物W。
如這些圖所示，燈單元101包括由設置于燈單元101的筐體104內部 的多支準分子燈103，及收容準分子燈103且加以保持的筐體104。準分子 燈103通過燈保持體111經隔間壁110被支撐于筐體104。搬運機構102具 備多個滾子109，載置燈單元101的筐體104，而且并列配置于內部；以 及驅動體IIO，設于各滾子109的兩端，而且旋轉驅動滾子109。從搬運機 構的搬入口被搬入的被照射物W，被載置于滾子109上，通過滾子109被 旋轉驅動，被搬入至準分子燈103的正下方。被搬入的被照射物W是與準 分子燈103靠近，被照射來自準分子燈103的真空紫外線。被真空紫外線 照射的被照射物W被從搬出口搬出。
圖22是表示圖20及圖21所示的準分子燈103的立體圖，圖23是表 示圖21所示的準分子燈103的一個端部(被圓圈包圍的部位)的放大剖面圖， 圖24是表示從圖23所示的F—F切剖面所觀看的準分子燈103的一個端部 的剖面圖。如這些圖所示地，準分子燈103具備大約長方體的放電容器105，而相 對于其長度方向的垂直方向的剖面為長方形，而在放電容器105的上下兩 表面，以沿著放電容器的長度方向延伸的方式，設有網狀的一個外部電極 106及另一個外部電極107。在放電容器105的兩端，設有引線保持體112， 該引線保持體112保持一個引線114及另一個引線115，該一個引線114連 接于一個外部電極106，該另一個引線115連接于另一個外部電極107，而 從引線保持體112能夠拉出一個引線114及另一個引線115。
專利文獻1:日本特開2005—197291號公報
一般，圖22所示的準分子燈103中設的引線保持體112具備如下所示 的3種功能。 一般，第l種功能是由于引線114、 115與外部電極106， 107利用焊劑的焊接被電連接，因而由于要確保維持兩者的連接，就需要保 持引線114、 115，例如，將被連接于準分子燈103的外部電極106、 107的 引線114、 115設置于放電容器105與引線保持體112之間，而將引線114、 115壓接在放電容器105與引線保持體112之間并予以保持。第2種功能是: 被固定于放電容器105的功能，例如，在引線保持體112與放電容器105 之間的空隙填充粘合劑116，而把引線保持體112固定在放電容器105的外 表面。第3種功能是防止放電容器105外表面的外部電極106、 107間的 絕緣擊穿的功能，例如，抵接于引線114、 115的引線保持體112由具有電 絕緣性的構件所構成，防止放電容器105外表面的外部電極106、 107間的 沿面放電。
圖21至圖24的現(xiàn)有技術的引線保持體112，是具備上述的第1種至第 3種的功能，在準分子燈103與被照射物W相對配置的燈單元101中，為 了使得從準分子燈103照射在被照射物W的真空紫外線，盡量不會被氧氣 吸收而有效率地被照射在被照射物W，必須盡量靠近地配置準分子燈103 與被照射物W。準分子燈103與被照射物W間的距離，是例如必須靠近在 3 5mm的范圍。但是，圖21至圖24的現(xiàn)有技術的引線保持體112，為具 有如陶瓷的電絕緣性的構件所構成，則從放電容器105的平坦面會突出著 引線保持體112的厚度部分，而該厚度部分會使得準分子燈103與被照射 物W間的距離L10的靠近化變得困難。SP，引線保持體112的第4中功能 是必須構成為不會對準分子燈103與被照射物w的靠近配置構成妨礙。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是鑒于上述問題點，提供一種準分子燈及具備該準分子 燈的燈單元，該準分子燈具備可將準分子燈與被照射物間的距離靠近配置
在0.1~5mm的范圍的引線保持體。
本發(fā)明為了解決上述課題，而采用如下的方案-
第1方案是一種準分子燈，該準分子燈包括放電容器，具有在長度 方向上延伸的上下兩表面，而且在內部封入發(fā)光氣體； 一個外部電極，設 于上述上下兩表面中的一個面；另一個外部電極，設于上述上下兩表面中 的另一個平坦面；及引線保持體，設于上述放電容器的至少一個端部側，
其特征為上述引線保持體包括電絕緣性的引線保持部與金屬薄板所成的 平坦支撐部，通過由上述引線保持部與上述平坦支撐部夾持上述放電容器， 上述引線保持部將一個引線保持在上述引線保持部與上述放電容器的上述 一個面之間，該一個引線與上述一個外部電極電連接，上述平坦支撐部是 與上述另一個外部電極電連接，而且抵接于上述放電容器的上述另一個平 坦面。
第2方案是一種準分子燈，該準分子燈包括放電容器，具有在長度 方向上延伸的上下兩表面，且具有屈曲部，形成于在該上下兩表面之間形 成的彎曲面上或上述上下兩表面間，并且在該放電容器內部封入發(fā)光氣體; 一個外部電極，設于上述上下兩表面中的一個面；另一個外部電極，設于 上述上下兩表面中的另一個平坦面；及引線保持體，設于上述放電容器的 至少一個端部側，其特征為上述引線保持體是由平坦側支撐部所構成， 該平坦側支撐部包括具有電氣絕緣性的引線保持部與具有彈性的金屬薄 板，通過由上述引線保持部與上述平坦側支撐部夾持上述放電容器，上述 引線保持部是將一個引線保持在上述引線保持部與上述放電容器的上述一 個面之間，該一個引線與上述一個外部電極電連接，上述平坦側支撐部是 將另一個引線保持在與上述放電容器的上述另一個平坦面之間，該另一個 引線與上述另一個外部電極電連接。
第3方案是一種準分子燈，該準分子燈包括放電容器，具有在長度 方向上延伸的上下兩表面，而且在該放電容器內部封入發(fā)光氣體； 一個外 部電極，設于上述上下兩表面中的一個面；另一個外部電極，設于上述上 下兩表面中的另一個平坦面；及引線保持體，設于上述放電容器的至少一個端部側，其特征為上述引線保持體是由擴徑支撐部所構成，該擴徑支 撐部由具有電絕緣性的引線保持部，及被填充固化于該引線保持部與上述 放電容器之間的粘合構件所形成，通過將粘合構件填充固化于上述引線保 持部與上述放電容器之間，上述引線保持部是將一個引線保持在與上述放 電容器的上述一個面之間，該一個引線與上述一個外部電極電連接，上述 擴徑支撐部是將另一個引線保持在該擴徑支撐部內，該另一個引線與外部 電極部分電連接，該外部電極部分從上述另一個外部電極連續(xù)并延伸至擴 徑部，該擴徑部形成于放電容器的側面。
第4方案是一種準分子燈，該準分子燈包括放電容器，具有在長度 方向上延伸的上下兩表面，而且在該放電容器內部封入發(fā)光氣體； 一個外 部電極，設于上述上下兩表面中的一個面；另一個外部電極，設于上述上 下兩表面中的另一個面；引線保持體，設于上述放電容器的至少一個端部 側，其特征為上述放電容器是在上述兩表面間之側面形成有擴徑部，上
述引線保持體包括具有電絕緣性的引線保持部與擴徑支撐部，通過由上述 引線保持部與上述擴徑支撐部夾持上述放電容器，上述引線保持部是將一 個引線保持在與上述放電容器的上述一個面之間，上述一個引線與上述一 個外部電極電連接，上述擴徑支撐部是與上述放電容器的上述擴徑部抵接。
第5方案是在第4方案中所述的準分子燈，上述另一個外部電極具有 連續(xù)至上述放電容器的擴徑部而延伸的外部電極部分，上述擴徑支撐部是 由金屬材料所構成，通過由上述引線保持部與上述擴徑支撐部夾持上述放 電容器，使上述放電容器的外部電極部分與上述擴徑支撐部電連接。
第6方案是第1方案至第5方案中任一項所述的準分子燈，上述放電 容器具有從該放電容器的端壁部突出的晶片管，上述引線保持體具有在
引線保持部沿晶片管的管軸方向延伸的連接部；及設于從該連接部起至晶 片管的長度方向的外方的保護部。
第7方案是一種燈單元，該燈單元包括準分子燈及筐體，該筐體保持 該準分子燈并且一面開口，其特征為上述準分于燈是第1手段至第6手
段中任一方案所述的一個或多個準分子燈，該準分子燈配置成，該準分子 燈的平坦面與位于上述筐體的開口的被照射物的被照射面平行。
第8方案是一種燈單元，該燈單元包括準分子燈及筐體，該筐體保持
該準分子燈并且一面開口，其特征為上述準分子燈是第1方案至第6方案中任一方案所述的多個準分子燈，該準分子燈配置成，在與該準分子燈 的長度方向正交的方向上，上述各準分子燈的平坦面在相同平面上。
根據技術方案1至2所述的發(fā)明，第1，能夠將連接于準分子燈的外部 電極的引線設于放電容器與引線保持體之間，而將引線壓接在放電容器與 引線保持體之間并加以保持。此外，第2，能夠把引線保持體固定在放電容 器的外表面。此外，第3，通過抵接于引線的引線保持部由具有電絕緣性的 構件所構成，能夠防止放電容器的外表面的外部電極間的沿面放電。此外， 第4，由于使用金屬薄板作為平坦支撐部，因而可將平坦支撐部的厚度作成 較薄，而使得準分子燈與被照射物的靠近配置成為可能。
根據技術方案3所述的發(fā)明，第l，能夠將連接于準分子燈的外部電極 的引線設于放電容器與引線保持體之間，而將引線壓接在放電容器與引線 保持體之間并加以保持。此外，第2，能夠把引線保持體固定在放電容器的 外表面。此外，第3，通過抵接于引線的引線保持部由具有電絕緣性的構件 所構成，能夠防止放電容器的外表面的外部電極間的沿面放電。此外，第4， 由于在擴徑支撐部使用粘合劑，因而不會有引線保持部從放電容器的下部 平坦面突出的部位，而使得準分子燈與被照射物的靠近配置成為可能
根據技術方案4至5所述的發(fā)明，第l，能夠將連接于準分子燈的外部 電極的引線設于放電容器與引線保持體之間，而將引線壓接在放電容器與 引線保持體之間并加以保持。此外，第2，能夠把引線保持體固定在放電容 器的外表面。此外，第3，通過抵接于引線的引線保持部由具有電絕緣性的 構件所構成，能夠防止放電容器的外表面的外部電極間的沿面放電。此外， 第4，由于以擴徑支撐部抵接放電容器的擴徑部，因而不會有引線保持部從 放電容器的下部平坦面突出的部位，而使得準分子燈與被照射物的靠近配 置成為可能。
根據技術方案6所述的發(fā)明，通過引線保持體來保護晶片管，能夠防 止晶片管的損傷。
根據技術方案7所述的發(fā)明，能夠實現(xiàn)一種燈單元，該燈單元使得準 分子燈與被照射物的靠近配置成為可能。
根據技術方案8所述的發(fā)明，能夠實現(xiàn)一種燈單元，該燈單元使得放 電容器與被照射物的靠近配置成為可能，而且對于具有準分子燈的長度方 向的長度以上的寬度的被照射物W，也能夠照射真空紫外線。


圖1是表示沿著第1實施方式的發(fā)明的準分子燈5的長度方向的切剖 面所觀看的紫外線照射裝置1的構成的剖面圖。
圖2是表示圖1中所示的準分子燈5的一個端部(以虛線圓圈所圍繞的 部位)的擴大圖。
圖3是表示準分子燈5的構成的立體圖。
圖4(a)及圖4(b)是表示從圖3所示的準分子燈5的A—A切剖面所觀看 的剖面圖及從圖3所示的準分子燈5的B—B切剖面所觀看的剖面圖。
圖5是表示與第1實施方式的準分子燈5及放電容器的形狀不相同的 變形例的準分子燈5的剖面圖。
圖6是表示關于第2實施方式的發(fā)明，從正交于準分子燈5的長度方 向的剖面所觀看的引線保持體的構成的剖面圖，該準分子燈5與第1實施 方式中的圖4(b)所示的準分子燈5的剖面圖相對應。
圖7是表示關于第2實施方式變形例的發(fā)明，從正交于準分子燈5的 長度方向的剖面所觀看的引線保持體54的構成的剖面圖，該準分子燈5與 第1實施方式中圖5所示的準分子燈5的剖面圖相對應。
圖8是表示沿著第3實施方式的發(fā)明的準分子燈5的長度方向的切剖 面所觀看的紫外線照射裝置1的構成的剖面圖。
圖9是表示圖1中所示的準分子燈5的一個端部(以虛線圓圈所圍繞的 部位)的擴大圖。
圖10是表示準分子^^5的構成的立體圖。
圖11是表示從圖10所示的準分子燈5的C一C切剖面所觀看的剖面圖。
圖12是表示放電容器51的局部立體圖，該放電容器51為除掉圖10 所示的準分子燈5的一個端部的引線保持部54的狀態(tài)的放電容器51。
圖13(a)至圖13(c)是表示關于第4實施方式的發(fā)明，從與第3實施方式 中圖11所示的準分子燈5的剖面圖相對應的、準分子燈5的長度方向正交 的剖面所觀看的引線保持體54B的構成的斷面圖。
圖14(a)及圖14(b)是表示關于第4實施方式的發(fā)明，圖13所示的引線 保持體54B的變形例1的引線保持體54B的構成的剖面圖。
圖15(a)至圖15(c)是表示關于第4發(fā)明，圖13所示的引線保持體54的變形例2的引線保持體的構成的剖面圖。
圖16是表示關于第4實施方式的發(fā)明，圖13所示的引線保持體54的 變形例3的引線保持體54B的構成的剖面圖。
圖17(a)至圖17(c)是表示從通過沿著第5實施方式的發(fā)明的準分子燈5 的長度方向的晶片管41C1的切剖面所觀看的準分子燈5的局部斷面圖。
圖18是表示從沿著第6實施方式的發(fā)明中的準分子燈5的長度方向的 切剖面所觀看的紫外線照射裝置1的構成的剖面圖。
圖19是表示從圖18所示的紫外線照射裝置1的D—D切剖面所觀看 的紫外線照射裝置l的剖面圖。
圖20是表示從相對于現(xiàn)有技術的準分子燈103的長度方向正交的切剖 面所觀看的紫外線照射裝置100的構成的剖面圖。
圖21是表示圖20所示的E—E切剖面所觀看的紫外線照射裝置100的 剖面圖。
圖22是表示圖20及圖21所示的準分子燈103的立體圖。
圖23是表示圖21所示的準分子燈103的一個端部(以圓圈所圍繞的部
位)的擴大剖面圖。
圖24是表示從圖23所示的F—F切剖面所觀看的準分子燈103的一個
端部的剖面圖。
附圖標記
1:紫外線照射裝置，2:燈單元，3:搬運機構，31:滾子，32:驅動 部，4:筐體，41:隔間壁，5:準分子燈，51:放電容器，511: —個平坦 面，512:另一個平坦面，513:屈曲部(擴徑部)，514:擴徑部，51A:
放電容器，51A1:彎曲面，51A2:平坦面，51A3:屈曲部(縮徑部)，51B: 放電容器，51B1:彎曲面，51B2:擴徑部，51B3:平坦面，51C:放電容 器，51C1:晶片管，52: —個外部電極，53:另一個外部電極，531:外部 電極部分，54:引線保持體，541:引線保持部，5411:平板部分，5412: 突出部分，5413:溝，542A:平坦側支撐部，543:螺合體(螺栓)，54A: 引線保持體，54A1:引線保持部54A11:平板部分，54A12:突出部分， 54A13:溝，54A2:擴徑支撐部，54B:引線保持體，54B1:引線保持部， 54B11:平板部分，54B12:突出部分，54B13:底部，54B14:溝，54B2:擴徑支撐部，54B21:底部，54B22:傾斜面，54B23:水平面，54B24:空 隙，54C:引線保持體，54C1:擴徑支撐部兼引線保持部，54C2:擴徑支 撐部，54C11:平板部分，54C12:突出部分，54C13:傾斜面，54C14:側 面，54C21:垂直部分，54C22:傾斜面，54C23:底部，54D:引線保持體， 54D1:引線保持部，54D2:連接部，54D3:保護部，55:第1引線，56:
另一方引線，W:被照射物。
具體實施例方式
使用圖1至圖5來說明本發(fā)明的第1實施方式。
圖1是表示從沿著本實施方式的發(fā)明的準分子燈5的長度方向的切剖
面所觀看的紫外線照射裝置1的構成的剖面圖。
如圖1所示地，該紫外線照射裝置1是由燈單元2(圖上方)及搬運機構 3(圖下方)所構成，該燈單元2在大約箱狀地所構成的筐體4具備1個或多 支準分子燈5的，該搬運機構3載置燈單元2而且搬運被照射物W。
燈單元2包括在筐體4內部，在與紙面平行的方向上并列地排列的 的多支準分子燈5，及收容準分子燈5而且加以保持的筐體4。準分子燈5 是引線保持體5設于準分子燈5的兩端，通過燈保持體52經由隔間壁41 被支撐于筐體4。搬運機構3具備載置燈單元2的筐體4，而且在內部沿 著與紙面平行的方向并列配置的多個滾子31，及設于各滾子31的兩端、而 且旋轉驅動滾子31的驅動部32。被搬入至搬運機構3內的被照射物W是 被載置于滾子31，而通過旋轉驅動滾子31，被搬入至準分子燈5的正下方。 被搬入的被照射物W是與準分子燈5靠近，從準分子燈5照射著真空紫外 線。通過真空紫外線所照射的被照射物W是被搬出至搬運機構3外。
圖2是表示圖1所示的準分子燈5的一個端部(以虛線圓圈圍繞的部位) 的擴大剖面圖。
如圖2所示地，準分子燈5的例如石英玻璃所形成的放電容器51的至 少一個端部，是利用引線保持體54所夾持。形成于放電容器51的長度方 向的一個平坦面511的一個外部電極52，是與一個引線55，例如利用焊接 手段被電連接。被電連接的一個引線55是被保持在具有電絕緣性的引線保 持部541與放電容器51的一個平坦面511之間。 一方面，形成于放電容器 51的長度方向的另一個平坦面512的另一方向外部電極53，是例如與0.1mm—5mm，較佳為0.1mm—1.5mm的金屬薄膜所成的平坦支撐部542 接觸，被電連接。此外，外部電極52， 53是例如將混合金與低熔點玻璃的 導電性糊涂敷于放電容器51的外表面而通過燒成所形成。
圖3是表示準分子燈5的構成的立體圖，圖4(a)是表示從圖3所示的準 分子燈5的A—A切剖面觀察的剖面圖，圖4(b)是表示從圖3所示的準分子 燈5的B—B切剖面觀察的剖面圖。
如這些圖所示，引線保持體54的引線保持部541，是由與放電容器 51的一個平坦面511大約平行的平板部分5411，及從平板部分5411的兩端 向大約直角方向所延伸的突出部分5412所構成。引線保持體54的平坦支 撐部542是由與放電容器51的另一個平坦面512大約平行的平板部分 5421，及從平板部分5421的兩端向大約直角方向所延伸的突出部分5422 所構成。引線保持部541的突出部分5412與平坦支撐部542的突出部分 5422，是通過軸部5431與頭部5432所成的螺合體(螺栓)543被螺合，而夾 持放電容器51。
所以，與一個外部電極52電連接的一個引線55，被埋設于引線保持部 541的平板部5411的溝5413，而被夾持在平板部分5411與放電容器51的 一個平坦面511之間，而被拉出至引線保持體54的外部。另一個外部電極 53是通過與金屬薄膜所形成的平坦支撐部542的平板部分5421電密接從而 實現(xiàn)電連接，而且平板部分5421被抵接于放電容器51的另一個平坦面512。 實現(xiàn)了與另一個外部電極53電連接的平坦支撐部542，是在突出部分5422 中，實現(xiàn)了與另一個引線56的電連接，而另一個引線56是被拉出至引線 保持體54的外部。
根據本實施方式的發(fā)明，通過引線保持體54的引線保持部541與平坦 支撐部542夾持放電容器51，引線保持部541是向放電容器51作用著力量， 被夾在引線保持部541與放電容器51的一個引線55被固定。g口，能夠發(fā) 揮先前所述的、保持引線保持體54的一個引線55的第1功能。又，例如 如果以具有氟樹脂所形成的柔軟性的被覆體被覆一個引線55，則被夾在引 線保持部541與放電容器51之間的一個引線55，是引線保持部541與放電 容器51所接觸的外表面形狀會變形。由此，引線保持部541與一個引線55 的接觸面積變大，由于放電容器51與一個引線55的接觸面積變大，因而 即使施加著從一個引線55被引拉等的外部而來的負荷，因為利用一個引線55也把接觸面積變大，因而以該接觸面作用著摩擦力，而以該摩擦力可承 受對于一個引線55的負荷，
此外，根據本實施方式的發(fā)明，在平坦支撐部542與放電容器51面接 觸的狀態(tài)下，引線保持部541與平坦支撐部542夾持放電容器51。此時， 即使僅在放電容器51施加負荷，也利用與平坦支撐部542的面接觸，摩擦 力作用在雙方的抵接面，而維持著引線保持體54與放電容器51的一體狀 態(tài)。即，能夠發(fā)揮先前所述的引線保持體54被固定于放電容器51的第2 功能。
此外，根據本實施方式的發(fā)明，當點亮燈時在一個外部電極52施加有 高頻高電壓。所以一利用由具有電氣絕緣性的構件構成引線保持部541，該 引線保持部541保持向一個外部電極52供電的一個引線55，能夠防止通過 引線保持部541的外部電極52、 53間或引線55、 56間的絕緣擊穿。艮P， 能夠發(fā)揮先前所述的防止放電容器51外表面的外部電極52、 53間的絕緣 擊穿的第3功能。
并且，根據本實施方式的發(fā)明，利用金屬薄板構成平坦支撐部542,能 夠將該厚度L2作成比由電絕緣體所構成的構件的厚度L1還要薄。B卩，能 夠發(fā)揮先前所述的抑制對于放電容器51的另一個平坦面511(與被照射物W 相對的一邊的面)的突出的第4功能。此外，由于形成于另一個平坦面512 的另一個外部電極53與平坦支撐部542通過電連接被連接，因而能夠縮短 放電容器51的另一個平坦面512與平坦支撐部542之間的已知的引線的直 徑大小的距離，而能夠更縮短平坦支撐部542與被照射物W的距離L3。另 外，通過將平坦支撐部542作成供電構件或接地構件，而將另一個引線56 連接于平坦支撐部542的突出部分5422，使得簡便地設置另一個引線56成 為可能。
圖5是表示與第1實施方式的準分子燈5(與圖4(b)的準分子燈5的剖 面圖相對應)放電容器的形狀不相同的變形例所示的準分子燈5的剖面圖。
如圖5所示地，在該準分子燈5中，放電容器51A是底面形成平坦面 51A2，而上表面形成彎曲面51A1。 一個引線55是被埋設在溝5413，該溝 5413設于引線保持部541的平板部分5411，該一個引線55被夾持在引線 保持部541的平板部分5411與放電容器51A的彎曲面51A1的頂點之間。 放電容器51A的平坦面51A2是與平坦支撐部542抵接。由于其他構成是與圖4(b)的準分子燈5的相同標記的構成相對應，因而省略其說明。
在該變形例的準分子燈5中，也與圖4(b)所示的準分子燈5同樣地，
引線保持體54是能夠發(fā)揮先前所述的第1至第4的功能。 使用圖6及圖7來說明本發(fā)明的第2實施方式。
圖6是表示有關于本實施方式的發(fā)明，與第1實施方式的圖4(b)的準 分子燈的剖面圖相對應的，從正交于準分子燈5的長度方向的切剖面所觀 看的引線保持體54的構成的剖面圖，圖7是表示本實施方式的變形例的發(fā) 明，與第1實施方式的圖5所示的準分子燈的剖面圖對應的，從正交于準 分子燈5的長度方向的切剖面觀看的引線保持體54的構成的剖面圖。
在圖6所示的準分子燈5中，從放電容器51的另一個平坦面512所延 伸的屈曲部(擴徑部)513，設置成與具有彈性的金屬薄板所形成的平坦側支 撐部542A的一部分接觸。此外，在圖7所示的準分子燈5中，正交于放電 容器51A的長度方向的切剖面由彎曲面51A1與平坦面51A2所構成，而形 成于放電容器51A的彎曲面51A1與平坦面51A2的交界線的屈曲部(縮徑 部)51A3，設置成與具有彈性的金屬薄板所形成的平坦側支撐部542A點接 觸。另外，圖6及圖7的其他構成由于是與圖4(b)所示的準分子燈5的相 同標記的構成，因而省略說明。
根據本實施方式的發(fā)明，在圖6中，放電容器51的屈曲部(擴徑部)513 與引線保持體54的平坦側支撐部542A點接觸，而在圖7中，放電容器51A 的屈曲部(擴徑部)51A3與引線保持體54的平坦側支撐部542A點接觸。所 以，由于放電容器51(51A)是利用引線保持體54被夾持，因而通過從不同 的3方向對放電容器51(51A)施加推壓，將引線保持體54固定于引線保持 體51(51A)。 g卩，能夠發(fā)揮先前所述的引線保持體54被固定于放電容器 51(51A)的第2功能。
此外，根據本實施方式的發(fā)明，由于引線保持體54的平坦側支撐部 542A是由金屬薄板所構成，因而與由電絕緣體所成的構件來構成該厚度的 情形相比較，能夠將該厚度作成還要薄。S卩，能夠發(fā)揮抑制對于放電容器 51(51A)的平坦面512(51A2)(與被照射物W相對的一邊的一面)的突出的第4 功能。此外，通過將平坦側支撐部542A作為供電構件或接地構件，把平坦 側支撐部542A與位于放電容器51(51A)的屈曲部513(51A3)的另一個外部 電極53進行接觸從而電連接，由于可將另一個引線56設于平坦側支撐部542A，因而使得抽出另一個引線56變得容易。
另外，在本實施方式的發(fā)明，也與第1實施方式的發(fā)明同樣地，也能 夠發(fā)揮先前所述的保持引線保持體54的第1引線55的第1功能，及防止 放電容器51(51A)外表面的外部電極52、 53間的絕緣擊穿的第3功能。
使用圖8至圖12來說明本發(fā)明的第3實施方式。
圖8是表示從沿著本實施方式的發(fā)明的準分于燈的長度方向的切剖面 觀看的紫外線照射裝置1的構成的剖面圖。
如同圖所示，該紫外線照射裝置l由燈單元2(圖上方)和搬運機構3(圖 下方)所構成，該燈單元2在大約箱狀地構成的筐體4內具備1個或多個準 分子燈5，該搬運機構3載置燈單元2而且搬運被照射物W。另外，其他 的構成是除了引線保持體54A的構成以外，由于與圖1所示的相同標記的 構成對應，因而省略其說明。
圖9是表示圖1所示的準分子燈5的一個端部(以虛線圓圈圍繞的部位) 的擴大剖面圖。
如同圖所示，準分子燈5的放電容器51的至少一個端部，是通過引線 保持體54所夾持。形成于放電容器51的長度方向的一個平坦面511的一 個外部電極52，與一個引線55，通過例如焊接手段電連接。被電連接的一 個引線55是被保持在具有電絕緣性的引線保持部54A1與放電容器51的一 個平坦面511之間。一方面，在放電容器51的長度方向的另一個平坦面512 形成的另一方向外部電極53,是如下述地，與另一個引線56，通過例如焊 接而被電連接，而從引線保持體54A被抽出至外部。
圖10是表示準分子燈5的構成的立體圖，圖11是表示從圖IO所示的 準分子燈5的C一C切剖面所觀看的剖面圖，圖12是表示除掉圖10所示的 準分子燈5的一個端部的引線保持體54的狀態(tài)的放電容器51的局部立體 圖。
如此些圖所示，引線保持體54A，包括引線保持部54A1及擴徑支撐部 54A2，該引線保持部54A1由與放電容器51的一個平坦面511大約平行的 平板部分54A11，及從平板部分54A11的兩端向大約直角方向所延伸的突 出部分54A12所構成，并具有電絕緣性，該擴徑支撐部54A2為從放電 容器51的平坦面511、 512向同方向擴徑的擴徑部514、引線保持部54A1 的平板部分54A11、突出部分54A12所圍繞的并由無機粘合構件所填充的領域所形成。
一個引線55是與一個外部電極52利用焊劑等被電連接，且被埋設于 引線保持部54A1的平板部54A11的溝54A13,而被夾持在平板部分54A11 與放電容器51的一個平坦面511之間，而被拉出至引線保持體54A的外部。 另一個外部電極53是從另一個外部電極53的一部分延伸的外部電極部分 531延伸至放電容器51的擴徑部514所形成。另一個引線56是利用焊劑等 被電連接在外部電極部分531，且通過由無機粘合劑所形成的擴徑支撐部 54A2內被拉出至引線保持體54A的外部。
根據本實施方式的發(fā)明，通過引線保持體54A的引線保持部54A1與 擴徑支撐部54A2夾持放電容器51，而引線保持部54A1與擴徑支撐部54A2 是向放電容器51作用著夾持的力量，被夾在引線保持部54A1與放電容器 51的一個引線55被固定。g卩，能夠發(fā)揮保持引線保持體54A的一個引線 55的第1功能。并且，如果以具有柔軟性的被覆體被覆一個引線55，則被 夾在引線保持部54A1與放電容器51之間的一個引線55，是引線保持部 54Al與放電容器51所接觸的外表面形狀會變形。由此，引線保持部54A1 與一個引線55的接觸面積變大，由于放電容器51與一個引線55的接觸面 積變大，因而即使施加著從一個引線55被引拉等的外部而來的負荷，因為 利用一個引線55也把接觸面積變大，因而以該接觸面作用著摩擦力，而以 該摩擦力可承受對于一個引線55的負荷。
此外，根據本實施方式的發(fā)明，在擴徑支撐部54A2是用無機粘合劑被 填充固化的狀態(tài)下，引線保持部54A1與擴徑支撐部54A2夾持放電容器51 。 此時，即使僅在放電容器51施加負荷，也通過擴徑支撐部54A2的無機粘 合劑，粘合于放電容器51的擴徑部514，而維持著引線保持體54A與放電 容器51的一體狀態(tài)。即，能夠發(fā)揮引線保持體54A被固定于放電容器51 的第2功能。
此外，根據本實施方式的發(fā)明，當點亮燈時在一個外部電極52施加有 高頻高電壓。所以，利用以具有電性絕緣性的構件構成引線保持部54A1， 該引線保持部54A1保持向一個外部電極52供電的一個引線55，能夠防止 通過引線保持部54A1的外部電極52、 53間或引線55、 56間的絕緣擊穿。 即，能夠發(fā)揮防止放電容器51外表面的外部電極52、 53間的絕緣擊穿的 第3功能。并且，根據本實施方式的發(fā)明，引線保持體54A是不存在由放電容器 51的另一個平坦面512向下部突出的部分。所以，放電容器51與被照射物 W是與引線保持體54A無關地可靠近。g卩，可發(fā)揮抑制對于放電容器51 的另一個平坦面512(與被照射物W相對的一邊的面)的突出的第4功能。此 外，由另一個外部電極53所延伸的外部電極部分531被形成于放電容器51 的擴徑部514，而由于另一個引線56與外部電極部分531，利用例如焊劑 被電連接，因而也能夠避免位于放電容器51的另一個平坦面512下部的已 知的另一個引線56的直徑大小的距離，而可縮短另一個平坦面512與被照 射物W的距離。
使用圖13至圖16來說明本發(fā)明的第4實施方式
圖13是表示有關于本實施方式的發(fā)明，與第3實施方式的圖11所示 的準分子燈的剖面圖相對應的、從正交于準分子燈5的長度方向的切剖面 所觀看的引線保持體54B的構成的剖面圖。
圖13(a)是表示準分子燈5的短邊方向的長度為L6，而準分子燈5的厚 度為L5時的引線保持體54B的構成的剖面圖，圖13(b)是表示準分子燈5 的厚度比圖13(a)的準分子燈的厚度L5還要厚的厚度L7時的引線保持體 54B的構成的剖面圖，圖13(c)是表示準分子燈的短邊方向的長度比圖13(a) 的準分子燈的短邊方向的長度L6還要長的長度L8時引線保持體54B的構 成的剖面圖。
如圖13(a)所示，引線保持體54B是由引線保持部54B1與擴徑支撐部 54B2所構成，而引線保持部54B1是由與放電容器51的一個平坦面511大 約平行的平板部分54B11，及從該平板部分54B11的兩端向大約直角方向 延伸的突出部分54B12所構成。擴徑支撐部54B2是由與放電容器51的 另一個平坦面512位于相同面的底部54B21，及與放電容器51的擴徑部514 接觸而支撐放電容器51的傾斜面54B22,及與引線保持部54B1的突出部 分54B12的底部54B13接觸的水平面54B23所構成。使擴徑支撐部54B2 的水平面54B23與引線保持部54B1的底部54B13接觸，通過螺臺體(螺 栓)543螺合兩者，由此夾持放電容器51。
圖13(b)是表示圖13②所示的放電容器51與短邊方向的長度L6是相 同、比放電容器51的厚度L5還要厚的L7時的引線保持體54B的狀態(tài)的圖。 此時，擴徑支撐部54B2與引線保持部54B1螺合之際，調節(jié)根據螺合體(螺栓)543的螺合量。結果，擴徑支撐部54B2的水平面54B23與引線保持部 54B1的底部54B13是隔著間隔被螺合，而可夾持放電容器51。
圖13(c)是表示圖13(a)所示的放電容器51的厚度L5是相同、比放電容 器51的短邊方向的長度L6還要長的L8時的引線保持體54B的狀態(tài)的圖。 此時，在擴徑支撐部54B2與引線保持部54B1的螺合之際，調節(jié)根據螺合 體(螺栓)543的螺合量。結果，擴徑支撐部54B2的水平面54B23與引線保 持部54B1的底部54813是隔著間隔，擴徑支撐部54B2的底部54B21從放 電容器51的另一個平坦面512朝下方溢出的狀態(tài)下被螺合，而夾持放電容 器51。
在此些圖中，與一個外部電極52電連接的一個引線55，被埋設于引線 保持部54B1的平板部分54B11的溝54B14,而被夾持在平板部分54B11 與放電容器51的一個平坦面511之間，而被拉出至引線保持體54B的外部。 如圖12所示，另一個外部電極53是將另一個外部電極53所延伸的外部電 極部分531形成于放電容器51的擴徑部514，通過由金屬材料來構成擴徑 支撐部54B2，由此抵接外部電極部分531與擴徑支撐部54B2而實現(xiàn)電連 接，而從擴徑支撐部54B2利用如焊劑電連接另一個引線56，另一個引線 56是被拉出至引線保持體54B的外部。通過如此地構成，也可除去位于放 電容器51的另一個平坦面512下部的已知的另一個引線56的直徑大小的 距離，從而可縮短另一個平坦面512與被照射物W的距離。
根據本實施方式的發(fā)明，通過引線保持體54的引線保持部54B1與擴 徑支撐部54B2夾持放電容器51，擴徑支撐部54B2是向放電容器51作用 著力量，被夾在引線保持部54B1與放電容器51的一個引線55被固定，從 而可發(fā)揮先前所述的保持引線保持體54B的一個引線55的第1功能。
此外，根據本實施方式的發(fā)明，在擴徑支撐部54B2的傾斜面54B22 與放電容器51的擴徑部514接觸的狀態(tài)下，引線保持部54B1與擴徑支撐 部54B2夾持放電容器51。此時，即使僅在放電容器51施加負荷，也通過 與擴徑支撐部54B2的接觸，在雙方的抵接面作用著摩擦力，而維持著引線 保持體54B與放電容器51的一體狀態(tài)，可發(fā)揮先前所述的引線保持體54B 被固定于放電容器51的第2功能。
此外，根據本實施方式的發(fā)明，利用由具有電氣絕緣性的構件構成引 線保持部54Bl，該引線保持部54B1保持向一個外部電極52供電的一個引線55，可防止通過引線保持部54B1的外部電極52、 53間或引線55、 56 間的絕緣擊穿，可發(fā)揮先前所述的防止放電容器51外表面的外部電極52、 53間的絕緣擊穿的第3功能。
此外，根據本實施方式的發(fā)明，除了圖13(c)的情形以外，引線保持體 54B不存在著由放電容器51的另一個平坦面512向下部突出的部分。所以， 放電容器51與被照射物W是與引線保持體54B無關地可靠近。即，可發(fā) 揮抑制對于放電容器51的另一個平坦面512(與被照射物w相對的一邊的面) 的突出的第4功能。
圖14是表示關于本實施方式的發(fā)明，表示圖13的引線保持體54B的 變形例1的引線保持體54B的構成的剖面圖。圖14(a)是表示準分子燈5的 短邊方向的長度為L6，而準分子燈5的厚度為L5時的引線保持體54B的 構成的剖面圖，圖14(b)是表示準分子燈的短邊方向的長度是比圖14(a)的準 分子燈的短邊方向的長度L6還要長的長度L8時的引線保持體54B的構成 的剖面圖。
如這些圖所示，在擴徑支撐部54B2中在螺臺體543被螺合的周邊部， 螺合體(螺栓)543在相對于螺合方向的直角方向上可移動，設置有在螺合方 向無法移動的空隙54B24。通過如此地構成，在圖13(c)中，準分子燈的短 邊方向的長度是比圖13(a)的準分子燈短邊方向的長度L6還要長的L8時， 放電容器51的另一個平坦面512在向下方溢出擴徑支撐部54B2的底部 54B21的狀態(tài)下被螺合，如圖14(b)所示，通過將螺合體(螺栓)543在擴徑支 撐部54B2的空隙54B24向放電容器51的短邊方向移動加以螺合，可將放 電容器51的另一個平坦面512與擴徑支撐部54B2的底部54B21維持在相 同面的狀態(tài)。
根據本實施方式的變形例1的發(fā)明，與本實施方式的圖13的發(fā)明同樣 地，也可發(fā)揮第1至第4的功能。
圖15是表示關于本實施方式的發(fā)明，表示圖13的引線保持體54B的 變形例2所示的引線保持體54C的構成的剖面圖。
圖15(a)是表示準分子燈5的短邊方向的長度為L6，而準分子燈5的厚 度為L5時的引線保持體54C的構成的剖面圖，圖15(b)是表示準分子燈5 的厚度是比圖15(a)的準分子燈的厚度L5還要厚的厚度L7時的引線保持體 54C的構成的剖面圖，圖15(c)是表示準分子燈5的短邊方向的長度是比圖15(a)的準分子燈5的短邊方向的長度L6還要長的長度L8時引線保持體54C 的構成的剖面圖。
如圖15(a)所示，引線保持體54C包括擴徑支撐部兼引線保持體54C1 與擴徑支撐部54C2，擴徑支撐部兼引線保持體54C1包括與放電容器51 的一個平坦面511大約平行的平板部分54C11;從該平板部分54C11的一 端向大約直角方向延伸的突出部分54C12;及在該突出部分54C12的一部 分與放電容器51的擴徑部514接觸而支撐放電容器51的傾斜面54C13。 擴徑支撐部54C2包括:與擴徑支撐部兼引線保持部54C1的平板部分54C11 的一端的側面54C14相對向的垂直部分54C21;及在該垂直部分54C21的 一部分與放電容器51的擴徑部514接觸而支撐放電容器51的傾斜面 54C22。在擴徑支撐部54C2的垂直部分54C21與擴徑支撐部兼引線保持部 54C1的平板部分54C11的側面54C14接觸的方向上，將兩者利用螺合體(螺 栓)543加以螺合，由此夾持放電容器51。
圖15(b)是表示圖15(a)所示的放電容器51與短邊方向的長度L6是相 同，比放電容器51的厚度L5還要厚的L7時的引線保持體54C的狀態(tài)的圖。 此時擴徑支撐部兼引線保持部54C1的側面54C14與擴徑支撐部54C2的垂 直部分54C21間的螺合之際，調節(jié)根據螺合體(螺栓)543的螺合量。結果， 擴徑支撐部兼引線保持部54C1的側面54C14與擴徑支撐部54C2的垂直部 分54C21是隔著間隔被螺合，而可夾持放電容器51。
圖15(c)是表示圖15(a)所示的放電容器51的厚度L5是相同，比放電容 器51的短邊方向的長度L6還要長的L8時的引線保持體54C的狀態(tài)的圖。 此時，在擴徑支撐部兼引線保持部54C1的側面54C14與擴徑支撐部54C2 的垂直部分54C21間的螺臺之際，調節(jié)根據螺臺體(螺栓)543的螺合量。結 果，擴徑支撐部兼引線保持部54C1的側面54C14與擴徑支撐部54C2的垂 直部分54C21是隔著間隔被螺合，而可夾持放電容器51。
如這些圖所示，在圖15(b)中，通過螺合體(螺栓)543螺合擴徑支撐部兼 引線保持部54C1與擴徑支撐部54C2，由此，放電容器51的另一個平坦面 512與擴徑支撐部54C2的底部54C23以向上方縮入的狀態(tài)被螺合。此外， 如圖15(c)所示，通過螺合體(螺栓)543螺合擴徑支撐部兼引線保持部54C1 與擴徑支撐部54C2，由此，以相同面狀態(tài)能夠螺合放電容器51的另一個 平坦面512與擴徑支撐部54C2的底部54C23。根據本實施方式的變形例2的發(fā)明，與本實施方式的圖13的發(fā)明同樣 地，也可發(fā)揮第1至第4的功能。
圖16是表示關于本實施方式的發(fā)明，表示圖示于第13圖的引線保持 體54B的變形例3的引線保持體54B的構成的斷面圖。
如圖16所示地，放電容器51B包括正交于放電容器51B的長度方向 的切剖面具有擴徑部51B2的彎曲面51B1與平坦面51B3。引線保持體54B 包括引線保持部54B1與擴徑支撐部54B2，引線保持部54B1包括與放電 容器51B的平坦面51B3大約平行的平板部分54B11 ，及從該平板部分54B11 的兩端向大約直角方向延伸的突出部分54812。擴徑支撐部54B2包括與 放電容器51B的平坦面51B3位于相同面的底部54B21,及與放電容器51B 的擴徑部51B2接觸且支撐放電容器51B的傾斜面54822，及相對于與引線 保持部54B1的突出部分54B12的底部54B13接觸的方向的水平面54B23。 將兩者利用螺合體(螺栓)543螺合于接觸擴徑支撐部54B2的水平面54B23 與引線保持部54B1的底部54B13的方向，由此，夾持放電容器51。
根據本實施方式的變形例3的發(fā)明，與本實施方式的圖13的發(fā)明同樣， 也可發(fā)揮第1至第4的功能。
使用圖17來說明本發(fā)明的第5實施方式。圖17是表示從通過沿著本 實施方式的發(fā)明的準分子燈5的長度方向的晶片管51C1的切剖面所觀看的 準分子燈5的局部剖面圖，圖17(b)是表示從圖17(a)所示的準分子燈5的X 方向所觀看的準分子燈5的側視圖，圖17(c)是表示除掉設于圖17(a)、圖 17(b)中所示的放電容器51C的兩端的引線保持體54D的狀態(tài)的放電容器 51C的構成的立體圖。
如這些圖所示，該準分子燈5是在放電容器51C的兩端形成有晶片管 51Cl。由于該晶片管51C1的前端由放電容器51C的兩端突出，因而會與 其他物體相撞而破損的可能性。所以，在引線保持體54D設置連續(xù)于引線 保持部54D1的連接部54D2,及從連接部54D2可覆蓋晶片管51C1的前端 的方式所形成的保護部54D3。另外，由于其他的構成是與表示于第3實施 方式的圖11的引線保持體54A的構成相對應，因而省略說明。此外，作為 被適用于使用晶片管51C1的準分子燈5的引線保持體54D，也可適用表示 于其他實施方式的引線保持體54、 54B、 54C。
使用圖18及圖19來說明本發(fā)明的第6實施方式。圖18是表示從沿著本實施方式的發(fā)明的準分子燈5的長度方向的切剖面所觀看的紫外線照射 裝置1的構成的剖面圖，圖19是表示從圖18所示的紫外線照射裝置1的D —D切剖面所觀看的紫外線照射裝置1的剖面圖。
如圖18所示，該紫外線照射裝置1包括燈單元2(圖上方)及搬運機構 3(圖下方)，該燈單元2是由在大約箱狀地所構成的筐體4具備準分子燈5， 該搬運機構3載置燈單元2而且搬運被照射物W的。本實施方式的發(fā)明是 與記載于表示于第1實施方式的圖1的紫外線照射裝置1的多個準分子燈5 同樣，配置于相同平面上，但與表示于第1實施方式的圖1的紫外線照射 裝置1，多個準分子燈5排列成與準分子燈5的長度方向正交的方向而互相 地向長度方向偏位的所謂鋸齒狀地排列的點不相同。此外，其他的構成是 與表示于圖1的相同標記對應的構成，因而省略說明。
根據本實施方式的發(fā)明，對于具有準分子燈的長度方向的長度以上的 寬度的被照射物W，也可照射真空紫外線。
權利要求
1、一種準分子燈，具備放電容器，具有在長度方向上延伸的上下兩表面，而且在該放電容器內部封入發(fā)光氣體；一個外部電極，設于上述上下兩表面中的一個面；另一個外部電極，設于上述上下兩表面中的另一個平坦面；及引線保持體，設于上述放電容器的至少一個端部側，其特征在于上述引線保持體包括具有電絕緣性的引線保持部；及金屬薄板所形成的平坦支撐部，通過由上述引線保持部與上述平坦支撐部夾持上述放電容器，上述引線保持部將一個引線保持在上述引線保持部與上述放電容器的上述一個面之間，該一個引線與上述一個外部電極電連接，上述平坦支撐部與上述另一個外部電極電連接，而且抵接于上述放電容器的上述另一個平坦面。
2、 一種準分子燈，具備放電容器，具有在長度方向上延伸的上下兩表面，且具有屈曲部，該 屈曲部形成于在該上下兩表面之間形成的彎曲面上或上述上下兩表面之 間，而且在該放電容器內部封入發(fā)光氣體；一個外部電極，設于上述上下兩表面中的一個面上； 另一個外部電極，設于上述上下兩表面中的另一個平坦面；及 引線保持體，設于上述放電容器的至少一個端部側， 其特征在于上述引線保持體包括具有電絕緣性的引線保持部；及具有彈性的金 屬薄板所形成的平坦側支撐部，通過由上述引線保持部與上述平坦側支撐部夾持上述放電容器，上述 弓I線保持部將一個引線保持在上述引線保持部與上述放電容器的上述一個 面之間，該一個引線與上述一個外部電極電連接，上述平坦側支撐部將另一個引線保持在上述平坦側支撐部與上述放電容器的上述另一個平坦面之間，該另一個引線與上述另一個外部電極電連 接。
3、 一種準分子燈，具備放電容器，具有在長度方向上延伸的上下兩表面，而且在該放電容器 內部封入發(fā)光氣體；一個外部電極，設于上述上下兩表面中的一個面； 另一個外部電極，設于上述上下兩表面中的另一個平坦面；及 引線保持體，設于上述放電容器的至少一個端部側， 其特征在于上述引線保持體包括具有電絕緣性的引線保持部及被填充固化于該引 線保持部與上述放電容器之間的粘合構件所形成的擴徑支撐部，通過粘合構件被填充固化于上述引線保持部與上述放電容器之間，上 述引線保持部將一個引線保持在上述引線保持部與上述放電容器的上述一 個面之間，該一個引線與上述一個外部電極電連接，上述擴徑支撐部將另一個引線保持在該擴徑支撐部內，該另一個引線 與外部電極部分電連接，該外部電極部分從上述另一個外部電極連續(xù)并延 伸至擴徑部，該擴徑部形成于放電容器的側面。
4、 一種準分子燈，具備-放電容器，具有在長度方向上延伸的上下兩表面，而且在該放電容器 內部封入發(fā)光氣體；一個外部電極，設于上述上下兩表面中的一個面； 另一個外部電極，設于上述上下兩表面中的另一個面；及 引線保持體，設于上述放電容器的至少一個端部側， 其特征在于上述放電容器在上述兩表面間的側面形成有擴徑部，上述引線保持體 包括具有電絕緣性的弓I線保持部及擴徑支撐部，通過由上述引線保持部與上述擴徑支撐部夾持上述放電容器，上述引 線保持部將一個引線保持在上述引線保持部與上述放電容器的上述一個面 之間，該一個引線與上述一個外部電極電連接，上述擴徑支撐部與上述放電容器的上述擴徑部抵接。
5、 如權利要求4所述的準分子燈，其中，上述另一個外部電極具有外部電極部分，該外部電極部分連續(xù)延伸至 上述放電容器的擴徑部，上述擴徑支撐部是由金屬材料形成，通過由上述 引線保持部與上述擴徑支撐部夾持上述放電容器，使上述放電容器的外部 電極部分與上述擴徑支撐部實現(xiàn)電連接。
6、 如權利要求1~5中任一項所述的準分子燈，其中， 上述放電容器具有從該放電容器的端壁部突出的晶片管，上述引線保持體具有連接部及保護部，該連接部在引線保持部沿晶片管的管軸方向延 伸，該保護部設于由該連接部起至晶片管的長度方向的外方。
7、 一種燈單元，具有準分子燈及筐體，該筐體保持該準分子燈并且一 面開口，其特征在于上述準分子燈是權利要求1 6項中任一項所述的1個或多個準分子燈， 該準分子燈配置成，該準分子燈的平坦面與位于上述筐體開口的被照射物 的被照射面平行。
8、 一種燈單元，具有準分子燈及筐體，該筐體保持該準分子燈并且一 面開口，其特征在于上述準分子燈是權利要求1~ 6項中任一項所述的多個準分子燈，該準 分子配置成在與該準分子燈的長度方向正交的方向上，上述各準分子燈的 平坦面在相同平面上。
全文摘要
提供具備準分子燈及具備該準分子燈的燈單元，該準分子燈被靠近配置于被照射物的導線保持體。一種準分子燈包括具有在長度方向上延伸的上下兩表面，而且在內部封入發(fā)光氣體的放電容器；設于上述上下兩表面的外部電極；及設于放電容器的端部側的引線保持體，其特征為引線保持體包括具有電絕緣性的引線保持部與金屬薄板所形成的平坦支撐部，通過由引線保持部與平坦支撐部夾持放電容器，引線保持部是將與一個外部電極電連接的一個引線保持在與放電容器的一個面之間，平坦支撐部是與另一個外部電極電連接，而且抵接于放電容器的另一個平坦面。
文檔編號H01J65/00GK101556897SQ200910134819
公開日2009年10月14日 申請日期2009年4月9日 優(yōu)先權日2008年4月10日
發(fā)明者石原肇, 竹添法隆 申請人:優(yōu)志旺電機株式會社