專利名稱：等離子體顯示器面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及等離子體顯示器面板的制造方法。更詳細(xì)而言，是涉及當(dāng) 等離子體顯示器面板的制造時去除「在前面板的保護(hù)層表面所形成的變質(zhì) 層」的方法。
背景技術(shù)：
作為用于以大畫面顯示高質(zhì)量電視圖像的顯示器裝置，對使用等離子
體顯示器面板(以下，稱為"PDP")的顯示器裝置的期待正在提高。
PDP (例如三電極面放電型PDP)，從觀看視頻影像的人角度來看， 具有將成為表面?zhèn)鹊那懊姘迮c其里側(cè)的背面板對置配置，且以密封材料密 封了它們的周邊部的結(jié)構(gòu)。在前面板與背面板之間所形成的放電空間中封 裝入氖以及氤等的放電氣體。前面板具有由形成于玻璃基板上的掃描電極 和維持電極形成的顯示電極、覆蓋這些電極的電介質(zhì)層和保護(hù)層。背面板 具有在玻璃基板上與上述顯示電極垂直方向上以條狀所形成的多個尋址 電極、覆蓋這些尋址電極的基底電介質(zhì)層、按照每個尋址電極區(qū)劃放電空 間的隔壁(rib)、和在隔壁的側(cè)面以及基底電介質(zhì)層上所形成的紅色 (R) 綠色(G) 藍(lán)色(B)的熒光體層(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。 顯示電極與尋址電極垂直相交，其交叉部構(gòu)成放電單元。這些放電單 元以矩陣狀排列，具有紅色*綠色》藍(lán)色的熒光體層的三個放電單元構(gòu)成 用于全彩色顯示的像素。在這樣的PDP中，依次在掃描電極與尋址電極 之間、以及掃描電極與維持電極之間施加規(guī)定的電壓而產(chǎn)生氣體放電。然 后，通過由該氣體放電而產(chǎn)生的紫外線，激發(fā)熒光體層，并產(chǎn)生可視光， 來實(shí)現(xiàn)彩色圖像顯示。
作為這樣的PDP的保護(hù)層的成分， 一般廣泛使用了氧化鎂(MgO)。 PDP的工作電壓依賴于該保護(hù)層的二次電子放出系數(shù)。因此，為了謀求 工作電壓的低電壓化，提出了將工作函數(shù)更小的堿土類金屬的氧化物(例如，氧化鈣、氧化鍶、氧化鋇等)作為保護(hù)層成分來使用。然而，這些堿 土類金屬的氧化物的吸濕性高，在形成保護(hù)層后能夠吸著周圍空氣中的水 分。由此，保護(hù)層的表面區(qū)域會變質(zhì)成水氧化物，存在導(dǎo)致不穩(wěn)定的放電 特性的問題。
為了處理上述問題，提出了在干燥空氣中連續(xù)進(jìn)行從保護(hù)層形成工序 后到密封工序的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)2)、或在真空中連續(xù)進(jìn)行從
保護(hù)層形成工序后到密封工序的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)3)。這樣的
方法，是試圖在保護(hù)層形成之后不使保護(hù)層吸著水分等雜質(zhì)。然而，在前 者的方法(「在干燥空氣中連續(xù)進(jìn)行從保護(hù)層形成工序后到密封工序的方 法J)中，由于在干燥空氣中含有一定量的水分或二氧化碳，所以只要其
含有量不夠小，則會經(jīng)過數(shù)10分鐘 數(shù)小時的暴露而形成變質(zhì)層(例如， 在露點(diǎn)-2(TC的干燥空氣中含有0. 1%的水分、在露點(diǎn)-40"的干燥空氣中含 有0.013%的水分、在露點(diǎn)-60。C的干燥空氣中含有0.0011% 「llppm」的水 分)。在PDP的制造工序中， 一般地，從保護(hù)層形成工序到密封工序有數(shù) 小時以上的工序貯存，假設(shè)即使使用露點(diǎn)極其低的干燥空氣(例如露點(diǎn)是 -6(TC以下的干燥空氣)，也不可避免變質(zhì)層的形成。此外，即使是后者的 方法(「在真空中連續(xù)進(jìn)行從保護(hù)層形成工序后到密封工序的方法」)，傳 輸系統(tǒng)以及密封裝置的結(jié)構(gòu)會極其復(fù)雜，并不現(xiàn)實(shí)。此外，需要將大的空 間總保持為真空，需要很高的成本。
還提出了一邊凈化吸著雜質(zhì)的保護(hù)層， 一邊進(jìn)行密封的方法。該方法 試圖通過使雜質(zhì)以氣體狀態(tài)從保護(hù)層脫離，最終去除含有雜質(zhì)的變質(zhì)層。 例如，公開了在前面板或后面板上設(shè)置第一玻璃管以及第二玻璃管，通過 一邊從第一玻璃管對面板內(nèi)部進(jìn)行排氣，一邊從第二玻璃管向面板內(nèi)部供 給干燥氣體，使面板內(nèi)部的殘留雜質(zhì)降低的方法(參照專利文獻(xiàn)4)。然 而，在此方法中，需要兩個玻璃管，所以密封裝置的結(jié)構(gòu)極其復(fù)雜，不容 易實(shí)現(xiàn)。假設(shè)即使實(shí)現(xiàn)了這些，也會由于在與供氣玻璃管近的位置和遠(yuǎn)的 位置處，干燥氣體的流速或雜質(zhì)氣體濃度產(chǎn)生很大的不同，所以在面板的 工作電壓中產(chǎn)生面內(nèi)不均(即，面板的工作電壓在面板面內(nèi)不均一)。作 為一個玻璃管，即使是在直到密封前從該玻璃管向面板內(nèi)供給干燥氣體， 并且密封后從相同的玻璃管進(jìn)行排氣的情況下，在與供氣玻璃管近的位置和遠(yuǎn)的位置處，由于在干燥氣體的流速或雜質(zhì)氣體濃度上產(chǎn)生很大的不 同，所以在面板的工作電壓中產(chǎn)生了面內(nèi)不均。
此外，還提出了通過在加熱爐內(nèi)裝入「被對置配置的前面板以及背面 板J，密閉加熱爐，此后，向加熱爐內(nèi)導(dǎo)入氛圍氣體并從加熱爐排出氣體， 來進(jìn)行面板密封的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)5)。然而，在此方法中， 干燥氣體的大多數(shù)流到面板的外部，氣體使用量會變得很大。并且，不僅 需要將加熱爐作為容器來形成密閉結(jié)構(gòu)，還需要在高溫下移動背面板，這 樣作為裝置的結(jié)構(gòu)極其復(fù)雜。在高溫下移動背面板，有引起"校準(zhǔn)偏離" 的危險性。
如上所述，在現(xiàn)有的PDP制造中，存在不能均一性良好、簡單并且
低成本地去除保護(hù)層表面的變質(zhì)層的問題點(diǎn)。 JP特開2002-216620號公報 [專利文獻(xiàn)2] JP特開2002-231129號公報 [專利文獻(xiàn)3] JP特開2000-156160號公報 [專利文獻(xiàn)4] JP特開2002-150938號公報 [專利文獻(xiàn)5] JP特開2001-35372號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題的發(fā)明。即本發(fā)明的課題是提供均一性良好、 能夠簡單并且低成本地去除保護(hù)層表面的變質(zhì)層的制造方法。
為了解決上述課題，本發(fā)明提供一種等離子體顯示器面板的制造方
法，包括
工序(i )準(zhǔn)備在基板A上形成電極A、電介質(zhì)層A和保護(hù)層的前 面板、以及在基板B上形成電極B、電介質(zhì)層B、隔壁和熒光體層的背面 板；
工序(ii)在基板A或基板B的周邊區(qū)域涂敷玻璃粉材料，并以夾 著玻璃粉材料的方式將前面板與背面板對置配置；
工序(iii)在對前面板以及背面板進(jìn)行加熱的狀態(tài)下，從前面板以及 背面板的橫向，向?qū)χ门渲玫那懊姘迮c背面板之間吹入氣體；以及
工序(iv)使玻璃粉材料熔融，使前面板和背面板密封。特別地，優(yōu)選前面板以及背面板的主面具有正方形或矩形，并且在所述工序(iii)中， 從構(gòu)成正方形或矩形的一邊的「前面板以及背面板的側(cè)部」整體地吹入氣 體。此外，保護(hù)層優(yōu)選構(gòu)成為，包含從由氧化鎂、氧化鈣、氧化鍶以及氧 化鋇構(gòu)成的組中所選擇的至少一種以上的金屬氧化物，吹入氣體優(yōu)選是對 保護(hù)層為惰性的氣體，例如從由氮?dú)?、稀有氣體以及干燥空氣構(gòu)成的組中 所選擇的至少一種以上的氣體。
本發(fā)明將從「對置配置的前面板以及背面板的側(cè)部」向它們之間的空 間橫向地吹入氣體作為特征之一。更具體的，將從前面板與背面板重合的 部分的側(cè)部，向「對置配置的前面板與背面板之間的空間」吹入氣體作為 特征之一。
在本說明書中，所謂「從前面板以及背面板的橫向吹入氣體」，是指 相對于前面板與背面板對置的方向?qū)嶋H上垂直的方向，例如實(shí)際上意味著 從"水平方向"向前面板與背面板的間隙流入氣體(參照圖1)。此外， 在本說明書中，所謂「基板A或基板B的周邊區(qū)域」，是指位于設(shè)置于基 板上的各種要素的外側(cè)的周邊區(qū)域，實(shí)際上意味著在一般的PDP制造方 法中涂敷密封材料的區(qū)域。此外，本說明書中所謂「變質(zhì)層的去除」，是 指從吸著了雜質(zhì)的保護(hù)層去除雜質(zhì)，或者，使保護(hù)層成為水氧化物或碳氧 化物的部分恢復(fù)成本來的氧化物。
在某一優(yōu)選方式中，前面板以及背面板的主面為矩形，在工序(iii) 中從成為矩形的長邊的「前面板以及背面板的側(cè)部」橫向地吹入氣體。此 外，當(dāng)電極A或電極B的引出線從一個側(cè)部a延長時，優(yōu)選從與側(cè)部a 對置的位置關(guān)系的側(cè)部b吹入氣體。
在工序(m)的「氣體的吹入」時，優(yōu)選將氣體供給部件或管嘴配置 于「前面板以及背面板的側(cè)部」。特別地，優(yōu)選使前面板以及背面板的相 互對向的面中的一方，與氣體供給部件或管嘴接觸或貼緊。即，優(yōu)選在前 面板與背面板重合的部分的側(cè)部設(shè)置氣體供給部件。使用氣體供給部件 時，優(yōu)選從設(shè)置于氣體供給部件的多個供給口并列地吹入氣體。
在某一優(yōu)選方式中，在工序(ii)中，在基板A或基板B的周邊區(qū) 域斷續(xù)地設(shè)置玻璃粉。或者，對所涂敷的玻璃粉材料設(shè)置多個槽。由此， 使前面板與背面板對置配置時形成基于玻璃粉材料的"通道"，確保所吹入的氣體的通氣路徑。
在工序(m)的實(shí)施時，可同時進(jìn)行工序(iv)。此時，由于玻璃粉 材料的熔融，在周邊區(qū)域中基板A與基板B之間被堵塞，所以"向前面
板與背面板之間的空間的氣體的吹入"自動地或自然地停止。
在某一優(yōu)選方式中，在工序(ii)中，在由前面板、背面板、氣體供 給部件以及玻璃粉材料所包圍的空間的至少一部分，設(shè)置金屬箔，以使有 效地吹入氣體。
此外，在本發(fā)明的制造方法中，在工序(iv)之后，還包括(v )對 前面板與背面板之間的空間的氣體進(jìn)行排氣，并在前面板與背面板之間封 裝入放電氣體的工序。特別地，在工序(v)中，經(jīng)由設(shè)置于前面板或背 面板的貫通孔進(jìn)行排氣以及封裝入。
根據(jù)本發(fā)明的制造方法，能夠以良好的均一性、簡單并且低成本地去 除保護(hù)層表面的變質(zhì)層，能夠得到面板壽命優(yōu)異的等離子體顯示器面板。
其詳述如以下
在本發(fā)明的制造方法中，由于是在保護(hù)層的表面附近以存在氣體流動 (例如氮?dú)獾鹊亩栊詺怏w流動)的狀態(tài)下被加熱，形成變質(zhì)層的雜質(zhì)脫離 而隨著氣體流動。所以，形成從保護(hù)層表面去除變質(zhì)層，對保護(hù)層進(jìn)行凈 化。
特別地，由于從前面板以及背面板的橫向整體吹入氣體，所以在所吹 入的氣體流動的面板面內(nèi)的均一性良好。由此，能夠使保護(hù)層的清潔度的 面內(nèi)均一性提高，能夠?qū)崿F(xiàn)提高了驅(qū)動電壓、亮度、色度等面板諸特性的
均一性的PDP。 S卩，如在專利文獻(xiàn)4中所公開的現(xiàn)有的技術(shù)中，在與供 氣玻璃管近的位置和遠(yuǎn)的位置處，吹入氣體的流速或不純氣體濃度產(chǎn)生很 大不同，所以在面板的驅(qū)動電壓、亮度、色度等中產(chǎn)生面內(nèi)不均。與「作 為一個玻璃管，直到密封前從該玻璃管向面板內(nèi)供給干燥氣體，并在密封 后從玻璃管進(jìn)行排氣」的現(xiàn)有技術(shù)相同，由于在與供氣玻璃管近的位置和 遠(yuǎn)的位置處，干燥氣體的流速或不純氣體濃度產(chǎn)生很大不同，所以在面板 的驅(qū)動電壓、亮度、色度等中產(chǎn)生面內(nèi)不均。此點(diǎn)，在本發(fā)明的制造方法 中，能夠形成大致在面內(nèi)均一的"吹入氣流"，所以可認(rèn)為保護(hù)層的清潔 度的面內(nèi)均一性良好，并能夠提高驅(qū)動電壓、亮度、色度等的面板諸特性的均一性。此外，在「作為一個玻璃管，直到密封前從該玻璃管向面板內(nèi) 供給干燥氣體，并在密封后從玻璃管進(jìn)行排氣」的情況下，需要在玻璃粉
(glass frit)材料的軟化點(diǎn)以上的溫度下減少氮?dú)獾拇等肓?，或者?shí)際上 將氮?dú)獾拇等肓吭O(shè)置為零，以使在干燥氣體的供給中兩枚基板間的內(nèi)壓不 過分上升。g卩，在此現(xiàn)有的技術(shù)中，必須在合適的時刻進(jìn)行氣體流量的變 更這點(diǎn)是很麻煩的。此點(diǎn)，在本發(fā)明的制造方法中，由于在玻璃粉材料的 軟化的同時吹入面板內(nèi)的氣體流量實(shí)際上在降低，所以有變更氣體流量的 時機(jī)可以很粗略的優(yōu)點(diǎn)。
進(jìn)一步而言，在本發(fā)明的制造方法中，能夠制造不僅在保護(hù)層的表面， 而且在背面板的隔壁或熒光體層的表面也幾乎不吸著水分或二氧化碳等 的PDP。 g卩，在所制造的PDP的內(nèi)部，幾乎不包含水分、二氧化碳等成 為使保護(hù)層表面變質(zhì)，劣化的主要因素的氣體。其結(jié)果，可實(shí)現(xiàn)一種即使 長時間驅(qū)動PDP，也防止「由于向放電空間放出H20或CCb等的不純氣
體而保護(hù)層或熒光體層發(fā)生變質(zhì)」，且放電電壓，亮度等的變化很小、面 板壽命優(yōu)異的PDP。此外，所謂「在保護(hù)層的表面沒有變質(zhì)層，沒有在 背面板上的氣體吸著」，是指實(shí)質(zhì)上不需要時效(ageing),或者即使需要 也是極短時間即可。


圖1是示意地表示本發(fā)明的概念的剖視圖。
圖2 (a)是示意地表示PDP的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2 (b)是示意地表示PDP前面板的剖視圖。
圖3是表示所涂敷的玻璃粉材料的配置的俯視圖。
圖4是示意地表示設(shè)置氣體供給部件的方式的剖視圖(沿著圖6的線 A-A'截取的剖面圖)。
圖5是示意地表示設(shè)置氣體供給部件的方式的分解立體圖。
圖6是示意地表示氣體供給口以及氣體流動的俯視圖(虛線a表示背 面?zhèn)鹊倪吘?。
圖7是示意地表示設(shè)置金屬箔的方式的剖面圖(沿著圖6的線B-B '截取的剖面圖)。圖8是表示與本發(fā)明的制造方法相關(guān)的PDP的制造工序的概略的流 程圖。
圖9是示意地表示氣體供給口與氣體導(dǎo)入槽的位置偏離的樣子的俯 視圖(虛線a表示背面?zhèn)鹊倪吘?。
圖10是在實(shí)施例中所迸行的「放電開始電壓的變動幅度的確認(rèn)試驗(yàn)」 的結(jié)果(圖10 (a)是表示現(xiàn)有例的結(jié)果，圖10 (b)是表示本發(fā)明的結(jié) 果)。
圖中l(wèi)一前面板，2 —背面板，IO —前面板側(cè)的基板A， H —前面板 側(cè)的電極A(顯示電極)，12 —掃描電極，12a—透明電極，12b—匯流電 極，13 —維持電極，13a—透明電極，13b—匯流電極，14一黑色條(遮光 層)，15 —前面板側(cè)的電介質(zhì)層A， 16—保護(hù)層，20 —背面板側(cè)的基板B， 21 —背面板側(cè)的電極B (尋址電極)，22 —背面板側(cè)的電介質(zhì)層B， 23 — 隔壁，25 —熒光體層，29 —貫通孔，30 —放電空間，32 —放電單元，38 一所涂敷的玻璃粉材料，40 —?dú)怏w供給部件，42 —?dú)怏w供給管，43 —歧管 中空部，44一氣體供給部件的供給口， 55 —錐管，56—玻璃粉環(huán)，57_夾 頭，58 —配管，60—金屬箔，61 —?dú)怏w導(dǎo)入槽，62 —?dú)怏w排出槽，70 —夾 子，100—PDP。
具體實(shí)施例方式
以下，詳細(xì)地說明本發(fā)明的等離子體顯示器面板的制造方法。 [等離子體顯示器面板的結(jié)構(gòu)]
首先，簡單地說明通過經(jīng)本發(fā)明的制造方法最終所得到的等離子體顯 示器面板。圖2 (a)通過剖面立體圖示意地表示PDP的結(jié)構(gòu)，并且圖2 (b)示意地表示PDP的前面板的剖視圖。
本發(fā)明的PDP (100)的結(jié)構(gòu)，如圖2 (a)所示，由「在基板A (10) 上設(shè)置了電極A (11)、電介質(zhì)層A (15)和保護(hù)層(16)的前面板(l)J 以及「在基板B (20)上設(shè)置了電極B (21 )、電介質(zhì)層B (22)、隔壁(23) 和熒光體層(25)的背面板(2)」形成。
如圖所示，在前面板(1)中，在基板A (10)上設(shè)置了電極A (11)， 以覆蓋電極A (11)方式在基板A (10)上設(shè)置了電介質(zhì)層A (15)，此外，在電介質(zhì)層A (15)上設(shè)置了保護(hù)層(16)。在背面板(2)中，在基 板B (20)上設(shè)置了電極B (21)，以覆蓋電極B (21)的方式在基板B
(20)上設(shè)置了電介質(zhì)層B (22)，在電介質(zhì)層B (22)上設(shè)置了隔壁(23) 以及熒光體層(25)。前面板(1)與背面板(2)對置配置以使保護(hù)層(16) 與熒光體層(25)相對向。前面板(1)以及背面板(2)的周邊部，通過 由例如低熔點(diǎn)粉玻璃材料等形成的密封部件而被氣密封(未圖示)。在形 成于前面板(1)與背面板(2)之間的放電空間(30)中優(yōu)選以20kPa 80kPa壓力封裝入放電氣體(氦、氖或氙等)。
更具體地說明本發(fā)明的PDP (100)。本發(fā)明的PDP (100)的前面板
(1)，如上所述，具有基板A (10)、電極A (11)、電介質(zhì)層A (15)以 及保護(hù)層(16)。基板A (10)是透明且具有絕緣性的基板(厚度例如約 1.0mm以上并且約3mm以下)。作為基板A(IO)，例如除了可列舉以浮 法(float process)等所制造的浮法玻璃基板之外，還可列舉鈉鈣玻璃基 板或硼酸鹽玻璃基板。電極A (11)是在基板A (10)上以條狀平行配置 的多個電極，例如是由掃描電極(12)以及維持電極(13)構(gòu)成的顯示電 極。此時，掃描電極(12)以及維持電極(13)分別由「由氧化銦(InO) 或氧化錫(Sn02)等構(gòu)成的透明導(dǎo)電膜即透明電極U2a、 13a)」以及該 透明電極上所形成的「將銀作為主要成分的匯流電極U2b、 13b)」所構(gòu) 成(參照圖2 (b))。透明電極(12a、 13a)主要作為使在熒光體層產(chǎn)生 的可視光透過的電極來發(fā)揮功能，另一方面，匯流電極(12b、 13b)主要 作為用于在透明電極的縱向上賦予導(dǎo)電性的電極來發(fā)揮功能。透明電極
(12a、 13a)的厚度優(yōu)選約50nm 約500nm。此外，匯流電極(12b、 13b) 的厚度優(yōu)選約lpm以上并且約2(Him以下。此外，如圖2 (a)所示，在 基板A (10)上黑色條(14)(遮光層)還能夠形成為圖案。
電介質(zhì)層A (15)以覆蓋形成于基板A (10)的表面的電極A (11) 的方式被設(shè)置。該電介質(zhì)層A (15)是由涂敷以及加熱處理主要由玻璃成 分以及載色劑(vehicle)成分(=包含粘合樹脂以及有機(jī)溶劑的成分)形 成的電介質(zhì)原料糊而得到的玻璃組成構(gòu)成的膜。在電介質(zhì)層A (15)上， 例如形成由氧化鎂構(gòu)成的保護(hù)層(16)(厚度例如約0.5pm以上并且約 1.5pm以下)。保護(hù)層(16)具有從放電的沖擊(更具體而言「基于等離子體的離子沖擊」)保護(hù)電介質(zhì)層A (15)的功能。
本發(fā)明的PDP的背面板(2)，如上所述，具有基板B (20)、電極B
(21) 、電介質(zhì)層B (22)、隔壁(23)以及熒光體層(25)?；錌 (20) 優(yōu)選透明且具有絕緣性的基板(厚度例如大約l.Omm以上并且約3mm以 下)，例如，除了可列舉以浮法等所制造的浮法玻璃基板之外，還可列舉 鈉鈣玻璃基板或硼酸鹽玻璃基板。電極B (21)是多個以條狀形成于基板 B (20)上的將銀作為主成分的電極(厚度例如約lpm以上并且約lOpm 以下)，例如，尋址電極(或者數(shù)據(jù)電極)。尋址電極主要具有選擇性地使 各放電單元進(jìn)行放電的功能。
電介質(zhì)層B(22)， 一般稱為基底電介質(zhì)層，以覆蓋形成于基板B(20) 的表面的電極B (21)的方式被設(shè)置。該電介質(zhì)層B (22)，是由涂敷以 及加熱處理主要由玻璃成分以及載色劑成分(=包含粘合樹脂以及有機(jī)溶 劑的成分)形成的電介質(zhì)原料糊而得到的玻璃組成構(gòu)成的膜。電介質(zhì)層B
(22) 的厚度，例如約5pm以上并且約50fim以下。在電介質(zhì)層B (22) 上，形成以熒光體材料作為主要成分的熒光體層(25)(厚度例如約為5pm 以上并且約2(Him以下左右)。熒光體層(25)，主要具有將由放電所放射 的紫外線轉(zhuǎn)換成可視光線的功能。該熒光體層(25)，將發(fā)出紅色、綠色 以及藍(lán)色的熒光體層作為結(jié)構(gòu)單位，分別由隔壁(23)隔開。隔壁(23) 為了按照每個尋址電極(21)劃分放電空間的目的，以平行狀或井字狀形 成于電介質(zhì)層B (22)上。該隔壁(23)，由包含玻璃成分、載色劑成分 以及填充劑(filler)等構(gòu)成的糊原料所形成。
在本發(fā)明的PDP (100)中，以前面板(1)的顯示電極(11)與背面 板(2)的尋址電極(21)垂直相交的方式，前面板(1)與背面板(2) 夾著放電空間(30)對置配置。在這樣的PDP (100)中，通過隔壁(23) 隔開，尋址電極(21)與顯示電極(11)交叉的放電空間(30)作為放電 單元(32)發(fā)揮功能。換言之，以矩陣狀被排列的放電單元構(gòu)成圖像顯示 區(qū)域。因此，通過從外部驅(qū)動電路向顯示電極(11)選擇性地施加視頻信 號電壓而使放電單元放電，通過由該放電產(chǎn)生的紫外線，使各色的熒光體 層被激發(fā)，而產(chǎn)生紅色、綠色以及藍(lán)色的可視光，其結(jié)果，實(shí)現(xiàn)彩色圖像 顯示。[PDP的一般制造方法〗
接著，針對PDP的一般的制造方法進(jìn)行簡單說明。本發(fā)明的PDP原 則上可根據(jù)一般的PDP制造法得到。在本發(fā)明中，只要不作特別說明， 各種構(gòu)成部件的原材料(原料糊)/構(gòu)成材料等，可以是用于一般的PDP 制造法中的常規(guī)的材料。
首先，在玻璃基板即基板(A)上，形成由掃描電極(12)和維持電 極(13)所構(gòu)成的顯示電極(11 )，并且也形成遮光層(14)。掃描電極(12) 以及維持電極(13)的各個透明電極(12a、 13a)與匯流電極(12b、 13b)， 可采用曝光，顯影的光刻法等進(jìn)行構(gòu)圖。透明電極(12a、 13a)可采用薄 膜方法來形成，透明電極(12a、 13a)可通過將含銀(Ag)材料的糊進(jìn) 行干燥(100 20(TC左右)以及燒成(400 60(TC左右)來形成。此外， 遮光層7也同樣，通過采用網(wǎng)格(screen)印刷含有黑色顏料的原料糊的 方法或?qū)⒑泻谏伭系脑显O(shè)置于玻璃基板的整面之后進(jìn)行曝光*顯影 的光刻法來進(jìn)行構(gòu)圖，并燒成來形成。接著，以覆蓋掃描電極(12)、維 持電極(13)以及遮光層(14)的方式，在基板A( IO)上，通過潤展(diquat) 法或者印刷法等涂敷將玻璃成分(由Si02、 B203等所形成的材料)和載 色劑成分作為主要成分的電介質(zhì)原料糊來形成電介質(zhì)糊層。涂敷之后，若 放置規(guī)定的時間，則所涂敷的電介質(zhì)糊的表面被調(diào)平(levelling)而形成 平坦的表面。之后，若燒成電介質(zhì)糊層則形成電介質(zhì)層A (15)。形成電 介質(zhì)層A (15)之后，在該電介質(zhì)層A (15)上形成保護(hù)膜(16)。保護(hù) 層(16)可使用真空蒸鍍法、CVD法或?yàn)R射法等來形成。
通過以上的工序，形成基板A (10)上規(guī)定的結(jié)構(gòu)部件即電極(A) (掃描電極(12)以及維持電極(13))、電介質(zhì)層A(15)以及保護(hù)層(16)， 前面板(1)完成。
另一方面，背面板(2)以如下方式形成。首先，在玻璃基板即基板 B (20)上，通過采用將含銀(Ag)材料的糊進(jìn)行網(wǎng)格印刷的方法，或全 面形成將銀作為主要成分的金屬膜之后進(jìn)行曝光，顯影的光刻法來構(gòu)圖的 方法等形成前驅(qū)體層，并對其以希望的溫度(例如約400 約600'C)進(jìn) 行燒成，而形成尋址電極(21)。該「尋址電極」可通過在鉻/銅/鉻的三 層薄膜上涂敷光抗蝕劑并對其進(jìn)行光刻以及濕法蝕刻來構(gòu)圖而形成。接著，在形成尋址電極(21)的基板B (20)上，形成成為基底電介質(zhì)層的 電介質(zhì)層B (22)。首先，通過潤展法等涂敷「將玻璃成分(由Si02、 B203 等所形成的材料)以及載色劑成分等作為主要成分的電介質(zhì)原料糊」來形 成電介質(zhì)糊層。之后，可通過燒成該電介質(zhì)糊層形成電介質(zhì)層B (22)。 接著，形成隔壁(23)。具體而言，通過在電介質(zhì)層B (22)上涂敷隔壁 形成用原料糊而構(gòu)圖成規(guī)定的形狀，從而形成隔壁材料層，之后，對其進(jìn) 行燒成而形成隔壁(23)。例如，通過潤展法或印刷法涂敷低熔點(diǎn)玻璃材 料、以載色劑成分以及填充劑等作為主要成分的原料糊，在實(shí)施約100 'C 20(TC的干燥之后，以曝光，顯影的光刻法進(jìn)行構(gòu)圖，接著，通過實(shí) 施約40(TC 60(rC的燒成來形成隔壁(23)。此外，隔壁(23)也可通過 采用噴砂(sandblast)法、蝕刻法或者成型法等形成。接著，形成熒光體 層。在相鄰的隔壁(23)間的電介質(zhì)層B (22)上以及隔壁(23)的側(cè)面 涂敷含有熒光體材料的熒光體原料糊，并進(jìn)行燒成，而形成熒光體層(25)。 更具體而言，通過潤展法、印刷法、分配(dispense)法或者噴墨法等涂
敷以熒光體粉末以及載色劑成分等作為主要成分的原料糊，接著，通過實(shí) 施約10(TC的干燥，而形成熒光體層(25)。
通過以上的工序，在基板B (20)上形成規(guī)定的結(jié)構(gòu)部件即電極B、 (尋址電極(21))、電介質(zhì)層B (22)、隔壁(23)以及熒光體層(25)， 背面板(2)完成。
如此具有規(guī)定的結(jié)構(gòu)部件的前面板(1)與背面板(2)，以顯示電極 (11)與尋址電極(21)垂直相交的方式對置配置。接著，以玻璃粉密封 前面板(1)和背面板(2)的周圍，并且在所形成的放電空間(30)中封 裝入放電氣體(氦、氖或者氙等)，從而PDP (100)完成。
本發(fā)明，即使在上述的PDP的制造工序中，特別是在從前面板以及 背面板的形成之后到面板密封為止的制造工序中具有特色。
在本發(fā)明的制造方法中，首先實(shí)施工序(i)。即，準(zhǔn)備在基板A上形 成電極A、電介質(zhì)層A和保護(hù)層的前面板，以及在基板B上形成電極B、 電介質(zhì)層B、隔壁和熒光體層的背面板。所述前面板以及背面板的準(zhǔn)備， 在上述[PDP的一般制造方法]中進(jìn)行了說明，所以為避免重復(fù)省略說明。此外，保護(hù)層雖是典型的氧化鎂，但也可以在其中添加微量的元素(硅、 鋁等)。進(jìn)一步而言，保護(hù)層優(yōu)選包含從由氧化鎂、氧化鈣、氧化鍶以及 氧化鋇構(gòu)成的組中選擇的至少一種以上。作為保護(hù)層的成分，通過使用氧 化鈣、氧化鍶或者氧化鋇等，不僅可實(shí)現(xiàn)驅(qū)動電壓更低的PDP,還可期 待基于氣體吹入的凈化效果變得特別大。此外，即使將工作函數(shù)比氧化鎂 小的堿土類金屬的氧化物(即氧化鈣、氧化鍶、氧化鋇等)作為保護(hù)層來 使用時，也由于本發(fā)明的"變質(zhì)層除去的效果"而能夠得到穩(wěn)定的放電特 性。
繼工序(0實(shí)施工序(ii)。即，在基板A或基板B的周邊區(qū)域涂 敷玻璃粉材料，并以夾著玻璃粉材料的方式使前面板與背面板對置配置。 所涂敷的玻璃粉材料，在后面進(jìn)行「密封工序(iv)」中為了密封前面板 和后面板的周邊而發(fā)揮功能。玻璃粉材料，優(yōu)選當(dāng)粘合前面板與背面板時 在重合區(qū)域的周圍以構(gòu)成連續(xù)的環(huán)的方式進(jìn)行涂敷。所使用的玻璃粉材 料，若是一般的PDP的制造中以相同的目的所使用的材料則沒有特別的 限制，例如，可以是由低熔點(diǎn)玻璃材料(例如氧化鉛-氧化硼-氧化硅系、 氧化鉛-氧化硼-氧化硅-氧化鋅系等)形成的玻璃粉材料。此外，也可以是 易于涂敷的包含載色劑成分等形成的材料。前面基板或背面基板的周邊部 所涂敷的玻璃粉材料優(yōu)選厚度為200 600^n左右，其寬度為3 10mm 左右。
此外，對于涂敷的玻璃粉材料也可形成多個槽，以使對在以后的工序 (m)中所吹入的氣體可靠地確保通氣路徑。特別地，如圖3所示，在沿 著長邊所涂敷的玻璃粉材料中，優(yōu)選設(shè)置多個槽(氣體導(dǎo)入槽61以及氣 體排出槽62)。此外，以相同的目的，在基板A或基板B的周邊區(qū)域也 可間斷地涂敷玻璃粉材料。此處，如圖3所示的「玻璃粉材料不存在區(qū)域 的長度或槽長度La」雖可依賴于氣體供給部件的供給口的尺寸等，但 例如為0.1 5mm左右。
玻璃粉材料的涂敷后，以玻璃粉材料位于基板A與基板B之間的方 式，將前面板與背面板相互對置配置(例如參照圖4或圖7)。若用另一 種表現(xiàn)，則為以保護(hù)層與熒光體層以互相對向的方式，將前面板與背面 板對置配置，并且，以顯示電極與尋址電極垂直相交的方式，實(shí)質(zhì)上將前面板與背面板進(jìn)行平行配置。被對置配置的前面板與背面板，優(yōu)選由夾子 70等保持，以使以后不移動(參照圖5)。被對置配置的前面板與背面板 之間的間隔(即，間隙寬度)，雖然依賴于所涂敷的玻璃粉材料的厚度等，
但例如優(yōu)選100 600|_im，更優(yōu)選300 600jim?？傊诒趁姘?中雖 設(shè)置了隔壁23，如圖4或圖7所示，由于在密封前的狀態(tài)下玻璃粉材料 38的高度比隔壁23的高度高，所以隔壁23的頂部未接觸到前面板1。當(dāng) 吹入氣體時，優(yōu)選使前面板以及背面板的彼此對向的面之中的一方接觸或 貼緊氣體供給部件，所以例如如圖4所示，優(yōu)選彼此錯開地配置前面板的 邊緣和背面板的邊緣。
繼工序(ii)實(shí)施工序(iii)。即，在將前面板以及背面板進(jìn)行加熱 的狀態(tài)下，從前面板以及背面板的橫向，向?qū)χ门渲玫那懊姘迮c背面板之 間吹入氣體。所謂『從前面板以及背面板的橫向，向?qū)χ门渲玫那懊姘迮c 背面板之間吹入氣體』，若用另一種表現(xiàn)，則實(shí)質(zhì)上意味著『從前面板與 背面板的側(cè)部，向?qū)χ门渲玫那懊姘迮c背面板之間吹入氣體』或『從前面 板與背面板所重合部分的側(cè)部，向?qū)χ门渲玫那懊姘迮c背面板之間吹入氣 體』的方式。
對置配置的前面板和背面板可通過投入封排爐等的爐膛中而置于加 熱下。優(yōu)選在常溫下開始吹入氣體，并一邊吹入氣體一邊在爐內(nèi)加熱「對 置配置的前面板和背面板」。加熱溫度只要會使「構(gòu)成保護(hù)層表面的變質(zhì) 層的雜質(zhì)(例如，結(jié)合于保護(hù)層成分的CO,或OH—等)」脫離，就沒有特 別的限制，例如350 450。C左右。
向前面板與背面板之間的空隙部中所吹入的氣體，優(yōu)選對保護(hù)層惰性 的氣體。例如，可列舉氮?dú)?。此外，也可使用氦、氬、氖或氙等的稀有?體。即，所吹入的氣體優(yōu)選為至少是幾乎不包含水蒸氣的氣體。例如，優(yōu) 選所吹入氣體的水分濃度是lppm以下。這里所說的「氣體的水分濃度 (ppm)」是將氣體的整個體積((TC1大氣壓的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))中占有的水分 (水蒸氣)的體積比例以百萬分比率進(jìn)行表示，指示通過以常規(guī)的露點(diǎn)計 進(jìn)行測定所得到的值。由于氮?dú)獗容^貴，所以若使用干燥空氣則可實(shí)現(xiàn)成 本上效率高的PDP制造法。吹入時的氣體流量，雖根據(jù)氣體供給部件的 形狀、面板的大小、氣體導(dǎo)入槽61以及氣體排出槽62的數(shù)量及寬度、氣體供給口 44的尺寸、所涂敷的玻璃粉材料的厚度以及頂部凹凸的大小等，
其最佳值是發(fā)生變化的，但大概是在1SLM 100SLM的范圍(SLM:以 升表示氣體的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下1分鐘供給的氣體的量的單位)。若氣體的流量 過少，則外部的大氣混入，有凈化不充分的可能，另一方面，若相反，氣 體流量過多，則成本上不利。
氣體的吹入，優(yōu)選使用圖5中以符號40表示的氣體供給部件。氣體 供給部件40連接于氣體供給管42，氣體供給管42連接于「具有供氣泵 等而構(gòu)成的氣體供給裝置(未圖示)」，所以通過氣體供給部件40能夠進(jìn) 行氣體供給。如圖4所示，優(yōu)選使氣體供給部件40與背面板2的主面的 周邊部Sa接觸 貼緊，并與前面板1的側(cè)面部Sb也接觸 貼緊。此外， 根據(jù)需要，可使用夾子部件等把持*固定氣體供給部件。由此，能夠防止 「不吹入前面板與背面板之間的空隙部，而向前面板以及背面板的外側(cè)流 出的氣體」。作為氣體供給部件的材質(zhì)，為了避免基板的加熱時氣體供給 部件與基板摩擦而引起灰塵或位置偏離，盡量優(yōu)選使用與玻璃基板熱膨脹 系數(shù)相近的金屬。典型的PDP用玻璃基板(即基板A以及基板B)的線 膨脹系數(shù)是8.3E-6/K (日本電氣玻璃制PP-8、 30 380°C)，所以優(yōu)選將 具有其一半以上并且2倍以下即4.2E-6 1.7E-5/K的范圍的線膨脹系數(shù)的 材料作為氣體供給部件的材料來使用。作為與PDP用的玻璃基板熱膨脹 系數(shù)相近的金屬材料，可列舉鈦(純鈦8.6E-6/K、鈦合金Ti-6A1-4V: 8.8E-6/K)以及鈷(4.6E-6/K)等。
如圖4以及圖5所示，氣體供給部件40優(yōu)選具有在其內(nèi)部作為歧管 發(fā)揮功能的中空部43以及與中空部43流體連通的多個供給口 44。通過 使用這樣的氣體供給部件40，可從多個供給口44并列地吹入氣體，所以 能從構(gòu)成正方形或矩形的一邊的「前面板以及背面板的側(cè)部」整體地吹入 氣體。氣體供給部件40，優(yōu)選以中空部43沿著背面板2的長邊位于直線 形狀的方式，與兩個基板互相對向的面的一個面(例如，圖4中表示的背 面板2的內(nèi)側(cè)面Sa)緊貼。此外，如圖5或圖6所示，以供給口44的氣 體吐出側(cè)面向面板的內(nèi)側(cè)的方式配置氣體供給部件40。供給口 44優(yōu)選對 準(zhǔn)氣體導(dǎo)入槽61的位置而設(shè)置，如圖6表示的「右箭頭」，從供給口44 所供給的氣體，通過玻璃粉38的氣體導(dǎo)入槽61流入「前面板與背面板之間的空間」。此外，流入「前面板與背面板之間的空間」的氣體，通過氣 體排出槽62從兩個基板間的空間中被排出。此處，可認(rèn)為「所涂敷的玻
璃粉材料38」的頂部與前面板1接觸，玻璃粉38的頂部不是完全的平面， 而存在數(shù)10 10(Him左右的凹凸。因此，如圖6所示的「上下箭頭」，從 位于未設(shè)置槽的邊的玻璃粉38與前面板1之間的間隙，也能排出氣體(此 外，連接錐管的氣體供給裝置以及排氣裝置不工作，這些裝置由閥來隔 斷)。但是，畢竟設(shè)置了氣體排出槽62，所以如圖6的上下箭頭，從未設(shè) 置槽的地方所排出的氣體量會非常少。即，實(shí)質(zhì)上作為整體向一個方向均 一地流動，所以實(shí)現(xiàn)了均一性更高的變質(zhì)層去除。
由于優(yōu)選從"長邊側(cè)"吹入氣體，所以氣體供給部件40，優(yōu)選對于 「構(gòu)成前面板以及背面板的主面的長邊的側(cè)部」被設(shè)置。通過從"長邊側(cè)" 吹入氣體，與從"短邊側(cè)"吹入氣體時相比，能夠縮短吹入時在前面板與 背面板之間所形成的氣體流線，能夠均一性更好地去除保護(hù)層表面的變質(zhì) 層。此外，在"長邊側(cè)"的一方，由于尋址電極的引出線能夠延長，所以 優(yōu)選從該引出線未延長的"長邊側(cè)"吹入氣體。由此，避免電極與氣體供 給部件接觸，能夠防止基于電極材料剝落的塵土的產(chǎn)生，或因此產(chǎn)生的電 極的斷線以及相鄰電極間的短路，或面板的點(diǎn)燈不良等。順帶而言，若試 圖考慮使氣體供給部件40緊貼于設(shè)置電極的引出線的"長邊側(cè)"的情況， 則在氣體供給部件40與背面板2之間，會產(chǎn)生電極厚度的間隙，所以應(yīng) 該吹入的氣體的流量增加。此點(diǎn)，若使氣體供給部件40緊貼于引出線未 延長的"長邊側(cè)"，則可減少氣體流量，所以在低成本的點(diǎn)上有利。
繼工序(iii)實(shí)施工序(iv)。 S卩，通過使玻璃粉材料熔融，使前面 板和背面板密封。若通過加熱使玻璃粉熔融，則前面板與背面板在周邊區(qū) 域氣密接合。工序(iv)的加熱溫度，只要是玻璃粉可熔融的溫度則沒有 特別的限制(即，可以是一般的PDP的制造時所使用的「密封溫度」，例 如是40(TC 50(TC左右)。在實(shí)施工序(iv)的密封的過程中，可一起進(jìn) 行工序(m)的氣體的吹入。對此進(jìn)行詳述。氣體的吹入，在常溫下開始。 此外， 一邊吹入氣體一邊在爐內(nèi)加熱「對置配置的前面板以及背面板」。 若超過了玻璃粉的軟化點(diǎn)，則玻璃粉軟化，漸漸填埋玻璃粉與前面板之間 的間隙。此外，由于氣體導(dǎo)入槽61以及氣體排出槽62形成得十分狹窄(例如，槽寬度是玻璃粉寬度的一半以下)，所以玻璃粉38軟化的同時，也逐
漸填埋氣體導(dǎo)入槽61以及氣體排出槽62 。然后，通過在玻璃粉38完全 熔融的溫度區(qū)域內(nèi)數(shù)分鐘 10幾分鐘保持面板后進(jìn)行冷卻，使玻璃粉固 化，并密封前面板和背面板。接著， 一邊以比密封時稍低溫(即，維持玻 璃粉的固化狀態(tài)的溫度)地保持「被密封的前面板以及背面板」， 一邊對 前面板與背面板之間進(jìn)行真空排氣。若進(jìn)行以上這樣的處理，則在玻璃粉 完全熔融的溫度區(qū)域內(nèi)，起因于玻璃粉的從氣體供給部件40所供給的氣 體不會進(jìn)入「前面板與背面板之間的空間」，所以實(shí)際上的氣體吹入停止， 可最小限度地抑制氣體的使用量。
此外，在實(shí)施了 「工序(ii)的對置配置」之后，經(jīng)由「工序(iii) 的氣體吹入」后進(jìn)行「工序(iv)的密封」，意味著校準(zhǔn)(alignment)后在 玻璃粉的頂部與表面板接觸的狀態(tài)下實(shí)施加熱。因此，在本發(fā)明的制造方 法中，不易引起"密封時的校準(zhǔn)偏離"，可實(shí)現(xiàn)可靠性高的制造方法。
在使前面板和背面板密封后，將前面板與背面板之間進(jìn)行排氣，并在 前面板與背面板之間封裝入放電氣體。作為應(yīng)該封裝入的放電氣體，可示 例Xe與Ne的混合氣體，也可只封裝入Xe，也可使He混入。這樣的排 氣以及封裝入，優(yōu)選通過前面板或背面板所設(shè)置的貫通孔來進(jìn)行。圖7 中，表示設(shè)置于背面板的貫通孔29。該「貫通孔」，將對置配置的前面板 與背面板之間的氣體進(jìn)行排氣，若能夠供給放電氣體，則任何形狀，形 態(tài)*尺寸均可(例如，圓形的貫通孔的情況，直徑尺寸是1 5mm左右)。 此外，貫通孔雖需要位于比涂敷玻璃粉材料的區(qū)域更內(nèi)側(cè)，但優(yōu)選位于不 是PDP顯示部的前面板或背面板的周邊部分，以使不妨礙所完成的PDP 的圖像顯示。貫通孔的形成，例如，準(zhǔn)備了前面板或背面板之后，可通過 鉆加工或激光加工等適當(dāng)?shù)姆椒▉硇纬?。?dāng)在背面板側(cè)設(shè)置貫通孔時，優(yōu) 選涂敷熒光體的糊原料而在干燥后設(shè)置貫通孔。
針對「貫通孔」進(jìn)行詳述。在貫通孔中，如圖l所示，隔著玻璃粉環(huán) (fritring) 56設(shè)置錐管55。錐管55的端部，連接構(gòu)成配管58的先端部 的夾頭57。夾頭57中配置了水冷配管'護(hù)罩(shield)結(jié)構(gòu)(未圖示)， 即使在錐管55以及配管58升溫至密封溫度時，也構(gòu)成為一體地維持密閉 構(gòu)造。由于配管58連接于氣體供給裝置以及排氣裝置(未圖示)，所以通過貫通孔，可將前面板與背面板之間的氣體進(jìn)行排氣，或者，可向該空間 供給放電氣體。順帶而言，在氣體吹入時，應(yīng)留意貫通孔實(shí)際上設(shè)置為"關(guān)"的狀態(tài)。更具體而言，錐管55雖是通過玻璃粉環(huán)56對準(zhǔn)貫通穴29抵按在背面板 2上，但「錐管55與玻璃粉環(huán)56接觸的面」以及「玻璃粉環(huán)56與背面 板2接觸的面」是平滑面，所以幾乎沒有在這些面上的氣體的泄漏。此外， 在與錐管55連通的配管58中所設(shè)置的閥之中，在關(guān)掉與錐管55最近側(cè) 的閥的狀態(tài)下吹入氣體，所以經(jīng)由錐管55的氣體的泄漏幾乎沒有。在本發(fā)明的制造方法中，可實(shí)施各種方法以使有效地進(jìn)行氣體的吹 入。例如，使用"填充料"以使從氣體供給部件所供給的氣體盡可能多地 導(dǎo)向「前面板與背面板之間的空間」。例如，如圖7所示，在氣體供給部 件40的縱向的端部附近，優(yōu)選在「以前面板1、背面板2、氣體供給部件 40以及玻璃粉38包圍的空間」的至少一部分設(shè)置金屬箔60?？傊瑑?yōu)選 在位于如圖6所示的「P區(qū)域」的空隙部裝入金屬箔。通過該金屬箔60， 可減少吹入時的氣體的泄漏。反過來說，若沒有該金屬箔60，則從氣體 供給部件40所供給的氣體的一部分可不吹入「表面板與背面板之間的空 間」而泄漏到外部，因此可認(rèn)為在對此進(jìn)行抑制這點(diǎn)上金屬箔60有效地 發(fā)揮了作用。通過將金屬箔60作為"填充料"來使用，結(jié)果能夠抑制使 用氣體量，能夠以更低的成本去除保護(hù)層表面的變質(zhì)層。作為金屬箔60， 例如，可列舉厚度數(shù)10pm的鋁箔。將以數(shù)mm 數(shù)cm角切斷的鋁箔適 當(dāng)?shù)嘏獔A，塞入「以前面板1、背面板2、氣體供給部件40以及玻璃粉 38包圍的空間」即可。此時，不需要將該空間完全地填滿，至少氣體的 通路變小即可。附帶而言，若一邊吹入氣體一邊在爐內(nèi)加熱前面板1以及 背面板2，使玻璃粉38熔融來實(shí)施密封，則雖然前面板1與背面板2之 間的距離(間隙)漸漸變小，但只要是弄圓的鋁片，則不是妨礙間隙的變 化的程度的強(qiáng)度，其外形自身可配合間隙減少逐漸變形。因此，若是鋁片， 則幾乎沒有在面板完成時，間隙從設(shè)計值偏離的擔(dān)心。作為"填充料"， 除了跟隨上述間隙的變化而容易變形，還要求(a)即使升溫到密封溫度 (400 50(TC左右)也難以放出「污染保護(hù)層的不純氣體」、(b)即使經(jīng) 過密封溫度也不與氣體供給部件熔接等。此點(diǎn)，是金屬箔滿足相關(guān)必要條件的材料。接著，對本發(fā)明的實(shí)施方式時序地進(jìn)行說明。圖8表示本發(fā)明的PDP 制造方法的概略的流程圖。如圖所示，首先，準(zhǔn)備前面板與背面板。接著， 在校準(zhǔn)裝置內(nèi)進(jìn)行前面板以及背面板的位置對準(zhǔn)之后，通過玻璃粉材料使 前面板與背面板對置保持。接著，在「前面板與背面板之間的側(cè)部」安裝 氣體供給部件。此外，配合設(shè)置于背面板的貫通穴安裝錐管。從保護(hù)層的 形成至此時，由于保護(hù)層被暴露在大氣中，所以在保護(hù)層的表面形成變質(zhì) 層。接著，經(jīng)由氣體供給部件向「表面板與背面板之間的空間」吹入氣體 (例如氮?dú)?。然后， 一邊進(jìn)行氣體的吹入一邊在爐內(nèi)加熱表面板以及背 面板，使玻璃粉熔融來密封前面板和背面板。接著， 一邊保持比密封前面 板以及背面板時稍低的溫度(玻璃粉固化的溫度)， 一邊直到前面板與背 面板之間的空間成為真空狀態(tài)為止經(jīng)由錐管來進(jìn)行氣體排氣。該排氣處理 結(jié)束之后，使前面板與背面板冷卻到幾乎成為常溫。冷卻后，向「表面板 與背面板之間的空間」導(dǎo)入放電氣體，并以規(guī)定的壓力停止放電氣體的導(dǎo)入(封裝入)。然后，最終通過切斷錐管，完成PDP。以上，雖然針對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但只是對典型例進(jìn)行 了例示。因此，本發(fā)明并不限于此，可進(jìn)行各種的改變，對本領(lǐng)域技術(shù)人 員而言是易于理解的。在上述的說明中，雖然對與氣體導(dǎo)入槽的位置對準(zhǔn)來設(shè)置氣體供給口的方式進(jìn)行了例示(參照圖6)，但并不限于該方式。例如，如圖9所示， 氣體供給口 44，也可設(shè)置于與氣體導(dǎo)入槽偏離的位置上。此時，表面板1、 背面板2、氣體供給部件40以及玻璃粉材料38所包圍的空間能夠完成作 為第二歧管的功能。此外，氣體的吹入，雖然例示了在常溫中開始的情況，但為了進(jìn)一步 減少使用氣體量，也可只在對變質(zhì)層的去除有效的溫度區(qū)域內(nèi)進(jìn)行氣體的 吹入。此外，在涂敷玻璃粉后并且在校準(zhǔn)之前，可進(jìn)行玻璃的假燒成?；蛘?， 也可在熒光體形成步驟中不經(jīng)過熒光體層的燒成，與玻璃的假燒成同時一 起燒成。實(shí)施例《放電開始電壓的變動幅度的確認(rèn)試驗(yàn)》 為了明確本發(fā)明的效果，將放電開始電壓的變動幅度(以下，省略為 「變動幅度」)的面內(nèi)分布現(xiàn)有例與本發(fā)明進(jìn)行比較。將某面板的規(guī)定位 置的放電開始電壓作為Vn來測定，并使面板連續(xù)15分鐘點(diǎn)亮后，基板 溫度降低到常溫之后再次將同一場所的放電電壓作為Vf2來測定，將其差的絕對值I Vn- VP I作為變動幅度來定義。變動幅度是與PDP的余象特 性相關(guān)的指標(biāo)，優(yōu)選在面板面內(nèi)變動幅度是均一的。圖10中表示結(jié)果。 圖10 (a)是現(xiàn)有例的結(jié)果，圖10 (b)表示本發(fā)明的結(jié)果(此外，以相 對值表示將面板中央部的變動幅度作為l.OO時的各位置的變動幅度)。此 處，現(xiàn)有例是作為一個玻璃管，直到密封前從該玻璃管向面板內(nèi)供給干燥 氣體，密封后從玻璃管進(jìn)行排氣。如從圖IO表示的結(jié)果所明確的那樣， 可見若使用本發(fā)明的制造方法，則均一性的改善是顯著的。工業(yè)上的利用可能性通過本發(fā)明的制造方法而最終得到的PDP，由于面板壽命優(yōu)異，所以 除了可適用于作為面向一般家庭的等離子體電視以及工業(yè)用等離子體電 視外，還能夠適用于其他各種顯示設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種等離子體顯示器面板的制造方法，含有工序i，準(zhǔn)備在基板A上形成有電極A、電介質(zhì)層A和保護(hù)層的前面板、以及在基板B上形成電極B、電介質(zhì)層B、隔壁和熒光體層的背面板；工序ii，在基板A或基板B的周邊區(qū)域涂敷玻璃粉材料，并以夾著玻璃粉材料的方式將前面板與背面板對置配置；工序iii，在對前面板以及背面板進(jìn)行加熱的狀態(tài)下，從前面板以及背面板的橫向，向?qū)χ门渲玫那懊姘迮c背面板之間吹入氣體；以及工序iv，使玻璃粉材料熔融，使前面板和背面板密封。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于， 前面板以及背面板的主面為正方形或矩形，并且在所述工序iii中，從構(gòu)成正方形或矩形的一邊的"前面板以及背面板的側(cè)部"整體地吹入氣體。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造方法，其特征在于， 前面板以及背面板的主面為矩形，在所述工序iii中，從成為矩形的長邊的所述側(cè)部吹入氣體。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造方法，其特征在于， 在所述側(cè)部配置氣體供給部件，并經(jīng)由氣體供給部件吹入氣體。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的制造方法，其特征在于，從在氣體供給部件中所設(shè)置的多個供給口吹入氣體。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于， 在所述工序ii中，在基板A或基板B的周邊區(qū)域斷續(xù)的地涂敷玻璃粉材料。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于， 在所述工序iii的實(shí)施過程中，也執(zhí)行所述工序iv。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于， 在所述工序iv中，由于玻璃粉材料的熔融，使得在所述周邊區(qū)域中基板A與基板B之間被堵塞，由此，向前面板與背面板之間的空間所供給 的氣體的吹入停止。
9. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造方法，其特征在于， 電極B的引出線從一個側(cè)部a延長，在所述工序iii中，從成為與側(cè)部a對置的位置關(guān)系的側(cè)部b橫向地吹入氣體。
10. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的制造方法，其特征在于， 在所述工序ii中，在由前面板、背面板、氣體供給部件以及玻璃粉材料所包圍的空間的至少一部分，設(shè)置金屬箔。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于， 在所述工序iii中，吹入的氣體是對保護(hù)層為惰性的氣體，是從由氮?dú)?、稀有氣體以及干燥空氣構(gòu)成的組中所選擇的至少一種以上的氣體。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，保護(hù)層，包含從由氧化鎂、氧化鈣、氧化鍶以及氧化鋇構(gòu)成的組中所 選擇的至少一種以上的金屬氧化物。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠以良好的均一性、簡單并且低成本地去除保護(hù)層表面的變質(zhì)層的PDP制造方法。該P(yáng)DP制造方法構(gòu)成為，包括(i)準(zhǔn)備在基板A上形成電極A、電介質(zhì)層A和保護(hù)層的前面板、以及在基板B上形成電極B、電介質(zhì)層B、隔壁和熒光體層的背面板的工序、(ii)在基板A或基板B的周邊區(qū)域涂敷玻璃粉材料，并以夾著玻璃粉材料的方式將前面板與背面板對置配置的工序、(iii)在對前面板以及背面板進(jìn)行加熱的狀態(tài)下，從前面板以及背面板的橫向，向?qū)χ门渲玫那懊姘迮c背面板之間吹入氣體的工序、以及(iv)使玻璃粉材料熔融，使前面板和背面板密封的工序。
文檔編號H01J11/22GK101630617SQ200910139979
公開日2010年1月20日 申請日期2009年7月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月18日
發(fā)明者關(guān)口大好, 坂口義弘, 奧村智洋, 村井隆一, 蘆田高之, 龍澤貴博 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社