專利名稱：準(zhǔn)分子燈裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及準(zhǔn)分子燈裝置，例如，涉及應(yīng)用于液晶基底洗凈用干洗凈 裝置的準(zhǔn)分子燈裝置。
背景技術(shù)：
如專利文獻(xiàn)1所揭示的那樣，以往的準(zhǔn)分子燈裝置是在燈罩平行地配 置由介質(zhì)障壁放電形成準(zhǔn)分子分子的放電用氣體所構(gòu)成的多個(gè)準(zhǔn)分子燈并 加以收納，又在燈罩設(shè)置取出從準(zhǔn)分子分子所放出的紫外線的玻璃照射窗。 但是，近年來隨著被處理物的基板的大型化，因制作大型玻璃照射窗很困
難，因此如專利文獻(xiàn)2及3所揭示的那樣，不設(shè)置玻璃照射窗。此時(shí)，為 將準(zhǔn)分子燈設(shè)于大氣中而在周圍噴上氮?dú)庖越档脱鯕鉂舛龋褂糜行Ю?用紫外線的技術(shù)。另外，隨著基板的長(zhǎng)尺寸化，準(zhǔn)分子燈也被要求為較長(zhǎng)， 但因過長(zhǎng)而使得準(zhǔn)分子燈的設(shè)置或拆除的操作性不好，也有操作中損壞的 危險(xiǎn)性，因而如專利文獻(xiàn)4所揭示的那樣，創(chuàng)作了分割照射區(qū)域的方式鋸 齒狀地配置短準(zhǔn)分子燈的準(zhǔn)分子燈裝置。日本特許第2854255號(hào)公報(bào)日本特開2005-259380號(hào)公報(bào)日本特開2005-222905號(hào)公報(bào)日本特許第3972586號(hào)公報(bào)日本特開2003-159571號(hào)公報(bào)日本特開2005-193088號(hào)公報(bào)
隨著被處理物的基板大型化，搬運(yùn)基板的搬運(yùn)機(jī)的基板寬度變大，準(zhǔn) 分子燈裝置也長(zhǎng)尺寸化。大型的準(zhǔn)分子燈裝置是因自重而容易彎曲。還有， 通過準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈動(dòng)作，燈罩受到熱放射而膨脹下垂。其彎曲量會(huì)達(dá)到 0.5mm至2mm。 一方面，準(zhǔn)分子燈裝置放射172nm的光，但為了大氣中或是 處理環(huán)境中的氧氣不會(huì)吸收172nm的光，如專利文獻(xiàn)5也揭示的那樣，將到基板為止的照射距離設(shè)定成較短。照射距離多被設(shè)定成lmm至3mm左右， 但在該距離下，通過由上述燈罩的彎曲及熱膨脹所導(dǎo)致的下垂，支撐著被 搭載于燈罩的中央部的準(zhǔn)分子燈的燈支撐部的位置下降，接近基板，最后 接觸而存在損傷基板表面的問題。而且，在專利文獻(xiàn)6中，示出有設(shè)置受 到來自準(zhǔn)分子燈的熱放射的部件的事例，但該情況下，該部件本體受到熱 影響而會(huì)膨脹，因而有燈支撐體朝下方下降的危險(xiǎn)。 一方面，作為躲開該 膨脹，在部件設(shè)置用于貫通燈支撐體的開口部，在燈支撐體與開口部之間 滑動(dòng)，因而從該部分發(fā)生粒子，而在基板的制造過程上有帶來重大不良影 響的問題。
圖4是表示現(xiàn)有技術(shù)涉及的準(zhǔn)分子燈裝置100的構(gòu)成的一例的圖，圖4 (a)是表示準(zhǔn)分子燈裝置100的構(gòu)成的主視剖面圖，圖4 (b)是準(zhǔn)分子燈 裝置100的側(cè)視剖面圖。
如這些圖所示，準(zhǔn)分子燈裝置100在燈罩101的下部配置有支撐準(zhǔn)分 子燈102的燈支撐體103a、 103b。 一方面，在燈罩101的內(nèi)部搭載有點(diǎn)燈 準(zhǔn)分子燈102，或是為了控制所需要的升壓變壓器104或控制裝置105。升 壓變壓器104或控制裝置105為了防止通過從準(zhǔn)分子燈102的周圍所產(chǎn)生 的臭氧對(duì)電布線或印刷基板的腐蝕，在燈罩101上設(shè)置蓋106加以隔離。 通常，燈罩101用螺栓等固定于固定臺(tái)107上，而且，在準(zhǔn)分子燈102的 附近設(shè)有用于以氮?dú)鈦碇脫Q周圍的大氣的氮?dú)鈱?dǎo)入管109，而每分鐘噴上大 概數(shù)十至數(shù)百升的氮?dú)?。而且，設(shè)有對(duì)從準(zhǔn)分于燈102所放射的紫外線進(jìn) 行遮光，而且抑制從氮?dú)鈱?dǎo)入管109所導(dǎo)入的氮?dú)鈴目痼w101下方流出的 壁108。當(dāng)基板110用滾子111在準(zhǔn)分子燈裝置100下面搬運(yùn)而通過時(shí)，燈 罩101的下部就像通過基板110被蓋住，通過噴上氮?dú)猓沟脺?zhǔn)分子燈102 周圍的氧氣濃度降低。當(dāng)降低氧氣濃度時(shí)，172nm的光被氧氣吸收的量變少， 而可有效地將172nm的光照射在基板110。
此種燈罩101例如在基板寬度為2200mm時(shí)，燈被點(diǎn)燈前的燈罩101的 彎曲是0. 5飄左右。這是包含升壓變壓器104或控制裝置105等的內(nèi)部搭 載設(shè)備的燈罩101的自重所導(dǎo)致的彎曲。被搭載于較長(zhǎng)的燈罩101的多個(gè) 準(zhǔn)分子燈102在燈罩101的中央部被分割，設(shè)置成以多個(gè)準(zhǔn)分子燈102可 照射基板寬度時(shí)，則準(zhǔn)分子燈102被固定于設(shè)置在燈罩101的中央部的燈支撐體103a。
當(dāng)燈罩101因自重下垂時(shí)，則燈支撐體103a的位置下降，存在接近基 板110而接觸的危險(xiǎn)。而且，在點(diǎn)燈了準(zhǔn)分子燈102時(shí)，準(zhǔn)分子燈102放 射172nm的光，同時(shí)發(fā)熱而達(dá)到約200°C 。受到來自準(zhǔn)分子燈102的熱放射， 燈罩101達(dá)到80 12(TC。燈罩101兩端被固定于固定臺(tái)107，因而沒有熱 脹的躲開處而朝下側(cè)下降。該下降量即、膨脹量是通過準(zhǔn)分子燈102的燈 輸出或點(diǎn)滅點(diǎn)燈周期等，溫度會(huì)變而變化，若燈罩101的溫度不變，則燈 支撐體103a的位置考慮到燈罩101的下垂而設(shè)計(jì)，可避免與基板110接觸， 但在變更準(zhǔn)分子燈裝置100的點(diǎn)燈輸出或點(diǎn)滅方法時(shí)，則無(wú)法以燈支撐體 103a的形狀來設(shè)計(jì)該下垂量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是鑒于上述問題，提供將裝備于較長(zhǎng)筐體的燈支撐體的 位置平常保持一定，燈支撐體(或是準(zhǔn)分子燈)不會(huì)與被處理物相摩擦， 并且消除隔壁的熱變形所導(dǎo)致的燈支撐體的位置變化的準(zhǔn)分子燈裝置。
而且，本發(fā)明的其他目的在于提供防止從準(zhǔn)分子燈的周圍所產(chǎn)生的臭 氧對(duì)搭載于筐體內(nèi)的設(shè)備的腐蝕的準(zhǔn)分子燈裝置。
本發(fā)明為了解決上述課題采用如下方案。
第1方案是一種準(zhǔn)分子燈裝置，其特征在于，具備筐體；懸架體， 被該筐體支撐；燈支撐體，被該懸架體支撐；準(zhǔn)分子燈，被該燈支撐體支 撐；以及，隔壁，設(shè)于上述準(zhǔn)分子燈與上述懸架體之間；上述燈支撐體松 嵌合于設(shè)在上述隔壁上的貫通孔并被上述懸架體支撐。
第2方案的準(zhǔn)分子燈裝置的特征在于，在第1方案中，設(shè)置有調(diào)整上 述燈支撐體相對(duì)于上述懸架體的上下方向的位置的調(diào)整機(jī)構(gòu)。
第3方案的準(zhǔn)分子燈裝置的特征在于，在第1方案或第2方案中，設(shè) 置有防止上述貫通孔與松嵌合于該貫通孔的燈支撐體間的氣體通過的遮蔽 機(jī)構(gòu)。
第4方案的準(zhǔn)分子燈裝置的特征在于，在第3方案中，上述遮蔽機(jī)構(gòu) 是設(shè)置于上述貫通孔周邊與燈支撐體之間的波紋管。 發(fā)明效果根據(jù)第1方案所述的發(fā)明，可將裝備于較長(zhǎng)筐體的燈支撐體的位置平 常保持一定，使燈支撐體不會(huì)與被處理物相摩擦，同時(shí)可消除隔壁的熱變 形所導(dǎo)致的燈支撐體的位置變化。
根據(jù)第2方案所述的發(fā)明，可調(diào)整燈支撐體的上下方向的位置。 根據(jù)第3方案以及第4方案所述的發(fā)明，可防止從準(zhǔn)分子燈的周圍所 產(chǎn)生的臭氧對(duì)搭載于筐體內(nèi)的設(shè)備的腐蝕。


圖1是表示第1實(shí)施方式的發(fā)明涉及的準(zhǔn)分子燈裝置1的構(gòu)成的圖。 圖2是表示第2實(shí)施方式的發(fā)明涉及的準(zhǔn)分子燈裝置1的構(gòu)成的圖。 圖3是表示第3實(shí)施方式的發(fā)明涉及的準(zhǔn)分子燈裝置1的構(gòu)成的圖。 圖4是表示現(xiàn)有技術(shù)涉及的準(zhǔn)分子燈裝置100的構(gòu)成的一例的圖。 標(biāo)記說明
1:準(zhǔn)分子燈裝置，2:筐體，21:固定板，22:側(cè)板，23:遮蔽板，3: 固定臺(tái)，4:懸架體，5:準(zhǔn)分子燈，6:燈支撐體，61:支撐柱，62a:燈 支撐部件62b:燈支撐部件7:隔壁，8:貫通孔，9:電氣設(shè)備，91:升壓 變壓器，92:控制裝置，10:壁，11:基板，12:輥，13:氮?dú)鈱?dǎo)入管， 14:調(diào)整機(jī)構(gòu)，141:緊定螺釘，142:通孔，15:遮蔽機(jī)構(gòu)。
具體實(shí)施例方式
使用圖1來說明本發(fā)明的第1實(shí)施方式。
圖1是表示本實(shí)施方式的發(fā)明涉及的準(zhǔn)分子燈裝置1的構(gòu)成的圖，圖1
(a)是表示準(zhǔn)分子燈裝置1的構(gòu)成的主視剖面圖，圖1 (b)是準(zhǔn)分子燈裝 置l的側(cè)視剖面圖。
如這些圖所示，筐體2由被載置于固定臺(tái)3的固定板21、被配置于固 定板21之間的側(cè)板22、以及遮蔽固定板21及側(cè)板22上面的遮蔽板23構(gòu) 成。在筐體2內(nèi)在固定板21之間固定有懸架體4，在筐體2的大約中央部 燈支撐體6被支撐于懸架體4。燈支撐體6由一端側(cè)被懸架體4支撐而另一 端側(cè)支撐燈支撐部件62a的支撐柱61、及支撐準(zhǔn)分子燈5的燈支撐部件62a 構(gòu)成。而且，在準(zhǔn)分子燈5與懸架體4之間設(shè)有隔壁7以堵住筐體1的下部，燈支撐體6的支撐柱61在松嵌合于設(shè)在隔壁7的貫通孔8的狀態(tài)下被 懸架體4支撐。即、貫通孔8具有比支撐柱61的外徑大的直徑，所以貫通 孔8與支撐柱61成為松嵌合的狀態(tài)。在隔壁7上，搭載有為了點(diǎn)燈準(zhǔn)分子 燈5所需要的升壓變壓器91或控制裝置92等的電氣設(shè)備9。而且，在隔壁 7的下面配置有準(zhǔn)分子燈5與支撐準(zhǔn)分子燈5的燈支撐部件62a、 62b，從 懸架體4經(jīng)由支撐柱61及燈支撐部件62a懸掛著準(zhǔn)分子燈5。而且，在準(zhǔn) 分子燈5附近設(shè)有用于以氮?dú)庵脫Q周圍的大氣的氮?dú)鈱?dǎo)入管13，每分鐘大 概噴上數(shù)十至數(shù)百升的氮?dú)狻６?，設(shè)置壁IO，遮擋從準(zhǔn)分子燈5所放射 的紫外線，并且抑制從氮?dú)鈱?dǎo)入管13所導(dǎo)入的氮?dú)鈴目痼w2的下方流出的 情況。
通過如此構(gòu)成準(zhǔn)分子燈裝置l，即使是較長(zhǎng)的筐體2，或是由于筐體2 的自重及內(nèi)部搭載設(shè)備的重量使得隔壁7彎曲，因?yàn)闊糁误w6通過懸架 體4進(jìn)行定位，因而不存在與基板ll的距離變化的問題。而且，點(diǎn)燈準(zhǔn)分 子燈5而隔壁7受到熱放射時(shí)，隔壁7會(huì)熱膨脹而下垂。但是，不管其熱 膨脹量為多少，都被隔壁7所遮住，懸架體4不會(huì)受到熱放射，而且，懸 架體4被懸架于被載置于筐體2的固定臺(tái)3的固定板21上，因而通過點(diǎn)亮 燈也不存在懸架體4的位置變化的情況。所以，被懸架體4支撐的燈支撐 體6也不會(huì)改變位置，因而通過準(zhǔn)分子燈5的點(diǎn)燈動(dòng)作，不會(huì)有燈支撐體6 與通過滾子12所搬運(yùn)的基板11接觸而損傷的問題。而且，燈支撐體6以 松嵌合于設(shè)在隔壁7的貫通孔8的狀態(tài)下被懸架體4支撐，因而不會(huì)有燈 支撐體6與貫通孔8滑動(dòng)的情形，所以可防止滑動(dòng)所導(dǎo)致的粉塵的產(chǎn)生。 而且，筐體2被遮蔽板23遮蔽，因而可防止從準(zhǔn)分子燈5的周圍所產(chǎn)生的 臭氧對(duì)電氣設(shè)備9的電布線或印刷基板的腐蝕。
使用圖2來說明本發(fā)明的第2實(shí)施方式。
圖2是表示本實(shí)施方式的發(fā)明涉及的準(zhǔn)分子燈裝置1的構(gòu)成的圖，圖2 (a)是表示準(zhǔn)分子燈裝置1的構(gòu)成的主視剖面圖，圖2 (b)是準(zhǔn)分子燈裝 置l的側(cè)視剖面圖。
如同圖所示地，為了調(diào)整燈支撐體6的支撐柱61相對(duì)于懸架體4的上 下方向的位置，設(shè)置緊定螺釘141與由在懸架體4上用于貫通緊定螺釘141 的通孔142構(gòu)成的調(diào)整機(jī)構(gòu)14。而且，其他的構(gòu)成對(duì)應(yīng)于圖1 (a)、 (b)所表示的相同符號(hào)的構(gòu)成，因而省略說明。
通過將準(zhǔn)分子燈裝置1如此地構(gòu)成，懸架體4本身也施加其自重與燈 支撐體6的重量，因而稍彎曲。通過將燈支撐體6的位置設(shè)定在規(guī)定位置 之后，鎖緊緊定螺釘141加以固定，也可矯正懸架體4的微量的彎曲。
接著，使用圖3來說明本發(fā)明的第3實(shí)施方式。
圖3是表示本實(shí)施方式的發(fā)明涉及的準(zhǔn)分子燈裝置1的構(gòu)成的圖，圖3 (a)是表示準(zhǔn)分子燈裝置1的構(gòu)成的主視剖面圖，圖3 (b)是準(zhǔn)分子燈裝 置l的側(cè)視剖面圖。
如同圖所示地，支撐體6松嵌合于貫通孔8，因而存在從間隙流入臭氧 的危險(xiǎn)，因而設(shè)置防止貫通孔8與松嵌合于貫通孔8的燈支撐體6之間的 氣體通過的遮蔽機(jī)構(gòu)15。作為遮蔽機(jī)構(gòu)15使用具有耐紫外線性與耐臭氧性 的金屬波紋管或特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))波紋管。而且，其他的構(gòu)成對(duì)應(yīng)于圖1 (a)、 (b)所表示的相同符號(hào)的構(gòu)成，因而省略說明。
通過將準(zhǔn)分子燈裝置1如此地構(gòu)成，在準(zhǔn)分子燈5的周圍所產(chǎn)生的臭 氧不會(huì)進(jìn)入到筐體2內(nèi)，而且也沒有波紋管15對(duì)懸架體4的負(fù)荷，因而在 對(duì)保持燈支撐體6的位置的功能進(jìn)行保持的情形下可防止臭氧的進(jìn)入。因 為未進(jìn)入臭氧，因而不會(huì)有對(duì)搭載于筐1內(nèi)部的電氣設(shè)備的腐蝕，可實(shí)現(xiàn) 可靠性高的準(zhǔn)分子燈裝置l。
權(quán)利要求
1.一種準(zhǔn)分子燈裝置，其特征在于，具備筐體；懸架體，被該筐體支撐；燈支撐體，被該懸架體支撐；準(zhǔn)分子燈，被該燈支撐體支撐；以及，隔壁，設(shè)于上述準(zhǔn)分子燈與上述懸架體之間；上述燈支撐體松嵌合于設(shè)在上述隔壁上的貫通孔并被上述懸架體支撐。
2. 如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)分子燈裝置，其特征在于， 設(shè)置有調(diào)整上述燈支撐體相對(duì)于上述懸架體的上下方向的位置的調(diào)整機(jī)構(gòu)。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈裝置，其特征在于， 設(shè)置有防止上述貫通孔與松嵌合于該貫通孔的燈支撐體之間的氣體通過的遮蔽機(jī)構(gòu)。
4. 如權(quán)利要求3所述的準(zhǔn)分子燈裝置，其特征在于， 上述遮蔽機(jī)構(gòu)是設(shè)置于上述貫通孔周邊與燈支撐體之間的波紋管。
全文摘要
一種準(zhǔn)分子燈裝置，將裝備于較長(zhǎng)筐體的燈支撐體的位置平常保持一定，不會(huì)有燈支撐體與被處理物的摩擦，消除由于隔壁的熱變形所導(dǎo)致的燈支撐體的位置變化，且防止從準(zhǔn)分子燈的周圍所產(chǎn)生的臭氧對(duì)搭載于筐體內(nèi)的設(shè)備的腐蝕。該準(zhǔn)分子燈裝置(1)具備筐體(1)；被筐體支撐的懸架體(4)；被懸架體支撐的燈支撐體(6)，被燈支撐體支撐的準(zhǔn)分子燈(5)，以及，設(shè)于準(zhǔn)分子燈與懸架體之間的隔壁(7)；燈支撐體松嵌合于設(shè)在隔壁上的貫通孔(8)并被懸架體支撐。而且，設(shè)置有調(diào)整燈支撐體相對(duì)于懸架體的上下方向的位置的調(diào)整機(jī)構(gòu)，設(shè)置有防止氣體通過貫通孔與松嵌合于貫通孔的燈支撐體之間的遮蔽機(jī)構(gòu)。
文檔編號(hào)F21V19/00GK101629708SQ200910160428
公開日2010年1月20日 申請(qǐng)日期2009年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月17日
發(fā)明者菅敏幸, 遠(yuǎn)藤真一 申請(qǐng)人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社