專利名稱：：等離子顯示面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及等離子顯示面板的制造方法，尤其是涉及等離子顯示面板的保護(hù)層的制造方法。
背景技術(shù)：
：作為用于以大畫(huà)面顯示高品質(zhì)的電視圖像的顯示裝置，對(duì)使用了等離子顯示面板(下面也稱為PDP)的顯示裝置的期待提高。PDP(例如3電極面放電型PDP)具有的結(jié)構(gòu)為，從看圖像的人看相對(duì)配置成為表面?zhèn)鹊那懊姘搴推淅飩?cè)的背面板，用密封部件密封它們的周邊部。在形成于前面板和背面板之間的放電空間封入氖及氙等放電氣體。前面板具備由形成于玻璃基板的一面的掃描電極和維持電極構(gòu)成的顯示電極、覆蓋這些電極的電介質(zhì)層和保護(hù)層。背面板具備在玻璃基板上沿和上述顯示電極正交的方向形成為條狀的多個(gè)地址電極、覆蓋這些地址電極的基底電介質(zhì)層、將放電空間對(duì)每一個(gè)地址電極劃分的間隔壁、形成于間隔壁的側(cè)面及基底電介質(zhì)層上的紅色'綠色'藍(lán)色的熒光體層。顯示電極和地址電極正交，其交叉部成為放電單元。這些放電單元排列為矩陣狀，具有紅色'綠色，藍(lán)色的熒光體層的三個(gè)放電單元成為用于彩色顯示的像素。在這種PDP中，按順序?qū)呙桦姌O和地址電極間及掃描電極和維持電極間施加規(guī)定的電壓，從而發(fā)生氣體放電。而且，利用該氣體放電產(chǎn)生的紫外線激勵(lì)熒光體層使其發(fā)出可視光，由此，實(shí)現(xiàn)彩色圖像顯示。作為這種PDP保護(hù)層，為保護(hù)電介質(zhì)層不受放電發(fā)生離子碰撞影響，并且，為促進(jìn)二次電子發(fā)射的熒光體的發(fā)光，有時(shí)釆用"承擔(dān)壁電荷保持功能的薄膜層"和"承擔(dān)初始電子發(fā)射功能的結(jié)晶層"兩層結(jié)構(gòu)的保護(hù)層。作為該保護(hù)層的原料，一般使用耐濺射功能優(yōu)異且二次電子發(fā)射系數(shù)高的氧化鎂(MgO)。3在專利文獻(xiàn)1中，MgO薄膜的形成使用蒸鍍法等，另一方面，MgO結(jié)晶層的形成使用應(yīng)用噴槍的空氣噴涂法。通過(guò)空氣噴涂法將"MgO結(jié)晶粉末分散于溶劑而形成的油墨"噴向MgO薄膜層上。尤其是，在專利文獻(xiàn)1的第一實(shí)施方式中，使直徑500A以上的MgO結(jié)晶粉末分散于由"2-丙醇等的低沸點(diǎn)乙醇"和"根據(jù)羥基的價(jià)數(shù)規(guī)定了分子量的溶劑"構(gòu)成的混合溶劑中，由此，調(diào)制噴涂用油墨。該"根據(jù)羥基的價(jià)數(shù)規(guī)定了分子量的溶劑"為羥基和MgO結(jié)晶粉末結(jié)合且因分子量大的疏水基存在于MgO結(jié)晶粉末表面而使外觀比重降低，能夠使MgO結(jié)晶粉末在油墨中良好地分散的溶劑。另外，在專利文獻(xiàn)1的第二實(shí)施方式中，在將"陰離子界面活性劑及陰離子聚合物的至少任一方"加入"2-丙醇等的低沸點(diǎn)乙醇"而構(gòu)成的溶劑中，使直徑500A以上的MgO結(jié)晶粉末分散，由此調(diào)制噴射用油墨。專利文獻(xiàn)1:(日本)特開(kāi)2007-10330號(hào)公報(bào)在使用了目前的蒸鍍法的噴射法中，可能存在因噴出量和飛散方向的不均勻而使MgO結(jié)晶粉末的覆蓋率在面內(nèi)的不均勻增大的情況。在此，MgO結(jié)晶粉末通過(guò)與CL發(fā)光的峰值波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的能量準(zhǔn)位長(zhǎng)時(shí)間密封電子。而且，該電子通過(guò)電場(chǎng)開(kāi)始放電時(shí)，作為成為觸發(fā)器的初始電子向放電空間中放出，由此，帶來(lái)放電延遲的抑制、放電準(zhǔn)確率提高。因此，MgO結(jié)晶粉末的覆蓋率的面內(nèi)不均勻大時(shí)，難以實(shí)現(xiàn)PDP的各放電單元的放電延遲的抑制、放電準(zhǔn)確率的均勻化。另外，在噴射法中，在必要的區(qū)域以外也有油墨飛散，因此，也存在油墨的使用效率降低等的問(wèn)題。這一點(diǎn)上，使用在必要的區(qū)域能夠以一定的噴出量涂敷均勻濃度的油墨的狹縫涂敷法是有利的。但是，如圖11及圖12所示，在使用狹縫涂敷法形成MgO結(jié)晶層時(shí)存在的問(wèn)題為，產(chǎn)生形成"在MgO薄膜層的凸部51的周圍不存在MgO結(jié)晶粉末的區(qū)域53"或"MgO結(jié)晶粉末的覆蓋率比周圍區(qū)域低的區(qū)域53"的現(xiàn)象(以下，稱為"凹陷現(xiàn)象")，MgO薄膜層上的MgO結(jié)晶粉末的覆蓋率的均勻性降低，難以實(shí)現(xiàn)放電延遲的抑制，放電準(zhǔn)確率的均勻化。另外，MgO薄膜層的凸部51是由(A)絕緣體突起物、(B)在MgO薄膜層的蒸鍍成膜中發(fā)生的MgO飛濺引起的MgO異物、(C)在MgO薄膜層形成過(guò)程中混入的環(huán)境異物等，在PDP前面板的制作過(guò)程中偶發(fā)或不可避免的產(chǎn)生的突起。另外，用狹縫涂敷法形成MgO結(jié)晶層時(shí)，目前的油墨含有聚合物，因此，必須是40(TC以上的燒結(jié)，不僅可能劣化MgO的放電特性，而且，在批量時(shí)有可能聚合物的分子量分布不均勻增大，因此，油墨特性不穩(wěn)定。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于以上事情而開(kāi)發(fā)的。S卩，本發(fā)明的課題在于，提供一種抑制狹縫涂敷法中的"凹陷現(xiàn)象"、并且用不含有聚合物的原料形成保護(hù)層的方法。為解決上述課題，本發(fā)明提供一種等離子顯示面板的前面板的制造方法，在基板上形成有電極、電介質(zhì)層、保護(hù)層，其特征在于，保護(hù)層的形成包括(i)通過(guò)濺射法或蒸鍍法在形成于所述基板上的所述電介質(zhì)層上形成第一保護(hù)層的工序；(ii)在所述第一保護(hù)層上涂敷MgO原料而形成MgO原料層的工序；(iii)使所述MgO原料層干燥而由所述MgO原料層得到第二保護(hù)層的工序，用于第二保護(hù)層的形成的MgO原料含有MgO粉狀體、溶劑A、溶劑B而成，溶劑A的20'C時(shí)的蒸汽壓約為50Pa以上、溶劑B的2(TC時(shí)的蒸汽壓約為7Pa以下，另外，溶劑B相對(duì)于全部溶劑的比例為3重量％以上。在本發(fā)明的制造方法中，形成由第一保護(hù)層和第二保護(hù)層構(gòu)成的兩層結(jié)構(gòu)的保護(hù)層。第一保護(hù)層優(yōu)選為MgO薄膜層，第二保護(hù)層優(yōu)選為MgO結(jié)晶層。本發(fā)明的制造方法其特征為，用于第二保護(hù)層的形成的MgO原料不僅不含有聚合物，而且，應(yīng)用狹縫涂敷法(狹縫涂敷法)涂敷MgO原料使其干燥，MgO原料發(fā)揮作用以防止"凹陷現(xiàn)象"。換言之，本發(fā)明的特征為，MgO原料含有MgO粉狀體、溶劑A、溶劑B而成，溶劑A的2(TC下的蒸汽壓為50Pa以上、溶劑B的2(TC下的蒸汽壓為7Pa以下，另夕卜，溶劑B相對(duì)于全部溶劑的比例為3重量％以上。在此，本說(shuō)明書(shū)中應(yīng)用的"MgO薄膜層"，實(shí)際的意思是利用濺射法或蒸鍍法形成的厚度為0.12/xm左右的MgO層。另外，本
發(fā)明內(nèi)容中應(yīng)用的"MgO結(jié)晶層"，實(shí)際的意思是通過(guò)涂敷含有MgO結(jié)晶粉末的料(優(yōu)選膏狀原料)及進(jìn)行干燥而得到的厚度為0.1~5/mi左右的MgO層。另外，"MgO結(jié)晶層"實(shí)際是MgO粉狀體存在于MgO薄膜層上的形態(tài)，因此，也可以將"MgO結(jié)晶層"稱為MgO粉狀體層。因此，MgO結(jié)晶層的厚度實(shí)際與MgO粉狀體的晶粒直徑相當(dāng)。在某適宜的形態(tài)中，溶劑B相對(duì)于MgO原料的全部溶劑的比例為20重量％以下。由此，能夠期待抑制"凹陷現(xiàn)象"的效果進(jìn)一步增強(qiáng)。另外，優(yōu)選MgO原料的粘度為7mPa's。由此，能夠利用狹縫涂敷法良好地進(jìn)行MgO原料的涂敷，并且，在干燥時(shí)能夠抑制MgO粉狀體的集合々疑聚。另外，優(yōu)選MgO原料中含有的溶劑B具有親水基。由此，能夠使溶劑B相對(duì)于MgO的濡濕性良好，可期待分散性提高。在本發(fā)明的制造方法中，在形成第二保護(hù)層時(shí)，能夠抑制MgO原料的"凹陷現(xiàn)象"。換言之，能夠形成面內(nèi)的覆蓋率均勻的MgO結(jié)晶層，實(shí)現(xiàn)放電延遲的抑制，放電準(zhǔn)確率的均勻化。其結(jié)果能夠得到?jīng)]有選擇不良等的保持良好的放電特性的等離子顯示器。另外，在MgO原料中不含有聚合物，在形成保護(hù)層時(shí)不必要將MgO原料暴露于高溫(例如，現(xiàn)有技術(shù)中說(shuō)明的"40(TC左右")，結(jié)果是能夠抑制得到的保護(hù)層的放電特性的劣化。圖1是示意地表示PDP的結(jié)構(gòu)的立體圖；圖2是示意地表示用本發(fā)明的制造方法得到的PDP的前面板的剖面圖；圖3是示意地表示實(shí)施例的"凹陷直徑"即"異物核徑"的圖；圖4是表示"油墨溶劑成分的效果確認(rèn)試驗(yàn)r的結(jié)果的圖表；圖5是示意地表示背面板的肋節(jié)距(相鄰節(jié)距)的圖；圖6是表示"油墨溶劑成分的效果確認(rèn)試驗(yàn)2"的結(jié)果的圖表；圖7是示意地表示產(chǎn)生"凹陷現(xiàn)象"的機(jī)制的圖；圖8是表示MgO原料的粘度和必要的Wet膜厚的關(guān)系的圖表；圖9是示意地表示狹縫涂敷的"GAP邊緣"的圖；圖10是表示集合/凝聚的MgO粉狀體的電子顯微鏡照片；圖11是示意地表示"凹陷現(xiàn)象"的形態(tài)的立體圖；圖12是產(chǎn)生了"凹陷現(xiàn)象"時(shí)的保護(hù)層的電子顯微鏡照片。符號(hào)說(shuō)明1、前面板2、背面板10、前面板側(cè)的基板11、前面板側(cè)的電極(顯示電極)12、掃描電極12a、透明電極12b、總線電極13、維持電極13a、透明電極13b、總線電極14、黑條(遮光層)15、前面板側(cè)的電介質(zhì)層15、電介質(zhì)原料層16a、第一保護(hù)層(MgO薄膜層)16b、第二保護(hù)層(MgO結(jié)晶層或MgO粉狀體層)20、背面板側(cè)的基板21、背面板側(cè)的電極(地址電極)22、背面板側(cè)的電介質(zhì)層23、間隔壁25、熒光體層30、放電空間32、放電單元51、MgO薄膜層的凸部52、MgO粉狀體以規(guī)定的覆蓋率存在的區(qū)域53、不存在MgO粉狀體的區(qū)域或與周邊區(qū)域52相比覆蓋率低的區(qū)域70、狹縫噴涂的噴嘴100、PDP7具體實(shí)施力式下面，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的等離子顯示面板的制造方法。[等離子顯示面板的結(jié)構(gòu)]首先，簡(jiǎn)單地說(shuō)明通過(guò)本發(fā)明的制造方法最終得到的等離子顯示面板(PDP)。圖1利用剖面立體圖示意性表示PDP的結(jié)構(gòu)。在PDP100的前面板1中，在平滑透明且絕緣性的基板IO(例如玻璃基板)上形成有多個(gè)由掃描電極12和維持電極13構(gòu)成的顯示電極11，以覆蓋該顯示電極11的方式形成電介質(zhì)層15，另外，在該電介質(zhì)層15上形成有保護(hù)層16。另外，掃描電極12及維持電極13分別由透明電極和與該透明電極電連接的由Ag等構(gòu)成的總線電極構(gòu)成。另外，在基板IO上也可以形成遮光層14。在與前面板1相對(duì)配置的背面板2上，在絕緣性的基板20上形成有多個(gè)地址電極21，以覆蓋該地址電極21的方式形成有電介質(zhì)層22。而且，在與該電介質(zhì)層22上的地址電極21間對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有間隔壁23，在電介質(zhì)層22的表面上的相鄰的間隔壁23之間分別設(shè)置有紅、綠、藍(lán)各色的熒光體層25。按照顯示電極11和地址電極21正交，且形成放電空間30的方式，前面板1和背面板2夾著間隔壁23而相對(duì)配置。在放電空間30內(nèi)，作為放電氣體封入氦、氖、氬或氙等稀有氣體。在具有這種構(gòu)成的PDP100中，通過(guò)間隔壁23隔開(kāi)且顯示電極11和地址電極21交叉的放電空間30作為放電單元32發(fā)揮功能。[PDP的一般的制造方法]下面，對(duì)這種PDP100的典型的制造方法進(jìn)行簡(jiǎn)單的說(shuō)明。PDP100的制造分為前面板l的形成工序和背面板2的形成工序。首先，在前面板l的形成工序中，在玻璃基板10上，通過(guò)例如用濺射法等形成透明電極，并且用燒結(jié)法等形成總線電極，由此形成顯示電極ll。其次，以覆蓋顯示電極11的方式在玻璃基板10上涂敷電介質(zhì)原料并進(jìn)行加熱處理而形成電介質(zhì)層15。再次，在該電介質(zhì)層15上，用上述或后述的方法形成由MgO等構(gòu)成的膜，由此，形成保護(hù)層，得到前面板l。在背面板2的形成工序中，在玻璃基板20上，例如用燒結(jié)法等形成8地址電極21，在其上涂敷電介質(zhì)原料而形成電介質(zhì)層22。接著，以規(guī)定的圖案形成由低熔點(diǎn)玻璃構(gòu)成的間隔壁23，在該間隔壁23間涂敷熒光體材料進(jìn)行燒結(jié)，由此形成熒光體層25。接著，在基板的周緣部涂敷例如低熔點(diǎn)玻璃料，進(jìn)行燒結(jié)，由此形成密封部件(在圖1中未圖示)，得到背面板2。將得到的前面板1和背面板2以相對(duì)的方式進(jìn)行對(duì)位，在該狀態(tài)下保持固定并加熱，使密封部件軟化，由此，使前面板1和背面板2氣密地接合，進(jìn)行所謂的面板密封工序。接著，一邊加熱一邊排放放電空間30內(nèi)的氣體，進(jìn)行了所謂的排氣烘焙工序后，在放電空間30內(nèi)封入放電氣體，由此，完成PDPIOO。[本發(fā)明的制造方法]本發(fā)明的方法涉及在上述的PDP的制造時(shí)，前面板的制造、尤其是形成于前面板的保護(hù)層的制造。參照?qǐng)Dl及圖2說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。首先，在本發(fā)明的實(shí)施方式中，準(zhǔn)備形成電極及電介質(zhì)層的基板。更具體地說(shuō)，準(zhǔn)備"形成有顯示電極及電介質(zhì)層的玻璃基板"。因此，首先，在基板10上，準(zhǔn)備形成有由掃描電極12和維持電極13構(gòu)成的顯示電極11的原料。作為基板10，優(yōu)選鈉玻璃和高應(yīng)變點(diǎn)玻璃、各種陶瓷構(gòu)成的絕緣基板，厚度優(yōu)選為1.0mm3iran左右。顯示電極11的掃描電極12及維持電極13上分別形成有由ITO等構(gòu)成的透明電極12a、13a(厚度50nm500nm左右)，并且，在該透明電極上，為使顯示電極的阻抗值下降而形成有含銀構(gòu)成的總線電極12b、13b(厚度lpim8/mi左右)(參照?qǐng)D2)。因此，在用薄膜工藝等形成了透明電極后，經(jīng)過(guò)燒結(jié)工藝等形成總線電極。尤其是，在形成總線電極時(shí)，首先，通過(guò)網(wǎng)版印刷法將以銀為主要成分的導(dǎo)電性膏形成條紋狀。另外，總線電極也可以在利用金屬模涂敷法或印刷法涂敷了以銀為主要成分的感光性膏后，以10(TC20(TC干燥后，利用曝光/顯影的光刻法通過(guò)構(gòu)圖而形成條形狀。另外，也可以通過(guò)調(diào)色法和噴墨法形成。而且，最終干燥后，通過(guò)40(TC60(TC的燒結(jié)，得到總線電極。另外，在透明電極上，也可以形成由Al、Cu或Cr等金屬或Cr/Cu/Cr那樣的層壓體構(gòu)成的金屬電極。形成顯示電極11之后，形成電介質(zhì)層15。介質(zhì)層15可以用PDP前面板的一般的制造中應(yīng)用的燒結(jié)法或溶膠凝膠法等得到。例如，將混合含有Si02、B203、ZnO、Bi203的玻璃粉末、有機(jī)溶劑、粘合劑樹(shù)脂而成的電介質(zhì)原料膏用網(wǎng)板印刷法涂敷，之后，通過(guò)實(shí)施熱處理而能夠形成電介質(zhì)層。電介質(zhì)層15的厚度優(yōu)選530/mi左右，更優(yōu)選1020]tmi左右。另外，作為有機(jī)溶劑可以列舉醇類(例如，異丙醇)和酮類(例如甲基一異丁基酮)，作為粘合劑樹(shù)脂，可以列舉纖維素類樹(shù)脂或丙烯酸類樹(shù)脂。形成電介質(zhì)層15之后，形成保護(hù)層。因此，實(shí)施本發(fā)明的制造方法的工序(i)。換言之，在電介質(zhì)層上用濺射法(sputteringmethod)或蒸鍍法形成第一保護(hù)層。優(yōu)選形成含有氧化鎂(MgO)而成的第一保護(hù)層(即，MgO薄膜層)。形成的第一保護(hù)層的厚度優(yōu)選約0.1~2/mi左右，更優(yōu)選約0.51/mi左右。作為蒸鍍法，可以使用CVD或PVD。另夕卜，不僅限于濺射法或蒸鍍法，只要能夠形成所希望的MgO薄膜層，則也可以根據(jù)需要使用其他的方法。接著，實(shí)施本發(fā)明的制造方法的工序(ii)。即，在第一保護(hù)層(優(yōu)選MgO薄膜層)上涂敷MgO原料而形成MgO原料層。應(yīng)用的MgO原料包括MgO粉狀體、溶劑A、溶劑B而成。MgO粉狀體優(yōu)選MgO結(jié)晶粉狀體(MgO微結(jié)晶粉狀體)，更優(yōu)選MgO單結(jié)晶粉狀體。該MgO結(jié)晶粉狀體或MgO單結(jié)晶粉狀體的粒徑優(yōu)選約0.220pim左右，更優(yōu)選約0.510/mi左右。另外，MgO原料中含有的MgO粉狀體的量?jī)?yōu)選0.3~20重量。/。(MgO原料基準(zhǔn))，更優(yōu)選0.3-10重量。/。(MgO原料基準(zhǔn))，特別優(yōu)選0.35重量。/。(MgO原料基準(zhǔn))，例如，約1重量。/。(MgO原料基準(zhǔn))。MgO原料中含有的溶劑是溶劑A和溶劑B，從后述"干燥時(shí)的對(duì)流"的觀點(diǎn)考慮，需要各蒸汽壓偏離某程度。具體而言，溶劑A的2(TC時(shí)的蒸汽壓為50Pa以上，溶劑B的20'C下的蒸汽壓為7Pa以下。另夕卜，溶劑A的2(TC時(shí)的蒸汽壓優(yōu)選約50Pa以上且約100Pa以下，更優(yōu)選約50Pa以上且約75Pa以下。另一方面，溶劑B的20'C下的蒸汽壓優(yōu)選約2Pa以上且約7Pa以下，更優(yōu)選約4Pa以上且約7Pa以下。另外，MgO原料中含有的溶劑B相對(duì)于全部溶劑的比例(即溶劑B的含有率)為3重量％以上。在此，本
發(fā)明內(nèi)容中所謂的"全部溶劑"，在溶劑只由溶劑A及溶劑B構(gòu)成的情況下，實(shí)際的意思就是"溶劑A及溶劑B"，在溶劑含有添加的其他的溶劑(即，至少一種其他的溶劑)的情況下，實(shí)際的意思就是"溶劑A、溶劑B及其他的溶劑"。另外，溶劑B相對(duì)于全部溶劑的比例優(yōu)選3重量％以上且20重量％以下，更優(yōu)選3重量％以上且12重量％以下。作為溶劑A，可以列舉，例如3-甲氧基-3-甲基-l-丁醇、n-庚醇、2-乙氧基乙醇、2-甲氧基乙醇、n-己醇或2-甲基-l-丙醇等有機(jī)溶劑。另外，溶劑B優(yōu)選含有親水基(例如，羥基、羧基及/或氨基等)的物質(zhì)，例如，可列舉ce-松油醇、丙二醇、2-辛醇、二丙二醇、二甘醇單丁基醚、三丙二醇甲基醚或丙三醇等有機(jī)溶劑。MgO原料的涂敷優(yōu)選使用狹縫涂敷法。所謂"狹縫涂敷法"是從寬大的噴嘴高壓噴出膏狀原料且在規(guī)定的面上涂敷膏狀原料的方法。應(yīng)用該狹縫涂敷法時(shí)，從后述的"防止MgO粉狀體的凝聚"的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選MgO原料具有7mPa's以下程度的粘度。在此，值得注意的是，MgO原料一般情況下可成為非牛頓性流體，因此，本說(shuō)明書(shū)中應(yīng)用的粘度實(shí)際的意思是"在滑動(dòng)速度為100s—1及溫度為25'C時(shí)的粘度"。MgO原料的粘度優(yōu)選3mPa-s以上且7mPa，s以下，更優(yōu)選4mPa.s以上且7mPa.s以下。通過(guò)MgO原料涂敷而形成的MgO原料層的厚度(以下也稱為"Wet膜厚")，優(yōu)選約3]tmi約20i[mi左右，在應(yīng)用狹縫涂敷法時(shí)，從后述的"GAP邊緣"的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選約5/mi約13gm左右，更優(yōu)選約10/mi約13/mi左右。。MgO原料層的形成結(jié)束后,.接著，實(shí)施本發(fā)明的制造方法的工序(iii)。即，使MgO原料層干燥而從MgO原料層得到第二保護(hù)層(即，MgO結(jié)晶層)。這里所說(shuō)的"干燥"實(shí)際的意思為，使MgO原料層中含有的溶劑(更具體的說(shuō)是溶劑A及溶劑B)氣化，將其從MgO原料層中除去。例如，可以將MgO原料層置于7~0.1Pa的負(fù)壓下或真空下，或也可以在大氣壓下實(shí)施100400'C左右的熱處理。也可以根據(jù)需要組合"負(fù)壓下或真空下"和"熱處理"。干燥后得到的第二保護(hù)層的厚度由于溶劑的去除，MgO原料層的厚度進(jìn)一步減小，可成為0.15/mi左右。通過(guò)以上的工序(i)(iii)，形成由第一保護(hù)層(優(yōu)選MgO薄膜層)和第二保護(hù)層(MgO結(jié)晶層)構(gòu)成的兩層結(jié)構(gòu)的保護(hù)層，完成前面板1。對(duì)于前面板l的制作，背面板2按如下的方式制作。首先，在玻璃基ii板即基板20上通過(guò)網(wǎng)板印刷含有銀(Ag)材料的膏的方法、或在整個(gè)面上形成以銀為主要成分的金屬膜后使用曝光/顯影的光刻法進(jìn)行構(gòu)圖的方法等形成前驅(qū)體層，將其在所希望的溫度(例如約400~約70(TC)進(jìn)行燒結(jié)，由此形成地址電極21。接著，在形成有地址電極21的基板20上形成成為基底電介質(zhì)層的電介質(zhì)層22。首先，通過(guò)金屬模涂敷法等涂敷"玻璃成分(由Si02、B203等形成的材料)及以展色料成分等為主要成分的電介質(zhì)原料膏"而形成電介質(zhì)膏層。之后，通過(guò)燒結(jié)而能夠形成電介質(zhì)層22。接著，以規(guī)定的節(jié)距形成間隔壁23。具體而言，在電介質(zhì)層22上涂敷間隔壁形成用原料膏而構(gòu)圖成規(guī)定的形狀，由此形成間隔壁材料層，之后，對(duì)此進(jìn)行燒結(jié)而形成間隔壁23。例如，利用金屬模涂料法或印刷法涂敷以低融點(diǎn)玻璃材料、展色料成分及填充劑等為主要成分的原料膏并將其在約10(TC20(TC實(shí)施干燥，之后，用曝光/顯影的光刻法進(jìn)行構(gòu)圖，接著，實(shí)施約40(TC約70(TC的燒結(jié)，由此形成間隔壁23。另外，間隔壁23可以通過(guò)在用網(wǎng)板印刷形成間隔壁材料膜之后進(jìn)行干燥，利用含有感光性樹(shù)脂的干膜以曝光/顯影處理形成圖案后，用噴砂器進(jìn)行切削、剝離干膜、燒結(jié)而形成。其次，形成熒光體層25。在相鄰的間隔壁23間的電介質(zhì)層22上及間隔壁23的側(cè)面涂敷含有熒光體材料的熒光體原料膏，通過(guò)燒結(jié)而形成熒光體層25。更具體而言，用噴嘴噴出法等涂敷以熒光體粉末及展色料成分等為主要成分的原料膏，接著，實(shí)施約IOO'C的干燥，由此形成熒光體層25。另外，作為紅色的熒光體粉末可以使用[YB03:Eu3+]、作為綠色的熒光體粉末可以使用[Zn2Si04:Mn]，作為藍(lán)色的熒光體粉末可以使用[BaMgMoO":Eu2+]通過(guò)以上工序，在基板20上形成作為規(guī)定的構(gòu)成部件的地址電極21、電介質(zhì)層22、間隔壁23及熒光體層25，完成背面板2。這樣一來(lái)，具備規(guī)定的構(gòu)成部件的前面板1和背面板2以顯示電極11和地址電極21正交的方式相對(duì)配置。接著，用玻璃料密封前面板1和背面板2的周圍。而且，將形成的放電空間內(nèi)排放氣體后，將放電氣體(氦、氖及/或氬等)以優(yōu)選55kPa80kPa的壓力封入，由此最終完成PDP100。以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明不限于此，可以進(jìn)行各種的改變對(duì)于從業(yè)者來(lái)說(shuō)是容易理解的。例如，由第一保護(hù)層和第12二保護(hù)層構(gòu)成的保護(hù)層的"兩層結(jié)構(gòu)"不僅可以是第一保護(hù)層和第二保護(hù)層可以明確區(qū)分的形態(tài)，也可以是不能夠明確區(qū)分第一保護(hù)層和第二保護(hù)層的形態(tài)(例如，第一保護(hù)層和第二保護(hù)層之間的界面是不明確的形態(tài))。[實(shí)施例]為了調(diào)査用于第二保護(hù)層的形成的MgO原料的理想的組成及物理特性而實(shí)施了試驗(yàn)。另外，在以下說(shuō)明的試驗(yàn)中，為方便起見(jiàn)將MgO原料稱為"油墨"。作為MgO油墨，應(yīng)用含有以下材料的物質(zhì)MgO結(jié)晶粉狀體0.5~10]iim的MgO單結(jié)晶粉狀體-溶劑A:3-甲氧基-3-甲基-l-丁醇-溶劑B:a-松油醇為確認(rèn)溶劑B的含有率不同帶來(lái)的效果，將溶劑B的含有率(相對(duì)于全部溶劑的含有率)設(shè)定為5重量y。(Runl-l)、7.5重量e/o(Runl-2)、10重量%(Runl-3)、0重量7。(Runl-4)4種情況。MgO粉狀體濃度全部設(shè)定為1重在調(diào)制MgO油墨時(shí)，將由上述材料構(gòu)成的混合物2000g以在MgO結(jié)晶粉末表面不引起傾倒等格子缺陷的方式以振幅20Mm進(jìn)行30分鐘的超聲波處理，使MgO結(jié)晶粉狀體分散于溶劑中。.將得到的MgO油墨涂敷于用蒸鍍法形成的MgO薄膜層(厚度0.7/mi左右)上。具體而言，將MgO油墨用狹縫涂敷法以Wet膜厚為13gm的方式進(jìn)行涂敷(使用申請(qǐng)人制作的狹縫涂敷設(shè)備)。接著，通過(guò)將氣氛減壓至lPa實(shí)施真空干燥，由此，使溶劑氣化，形成MgO結(jié)晶層(厚度1.0/mi左右)。另外，在MgO薄膜層上，起因于(A)電介質(zhì)突起物、(B)在MgO薄膜層的蒸鍍成膜中發(fā)生的MgO噴濺引起的MgO異物、(C)在MgO薄膜形成過(guò)程中混入的環(huán)境異物等而產(chǎn)生了凸部51。因此，在用狹縫涂敷法形成MgO結(jié)晶層時(shí)，如圖11及圖12所示，注意通常會(huì)產(chǎn)生形成"在MgO薄膜層的凸部51的周圍不存在MgO結(jié)晶粉末的區(qū)域53"或"與周圍區(qū)域52相比覆蓋率低的區(qū)域53"這樣的"凹陷現(xiàn)象"。用50倍光學(xué)顯微鏡測(cè)定圖3所示的"凹陷直徑"。SP，將形成于凸部51(以下稱為"異物核")的周圍的"不存在結(jié)晶MgO粉狀體的區(qū)域53"或"與周圍區(qū)域52相比覆蓋率低的區(qū)域53"的面積(含有異物核的面積)作為圓算出近似時(shí)的直徑。圖4表示得到的MgO結(jié)晶層的"異物核直徑"和"凹陷直徑"的相關(guān)圖表。在此，由以下的理由認(rèn)為，相對(duì)于異物核直徑的凹陷直徑的比為1.87以下是必不可少的。一般要求異物核直徑的上限為150pm。這是因?yàn)椋灰狿DP背面板的肋節(jié)距(間隔壁節(jié)距)為160士10/xm(參照?qǐng)D5)時(shí)，若異物核直徑在肋節(jié)距最小寬度(150jum)以下，則在前面板和背面板貼合時(shí)異物與肋接觸，發(fā)生肋缺口的的概率提高，容易發(fā)生照明不良。作為設(shè)備可允許的凹陷直徑的上限為不會(huì)引起照明不良的280/mi。若異物核直徑大，則隨之帶來(lái)凹陷直徑有增大的傾向。參照?qǐng)D4的圖表，溶劑B為5重量。/。(Runl-l)、7.5重量。/。(Runl-2)、10重量。/。(Runl-3)的情況下，凹陷直徑相對(duì)于異物直徑的比分別為1.83(Runl-1)、1.67(Runl-2)、1.00(Runl國(guó)3)，全部為界限值1.87以下，得到了滿意的結(jié)果。這認(rèn)為是如下結(jié)果，經(jīng)由MgO油墨在溶劑A中混合一定比例以上的溶劑B后，因異物凹凸的膜厚梯度而發(fā)生了表面張力梯度時(shí)，溶劑A和溶劑B分別獨(dú)立引起的對(duì)流混雜在一起，使各種對(duì)流被打亂，因此，移動(dòng)距離縮短。另一方面，溶劑B為0重量。/。(Runl-4)時(shí)，凹陷直徑相對(duì)于異物核直徑之比為4.50，為界限值1.87以上，不能得到滿意的結(jié)果。認(rèn)為這是，在Runl-4時(shí)，MgO油墨為只有溶劑A的單一溶劑，因此，因異物凹凸的膜厚梯度而發(fā)生了表面張力梯度時(shí)，溶劑A向離開(kāi)異物的方向規(guī)則地發(fā)生均勻的對(duì)流，隨之帶來(lái)MgO結(jié)晶粉狀體從異物核向外側(cè)移動(dòng)的結(jié)果。由以上的結(jié)果可知，需要油墨中的溶劑至少由兩種溶劑(溶劑A及溶劑B)構(gòu)成，且一種溶劑(具體的溶劑B)的含有率為3重量％以上。為確認(rèn)溶劑B的蒸汽壓不同而導(dǎo)致的效果，作為MgO油墨，使用含有以下材料的物質(zhì)MgO結(jié)晶粉狀體0.510/mi的MgO單結(jié)晶粉狀體-溶劑A:2(TC時(shí)的蒸汽壓為67Pa的3-甲氧基-3-甲基-l-丁醇-溶劑B:Run2-1;2(TC時(shí)的蒸汽壓為5Pa的a-松油醇Run2-2/2-3;20"C時(shí)的蒸汽壓為llPa的丙二醇Run2-4/2-5;20'C時(shí)的蒸汽壓為20Pa的2-辛醇另外，如下的表1表示各Run的溶劑B的含有率。<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>*h含有率(重量％):以全部溶劑(=溶劑A+溶劑B)為基準(zhǔn)的值*2:滑落速度為100[1/s]及溫度為25'C時(shí)的粘度在進(jìn)行MgO油墨的調(diào)制時(shí)，將由上述材料構(gòu)成的混合物2000g以在MgO結(jié)晶粉狀體表面不引起傾倒等格子缺陷的方式以振幅20gm進(jìn)行30分鐘的超聲波處理，使MgO結(jié)晶粉狀體分散于溶劑中。將得到的MgO油墨涂敷于用蒸鍍法形成的MgO薄膜層(厚度0.7pm左右)上。具體而言，將MgO油墨用狹縫涂敷法以Wet膜厚為13^m的方式進(jìn)行涂敷(使用申請(qǐng)人制作的狹縫涂敷設(shè)備)。接著，通過(guò)將氣氛減壓至lPa實(shí)施真空干燥，由此，使溶劑氣化，形成MgO結(jié)晶層(厚度1.0/mi左右)。根據(jù)和上述的"油墨溶劑成分的效果確認(rèn)試驗(yàn)r同樣的評(píng)價(jià)基準(zhǔn)，對(duì)得到的MgO結(jié)晶層的"異物核直徑"和"凹陷直徑"的相關(guān)性進(jìn)行評(píng)價(jià)。圖6表示有關(guān)得到的MgO結(jié)晶層的"異物核直徑"和"凹陷直徑"的相關(guān)圖表。參照?qǐng)D6的圖表，作為溶劑B使用2(TC時(shí)的蒸汽壓為5Pa以下的a-松油醇時(shí)(Run2-l)，凹陷直徑相對(duì)于異物直徑之比為1.83，界限值1.87以下，得到了滿意的結(jié)果。這認(rèn)為是如下結(jié)果，由于在MgO油墨中溶劑A和溶劑B的蒸汽壓充分遠(yuǎn)離，因此，因異物凹凸的膜厚梯度而發(fā)生了表面張力梯度時(shí)，溶劑A和溶劑B分別獨(dú)立引起的對(duì)流混雜在一起，各自的對(duì)流被打亂，MgO粒子從異物向外部的移動(dòng)被抑制。另一方面，在溶劑B在2CTC時(shí)的蒸汽壓比5Pa高的丙二醇及2-辛醇的場(chǎng)合(Run2-22-5)，凹陷直徑相對(duì)于異物直徑之比為界限值1.87以上，不能得到滿意的結(jié)果。這認(rèn)為是如下結(jié)果，在Run2-22-5時(shí)，MgO油墨中含有的溶劑A和溶劑B的蒸汽壓的差小，因此，因異物凹凸的膜厚梯度而發(fā)生了表面張力梯度時(shí)，各溶劑發(fā)生類似的對(duì)流，相互的對(duì)流增大，因此，促進(jìn)了MgO粒子從異物向外部的移動(dòng)。由以上的結(jié)果可知，優(yōu)選溶劑B(具有親水基的溶劑)2(TC時(shí)的蒸汽壓為7Pa以下。另外，參考以上對(duì)產(chǎn)生所謂的"凹陷現(xiàn)象"的機(jī)制進(jìn)行說(shuō)明。在MgO結(jié)晶層的干燥工序時(shí)，存在于MgO薄膜層的凸部(即電介質(zhì)突起/MgO飛濺/環(huán)境異物被MgO薄膜層覆蓋的部分)上的油墨的固形部分濃度增高，或凸部從油墨液面突出時(shí)，表面張力的平衡被破壞，以油墨從凸部脫離的方式產(chǎn)生對(duì)流(參照?qǐng)D7)。其結(jié)果是，在凸部的周圍形成MgO結(jié)晶粉狀體不存在或少的區(qū)域。這一點(diǎn)認(rèn)為是，以用"油墨溶劑成分的效果確認(rèn)試驗(yàn)1"及"油墨溶劑成分的效果確認(rèn)試驗(yàn)2"確認(rèn)的方式，在本發(fā)明使用的油墨中，抑制通過(guò)蒸汽壓為50Pa以上的溶劑A和蒸汽壓為7Pa以下的溶劑B的混合劑干燥時(shí)的溶劑的上述對(duì)流(另外認(rèn)為是，本發(fā)明中使用的油墨是比較高粘度的膏材料，因此，伴隨溶劑的對(duì)流的MgO結(jié)晶粉末的流動(dòng)容易被抑制，這一點(diǎn)也能夠防止"凹陷現(xiàn)象")。作為MgO油墨，使用含有以下材料的物質(zhì)-MgO結(jié)晶粉狀體0.510jwn的MgO單結(jié)晶粉狀體-溶劑A:3-甲氧基-3-甲基-l-丁醇-溶劑B:a-松油醇為確認(rèn)MgO油墨的粘度不同的效果，將溶劑B的含有率(相對(duì)于全部溶劑的含有率)設(shè)定為0重量。/。(Rim3-l)、7.5重量。/。(Run3-2)、10重量16%(Run3-3)、15重量。/o(Run3-4)(MgO粉狀體濃度全部為1重量％)，由此，調(diào)整粘度分別不同的MgO油墨(參照如下表2)。表2油墨的粘度(mPa-s"Run3-16.0Run3-26.7Run3-37,0Run3"48.0*:滑落速度為100[1/s]及溫度為25'C時(shí)的粘度在進(jìn)行MgO油墨的調(diào)制時(shí)，將由上述材料構(gòu)成的混合物2000g以在MgO結(jié)晶粉末表面不引起傾倒等格子缺陷的方式以振幅20/mi進(jìn)行30分鐘的超聲波處理，使MgO結(jié)晶粉狀體分散于溶劑中。在此，圖8表示上述MgO油墨滑落速度為100s-1時(shí)的粘度(25'C)與在該粘度下用狹縫涂敷法通過(guò)150pm的GAP邊緣(參照?qǐng)D9)涂敷所需的Wet膜厚的相關(guān)關(guān)系。與油墨粘度成比例，在150/mi的GAP邊緣涂敷所需的Wet膜厚變大。尤其是，在Run3-l的粘度6.0mPa，s所需的Wet膜厚為10/xm，在Run3-2的粘度6.7mPa's所需的Wet膜厚為12.5pm，在Run3-3的粘度7.0mPa's所需的Wet膜厚為13/mi，在Run3-4的粘度8.0mPa's所需的Wet膜厚為15.5pim。因此，將得到的MgO油墨涂敷于用蒸鍍法形成的MgO薄膜層(厚度0.7Mm左右)上以得到必要的膜厚。具體而言，將MgO油墨用狹縫涂敷法以稱為Wet膜厚分別為10pm(Run3-l)、12.5/mi(Run3-2)、13/mi(Run3-3)、15.5gm(Run3-4)。接著，通過(guò)將氣氛減壓至1Pa實(shí)施真空干燥，由此，使溶劑氣化，形成MgO結(jié)晶層(厚度分別為約1.0Mm(Run3-l)、約U/mi(Run3-2)、約1.0jtmi(Run3-3)、約U/mi(Run3-4)左右)。對(duì)得到的MgO結(jié)晶層，觀察MgO結(jié)晶粉狀體的分布形態(tài)。認(rèn)為在油墨粘度為7.0mPa's以下的場(chǎng)合(Run3-l3-3)，不發(fā)生MgO粉狀體的集合體或凝聚體。這是因?yàn)?，a-松油醇的含有量少、且Wet膜厚小，因此，蒸發(fā)時(shí)間短、在MgO粉狀體凝聚前溶劑蒸發(fā)，不會(huì)引起MgO的移動(dòng)。另一方面，認(rèn)為在油墨粘度比7.0mPa's大時(shí)(Run3-4)，發(fā)生MgO粉17狀體的集合體或凝聚體(參照?qǐng)D10)。這是因?yàn)?，a-松油醇的含有量多，且Wet膜厚大，因此，蒸發(fā)時(shí)間長(zhǎng)，在MgO粉狀體未固定時(shí)集合;疑聚。由以上結(jié)果可看到，粘度為7mPa.s以下(滑落速度100s")時(shí)，能夠防止MgO粉狀體的集合或凝聚，能夠得到亮度均勻且審視性良好的PDP。工業(yè)上的可利用性利用本發(fā)明的制造方法最終得到的PDP具有良好的放電特性，因此，作為面向一般家庭的等離子電視及商業(yè)用等離子電視可以很好地使用，除此之外，作為其他的各種顯示裝置也可以很好地使用。另外，本發(fā)明的制造方法不限于PDP，也可以靈活應(yīng)用于其他制品領(lǐng)域。例如，在電池'電子零件等領(lǐng)域，也可以用于將不含有聚合物.分散劑的油墨用狹縫涂敷法涂敷于存在凹凸的基板上，而形成涂敷率極其均勻的粉末層的用途。權(quán)利要求1、一種等離子顯示面板的前面板的制造方法，在基板上形成有電極、電介質(zhì)層和保護(hù)層，其特征在于，所述保護(hù)層的形成包括(i)通過(guò)濺射法或蒸鍍法在形成于所述基板上的所述電介質(zhì)層上形成第一保護(hù)層的工序；(ii)在所述第一保護(hù)層上涂敷MgO原料而形成MgO原料層的工序；(iii)使所述MgO原料層干燥而由所述MgO原料層得到第二保護(hù)層的工序，所述MgO原料包括MgO粉狀體、溶劑A和溶劑B而成，溶劑A的20℃時(shí)的蒸汽壓為50Pa以上、溶劑B的20℃時(shí)的蒸汽壓為7Pa以下，溶劑B相對(duì)于全部溶劑的比例為3重量％以上。2、如權(quán)利要求1所述的等離子顯示面板的前面板的制造方法，其特征在于，在所述MgO原料中，溶劑B相對(duì)于全部溶劑的比例為20重量。/。以下。3、如權(quán)利要求1或2所述的等離子顯示面板的前面板的制造方法，其特征在于，溶劑B具有親水基。4、如權(quán)利要求1或2所述的等離子顯示面板的前面板的制造方法，其特征在于，所述MgO原料的粘度為7mPa's以下，在所述工序(ii)中，利用狹縫涂敷法進(jìn)行所述MgO原料的涂敷。全文摘要本發(fā)明提供一種等離子顯示面板的制造方法，抑制狹縫涂敷法的“凹陷現(xiàn)象”，并且，用不含有聚合物的原料形成保護(hù)層。其特征為，保護(hù)層的形成包括(i)通過(guò)濺射法或蒸鍍法等在形成于基板上的電介質(zhì)層上形成第一保護(hù)層的工序；(ii)在第一保護(hù)層上涂敷MgO原料而形成MgO原料層的工序；及(iii)使MgO原料層干燥并由MgO原料層得到第二保護(hù)層的工序，MgO原料含有MgO粉狀體、溶劑A、溶劑B而成，溶劑A的20℃下的蒸汽壓為50Pa以上、溶劑B的20℃下的蒸汽壓為7Pa以下，另外，溶劑B相對(duì)于全部溶劑的比例為3重量％以上。文檔編號(hào)H01J11/12GK101667513SQ20091017333公開(kāi)日2010年3月10日申請(qǐng)日期2009年6月4日優(yōu)先權(quán)日2008年6月4日發(fā)明者前島聰,重藤修行,黑宮未散申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社