專利名稱：懸粱式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的
相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板 場致發(fā)射顯示器的器件制作，特別涉及一種懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器 及其制作工藝。
背景技術(shù)：
顯示器件的主要功能就是進(jìn)行圖像顯示。在目前的平板顯示器件中，場致發(fā)射顯 示器無疑是最引人注目的一款平板顯示設(shè)備，它不僅具有CRT顯示器的高圖像質(zhì)量，同時(shí) 還兼顧具有低制作成本、低功耗、寬適用溫區(qū)、薄型化、完全平板化等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)得到了眾多 科研人員的青睞。作為顯示器件中的重要組成部分_陰極材料，碳納米管無疑是最佳的選 擇，它可以在外加較低的電場強(qiáng)度下發(fā)射出大量的電子，且制作工藝簡單。碳納米管材料的 加入，使得場致發(fā)射平板顯示器的研究進(jìn)展得到了極大的加速。但是，在目前所研發(fā)的三極 結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極的場致發(fā)射顯示器中，普遍都存在著柵極工作電壓過高、柵極工作電 流偏大等不利之處，在加之對柵極制作材料要求比較苛刻，對柵極制作工藝過于復(fù)雜化等 缺陷，使得場致發(fā)射顯示器的研究進(jìn)展出現(xiàn)了阻礙，也極大推遲了場致發(fā)射顯示器進(jìn)行市 場產(chǎn)品化的進(jìn)程。這不僅不符合低壓低成本平板器件的要求和原則，而且還迫使整體器件 的制作成本居高不下。而對于碳納米管陰極的制作工藝以及制作結(jié)構(gòu)也沒有一個(gè)令人滿意 的方案，都還需要進(jìn)行大量的研究和開發(fā)。此外，對于整體平板顯示器件的制作，制作工藝 簡單、制作過程穩(wěn)定可靠也是不可忽視的一個(gè)重要方面。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本 低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器 及其制作工藝。 本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 —種懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板1、陽 極玻璃面板21和玻璃邊框17所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極傳導(dǎo)層 20、陽極連線層22、陽極絕緣層18以及制備在陽極傳導(dǎo)層上面的熒光粉層19 ;位于陽極玻 璃面板和陰極玻璃面板之間的分隔支撐器16和消氣劑15 ;其特征在于
所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；在陰極玻璃 面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成阻擋層2 ;阻擋層上面存在陰極底層3 ;陰極底層的周圍 存在陰極連線層4 ;陰極連線層和陰極底層是相互連通的；陰極底層上面存在陰極提升一
層5，陰極提升二層6和陰極提升三層7 ;陰極提升一層，陰極提升二層和陰極提升三層的形 狀相同，均為圓柱體形狀，且圓柱體的高度和橫截面直徑相同；陰極提升一層，陰極提升二層和陰極提升三層的上下表面均為平面，下表面均和陰極底層相接觸；陰極提升一層，陰極 提升二層和陰極提升三層排成一列，呈現(xiàn)一條直線形，其中陰極提升一層位于直線形排列 的一端，陰極提升三層位于直線形排列的另一端，陰極提升二層位于陰極提升一層和陰極 提升三層的中間位置；陰極提升一層，陰極提升二層和陰極提升三層的上面存在陰極連續(xù) 層8 ;陰極連續(xù)層呈現(xiàn)長條形形狀，其一端位于陰極提升一層的上表面，端頭呈現(xiàn)半圓型形 狀，其半圓型形狀的直徑與陰極提升一層上表面的直徑相同，其半圓型形狀的邊緣與陰極 提升一層的上表面的邊緣相重合，陰極連續(xù)層的另一端位于陰極提升三層的上表面，端頭 呈現(xiàn)半圓型形狀，其半圓型形狀的直徑與陰極提升三層上表面的直徑相同，其半圓型形狀 的邊緣與陰極提升三層的上表面的邊緣相重合；陰極連續(xù)層的其余兩個(gè)邊緣為相互平行的 直線型，兩個(gè)平行邊之間的寬度與陰極提升二層上表面的直徑相同；陰極連續(xù)層的中間位 置位于陰極提升二層上表面上；陰極連續(xù)層中位于陰極提升一層和陰極提升二層之間的部 位是呈現(xiàn)懸空狀態(tài)的，陰極連續(xù)層中位于陰極提升二層和陰極提升三層之間的部位是呈現(xiàn) 懸空狀態(tài)的；陰極連續(xù)層的上面存在陰極犧牲層9，陰極犧牲層布滿陰極連續(xù)層的上表面； 陰極底層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成阻滯一層10 ;阻滯一層的上下表面均為平面，其 下表面和陰極底層相接觸；阻滯一層中存在矩形電子孔，暴露出下面的部分陰極底層，陰極 提升一層，陰極提升二層，陰極提升三層，陰極連續(xù)層，陰極犧牲層；阻滯一層中的矩形電子 孔的側(cè)壁是垂直于陰極底層表面的；阻滯一層中矩形電子孔的側(cè)壁和上表面交界處存在向 內(nèi)凹陷的斜坡面，斜坡面為傾斜的平面，斜坡面和矩形電子孔側(cè)壁的交界處位置低，斜坡面 和阻滯一層上表面的交界處位置高；阻滯一層上面存在柵極傳導(dǎo)層ll，柵極傳導(dǎo)層要布滿 阻滯一層中矩形電子孔側(cè)壁與阻滯一層上表面交界處的斜坡面，其前端延伸到矩形電子孔 中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極傳導(dǎo)層的周圍存在柵極連線層12，柵極連線層和柵極傳導(dǎo)層是相 互連通的；阻滯一層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成阻滯二層13，阻滯二層覆蓋柵極傳導(dǎo) 層和柵極連線層；碳納米管14制備在陰極犧牲層的上面。 所述的陰極底層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極連線層為金屬 金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極提升一層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之 一 ；陰極提升二層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極提升三層為金屬金、銀、 鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極連續(xù)層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極 犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；柵極 連線層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一；柵極傳導(dǎo)層的走向和陰極底層的走向是 相互垂直的。 —種懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其 制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)阻擋層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成阻擋層； 3)陰極底層3的制作在陰極玻璃面板上制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成 陰極底層； 4)陰極連線層4的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陰極連線層；
5)陰極提升一層5、陰極提升二層6、陰極提升三層7的制作在陰極底層的上 面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成陰極提升一層、陰極提升二層、陰極提升三 層； 6)陰極連續(xù)層8的制作在陰極提升一層、陰極提升二層、陰極提升三層的上面制 備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極連續(xù)層； 7)陰極犧牲層9的制作在陰極連續(xù)層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后 形成陰極犧牲層； 8)阻滯一層10的制作在陰極底層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成阻滯一層； 9)柵極傳導(dǎo)層11的制作在阻滯一層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形 成柵極傳導(dǎo)層； 10)柵極連線層12的制作在柵極傳導(dǎo)層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成柵極連線層； 11)阻滯二層13的制作在阻滯一層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成阻滯二層； 12)懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對懸梁式單條陰極型矩形 柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵； 13)碳納米管14的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面；
14)陽極玻璃面板21的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽極玻璃面板；
15)陽極傳導(dǎo)層20的制作在陽極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻 蝕工藝后形成陽極傳導(dǎo)層； 16)陽極連線層22的制作在陽極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成陽極連線層； 17)陽極絕緣層18的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成陽極絕緣層； 18)熒光粉層19的制備在陽極傳導(dǎo)層的上面制備出熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后 形成熒光粉層； 19)器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、分隔支撐器16、玻璃邊框17裝配
到一起，并將消氣劑15安裝到空室當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定； 20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。 所述步驟17具體為在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極傳導(dǎo)層中間的空余位
置印刷絕緣漿料；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)
行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟18具體為在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極傳導(dǎo)層上面印刷熒光粉，在 烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入 烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī) 上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。 本發(fā)明具有如下的積極效果本發(fā)明中的主要特點(diǎn)在于制作了具有懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極的平板場致發(fā)射平板顯示器件。將高性能的制作材料 和低成本的制作工藝有機(jī)結(jié)合起來，制作出性能更加優(yōu)良的平板發(fā)光器件。其一，采用了懸 梁式單條陰極型結(jié)構(gòu)，能夠極大地提升碳納米管的發(fā)射效率；其二，采用了矩形柵控結(jié)構(gòu)， 不僅簡化了柵極結(jié)構(gòu)的制作工藝，降低了制作難度，而且還進(jìn)一步縮減了柵極-陰極之間 的有效距離，從而達(dá)到降低器件工作電壓的目的；其三，在本發(fā)明中，碳納米管陰極的制作 不受其它制作器件工藝的影響，極大減少了碳納米管陰極的損傷，提高了顯示器件制作的 成功率。 此外，在本發(fā)明中的器件制作過程中，并沒有采用特殊的器件制作材料以及特殊 的器件制作工藝，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠 的優(yōu)越之處。


圖1給出了懸梁式單條陰極型矩形柵
圖2給出了懸梁式單條陰極型矩形柵
圖3給出了懸梁式單條陰極型矩形柵 器的結(jié)構(gòu)示意圖。
控結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖。 控結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖。 [控結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極場致發(fā)射平板顯示
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于實(shí)施例。
如圖1、2、3所示，一種懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰 極玻璃面板1、陽極玻璃面板21和玻璃邊框17所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板 上的陽極傳導(dǎo)層20、陽極連線層22、陽極絕緣層18以及制備在陽極傳導(dǎo)層上面的熒光粉層 19 ;位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的分隔支撐器16和消氣劑15 ;其特征在于
所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；陰極玻璃面 板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成阻擋層；阻擋層上面存在陰極底層；陰極底層的周圍存在 陰極連線層；陰極連線層和陰極底層是相互連通的；陰極底層上面存在陰極提升一層，陰 極提升二層和陰極提升三層；陰極提升一層，陰極提升二層和陰極提升三層的形狀相同，均 為圓柱體形狀，且圓柱體的高度和橫截面直徑相同；陰極提升一層，陰極提升二層和陰極提 升三層的上下表面均為平面，下表面均和陰極底層相接觸；陰極提升一層，陰極提升二層和 陰極提升三層排成一列，呈現(xiàn)一條直線形，其中陰極提升一層位于直線形排列的一端，陰極 提升三層位于直線形排列的另一端，陰極提升二層位于陰極提升一層和陰極提升三層的中 間位置；陰極提升一層，陰極提升二層和陰極提升三層的上面存在陰極連續(xù)層；陰極連續(xù) 層呈現(xiàn)長條形形狀，其一端位于陰極提升一層的上表面，端頭呈現(xiàn)半圓型形狀，其半圓型形 狀的直徑與陰極提升一層上表面的直徑相同，其半圓型形狀的邊緣與陰極提升一層的上表 面的邊緣相重合，陰極連續(xù)層的另一端位于陰極提升三層的上表面，端頭呈現(xiàn)半圓型形狀， 其半圓型形狀的直徑與陰極提升三層上表面的直徑相同，其半圓型形狀的邊緣與陰極提升 三層的上表面的邊緣相重合；陰極連續(xù)層的其余兩個(gè)邊緣為相互平行的直線型，兩個(gè)平行 邊之間的寬度與陰極提升二層上表面的直徑相同；陰極連續(xù)層的中間位置位于陰極提升二 層上表面上；陰極連續(xù)層中位于陰極提升一層和陰極提升二層之間的部位是呈現(xiàn)懸空狀態(tài)的，陰極連續(xù)層中位于陰極提升二層和陰極提升三層之間的部位是呈現(xiàn)懸空狀態(tài)的；陰極 連續(xù)層的上面存在陰極犧牲層，陰極犧牲層布滿陰極連續(xù)層的上表面；陰極底層上面印刷 并燒結(jié)的絕緣漿料形成阻滯一層；阻滯一層的上下表面均為平面，其下表面和陰極底層相 接觸；阻滯一層中存在矩形電子孔，暴露出下面的部分陰極底層，陰極提升一層，陰極提升 二層，陰極提升三層，陰極連續(xù)層，陰極犧牲層；阻滯一層中的矩形電子孔的側(cè)壁是垂直于 陰極底層表面的；阻滯一層中矩形電子孔的側(cè)壁和上表面交界處存在向內(nèi)凹陷的斜坡面， 斜坡面為傾斜的平面，斜坡面和矩形電子孔側(cè)壁的交界處位置低，斜坡面和阻滯一層上表 面的交界處位置高；阻滯一層上面存在柵極傳導(dǎo)層，柵極傳導(dǎo)層要布滿阻滯一層中矩形電 子孔側(cè)壁與阻滯一層上表面交界處的斜坡面，其前端延伸到矩形電子孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)； 柵極傳導(dǎo)層的周圍存在柵極連線層，柵極連線層和柵極傳導(dǎo)層是相互連通的；阻滯一層上 面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成阻滯二層，阻滯二層覆蓋柵極傳導(dǎo)層和柵極連線層；碳納米 管制備在陰極犧牲層的上面。 所述的陰極底層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極連線層為金屬 金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極提升一層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之 一 ；陰極提升二層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極提升三層為金屬金、銀、 鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極連續(xù)層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極 犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；柵極 連線層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一；柵極傳導(dǎo)層的走向和陰極底層的走向是 相互垂直的。 —種懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其 制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)阻擋層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成阻擋層； 3)陰極底層3的制作在陰極玻璃面板上制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成 陰極底層； 4)陰極連線層4的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陰極連線層； 5)陰極提升一層5、陰極提升二層6、陰極提升三層7的制作在陰極底層的上 面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成陰極提升一層、陰極提升二層、陰極提升三 層； 6)陰極連續(xù)層8的制作在陰極提升一層、陰極提升二層、陰極提升三層的上面制 備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極連續(xù)層； 7)陰極犧牲層9的制作在陰極連續(xù)層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后 形成陰極犧牲層； 8)阻滯一層10的制作在陰極底層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成阻滯一層； 9)柵極傳導(dǎo)層11的制作在阻滯一層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形 成柵極傳導(dǎo)層；
9
10)柵極連線層12的制作在柵極傳導(dǎo)層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成柵極連線層； 11)阻滯二層13的制作在阻滯一層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成阻滯二層； 12)懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對懸梁式單條陰極型矩形 柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵； 13)碳納米管14的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面；
14)陽極玻璃面板21的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽極玻璃面板；
15)陽極傳導(dǎo)層20的制作在陽極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻 蝕工藝后形成陽極傳導(dǎo)層； 16)陽極連線層22的制作在陽極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成陽極連線層； 17)陽極絕緣層18的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成陽極絕緣層； 18)熒光粉層19的制備在陽極傳導(dǎo)層的上面制備出熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后 形成熒光粉層； 19)器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、分隔支撐器16、玻璃邊框17裝配
到一起，并將消氣劑15安裝到空室當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定； 20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。 所述步驟17具體為在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極傳導(dǎo)層中間的空余位
置印刷絕緣漿料；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)
行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟18具體為在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極傳導(dǎo)層上面印刷熒光粉，在 烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入 烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī) 上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。 所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板1、陽 極玻璃面板21和玻璃邊框17所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極傳導(dǎo)層 20、陽極連線層22、陽極絕緣層18以及制備在陽極傳導(dǎo)層上面的熒光粉層19 ;位于陽極玻 璃面板和陰極玻璃面板之間的分隔支撐器16和消氣劑15。所述的懸梁式單條陰極型矩形 柵控結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板1 、阻擋層2、陰極底層3、陰極連線層4、陰極提升一層5、陰極提 升二層6、陰極提升三層7、陰極連續(xù)層8、陰極犧牲層9、阻滯一層10、柵極傳導(dǎo)層11、柵極 連線層12、阻滯二層13、碳納米管14部分。所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的基底 材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃之一。
權(quán)利要求
一種懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板(1)、陽極玻璃面板(21)和玻璃邊框(17)所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極傳導(dǎo)層(20)、陽極連線層(22)、陽極絕緣層(18)以及制備在陽極傳導(dǎo)層上面的熒光粉層(19)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的分隔支撐器(16)和消氣劑(15)；其特征在于所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；在陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成阻擋層(2)；阻擋層上面存在陰極底層(3)；陰極底層的周圍存在陰極連線層(4)；陰極連線層和陰極底層是相互連通的；陰極底層上面存在陰極提升一層(5)，陰極提升二層(6)和陰極提升三層(7)；陰極提升一層，陰極提升二層和陰極提升三層的形狀相同，均為圓柱體形狀，且圓柱體的高度和橫截面直徑相同；陰極提升一層，陰極提升二層和陰極提升三層的上下表面均為平面，下表面均和陰極底層相接觸；陰極提升一層，陰極提升二層和陰極提升三層排成一列，呈現(xiàn)一條直線形，其中陰極提升一層位于直線形排列的一端，陰極提升三層位于直線形排列的另一端，陰極提升二層位于陰極提升一層和陰極提升三層的中間位置；陰極提升一層，陰極提升二層和陰極提升三層的上面存在陰極連續(xù)層(8)；陰極連續(xù)層呈現(xiàn)長條形形狀，其一端位于陰極提升一層的上表面，端頭呈現(xiàn)半圓型形狀，其半圓型形狀的直徑與陰極提升一層上表面的直徑相同，其半圓型形狀的邊緣與陰極提升一層的上表面的邊緣相重合，陰極連續(xù)層的另一端位于陰極提升三層的上表面，端頭呈現(xiàn)半圓型形狀，其半圓型形狀的直徑與陰極提升三層上表面的直徑相同，其半圓型形狀的邊緣與陰極提升三層的上表面的邊緣相重合；陰極連續(xù)層的其余兩個(gè)邊緣為相互平行的直線型，兩個(gè)平行邊之間的寬度與陰極提升二層上表面的直徑相同；陰極連續(xù)層的中間位置位于陰極提升二層上表面上；陰極連續(xù)層中位于陰極提升一層和陰極提升二層之間的部位是呈現(xiàn)懸空狀態(tài)的，陰極連續(xù)層中位于陰極提升二層和陰極提升三層之間的部位是呈現(xiàn)懸空狀態(tài)的；陰極連續(xù)層的上面存在陰極犧牲層(9)，陰極犧牲層布滿陰極連續(xù)層的上表面；陰極底層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成阻滯一層(10)；阻滯一層的上下表面均為平面，其下表面和陰極底層相接觸；阻滯一層中存在矩形電子孔，暴露出下面的部分陰極底層，陰極提升一層，陰極提升二層，陰極提升三層，陰極連續(xù)層，陰極犧牲層；阻滯一層中的矩形電子孔的側(cè)壁是垂直于陰極底層表面的；阻滯一層中矩形電子孔的側(cè)壁和上表面交界處存在向內(nèi)凹陷的斜坡面，斜坡面為傾斜的平面，斜坡面和矩形電子孔側(cè)壁的交界處位置低，斜坡面和阻滯一層上表面的交界處位置高；阻滯一層上面存在柵極傳導(dǎo)層(11)，柵極傳導(dǎo)層要布滿阻滯一層中矩形電子孔側(cè)壁與阻滯一層上表面交界處的斜坡面，其前端延伸到矩形電子孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極傳導(dǎo)層的周圍存在柵極連線層(12)，柵極連線層和柵極傳導(dǎo)層是相互連通的；阻滯一層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成阻滯二層(13)，阻滯二層覆蓋柵極傳導(dǎo)層和柵極連線層；碳納米管(14)制備在陰極犧牲層的上面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的陰極底層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極連線層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極提升一層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極提升二層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極提升三層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極連續(xù)層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；陰極犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一 ；柵極連線層為金屬金、銀、鉻、錫、銅、鋁、鉬、鉛、銦之一；柵極傳導(dǎo)層的走向和陰極底層的走向是相互垂 直的。
3. —種如權(quán)利要求1所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工 藝，其特征在于，其制作步驟如下1) 陰極玻璃面板(1)的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；2) 阻擋層(2)的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成 阻擋層；3) 陰極底層(3)的制作在陰極玻璃面板上制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰 極底層；4) 陰極連線層(4)的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成 陰極連線層；5) 陰極提升一層(5)、陰極提升二層(6)、陰極提升三層(7)的制作在陰極底層的上 面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后分別形成陰極提升一層、陰極提升二層、陰極提升三 層；6) 陰極連續(xù)層(8)的制作在陰極提升一層、陰極提升二層、陰極提升三層的上面制備 出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極連續(xù)層；7) 陰極犧牲層(9)的制作在陰極連續(xù)層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形 成陰極犧牲層；8) 阻滯一層(10)的制作在陰極底層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成阻滯一層；9) 柵極傳導(dǎo)層(11)的制作在阻滯一層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成 柵極傳導(dǎo)層；10) 柵極連線層(12)的制作在柵極傳導(dǎo)層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成柵極連線層；11) 阻滯二層(13)的制作在阻滯一層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成阻滯二層；12) 懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對懸梁式單條陰極型矩形柵控 結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13) 碳納米管(14)的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面；14) 陽極玻璃面板(21)的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽極玻璃面板；15) 陽極傳導(dǎo)層(20)的制作在陽極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕 工藝后形成陽極傳導(dǎo)層；16) 陽極連線層(22)的制作在陽極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陽極連線層；17) 陽極絕緣層(18)的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成陽極絕緣層；18) 熒光粉層(19)的制備在陽極傳導(dǎo)層的上面制備出熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形 成熒光粉層；19) 器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、分隔支撐器(16)、玻璃邊框(17)裝配到一起，并將消氣劑(15)安裝到空室當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝， 其特征在于所述步驟17具體為在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極傳導(dǎo)層中間的空 余位置印刷絕緣漿料；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐 中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時(shí)間10分鐘。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極傳導(dǎo)層上面印刷熒光粉， 在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時(shí)間10分鐘。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放 入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消 機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明特別涉及一種懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和玻璃邊框所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極傳導(dǎo)層、陽極連線層、陽極絕緣層以及制備在陽極傳導(dǎo)層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的分隔支撐器和消氣劑；所述的懸梁式單條陰極型矩形柵控結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板、阻擋層、陰極底層、陰極連線層、陰極提升一層、陰極提升二層、陰極提升三層、陰極連續(xù)層、陰極犧牲層、阻滯一層、柵極傳導(dǎo)層、柵極連線層、阻滯二層、碳納米管部分；具有成本低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號H01J29/02GK101728188SQ20091022734
公開日2010年6月9日 申請日期2009年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月8日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院