專利名稱：斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的
相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板 場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，特別涉及到一種斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器 及其制作工藝。
背景技術(shù)：
場(chǎng)致發(fā)射顯示器是微電子技術(shù)與場(chǎng)致發(fā)射技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物，具有功耗小、工作 電壓低、響應(yīng)速度快以及適用溫區(qū)廣等特點(diǎn)，能夠在惡劣環(huán)境下可靠正常工作，是一種非常 有前途的平面顯示技術(shù)。場(chǎng)致發(fā)射顯示器在保留了 CRT顯示器的高圖像質(zhì)量的同時(shí)，還兼 顧具有液晶顯示器的超薄型以及等離子體顯示器的大面積性，被公認(rèn)為是理想的下一代平 板顯示器件。碳納米管是一種新型的陰極制作材料，由于其發(fā)射電流大、工作電壓低、易于 制作等特性，已經(jīng)被開(kāi)發(fā)應(yīng)用于場(chǎng)致發(fā)射顯示器中。在三極結(jié)構(gòu)的碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射 顯示器中，從理論上而言，由于柵極和陰極的距離比較近，從而導(dǎo)致柵極的工作電壓能夠有 效降低，這樣也就降低了整體器件的制作成本。但是在實(shí)際中，由于柵極結(jié)構(gòu)的制作材料要 求比較高，接近于苛刻狀態(tài)，且柵極結(jié)構(gòu)的制作工藝較為復(fù)雜，從而導(dǎo)致器件的總體成本居 高不下；另外，目前所研發(fā)的三極結(jié)構(gòu)場(chǎng)致發(fā)射顯示器普遍都存在著柵極工作電壓偏高、柵 極工作電流偏大等不利之處，這不符合低壓平板器件的原則。此外，對(duì)于整體平板顯示器件 的制作，制作工藝簡(jiǎn)單、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠也是不可忽視的一個(gè)重要方面。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本 低廉、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及 其制作工藝。 本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 —種斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板15、陰極 玻璃面板1和玻璃邊框20所構(gòu)成的密封真空室；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的 隔離支撐器21和消氣劑22 ;設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極傳導(dǎo)層16、陽(yáng)極連線層18、陽(yáng)極 阻擋層19以及制備在陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面的熒光粉層17 ;其特征在于 所述的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；在陰極玻璃面 板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成分隔層2 ;分隔層上面存在陰極傳導(dǎo)層3 ;陰極傳導(dǎo)層為條 形形狀；陰極傳導(dǎo)層周?chē)嬖陉帢O連線層4，陰極連線層和陰極傳導(dǎo)層是相互連通的；陰極 傳導(dǎo)層上面存在陰極基底層5，陰極基底層為圓盤(pán)型形狀，上下表面均為平面，下表面和陰 極傳導(dǎo)層相接觸；陰極基底層上面存在陰極增高層6 ;陰極增高層的橫截面呈現(xiàn)圓環(huán)型形 狀，其底面外直徑為圓盤(pán)型陰極基底層直徑的五分之四，其底面內(nèi)直徑為圓盤(pán)型陰極基底 層直徑的五分之三；陰極增高層位于陰極基底層上表面，將暴露的陰極基底層上表面分割
5為外陰極基底環(huán)形表面和內(nèi)陰極基底圓形表面兩部分；陰極增高層的縱截面呈現(xiàn)直角三角型形狀，即陰極增高層的下底面為一個(gè)直角邊，和陰極基底層相接觸，另一個(gè)直角邊位于陰極增高層下底面與內(nèi)陰極基底圓形表面的交接處，并垂直于陰極基底層的上表面；陰極增高層的斜面上和外陰極基底環(huán)形表面上存在陰極過(guò)渡層7 ;陰極過(guò)渡層上面存在陰極犧牲層8 ;陰極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣一層9 ;絕緣一層的上下表面均為平面，其下表面和陰極傳導(dǎo)層相接觸；絕緣一層中存在通道孔，通道孔為圓形形狀，暴露出底部的部分陰極傳導(dǎo)層、陰極基底層、陰極增高層、陰極過(guò)渡層以及陰極犧牲層，通道孔的內(nèi)側(cè)壁垂直于陰極傳導(dǎo)層表面；絕緣一層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣二層10 ;絕緣二層的下表面為平面，和絕緣一層的上表面相接觸，絕緣二層的上表面為斜坡面形狀，靠近通道孔部分的絕緣二層高度低，遠(yuǎn)離通道孔部分的絕緣二層高度高，絕緣二層的斜坡型上表面前端終止于絕緣一層通道孔內(nèi)側(cè)壁與絕緣一層上表面的交接處；絕緣二層上面存在柵極傳導(dǎo)層11。柵極傳導(dǎo)層布滿絕緣二層的上表面，其前端延伸到通道孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極傳導(dǎo)層周?chē)嬖跂艠O連線層12，柵極連線層和柵極傳導(dǎo)層是相互連通的；柵極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣三層1 3，絕緣三層覆蓋柵極傳導(dǎo)層和柵極連線層；碳納米管14制備在陰極犧牲層上面。 所述的陰極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極連線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極基底層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極增高層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極過(guò)渡層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；柵極連線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；柵極傳導(dǎo)層的走向和陰極傳導(dǎo)層的走向是相互垂直的。 —種斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)分隔層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成分隔層； 3)陰極傳導(dǎo)層3的制作在分隔層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極傳導(dǎo)層； 4)陰極連線層4的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極連線層； 5)陰極基底層5的制作在陰極傳導(dǎo)層上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極基底層； 6)陰極增高層6的制作在陰極基底層上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層； 7)陰極過(guò)渡層7的制作在陰極增高層的斜坡面以及外陰極基底環(huán)形表面上制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極過(guò)渡層； 8)陰極犧牲層8的制作在陰極過(guò)渡層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極犧牲層； 9)絕緣一層9的制作在陰極傳導(dǎo)層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣一層； 10)絕緣二層10的制作在絕緣一層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣二層； 11)柵極傳導(dǎo)層11的制作在絕緣二層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成柵極傳導(dǎo)層； 12)柵極連線層12的制作在柵極傳導(dǎo)層周?chē)∷y漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極連線層； 13)絕緣三層13的制作在柵極傳導(dǎo)層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣三層； 14)斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵； 15)碳納米管14的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層上面；
16)陽(yáng)極玻璃面板15的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；
17)陽(yáng)極傳導(dǎo)層16的制作在陽(yáng)極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陽(yáng)極傳導(dǎo)層； 18)陽(yáng)極連線層18的制作在陽(yáng)極傳導(dǎo)層的周?chē)∷y漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽(yáng)極連線層； 19)陽(yáng)極阻擋層19的制作在陽(yáng)極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽(yáng)極阻擋層； 20)熒光粉層17的制作在陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒光粉層； 21)器件裝配將陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板、隔離支撐器21、玻璃邊框20裝配
在一起，并將消氣劑22安裝到空室當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定； 22)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。 所述步驟19具體為在陽(yáng)極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽(yáng)極傳導(dǎo)層中間的空余位
置印刷絕緣漿料；經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)
行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580C，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟20具體為在陽(yáng)極玻璃面板顯示區(qū)域中陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面印刷熒光粉，在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟22具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。 本發(fā)明具有如下的積極效果本發(fā)明中的主要特點(diǎn)在于制作了具有斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器件。 其一，采用了多面陰極結(jié)構(gòu)，充分利用了碳納米管陰極邊緣部分電場(chǎng)高度集中的
原理，增加了碳納米管發(fā)射的表面積，能夠極大地提升碳納米管的發(fā)射效率； 其二，采用了斜坡型高環(huán)柵控結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步縮減了柵極-陰極之間的有效距離，從
而達(dá)到降低器件工作電壓的目的； 在本發(fā)明中，是在陽(yáng)極結(jié)構(gòu)和柵極控制結(jié)構(gòu)全部制作完畢的情況下，最后才進(jìn)行碳納米管陰極的制作，也就是說(shuō)，碳納米管陰極的制作不受其它制作器件工藝的影響，極大減少了碳納米管陰極的損傷，提高了顯示器件制作的成功率。此外，在本發(fā)明中的器件制作過(guò)程中，并沒(méi)有采用特殊的器件制作材料以及特殊的器件制作工藝，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工藝簡(jiǎn)單、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠的優(yōu)越之處。


圖1給出了斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2給出了斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3給出了斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器
的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限于實(shí)施例。
如圖1、2、3所示，一種斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板15、陰極玻璃面板1和玻璃邊框20所構(gòu)成的密封真空室；位于陽(yáng)極玻璃面板15和陰極玻璃面板1之間的隔離支撐器21和消氣劑22 ;設(shè)置在陰極玻璃面板1上的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板15上的陽(yáng)極傳導(dǎo)層16、陽(yáng)極連線層18、陽(yáng)極阻擋層19以及制備在陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面的熒光粉層17 ;其特征在于 所述的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成分隔層；分隔層上面存在陰極傳導(dǎo)層；陰極傳導(dǎo)層為條形形狀；陰極傳導(dǎo)層周?chē)嬖陉帢O連線層，陰極連線層和陰極傳導(dǎo)層是相互連通的；陰極傳導(dǎo)層上面存在陰極基底層，陰極基底層為圓盤(pán)型形狀，上下表面均為平面，下表面和陰極傳導(dǎo)層相接觸；陰極基底層上面存在陰極增高層；陰極增高層的橫截面呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，其底面外直徑為圓盤(pán)型陰極基底層直徑的五分之四，其底面內(nèi)直徑為圓盤(pán)型陰極基底層直徑的五分之三；陰極增高層位于陰極基底層上表面，將暴露的陰極基底層上表面分割為外陰極基底環(huán)形表面和內(nèi)陰極基底圓形表面兩部分；陰極增高層的縱截面呈現(xiàn)直角三角型形狀，即陰極增高層的下底面為一個(gè)直角邊，和陰極基底層相接觸，另一個(gè)直角邊位于陰極增高層下底面與內(nèi)陰極基底圓形表面的交接處，并垂直于陰極基底層的上表面；陰極增高層的斜面上和外陰極基底環(huán)形表面上存在陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層上面存在陰極犧牲層；陰極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣一層；絕緣一層的上下表面均為平面，其下表面和陰極傳導(dǎo)層相接觸；絕緣一層中存在通道孔，通道孔為圓形形狀，暴露出底部的部分陰極傳導(dǎo)層、陰極基底層、陰極增高層、陰極過(guò)渡層以及陰極犧牲層，通道孔的內(nèi)側(cè)壁垂直于陰極傳導(dǎo)層表面；絕緣一層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣二層；絕緣二層的下表面為平面，和絕緣一層的上表面相接觸，絕緣二層的上表面為斜坡面形狀，靠近通道孔部分的絕緣二層高度低，遠(yuǎn)離通道孔部分的絕緣二層高度高，絕緣二層的斜坡型上表面前端終止于絕緣一層通道孔內(nèi)側(cè)壁與絕緣一層上表面的交接處；絕緣二層上面存在柵極傳導(dǎo)層。柵極傳導(dǎo)層布滿絕緣二層的上表面，其前端延伸到通道孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極傳導(dǎo)層周?chē)嬖跂艠O連線層，柵極連線層和柵極傳導(dǎo)層是相互連通的；柵極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣三層，絕緣三層覆蓋柵極傳導(dǎo)層和柵極連線層；碳納米管制備在陰極犧牲層上面。 所述的陰極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極連線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極基底層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極增高層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極過(guò)渡層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；柵極連線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；柵極傳導(dǎo)層的走向和陰極傳導(dǎo)層的走向是相互垂直的。 —種斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)分隔層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成分隔層； 3)陰極傳導(dǎo)層3的制作在分隔層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極傳導(dǎo)層； 4)陰極連線層4的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極連線層； 5)陰極基底層5的制作在陰極傳導(dǎo)層上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極基底層； 6)陰極增高層6的制作在陰極基底層上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層； 7)陰極過(guò)渡層7的制作在陰極增高層的斜坡面以及外陰極基底環(huán)形表面上制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極過(guò)渡層； 8)陰極犧牲層8的制作在陰極過(guò)渡層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極犧牲層； 9)絕緣一層9的制作在陰極傳導(dǎo)層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣一層； 10)絕緣二層10的制作在絕緣一層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣二層； 11)柵極傳導(dǎo)層11的制作在絕緣二層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成柵極傳導(dǎo)層； 12)柵極連線層12的制作在柵極傳導(dǎo)層周?chē)∷y漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極連線層； 13)絕緣三層13的制作在柵極傳導(dǎo)層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣三層； 14)斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵； 15)碳納米管14的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層上面； 16)陽(yáng)極玻璃面板15的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽(yáng)極玻璃面板； 17)陽(yáng)極傳導(dǎo)層16的制作在陽(yáng)極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陽(yáng)極傳導(dǎo)層； 18)陽(yáng)極連線層18的制作在陽(yáng)極傳導(dǎo)層的周?chē)∷y漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成陽(yáng)極連線層； 19)陽(yáng)極阻擋層19的制作在陽(yáng)極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成陽(yáng)極阻擋層； 20)熒光粉層17的制作在陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成 熒光粉層； 21)器件裝配將陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板、隔離支撐器21、玻璃邊框20裝配
在一起，并將消氣劑22安裝到空室當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定； 22)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。 所述步驟19具體為在陽(yáng)極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽(yáng)極傳導(dǎo)層中間的空余位
置印刷絕緣漿料；經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)
行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟20具體為在陽(yáng)極玻璃面板顯示區(qū)域中陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面印刷熒光粉，在 烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟22具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入 烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī) 上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。 所述的帶有斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板 15、陰極玻璃面板1和玻璃邊框20所構(gòu)成的密封真空室；位于陽(yáng)極玻璃面板15和陰極玻璃 面板1之間的隔離支撐器21和消氣劑22 ;設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板15上的陽(yáng)極傳導(dǎo)層16、陽(yáng) 極連線層18、陽(yáng)極阻擋層19以及制備在陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面的熒光粉層17。所述的斜坡型高 環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板1、分隔層2、陰極傳導(dǎo)層3、陰極連線層4、陰極基底 層5、陰極增高層6、陰極過(guò)渡層7、陰極犧牲層8、絕緣一層9、絕緣二層10、柵極傳導(dǎo)層11、 柵極連線層12、絕緣三層13、碳納米管14部分。所述的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的基 底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃之一。
權(quán)利要求
一種斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板(15)、陰極玻璃面板(1)和玻璃邊框(20)所構(gòu)成的密封真空室；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的隔離支撐器(21)和消氣劑(22)；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極傳導(dǎo)層(16)、陽(yáng)極連線層(18)、陽(yáng)極阻擋層(19)以及制備在陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面的熒光粉層(17)；其特征在于所述的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；在陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成分隔層(2)；分隔層上面存在陰極傳導(dǎo)層(3)；陰極傳導(dǎo)層為條形形狀；陰極傳導(dǎo)層周?chē)嬖陉帢O連線層(4)，陰極連線層和陰極傳導(dǎo)層是相互連通的；陰極傳導(dǎo)層上面存在陰極基底層(5)，陰極基底層為圓盤(pán)型形狀，上下表面均為平面，下表面和陰極傳導(dǎo)層相接觸；陰極基底層上面存在陰極增高層(6)；陰極增高層的橫截面呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，其底面外直徑為圓盤(pán)型陰極基底層直徑的五分之四，其底面內(nèi)直徑為圓盤(pán)型陰極基底層直徑的五分之三；陰極增高層位于陰極基底層上表面，將暴露的陰極基底層上表面分割為外陰極基底環(huán)形表面和內(nèi)陰極基底圓形表面兩部分；陰極增高層的縱截面呈現(xiàn)直角三角型形狀，即陰極增高層的下底面為一個(gè)直角邊，和陰極基底層相接觸，另一個(gè)直角邊位于陰極增高層下底面與內(nèi)陰極基底圓形表面的交接處，并垂直于陰極基底層的上表面；陰極增高層的斜面上和外陰極基底環(huán)形表面上存在陰極過(guò)渡層(7)；陰極過(guò)渡層上面存在陰極犧牲層(8)；陰極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣一層(9)；絕緣一層的上下表面均為平面，其下表面和陰極傳導(dǎo)層相接觸；絕緣一層中存在通道孔，通道孔為圓形形狀，暴露出底部的部分陰極傳導(dǎo)層、陰極基底層、陰極增高層、陰極過(guò)渡層以及陰極犧牲層，通道孔的內(nèi)側(cè)壁垂直于陰極傳導(dǎo)層表面；絕緣一層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣二層(10)；絕緣二層的下表面為平面，和絕緣一層的上表面相接觸，絕緣二層的上表面為斜坡面形狀，靠近通道孔部分的絕緣二層高度低，遠(yuǎn)離通道孔部分的絕緣二層高度高，絕緣二層的斜坡型上表面前端終止于絕緣一層通道孔內(nèi)側(cè)壁與絕緣一層上表面的交接處；絕緣二層上面存在柵極傳導(dǎo)層(11)。柵極傳導(dǎo)層布滿絕緣二層的上表面，其前端延伸到通道孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極傳導(dǎo)層周?chē)嬖跂艠O連線層(12)，柵極連線層和柵極傳導(dǎo)層是相互連通的；柵極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣三層(13)，絕緣三層覆蓋柵極傳導(dǎo)層和柵極連線層；碳納米管(14)制備在陰極犧牲層上面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于 所述的陰極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極連線層為金屬金、 銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極基底層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦 之一 ；陰極增高層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；陰極過(guò)渡層為金屬鐵、 鈷、鎳之一 ；陰極犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、 錳、鋁、銦之一 ；柵極連線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鉛、錫、銅、錳、鋁、銦之一 ；柵極傳導(dǎo)層的 走向和陰極傳導(dǎo)層的走向是相互垂直的。
3. —種如權(quán)利要求1所述的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝， 其特征在于，其制作步驟如下1) 陰極玻璃面板(1)的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；2) 分隔層(2)的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成 分隔層；3) 陰極傳導(dǎo)層(3)的制作在分隔層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極傳導(dǎo)層；4) 陰極連線層(4)的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極連線層；5) 陰極基底層(5)的制作在陰極傳導(dǎo)層上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極基底層；6) 陰極增高層(6)的制作在陰極基底層上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層；7) 陰極過(guò)渡層(7)的制作在陰極增高層的斜坡面以及外陰極基底環(huán)形表面上制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極過(guò)渡層；8) 陰極犧牲層(8)的制作在陰極過(guò)渡層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極犧牲層；9) 絕緣一層(9)的制作在陰極傳導(dǎo)層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣一層；10) 絕緣二層(10)的制作在絕緣一層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣二層；11) 柵極傳導(dǎo)層(11)的制作在絕緣二層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成柵極傳導(dǎo)層；12) 柵極連線層(12)的制作在柵極傳導(dǎo)層周?chē)∷y漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極連線層；13) 絕緣三層(13)的制作在柵極傳導(dǎo)層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣三層；14) 斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；15) 碳納米管(14)的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層上面；16) 陽(yáng)極玻璃面板(15)的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；17) 陽(yáng)極傳導(dǎo)層(16)的制作在陽(yáng)極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陽(yáng)極傳導(dǎo)層；18) 陽(yáng)極連線層(18)的制作在陽(yáng)極傳導(dǎo)層的周?chē)∷y漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽(yáng)極連線層；19) 陽(yáng)極阻擋層(19)的制作在陽(yáng)極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽(yáng)極阻擋層；20) 熒光粉層(17)的制作在陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒光粉層；21) 器件裝配將陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板、隔離支撐器(21)、玻璃邊框(20)裝配在一起，并將消氣劑(22)安裝到空室當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；22) 成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為在陽(yáng)極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽(yáng)極傳導(dǎo)層中間的空余位置印刷絕緣漿料；經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時(shí)間10分鐘。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20具體為在陽(yáng)極玻璃面板顯示區(qū)域中陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面印刷熒光粉，在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時(shí)間10分鐘。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟22具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明特別涉及一種斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和玻璃邊框所構(gòu)成的密封真空室；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的隔離支撐器和消氣劑；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極傳導(dǎo)層、陽(yáng)極連線層、陽(yáng)極阻擋層以及制備在陽(yáng)極傳導(dǎo)層上面的熒光粉層；所述的斜坡型高環(huán)柵控多面陰極結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板、分隔層、陰極傳導(dǎo)層、陰極連線層、陰極基底層、陰極增高層、陰極過(guò)渡層、陰極犧牲層、絕緣一層、絕緣二層、柵極傳導(dǎo)層、柵極連線層、絕緣三層、碳納米管部分具有成本低廉、制作工藝簡(jiǎn)單、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J31/12GK101728191SQ200910227350
公開(kāi)日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2009年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月8日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院