專利名稱：上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及平板顯示技術(shù)領(lǐng)域的
相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，特別涉及到上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
顯示器件的主要功能就是進(jìn)行圖像的完美逼真顯示，從而達(dá)到還原物體本身的目的。平面顯示器件在最近幾年中得到了快速的發(fā)展，這得益于平板顯示器得天獨厚的優(yōu)勢，諸如畫面無閃爍、重量輕、外形美觀、大面積性、功耗低、工作溫區(qū)廣、環(huán)保耐用等。場致發(fā)射顯示器則是平板顯示器件中的新型器件，由于它的陰極材料在不需要額外能量的情況下，僅僅依靠外加電壓的強制作用就可以以"場致發(fā)射"的模式發(fā)射出大量電子，因此而命名。自碳納米管材料被發(fā)現(xiàn)并被應(yīng)用于場致發(fā)射顯示器的陰極以來，對于碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器的研究更得到了飛速的發(fā)展。 但是，對于目前的三極管結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射平板顯示器而言，由于柵極結(jié)構(gòu)的加入，從而產(chǎn)生了喜憂相半的結(jié)局。雖然隨著柵極的加入，能夠使得整體器件的工作電壓有所減低，符合低壓低成本器件的要求，但是，柵極結(jié)構(gòu)加入所帶來的制作工藝復(fù)雜性，制作材料要求的高標(biāo)準(zhǔn)性等副作用也不可忽視。就目前所研發(fā)的平板器件，普遍都存在著柵極工作電壓過高、器件制作成本過高等不利因素，這在一定程度上阻礙了平板顯示器件的發(fā)展，還需要投入大量的時間和財力加以解決，以促進(jìn)平板顯示器件的健康發(fā)展。當(dāng)然，對于整體平板顯示器件的制作，制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠也是不可忽視的一個重要方面。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、成本低廉的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。 本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的 —種上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃邊框所構(gòu)成的密封真空腔；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層、陽極引線層、陽極隔離層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層； 在陰極玻璃面板上設(shè)置有上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)；所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成間隔層；間隔層上面存在陰極電極層；陰極電極層周圍存在陰極引線層，陰極引線層和陰極電極層是相互連通的；陰極電極層上面存在陰極增高層，陰極增高層呈現(xiàn)半圓型形狀，
5其下表面為平面，和陰極電極層相互接觸，其上表面為半圓型，在上表面的頂部存在一個向內(nèi)的凹陷窩，凹陷窩呈現(xiàn)斜月型；陰極電極層上表面凹陷窩上面存在陰極度越層，陰極度越層布滿陰極電極層上表面凹陷窩的表面；陰極度越層上面存在陰極犧牲層，陰極犧牲層呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀位于陰極度越層的表面，其圓環(huán)型形狀的上邊緣和陰極度越層的上邊緣平齊，在陰極度越層的底部是沒有陰極犧牲層的；陰極增高層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成柵陰分隔一層，柵陰分隔一層的下表面覆蓋在陰極增高層的上表面，其上表面呈現(xiàn)與陰極增高層相同的半圓型形狀，柵陰分隔一層不能覆蓋陰極度越層和陰極犧牲層；柵陰分隔一層上面存在柵極電極層，柵極電極層覆蓋在柵陰分隔一層的上表面，其前端延伸到陰極增高層上表面凹陷窩的上端，呈現(xiàn)懸空態(tài)；柵極電極層周圍存在柵極引線層，柵極引線層和柵極電極層是相互連通的；柵極電極層和柵極引線層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成柵陰分隔二層，柵陰分隔二層要覆蓋柵極電極層以及柵極引線層；碳納米管制備在陰極犧牲層的上面。 所述的陰極電極層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極增高層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極度越層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極電極層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；柵極電極層的走向和陰極增高層的走向是相互垂直的。 所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)包括陰極面板、間隔層、陰極電極層、陰極引線層、陰極增高層、陰極度越層、陰極犧牲層、柵陰分隔一層、柵極電極層、柵極引線層、柵陰分隔二層和碳納米管部分。 陰極玻璃面板采用鈉鈣玻璃或硼硅玻璃。 —種所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作步驟如下 1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)間隔層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層； 3)陰極電極層的制作在陰極玻璃面板制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極電極層； 4)陰極引線層的制作在陰極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極引線層； 5)陰極增高層的制作在陰極電極層上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層； 6)陰極度越層的制作在陰極增高層上表面的凹陷窩內(nèi)制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極度越層； 7)陰極犧牲層的制作在陰極度越層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕后形成陰極犧牲層； 8)柵陰分隔一層的制作在陰極增高層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵陰分隔一層； 9)柵極電極層的制作在柵陰分隔一層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成柵極電極層； 10)柵極引線層的制作在柵極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極引線層； 11)柵陰分隔二層的制作在柵極電極層和柵極引線層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵陰分隔二層； 12)上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵； 13)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面； 14)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽極面板； 15)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上制備出錫陰氧化物膜層，經(jīng)刻蝕后形
成陽極導(dǎo)電層； 16)陽極引線層的制作在陽極導(dǎo)電層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極引線層； 17)陽極隔離層的制作在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極導(dǎo)電層中間的空余位置印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極隔離層； 18)熒光粉層的制作在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極導(dǎo)電層上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒光粉層； 19)器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)、四周玻璃邊框裝配
到一起，并將消氣劑附屬元件安裝到空室當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定； 20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。 所述步驟17具體為在陽極面板的非顯示區(qū)域以及陽極導(dǎo)電層中間的空余位置印
刷絕緣漿料，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時間5分鐘，之后放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫
燒結(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時間10分鐘。 所述步驟18具體為在陽極面板顯示區(qū)域中陽極導(dǎo)電層上面印刷熒光粉，在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時間10分鐘。
所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下積極效果 本發(fā)明中的主要特點在于制作了具有上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極的平板場致發(fā)射平板顯示器件。將高性能的制作材料和低成本的制作工藝有機(jī)結(jié)合起來，制作出性能更加優(yōu)良的平板發(fā)光器件。 其一，采用了斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)，極大地提升碳納米管的發(fā)射效率； 其二，采用了上懸側(cè)柵控結(jié)構(gòu)，不僅簡化了柵極結(jié)構(gòu)的制作工藝，而且還進(jìn)一步縮
減了柵極-陰極之間的有效距離，從而達(dá)到降低器件工作電壓的目的； 其三，在本發(fā)明中，是在陽極結(jié)構(gòu)和柵極控制結(jié)構(gòu)全部制作完畢的情況下，最后才進(jìn)行碳納米管陰極的制作，提高了顯示器件制作的成功率。 此外，在本發(fā)明中的器件制作過程中，在充分結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝和常規(guī)刻蝕工藝的基礎(chǔ)上進(jìn)行的器件制作，具有制作大面積顯示器件的可行性；并沒有采用特殊的器件制作材料以及特殊的器件制作工藝，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠的優(yōu)越之處。


圖l給出了上懸側(cè)
圖2給出了上懸側(cè)
圖3給出了上懸側(cè)器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于實施例。
如圖1 、 2 、 3所示，本發(fā)明包括由陽極玻璃面板13 、陰極玻璃面板1和四周玻璃邊框17所構(gòu)成的密封真空腔；位于陽極玻璃面板13和陰極玻璃面板1之間的支撐墻結(jié)構(gòu)18以及消氣劑附屬元件19 ;設(shè)置在陽極玻璃面板13上的陽極導(dǎo)電層14、陽極引線層20、陽極隔離層15以及制備在陽極導(dǎo)電層14上面的熒光粉層16。 在陰極玻璃面板1上設(shè)置有上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)；所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成間隔層；間隔層上面存在陰極電極層；陰極電極層周圍存在陰極引線層，陰極引線層和陰極電極層是相互連通的；陰極電極層上面存在陰極增高層，陰極增高層呈現(xiàn)半圓型形狀，其下表面為平面，和陰極電極層相互接觸，其上表面為半圓型，在上表面的頂部存在一個向內(nèi)的凹陷窩，凹陷窩呈現(xiàn)斜月型；陰極電極層上表面凹陷窩上面存在陰極度越層，陰極度越層布滿陰極電極層上表面凹陷窩的表面；陰極度越層上面存在陰極犧牲層，陰極犧牲層呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀位于陰極度越層的表面，其圓環(huán)型形狀的上邊緣和陰極度越層的上邊緣平齊，在陰極度越層的底部是沒有陰極犧牲層的；陰極增高層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成柵陰分隔一層，柵陰分隔一層的下表面覆蓋在陰極增高層的上表面，其上表面呈現(xiàn)與陰極增高層相同的半圓型形狀，柵陰分隔一層不能覆蓋陰極度越層和陰極犧牲層；柵陰分隔一層上面存在柵極電極層，柵極電極層覆蓋在柵陰分隔一層的上表面，其前端延伸到陰極增高層上表面凹陷窩的上端，呈現(xiàn)懸空態(tài)；柵極電極層周圍存在柵極引線層，柵極引線層和柵極電極層是相互連通的；柵極電極層和柵極引線層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成柵陰分隔二層，柵陰分隔二層要覆蓋柵極電極層以及柵極引線層；碳納米管制備在陰極犧牲層的上面。 所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極電極層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極增高層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極度越層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極電極層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；柵極電極層的走向和陰極增高層的走向是相互垂直的。 所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)包括陰極面板1、間隔層2、陰極電極層3、陰極引線層4、陰極增高層5、陰極度越層6、陰極犧牲層7、柵陰分隔一層8、柵極電極層9、
柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極場致發(fā)射平板顯示柵極引線層10、柵陰分隔二層11和碳納米管12部分。
陰極玻璃面板采用鈉鈣玻璃或硼硅玻璃。 —種所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)間隔層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層； 3)陰極電極層3的制作在陰極玻璃面板制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極電極層； 4)陰極引線層4的制作在陰極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極引線層； 5)陰極增高層5的制作在陰極電極層上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層； 6)陰極度越層6的制作在陰極增高層上表面的凹陷窩內(nèi)制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極度越層； 7)陰極犧牲層7的制作在陰極度越層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕后形成陰極犧牲層； 8)柵陰分隔一層8的制作在陰極增高層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵陰分隔一層； 9)柵極電極層9的制作在柵陰分隔一層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成柵極電極層； 10)柵極引線層10的制作在柵極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極引線層； 11)柵陰分隔二層11的制作在柵極電極層和柵極引線層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵陰分隔二層； 12)上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵； 13)碳納米管12的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面；
14)陽極玻璃面板13的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽極面板；
15)陽極導(dǎo)電層14的制作在陽極玻璃面板上制備出錫陰氧化物膜層，經(jīng)刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層； 16)陽極引線層20的制作在陽極導(dǎo)電層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極引線層； 17)陽極隔離層15的制作在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極導(dǎo)電層中間的空余位置印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極隔離層； 18)熒光粉層16的制作在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極導(dǎo)電層上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒光粉層； 19)器件裝配將陽極玻璃面板13、陰極玻璃面板1、支撐墻結(jié)構(gòu)18、四周玻璃邊框17裝配到一起，并將消氣劑附屬元件19安裝到空室當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；
20)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。
所述步驟17具體為在陽極面板的非顯示區(qū)域以及陽極導(dǎo)電層中間的空余位置印刷絕緣漿料，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時間5分鐘，之后放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時間10分鐘。 所述步驟18具體為在陽極面板顯示區(qū)域中陽極導(dǎo)電層上面印刷熒光粉，在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時間10分鐘。 所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
10
權(quán)利要求
一種上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板(13)、陰極玻璃面板(1)和四周玻璃邊框(17)所構(gòu)成的密封真空腔；位于陽極玻璃面板(13)和陰極玻璃面板(1)之間的支撐墻結(jié)構(gòu)(18)以及消氣劑附屬元件(19)；設(shè)置在陽極玻璃面板(13)上的陽極導(dǎo)電層(14)、陽極引線層(20)、陽極隔離層(15)以及制備在陽極導(dǎo)電層(14)上面的熒光粉層(16)；其特征在于在陰極玻璃面板(1)上設(shè)置有上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)；所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成間隔層(2)；間隔層(2)上面存在陰極電極層(3)；陰極電極層(3)周圍存在陰極引線層(4)，陰極引線層(4)和陰極電極層(3)是相互連通的；陰極電極層(3)上面存在陰極增高層(5)，陰極增高層(5)呈現(xiàn)半圓型形狀，其下表面為平面，和陰極電極層(3)相互接觸，其上表面為半圓型，在上表面的頂部存在一個向內(nèi)的凹陷窩，凹陷窩呈現(xiàn)斜月型；陰極電極層(3)上表面凹陷窩上面存在陰極度越層(6)，陰極度越層(6)布滿陰極電極層(3)上表面凹陷窩的表面；陰極度越層(6)上面存在陰極犧牲層(7)，陰極犧牲層(7)呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀位于陰極度越層(6)的表面，其圓環(huán)型形狀的上邊緣和陰極度越層(6)的上邊緣平齊，在陰極度越層(6)的底部是沒有陰極犧牲層(7)的；陰極增高層(5)上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成柵陰分隔一層(8)，柵陰分隔一層(8)的下表面覆蓋在陰極增高層(5)的上表面，其上表面呈現(xiàn)與陰極增高層(5)相同的半圓型形狀，柵陰分隔一層(8)不能覆蓋陰極度越層(6)和陰極犧牲層(7)；柵陰分隔一層(8)上面存在柵極電極層(9)，柵極電極層(9)覆蓋在柵陰分隔一層(8)的上表面，其前端延伸到陰極增高層(5)上表面凹陷窩的上端，呈現(xiàn)懸空態(tài)；柵極電極層(9)周圍存在柵極引線層(10)，柵極引線層(10)和柵極電極層(9)是相互連通的；柵極電極層(9)和柵極引線層(10)上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成柵陰分隔二層(11)，柵陰分隔二層(11)要覆蓋柵極電極層(9)以及柵極引線層(10)；碳納米管(12)制備在陰極犧牲層(7)的上面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的陰極電極層(3)為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極增高層(5)為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；陰極引線層(4)為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；陰極度越層(6)為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲層(7)為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極電極層(9)為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；柵極引線層(10)為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；柵極電極層(9)的走向和陰極增高層(5)的走向是相互垂直的。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于陰極玻璃面板采用鈉鈣玻璃或硼硅玻璃。
4. 一種如權(quán)利要求1所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作步驟如下1) 陰極玻璃面板(1)的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；2) 間隔層(2)的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層(2);3) 陰極電極層(3)的制作在陰極玻璃面板制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極電極層(3);4) 陰極引線層(4)的制作在陰極電極層(3)的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極引線層(4);5) 陰極增高層(5)的制作在陰極電極層(3)上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層(5);6) 陰極度越層(6)的制作在陰極增高層(5)上表面的凹陷窩內(nèi)制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極度越層(6);7) 陰極犧牲層(7)的制作在陰極度越層(6)上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕后形成陰極犧牲層(7);8) 柵陰分隔一層(8)的制作在陰極增高層(5)上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵陰分隔一層(8);9) 柵極電極層(9)的制作在柵陰分隔一層(8)上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成柵極電極層(9);10) 柵極引線層(10)的制作在柵極電極層(9)的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極引線層(10);11) 柵陰分隔二層(11)的制作在柵極電極層(9)和柵極引線層(10)上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵陰分隔二層(11);12) 上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13) 碳納米管(12)的制備將碳納米管(12)制備在陰極犧牲層(7)的上面；14) 陽極玻璃面板(13)的制作對整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽極面板；15) 陽極導(dǎo)電層(14)的制作在陽極玻璃面板上制備出錫陰氧化物膜層，經(jīng)刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16) 陽極引線層(20)的制作在陽極導(dǎo)電層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極引線層；17) 陽極隔離層(15)的制作在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極導(dǎo)電層中間的空余位置印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極隔離層；18) 熒光粉層(16)的制作在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極導(dǎo)電層上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒光粉層；19) 器件裝配將陽極玻璃面板(13)、陰極玻璃面板(1)、支撐墻結(jié)構(gòu)(18)、四周玻璃邊框(17)裝配到一起，并將消氣劑附屬元件(19)安裝到空室當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；20) 成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為在陽極面板的非顯示區(qū)域以及陽極導(dǎo)電層中間的空余位置印刷絕緣漿料，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時間5分鐘，之后放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時間10分鐘。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為在陽極面板顯示區(qū)域中陽極導(dǎo)電層上面印刷熒光粉，在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時間10分鐘。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃邊框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極面板上有陽極導(dǎo)電層、陽極引線層、陽極隔離層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層，位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑；在陰極玻璃面板上有上懸側(cè)柵控斜月型基底陰極結(jié)構(gòu)；具有成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J9/20GK101777475SQ20091022757
公開日2010年7月14日 申請日期2009年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月22日
發(fā)明者李玉魁, 高寶寧 申請人:中原工學(xué)院