專(zhuān)利名稱(chēng):同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域和真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相
互交叉領(lǐng)域,涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作,具體涉及到碳納米管陰極的平板場(chǎng) 致發(fā)射顯示器的器件制作,特別涉及到同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工 藝。
背景技術(shù):
由于CRT器件自身具有的缺陷,諸如體積龐大、過(guò)于笨重、存在X射線輻射等,給人 們的日常應(yīng)用帶來(lái)了諸多不便。而隨著平板顯示技術(shù)的發(fā)展,新興的平板顯示器件已經(jīng)大 量出現(xiàn)在顯示器件市場(chǎng),同傳統(tǒng)的CRT器件展開(kāi)了激烈的市場(chǎng)產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)。場(chǎng)致發(fā)射顯示器, 是一種新型的平板顯示器件,它是利用陰極材料以場(chǎng)致發(fā)射模式進(jìn)行電子發(fā)射、電子束轟 擊熒光粉層而發(fā)出可見(jiàn)光的一種自發(fā)光平面器件。鑒于其與CRT器件的發(fā)光原理相同,因 此保留了 CRT器件高圖像質(zhì)量的優(yōu)越之處,從而成為新興器件中的佼佼者。
利用碳納米管作為陰極材料的場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器,在實(shí)用性上一般藝三極結(jié)構(gòu) 為主。但是對(duì)于目前所研發(fā)的器件,受到柵極的制作工藝、制作材料以及制作結(jié)構(gòu)等諸多因 素的制約,還無(wú)法將柵極的本質(zhì)功能完全發(fā)揮出來(lái)。由于柵極的加入,帶來(lái)了制作工藝的復(fù) 雜性,也使得器件的工作性能不盡人意。具體可表現(xiàn)為柵極電壓過(guò)高、柵極電流過(guò)大、器件 制作成本偏高等等。此外,碳納米管陰極材料的制作工藝以及制作工序也在一定程度上影 響著整體器件的顯示性能,還沒(méi)有一個(gè)比較完美的解決方案,還需要進(jìn)行大量的研究和開(kāi) 發(fā)。對(duì)于整體平板顯示器件的制作,制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、成本低廉、制作工藝簡(jiǎn)單也是不可 忽視的一個(gè)重要方面。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種制作 過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單、成本低廉的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制 作工藝。 本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 —種同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器,包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面 板和四周玻璃邊框所構(gòu)成的密封真空腔;位于陰極玻璃面板和陽(yáng)極玻璃面板之間的支撐墻 結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件;設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極電極層、陽(yáng)極引線層、黑色分隔層 以及制備在陽(yáng)極電極層上面的熒光粉層。其特征在于 在陰極玻璃面板上設(shè)置有同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu);所述的同八字型斜高柵陰控 結(jié)構(gòu)的襯底材料為陰極玻璃面板;陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成屏蔽層;屏 蔽層上面存在陰極傳導(dǎo)層;陰極傳導(dǎo)層周?chē)嬖陉帢O引線層,陰極引線層和陰極傳導(dǎo)層是 相互連通的;陰極傳導(dǎo)層上面存在陰極過(guò)渡層,陰極過(guò)渡層呈現(xiàn)矩形形狀,并且和陰極傳導(dǎo) 層是相互連通的;陰極過(guò)渡層上面存在陰極犧牲層,陰極犧牲層為兩個(gè)互不連接的方型形
5狀金屬層;陰極犧牲層的兩個(gè)方型形狀金屬層分別位于矩形形狀陰極過(guò)渡層長(zhǎng)邊中心線的 兩側(cè),并且不得和矩形形狀陰極過(guò)渡層的邊緣重合,使得暴露的陰極過(guò)渡層呈現(xiàn)數(shù)字8型 形狀;陰極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣增高層;絕緣增高層的上下表面均 為平面,下表面和陰極傳導(dǎo)層相接觸;絕緣增高層中存在矩形通道孔,暴露出下面的陰極過(guò) 渡層和陰極犧牲層;絕緣增高層中的矩形通道孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極過(guò)渡層表面的;絕 緣增高層中的矩形通道孔的內(nèi)側(cè)壁與上表面交界處存在一個(gè)向內(nèi)凹陷的斜坡面;陰極犧牲 層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成犧牲增高層;犧牲增高層要完全覆蓋住陰極犧牲層,其 高度與陰極增高層中矩形通道孔內(nèi)側(cè)壁與斜坡面交界處的高度相同;犧牲增高層的上表面 存在孤立柵極層,孤立柵極層不連接電極;絕緣增高層矩形通道孔內(nèi)側(cè)壁與上表面交界處 斜坡面上存在柵極電極層,柵極電極層要布滿(mǎn)斜坡面的表面;柵極電極層和孤立柵極層是 互不連通的;絕緣增高層上表面存在柵極引線層,柵極引線層和柵極電極層是相互連通的; 絕緣增高層上和柵極電極層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成柵極覆蓋層,柵極覆蓋層要覆 蓋柵極電極層和柵極引線層;碳納米管制備在暴露的陰極過(guò)渡層上面。 所述的陰極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;陰極引線層為金屬 金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;陰極過(guò)渡層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ;陰極犧牲層為金屬 金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;孤立柵極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之 一 ;柵極電極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;柵極引線層為金屬金、銀、銅、 鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;柵極電極層的走向和陰極傳導(dǎo)層的走向是相互垂直的。
陰極玻璃面板采用鈉鈣玻璃或硼硅玻璃。 —種所述的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其特征在于,其 制作步驟如下 1)陰極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割,制作出陰極玻璃面板;
2)屏蔽層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成屏蔽層; 3)陰極傳導(dǎo)層的制作在屏蔽層上印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極 傳導(dǎo)層; 4)陰極引線層的制作在陰極面板上制備出金屬層,經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極 引線層; 5)陰極過(guò)渡層的制作在陰極傳導(dǎo)層上面制備出金屬層,經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成 陰極過(guò)渡層; 6)陰極犧牲層的制作在陰極過(guò)渡層上印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成 陰極犧牲層; 7)絕緣增高層的制作在陰極傳導(dǎo)層上面印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成絕緣增高層; 8)犧牲增高層的制作在陰極犧牲層的上面印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成犧牲增高層; 9)孤立柵極層的制作在犧牲增高層上面制備出金屬層,經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成 孤立柵極層; 10)柵極電極層的制作在絕緣增高層上面印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極電極層; 11)柵極引線層的制作在絕緣增高層上面印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成柵極引線層; 12)柵極覆蓋層的制作在絕緣增高層和柵極電極層上面印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī) 烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層; 13)同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的表 面進(jìn)行清潔處理,除掉雜質(zhì)和灰塵; 14)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極過(guò)渡層的上面;
15)陽(yáng)極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割,制作出陽(yáng)極玻璃面板;
16)陽(yáng)極電極層的制作在陽(yáng)極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層,經(jīng)常規(guī)刻蝕 后形成陽(yáng)極電極層; 17)陽(yáng)極引線層的制作在陽(yáng)極玻璃面板上印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陽(yáng)極引線層; 18)黑色分隔層的制作在陽(yáng)極玻璃面板上印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成黑色分隔層; 19)熒光粉層的制作在陽(yáng)極電極層上面制備出熒光粉,經(jīng)常規(guī)烘烤后形成熒光 粉層; 20)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)、四周玻璃邊框裝配
到一起,并將消氣劑附屬元件安裝到空腔當(dāng)中,用低熔點(diǎn)玻璃粉固定; 21)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝,形成成品件。 所述步驟18具體為在陽(yáng)極面板的非顯示區(qū)域以及陽(yáng)極電極層中間的空余位置印
刷絕緣漿料,;經(jīng)過(guò)烘烤,烘烤溫度22(TC,保持時(shí)間5分鐘,之后放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高
溫?zé)Y(jié),燒結(jié)溫度58(TC,保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟19具體為在陽(yáng)極面板顯示區(qū)域中陽(yáng)極電極層上面印刷熒光粉,在烘箱 當(dāng)中進(jìn)行烘烤,烘烤溫度12(TC,保持時(shí)間10分鐘。
所述步驟21具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入 烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤;放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié);在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離,在烤消機(jī) 上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消,最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下積極效果 本發(fā)明中的主要特點(diǎn)在于制作了具有同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極 的平板場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器件。將高性能的制作材料和低成本的制作工藝有機(jī)結(jié)合起來(lái), 制作出性能更加優(yōu)良的平板發(fā)光器件。 其一,采用了數(shù)字8型斜高柵控結(jié)構(gòu),簡(jiǎn)化了制作工藝,降低了制作難度,進(jìn)一步 縮減了柵陰之間的有效距離,達(dá)到降低器件工作電壓的目的; 其二,采用了數(shù)字8型陰極結(jié)構(gòu),充分利用了碳納米管邊緣部分電場(chǎng)高度集中的 現(xiàn)象,提升碳納米管的發(fā)射效率; 其三,在本發(fā)明中,是在陽(yáng)極結(jié)構(gòu)和柵極控制結(jié)構(gòu)全部制作完畢的情況下,最后才 進(jìn)行碳納米管陰極的制作,提高了顯示器件制作的成功率。 此外,在本發(fā)明中的器件制作過(guò)程中,在充分結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝和常規(guī)刻蝕工藝的基礎(chǔ)上進(jìn)行的器件制作,具有制作大面積顯示器件的可行性;并沒(méi)有采用特殊的器件制 作材料以及特殊的器件制作工藝,降低了器件制作成本,具有成本低廉、制作工藝簡(jiǎn)單、制 作過(guò)程穩(wěn)定可靠的優(yōu)越之處。
圖l給出了同八字型斜高
圖2給出了同八字型斜高
圖3給出了同八字型斜高 構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明,但本發(fā)明并不局限于實(shí)施例。
如圖1 、 2 、 3所示,本發(fā)明包括由陽(yáng)極玻璃面板14、陰極玻璃面板1和四周玻璃邊框 18所構(gòu)成的密封真空腔;位于陰極玻璃面板1和陽(yáng)極玻璃面板14之間的支撐墻結(jié)構(gòu)20以 及消氣劑附屬元件19 ;設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板14上的陽(yáng)極電極層15、陽(yáng)極引線層21、黑色分 隔層17以及制備在陽(yáng)極電極層15上面的熒光粉層16。其特征在于 在陰極玻璃面板1上設(shè)置有同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu);所述的同八字型斜高柵陰 控結(jié)構(gòu)的襯底材料為陰極玻璃面板;陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成屏蔽層; 屏蔽層上面存在陰極傳導(dǎo)層;陰極傳導(dǎo)層周?chē)嬖陉帢O引線層,陰極引線層和陰極傳導(dǎo)層 是相互連通的;陰極傳導(dǎo)層上面存在陰極過(guò)渡層,陰極過(guò)渡層呈現(xiàn)矩形形狀,并且和陰極傳 導(dǎo)層是相互連通的;陰極過(guò)渡層上面存在陰極犧牲層,陰極犧牲層為兩個(gè)互不連接的方型 形狀金屬層;陰極犧牲層的兩個(gè)方型形狀金屬層分別位于矩形形狀陰極過(guò)渡層長(zhǎng)邊中心線 的兩側(cè),并且不得和矩形形狀陰極過(guò)渡層的邊緣重合,使得暴露的陰極過(guò)渡層呈現(xiàn)數(shù)字8 型形狀;陰極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣增高層;絕緣增高層的上下表面 均為平面,下表面和陰極傳導(dǎo)層相接觸;絕緣增高層中存在矩形通道孔,暴露出下面的陰極 過(guò)渡層和陰極犧牲層;絕緣增高層中的矩形通道孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極過(guò)渡層表面的; 絕緣增高層中的矩形通道孔的內(nèi)側(cè)壁與上表面交界處存在一個(gè)向內(nèi)凹陷的斜坡面;陰極犧 牲層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成犧牲增高層;犧牲增高層要完全覆蓋住陰極犧牲層, 其高度與陰極增高層中矩形通道孔內(nèi)側(cè)壁與斜坡面交界處的高度相同;犧牲增高層的上表 面存在孤立柵極層,孤立柵極層不連接電極;絕緣增高層矩形通道孔內(nèi)側(cè)壁與上表面交界 處斜坡面上存在柵極電極層,柵極電極層要布滿(mǎn)斜坡面的表面;柵極電極層和孤立柵極層 是互不連通的;絕緣增高層上表面存在柵極引線層,柵極引線層和柵極電極層是相互連通 的;絕緣增高層上和柵極電極層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成柵極覆蓋層,柵極覆蓋層 要覆蓋柵極電極層和柵極引線層;碳納米管制備在暴露的陰極過(guò)渡層上面。
所述的陰極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;陰極引線層為金屬 金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;陰極過(guò)渡層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ;陰極犧牲層為金屬 金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;孤立柵極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之 一 ;柵極電極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;柵極引線層為金屬金、銀、銅、 鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;柵極電極層的走向和陰極傳導(dǎo)層的走向是相互垂直的。
柵陰控結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖; 柵陰控結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意柵陰控結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器的結(jié)
陰極玻璃面板采用鈉鈣玻璃或硼硅玻璃。 —種所述的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其特征在于,其 制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割,制作出陰極玻璃面板;
2)屏蔽層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成屏蔽層; 3)陰極傳導(dǎo)層3的制作在屏蔽層上印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極 傳導(dǎo)層; 4)陰極引線層4的制作在陰極面板上制備出金屬層,經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰 極引線層; 5)陰極過(guò)渡層5的制作在陰極傳導(dǎo)層上面制備出金屬層,經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形 成陰極過(guò)渡層; 6)陰極犧牲層6的制作在陰極過(guò)渡層上印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成 陰極犧牲層; 7)絕緣增高層7的制作在陰極傳導(dǎo)層上面印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成絕緣增高層; 8)犧牲增高層8的制作在陰極犧牲層的上面印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成犧牲增高層; 9)孤立柵極層9的制作在犧牲增高層上面制備出金屬層,經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形 成孤立柵極層; 10)柵極電極層10的制作在絕緣增高層上面印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成柵極電極層; 11)柵極引線層11的制作在絕緣增高層上面印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成柵極引線層; 12)柵極覆蓋層12的制作在絕緣增高層和柵極電極層上面印刷絕緣漿料,經(jīng)常 規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層; 13)同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的表 面進(jìn)行清潔處理,除掉雜質(zhì)和灰塵; 14)碳納米管13的制備將碳納米管制備在陰極過(guò)渡層的上面;
15)陽(yáng)極玻璃面板14的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割,制作出陽(yáng)極玻璃面板;
16)陽(yáng)極電極層15的制作在陽(yáng)極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層,經(jīng)常規(guī)刻 蝕后形成陽(yáng)極電極層; 17)陽(yáng)極引線層21的制作在陽(yáng)極玻璃面板上印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成陽(yáng)極引線層; 18)黑色分隔層17的制作在陽(yáng)極玻璃面板上印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成黑色分隔層; 19)熒光粉層16的制作在陽(yáng)極電極層上面制備出熒光粉,經(jīng)常規(guī)烘烤后形成熒 光粉層; 20)器件裝配將陰極玻璃面板1、陽(yáng)極玻璃面板14、支撐墻結(jié)構(gòu)20、四周玻璃邊框
918裝配到一起,并將消氣劑附屬元件19安裝到空腔當(dāng)中,用低熔點(diǎn)玻璃粉固定; 21)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝,形成成品件。 所述步驟18具體為在陽(yáng)極面板的非顯示區(qū)域以及陽(yáng)極電極層中間的空余位置印
刷絕緣漿料,;經(jīng)過(guò)烘烤,烘烤溫度22(TC,保持時(shí)間5分鐘,之后放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高
溫?zé)Y(jié),燒結(jié)溫度58(TC,保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟19具體為在陽(yáng)極面板顯示區(qū)域中陽(yáng)極電極層上面印刷熒光粉,在烘箱 當(dāng)中進(jìn)行烘烤,烘烤溫度12(TC,保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟21具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入 烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤;放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié);在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離,在烤消機(jī) 上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消,最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
一種同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器,包括由陽(yáng)極玻璃面板(14)、陰極玻璃面板(1)和四周玻璃邊框(18)所構(gòu)成的密封真空腔;位于陰極玻璃面板(1)和陽(yáng)極玻璃面板(14)之間的支撐墻結(jié)構(gòu)(20)以及消氣劑附屬元件(19);設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板(14)上的陽(yáng)極電極層(15)、陽(yáng)極引線層(21)、黑色分隔層(17)以及制備在陽(yáng)極電極層(15)上面的熒光粉層(16)。其特征在于在陰極玻璃面板(1)上設(shè)置有同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu);所述的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的襯底材料為陰極玻璃面板;陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成屏蔽層(2);屏蔽層(2)上面存在陰極傳導(dǎo)層(3);陰極傳導(dǎo)層(3)周?chē)嬖陉帢O引線層(4),陰極引線層(4)和陰極傳導(dǎo)層(3)是相互連通的;陰極傳導(dǎo)層(3)上面存在陰極過(guò)渡層(5),陰極過(guò)渡層(5)呈現(xiàn)矩形形狀,并且和陰極傳導(dǎo)層(3)是相互連通的;陰極過(guò)渡層(5)上面存在陰極犧牲層(6),陰極犧牲層(6)為兩個(gè)互不連接的方型形狀金屬層;陰極犧牲層(6)的兩個(gè)方型形狀金屬層分別位于矩形形狀陰極過(guò)渡層(5)長(zhǎng)邊中心線的兩側(cè),并且不得和矩形形狀陰極過(guò)渡層(5)的邊緣重合,使得暴露的陰極過(guò)渡層(5)呈現(xiàn)數(shù)字8型形狀;陰極傳導(dǎo)層(3)上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣增高層(7);絕緣增高層(7)的上下表面均為平面,下表面和陰極傳導(dǎo)層(3)相接觸;絕緣增高層(7)中存在矩形通道孔,暴露出下面的陰極過(guò)渡層(5)和陰極犧牲層(6);絕緣增高層(7)中的矩形通道孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極過(guò)渡層(5)表面的;絕緣增高層(7)中的矩形通道孔的內(nèi)側(cè)壁與上表面交界處存在一個(gè)向內(nèi)凹陷的斜坡面;陰極犧牲層(6)上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成犧牲增高層(8);犧牲增高層(8)要完全覆蓋住陰極犧牲層(6),其高度與陰極增高層中矩形通道孔內(nèi)側(cè)壁與斜坡面交界處的高度相同;犧牲增高層(8)的上表面存在孤立柵極層(9),孤立柵極層(9)不連接電極;絕緣增高層(7)矩形通道孔內(nèi)側(cè)壁與上表面交界處斜坡面上存在柵極電極層(10),柵極電極層(10)要布滿(mǎn)斜坡面的表面;柵極電極層(10)和孤立柵極層(9)是互不連通的;絕緣增高層(7)上表面存在柵極引線層(11),柵極引線層(11)和柵極電極層(10)是相互連通的;絕緣增高層(7)上和柵極電極層(10)上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成柵極覆蓋層(12),柵極覆蓋層(12)要覆蓋柵極電極層(10)和柵極引線層(11);碳納米管(13)制備在暴露的陰極過(guò)渡層(5)上面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器,其特征在于所述 陰極傳導(dǎo)層(3)為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一;陰極引線層(4)為金屬金、銀、 銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;陰極過(guò)渡層(5)為金屬鐵、鈷、鎳之一 ;陰極犧牲層(6)為金 屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;孤立柵極層(9)為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、 鉻之一 ;柵極電極層(10)為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;柵極引線層(11)為 金屬金、銀、銅、鋁、鉬、銦、錫、鉛、鉻之一 ;柵極電極層(10)的走向和陰極傳導(dǎo)層(3)的走向 是相互垂直的。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器,其特征在于陰極 玻璃面板采用鈉鈣玻璃或硼硅玻璃。
4. 一種如權(quán)利要求1所述的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其特 征在于,其制作步驟如下1) 陰極玻璃面板(1)的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割,制作出陰極玻璃面板;2) 屏蔽層(2)的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成屏蔽層(2);3) 陰極傳導(dǎo)層(3)的制作在屏蔽層(2)上印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰 極傳導(dǎo)層(3);4) 陰極引線層(4)的制作在陰極面板上制備出金屬層,經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極 引線層(4);5) 陰極過(guò)渡層(5)的制作在陰極傳導(dǎo)層(3)上面制備出金屬層,經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后 形成陰極過(guò)渡層(5);6) 陰極犧牲層(6)的制作在陰極過(guò)渡層(5)上印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極犧牲層(6);7) 絕緣增高層(7)的制作在陰極傳導(dǎo)層(3)上面印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣增高層(7);8) 犧牲增高層(8)的制作在陰極犧牲層(6)的上面印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成犧牲增高層(8);9) 孤立柵極層(9)的制作在犧牲增高層(8)上面制備出金屬層,經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成孤立柵極層(9);10) 柵極電極層(10)的制作在絕緣增高層(7)上面印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成柵極電極層(10);11) 柵極引線層(11)的制作在絕緣增高層(7)上面印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成柵極引線層(11);12) 柵極覆蓋層(12)的制作在絕緣增高層(7)和柵極電極層(10)上面印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層(12);13) 同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn) 行清潔處理,除掉雜質(zhì)和灰塵;14) 碳納米管(13)的制備將碳納米管(13)制備在陰極過(guò)渡層(5)的上面;15) 陽(yáng)極玻璃面板(14)的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割,制作出陽(yáng)極玻璃面板;16) 陽(yáng)極電極層(15)的制作在陽(yáng)極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層,經(jīng)常規(guī)刻蝕 后形成陽(yáng)極電極層;17) 陽(yáng)極引線層(21)的制作在陽(yáng)極玻璃面板上印刷銀漿,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陽(yáng)極引線層;18) 黑色分隔層(17)的制作在陽(yáng)極玻璃面板上印刷絕緣漿料,經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成黑色分隔層;19) 熒光粉層(16)的制作在陽(yáng)極電極層上面制備出熒光粉,經(jīng)常規(guī)烘烤后形成熒光 粉層;20) 器件裝配將陰極玻璃面板(1)、陽(yáng)極玻璃面板(14)、支撐墻結(jié)構(gòu)(20)、四周玻璃邊 框(18)裝配到一起,并將消氣劑附屬元件(19)安裝到空腔當(dāng)中,用低熔點(diǎn)玻璃粉固定;21) 成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝,形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求5所述的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其特征在于所述步驟18具體為在陽(yáng)極面板的非顯示區(qū)域以及陽(yáng)極電極層中間的空余位置印刷 絕緣漿料,;經(jīng)過(guò)烘烤,烘烤溫度22(TC,保持時(shí)間5分鐘,之后放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),燒結(jié)溫度58(TC,保持時(shí)間10分鐘。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其特征在于所述步驟19具體為在陽(yáng)極面板顯示區(qū)域中陽(yáng)極電極層上面印刷熒光粉,在烘箱當(dāng)中 進(jìn)行烘烤,烘烤溫度12(TC,保持時(shí)間10分鐘。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝,其特征在于所述步驟21具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱 當(dāng)中進(jìn)行烘烤;放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié);在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離,在烤消機(jī)上對(duì) 器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消,最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝,包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃邊框所構(gòu)成的密封真空腔;在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極電極層、陽(yáng)極引線層、黑色分隔層以及制備在陽(yáng)極電極層上面的熒光粉層;位于陰極玻璃面板和陽(yáng)極玻璃面板之間的絕緣壁以及消氣劑;設(shè)置在陰極玻璃面板上的同八字型斜高柵陰控結(jié)構(gòu);具有成本低廉、制作工藝簡(jiǎn)單、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J9/02GK101777478SQ20091022757
公開(kāi)日2010年7月14日 申請(qǐng)日期2009年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月22日
發(fā)明者李玉魁, 蔡森, 高寶寧 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院