專利名稱：跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、平板顯示技術(shù)領(lǐng)域以及真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的
相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，特別涉及到跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
隨著平面顯示技術(shù)的應(yīng)用和發(fā)展，顯示器的平板化已經(jīng)成為了顯示技術(shù)的發(fā)展趨勢。場致發(fā)射顯示器是一種新型的固體真空平面顯示器件，它在保留了 CRT顯示器的高逼真圖像質(zhì)量的基礎(chǔ)上，還兼顧具有超薄型、大面積化、功耗低、適用溫區(qū)廣等優(yōu)越之處，是一種理想的下一代顯示器件產(chǎn)品。而碳納米管的發(fā)展，則加速了對場致發(fā)射顯示器的研發(fā)進展。對于利用碳納米管作為陰極材料而制作的三極場致發(fā)射顯示器來說，雖然在降低器件的工作電壓、減小器件制作成本等方面呈現(xiàn)出喜人的特性，但是由于柵極結(jié)構(gòu)的出現(xiàn)，而隨之所帶來的諸如制作工藝復(fù)雜、制作材料要求較高等副作用也是不可忽視的。在目前所研發(fā)的三極場致發(fā)射顯示器件中，還都普遍存在著柵極電壓過高，不能和現(xiàn)有集成電路很好的相結(jié)合等缺陷。這些都制約著三極場致發(fā)射顯示器的進一步發(fā)展，如果不能得到很好的解決，甚至?xí)?dǎo)致其發(fā)展進程的中斷。因此，無論是從總體器件結(jié)構(gòu)方面，還是從器件制作工藝、器件制作材料等方面，都還需要進行大量的研發(fā)。碳納米管陰極的形狀和制作工藝，也對柵極電壓具有一定的影響作用，也需要進行認真的考慮。此外，對于整體平板顯示器件的制作，制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠也是不可忽視的一種重要方面。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。 本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的 —種跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和支撐壁和消氣劑；其特征在于 在陰極玻璃面板上設(shè)置有跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)；所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣一層；絕緣一層上面存在陰極電極層，陰極電極層為平面；陰極電極層的周圍存在陰極引線層，陰極引線層和陰極電極層是相互連通的；陰極電極層上面存在玻璃邊框所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極底層、陽極引線層、陽極隔離層以及制備在陽極底層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的陰極底一層，陰極底一層的上下表面均為平面，下表面與陰極電極層相接觸，陰極底一層的側(cè)壁為平面，垂直于陰極電極層方向；陰極底一層上面存在陰極底二層，陰極底二層的下表面為平面，與陰極底一層相接觸；陰極底二層的下表面面積小于陰極底一層上表面面積，但二者形狀相同；陰極底二層的側(cè)面和上表面均呈現(xiàn)向內(nèi)凹陷的弧形；陰極底二層的側(cè)面存在陰極犧牲二層，陰極犧牲二層的上邊緣與陰極底二層側(cè)面和上表面交接處邊緣重合；陰極底二層的上表面存在陰極犧牲一層，陰極犧牲一層呈現(xiàn)環(huán)形，其外邊緣與陰極底二層側(cè)面和上表面交接處邊緣重合；陰極電極層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣二層，絕緣二層的上下表面均為平面，下表面和陰極電極層相接觸；絕緣二層中存在通道孔，暴露出陰極電極層、陰極底一層、陰極底二層、陰極犧牲一層、陰極犧牲二層；通道孔內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極電極層的平面；通道孔呈現(xiàn)跑道型，即兩端頭呈現(xiàn)半圓型形狀，中間部分呈現(xiàn)矩形形狀；絕緣二層上表面與陰極底二層側(cè)面和上表面交接線的高度是平齊的；絕緣二層上面存在柵極電極層，柵極電極層布滿絕緣二層的上表面，且前端延伸到通道孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極電極層周圍存在柵極引線層，柵極引線層和柵極電極層是相互連通的；絕緣二層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣三層，絕緣三層要覆蓋柵極電極層和柵極引線層；碳納米管制備在陰極犧牲一層和陰極犧牲二層的上面。 所述的陰極電極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；陰極底一層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極底二層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極犧牲一層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲二層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極電極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；柵極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；柵極電極層的走向和陰極電極層的走向是相互垂直的。 陰極玻璃面板采用鈉鈣玻璃或硼硅玻璃。 —種所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作步驟如下 1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)絕緣一層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣一層； 3)陰極電極層的制作在絕緣一層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極電極層； 4)陰極引線層的制作在陰極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極引線層； 5)陰極底一層的制作在陰極電極層上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極底一層； 6)陰極底二層的制作在陰極底一層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極底二層； 7)陰極犧牲二層的制作在陰極底二層的側(cè)面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極犧牲二層； 8)陰極犧牲一層的制作在陰極底一層的上表面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極犧牲一層； 9)絕緣二層的制作在陰極電極層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣二層；
10)柵極電極層的制作在絕緣二層上表面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成柵極電極層； 11)柵極引線層的制作在柵極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極引線層； 12)絕緣三層的制作在絕緣二層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣三層； 13)跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵； 14)碳納米管的制備在陰極犧牲一層和陰極犧牲二層的上面制備出碳納米管；
15)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陽極玻璃面板；
16)陽極底層的制作在陽極玻璃面板上制作出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極底層； 17)陽極引線層的制作在陽極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極引線層； 18)陽極隔離層的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極隔離層； 19)熒光粉層的制作在陽極底層上印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒光粉層； 20)器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、支撐壁、玻璃邊框裝配到一起，并將消氣劑安裝到空室當中，用低熔點玻璃粉固定； 21)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝，形成成品件。
所述步驟18具體為在陽極面板的非顯示區(qū)域以及陽極底層中間的空余位置印刷絕緣漿料，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時間5分鐘，之后放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時間10分鐘。 所述步驟19具體為在陽極面板顯示區(qū)域中陽極底層上面印刷熒光粉，在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時間10分鐘。
所述步驟21具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下積極效果 本發(fā)明中的主要特點在于制作了具有跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極的平板場致發(fā)射平板顯示器件。將高性能的制作材料和低成本的制作工藝有機結(jié)合起來，制作出性能更加優(yōu)良的平板發(fā)光器件。 其一，采用了內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)，充分利用了碳納米管陰極邊緣部分電場高度集中的原理，能夠極大地提升碳納米管的發(fā)射效率； 其二，采用了跑道型平柵控結(jié)構(gòu)，進一步縮減了柵極-陰極之間的有效距離，從而達到降低器件工作電壓的目的； 此外，在本發(fā)明中的器件制作過程中，在充分結(jié)合絲網(wǎng)印刷工藝和常規(guī)刻蝕工藝的基礎(chǔ)上進行的器件制作，具有制作大面積顯示器件的可行性；并沒有采用特殊的器件制作材料以及特殊的器件制作工藝，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠的優(yōu)越之處。


圖l給出了跑道型平
圖2給出了跑道型平
圖3給出了跑道型平結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明，但本發(fā)明并不局限于實施例。
如圖1、2、3所示，本發(fā)明包括由陽極玻璃面板21、陰極玻璃面板l和玻璃邊框16所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板21上的陽極底層20、陽極引線層18、陽極隔離層17以及制備在陽極底層20上面的熒光粉層19 ;位于陽極玻璃面板21和陰極玻璃面板1之間的支撐壁14和消氣劑15 ;其特征在于 在陰極玻璃面板1上設(shè)置有跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)。 所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣一層；絕緣一層上面存在陰極電極層，陰極電極層為平面；陰極電極層的周圍存在陰極引線層，陰極引線層和陰極電極層是相互連通的；陰極電極層上面存在陰極底一層，陰極底一層的上下表面均為平面，下表面與陰極電極層相接觸，陰極底一層的側(cè)壁為平面，垂直于陰極電極層方向；陰極底一層上面存在陰極底二層，陰極底二層的下表面為平面，與陰極底一層相接觸；陰極底二層的下表面面積小于陰極底一層上表面面積，但二者形狀相同；陰極底二層的側(cè)面和上表面均呈現(xiàn)向內(nèi)凹陷的弧形；陰極底二層的側(cè)面存在陰極犧牲二層，陰極犧牲二層的上邊緣與陰極底二層側(cè)面和上表面交接處邊緣重合；陰極底二層的上表面存在陰極犧牲一層，陰極犧牲一層呈現(xiàn)環(huán)形，其外邊緣與陰極底二層側(cè)面和上表面交接處邊緣重合；陰極電極層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣二層，絕緣二層的上下表面均為平面，下表面和陰極電極層相接觸；絕緣二層中存在通道孔，暴露出陰極電極層、陰極底一層、陰極底二層、陰極犧牲一層、陰極犧牲二層；通道孔內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極電極層的平面；通道孔呈現(xiàn)跑道型，即兩端頭呈現(xiàn)半圓型形狀，中間部分呈現(xiàn)矩形形狀；絕緣二層上表面與陰極底二層側(cè)面和上表面交接線的高度是平齊的；絕緣二層上面存在柵極電極層，柵極電極層布滿絕緣二層的上表面，且前端延伸到通道孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極電極層周圍存在柵極引線層，柵極引線層和柵極電極層是相互連通的；絕緣二層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣三層，絕緣三層要覆蓋柵極電極層和柵極引線層；碳納米管制備在陰極犧牲一層和陰極犧牲二層的上面。 所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極電極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極底一層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極底二層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；陰極犧牲一層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲二層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極電極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；柵極引線
柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極場致發(fā)射平板顯示器的層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一 ；柵極電極層的走向和陰極電極層的走向是相 互垂直的。 所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板1、絕緣一層2、陰極電極層 3、陰極引線層4、陰極底一層5、陰極底二層6、陰極犧牲二層8、陰極犧牲一層7、絕緣二9、 柵極電極層11、柵極引線層10、絕緣三層12和碳納米管13部分。
陰極玻璃面板采用鈉鈣玻璃或硼硅玻璃。 —種所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于， 其制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)絕緣一層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成絕緣一層； 3)陰極電極層3的制作在絕緣一層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成 陰極電極層； 4)陰極引線層4的制作在陰極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成陰極引線層； 5)陰極底一層5的制作在陰極電極層上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陰極底一層； 6)陰極底二層6的制作在陰極底一層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形 成陰極底二層； 7)陰極犧牲二層8的制作在陰極底二層的側(cè)面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝 后形成陰極犧牲二層； 8)陰極犧牲一層7的制作在陰極底一層的上表面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工 藝后形成陰極犧牲一層； 9)絕緣二層9的制作在陰極電極層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成絕緣二層； 10)柵極電極層11的制作在絕緣二層上表面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后 形成柵極電極層； 11)柵極引線層10的制作在柵極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成柵極引線層； 12)絕緣三層12的制作在絕緣二層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成絕緣三層； 13)跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu) 的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵； 14)碳納米管13的制備在陰極犧牲一層和陰極犧牲二層的上面制備出碳納米 管； 15)陽極玻璃面板21的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陽極玻璃面板；
16)陽極底層20的制作在陽極玻璃面板上制作出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕 工藝后形成陰極底層； 17)陽極引線層18的制作在陽極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極引線層； 18)陽極隔離層17的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成陽極隔離層； 19)熒光粉層19的制作在陽極底層上印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒光 粉層； 20)器件裝配將陽極玻璃面板21、陰極玻璃面板1、支撐壁14、玻璃邊框16裝配
到一起，并將消氣劑安裝到空室當中，用低熔點玻璃粉固定； 21)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝，形成成品件。 所述步驟18具體為在陽極面板的非顯示區(qū)域以及陽極底層中間的空余位置印刷
絕緣漿料，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時間5分鐘，之后放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒
結(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時間10分鐘。 所述步驟19具體為在陽極面板顯示區(qū)域中陽極底層上面印刷熒光粉，在烘箱當 中進行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時間10分鐘。 所述步驟21具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入 烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機 上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
一種跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板(21)、陰極玻璃面板(1)和玻璃邊框(16)所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板(21)上的陽極底層(20)、陽極引線層(18)、陽極隔離層(17)以及制備在陽極底層(20)上面的熒光粉層(19)；位于陽極玻璃面板(21)和陰極玻璃面板(1)之間的支撐壁(14)和消氣劑(15)；其特征在于在陰極玻璃面板(1)上設(shè)置有跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)；所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣一層(2)；絕緣一層(2)上面存在陰極電極層(3)，陰極電極層(3)為平面；陰極電極層(3)的周圍存在陰極引線層(4)，陰極引線層(4)和陰極電極層(3)是相互連通的；陰極電極層(3)上面存在陰極底一層(5)，陰極底一層(5)的上下表面均為平面，下表面與陰極電極層(3)相接觸，陰極底一層(5)的側(cè)壁為平面，垂直于陰極電極層(3)方向；陰極底一層(5)上面存在陰極底二層(6)，陰極底二層(6)的下表面為平面，與陰極底一層(5)相接觸；陰極底二層(6)的下表面面積小于陰極底一層(5)上表面面積，但二者形狀相同；陰極底二層(6)的側(cè)面和上表面均呈現(xiàn)向內(nèi)凹陷的弧形；陰極底二層(6)的側(cè)面存在陰極犧牲二層(8)，陰極犧牲二層(8)的上邊緣與陰極底二層(6)側(cè)面和上表面交接處邊緣重合；陰極底二層(6)的上表面存在陰極犧牲一層(7)，陰極犧牲一層(7)呈現(xiàn)環(huán)形，其外邊緣與陰極底二層(6)側(cè)面和上表面交接處邊緣重合；陰極電極層(3)上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣二層(9)，絕緣二層(9)的上下表面均為平面，下表面和陰極電極層(3)相接觸；絕緣二層(9)中存在通道孔，暴露出陰極電極層(3)、陰極底一層(5)、陰極底二層(6)、陰極犧牲一層(7)、陰極犧牲二層(8)；通道孔內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極電極層(3)的平面；通道孔呈現(xiàn)跑道型，即兩端頭呈現(xiàn)半圓型形狀，中間部分呈現(xiàn)矩形形狀；絕緣二層(9)上表面與陰極底二層(6)側(cè)面和上表面交接線的高度是平齊的；絕緣二層(9)上面存在柵極電極層(11)，柵極電極層(11)布滿絕緣二層(9)的上表面，且前端延伸到通道孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極電極層(11)周圍存在柵極引線層(10)，柵極引線層(10)和柵極電極層(11)是相互連通的；絕緣二層(9)上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成絕緣三層(12)，絕緣三層(12)要覆蓋柵極電極層(11)和柵極引線層(10)；碳納米管(13)制備在陰極犧牲一層(7)和陰極犧牲二層(8)的上面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的陰極電極層(3)為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；陰極引線層(4)為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；陰極底一層(5)為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；陰極底二層(6)為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；陰極犧牲一層(7)為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲二層(8)為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極電極層(11)為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；柵極引線層(10)為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、鉛、錫、銦之一；柵極電極層(11)的走向和陰極電極層(3)的走向是相互垂直的。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于陰極玻璃面板采用鈉^玻璃或硼硅玻璃。
4. 一種如權(quán)利要求1所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作步驟如下1)陰極玻璃面板(1)的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陰極玻璃面板；2) 絕緣一層(2) (2)的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣一層(2);3) 陰極電極層(3) (3)的制作在絕緣一層(2)上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極電極層(3);4) 陰極引線層(4) (4)的制作在陰極電極層(3)的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極引線層(4);5) 陰極底一層(5) (5)的制作在陰極電極層(3)上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極底一層(5);6) 陰極底二層(6) (6)的制作在陰極底一層(5)上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極底二層(6);7) 陰極犧牲二層(8) (8)的制作在陰極底二層(6)的側(cè)面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極犧牲二層(8);8) 陰極犧牲一層(7) (7)的制作在陰極底一層(5)的上表面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極犧牲一層(7);9) 絕緣二層(9) (9)的制作在陰極電極層(3)上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣二層(9);10) 柵極電極層(11) (11)的制作在絕緣二層(9)上表面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成柵極電極層(11);11) 柵極引線層(10) (10)的制作在柵極電極層(11)的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極引線層(10);12) 絕緣三層(12) (12)的制作在絕緣二層(9)上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣三層(12);13) 跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；14) 碳納米管(13) (13)的制備在陰極犧牲一層(7)和陰極犧牲二層(8)的上面制備出碳納米管(13);15) 陽極玻璃面板(21)的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陽極玻璃面板；16) 陽極底層(20)的制作在陽極玻璃面板上制作出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極底層；17) 陽極引線層(18)的制作在陽極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極引線層；18) 陽極隔離層(17)的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極隔離層；19) 熒光粉層(19)的制作在陽極底層上印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒光粉層；20) 器件裝配將陽極玻璃面板(21)、陰極玻璃面板(1)、支撐壁(14)、玻璃邊框(16)裝配到一起，并將消氣劑安裝到空室當中，用低熔點玻璃粉固定；21) 成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝，形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為在陽極面板的非顯示區(qū)域以及陽極底層中間的空余位置印刷絕緣漿料，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時間5分鐘，之后放置在燒結(jié)爐中進行高溫燒結(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時間10分鐘。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為在陽極面板顯示區(qū)域中陽極底層上面印刷熒光粉，在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時間10分鐘。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟21具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極面板、陰極面板和玻璃邊框所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極面板上的陽極底層、陽極引線層、陽極隔離層以及制備在陽極底層上面的熒光粉層；位于陽極面板和陰極面板之間的支撐壁和消氣劑；設(shè)置在陰極面板上的跑道型平柵控內(nèi)凹陰極結(jié)構(gòu)，具有成本低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠的優(yōu)點。
文檔編號H01J31/12GK101764023SQ20091022759
公開日2010年6月30日 申請日期2009年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月23日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院