專利名稱：準(zhǔn)分子燈裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種準(zhǔn)分子燈裝置。尤其涉及一種用于在液晶面板及液晶顯示裝置的
制造工序中使用的樹脂材料的表面改良的準(zhǔn)分子燈裝置。
背景技術(shù)：
在液晶顯示裝置中，起偏振片配置于構(gòu)成液晶面板的玻璃基板的兩側(cè)。起偏振片 是起偏振鏡保護(hù)薄膜粘貼于起偏振鏡上而制作的。 一般使用將使用了三醋酸纖維素(TAC) 等的透明保護(hù)薄膜(起偏振鏡保護(hù)薄膜)通過(guò)聚乙烯醇(PVA)系粘結(jié)劑粘貼于聚乙烯醇 (PVA)系薄膜等的樹脂材料所構(gòu)成的起偏振鏡的兩面的起偏振片。為了利用水系粘結(jié)材料 良好地粘貼這些樹脂材料，優(yōu)選表面親水性高的材料。 最近，作為這些樹脂材料的表面改良方法，照射真空紫外線的方法受到關(guān)注。根據(jù) 日本特開2008-122921號(hào)公報(bào)，記載有利用準(zhǔn)分子燈照射波長(zhǎng)200nm以下的真空紫外線，由 此，切斷起偏振鏡的表面部分的化學(xué)結(jié)合，同時(shí)在起偏振鏡表面形成有親水性的官能團(tuán)。
依照上述方法，在短時(shí)間內(nèi)可實(shí)施TAC，PVA等的樹脂材料的表面改良處理。由此， 可良好地進(jìn)行粘結(jié)劑的涂敷，因而在粘接起偏振鏡與保護(hù)薄膜時(shí)，也不會(huì)混入空氣。而且， 不會(huì)發(fā)生因處理所引起的污染，因而也不需要處理后的洗凈工序。
專利文獻(xiàn)1日本特開2008-122921號(hào) 針對(duì)進(jìn)行上述方法所用的單元例示于專利文獻(xiàn)l，有將準(zhǔn)分子燈作為光源進(jìn)行照 射處理的準(zhǔn)分子燈裝置。 圖8是表示為了進(jìn)行上述方法所構(gòu)成的準(zhǔn)分子燈裝置(參考例1)。
在燈罩50的內(nèi)部配置有準(zhǔn)分子燈70。燈罩50的內(nèi)部被從氣體導(dǎo)入口 51所導(dǎo)入 的惰性氣體充滿。被處理物W通過(guò)輥式輸送機(jī)等輸送機(jī)構(gòu)40輸送，并且被送入燈罩50內(nèi)。 真空紫外線從準(zhǔn)分子燈70照射在該被處理物W，被送到下一工序。 使用圖8的裝置，當(dāng)進(jìn)行上述專利文獻(xiàn)1所述的表面改良處理時(shí)，則即使為短時(shí)間 的照射也簡(jiǎn)單地可進(jìn)行不會(huì)發(fā)生污染的處理。因此為了活用該方法的優(yōu)點(diǎn)，優(yōu)選盡量以高 速輸送被處理物，以縮短照射時(shí)間。 但是，當(dāng)將被處理物的輸送速度高速化時(shí)，則與被處理物一起侵入至燈罩內(nèi)部的 空氣量會(huì)增加，而通過(guò)在該空氣中包含的氧會(huì)使真空紫外線衰減，因而發(fā)生降低照射光量 而無(wú)法進(jìn)行所期望的處理的問(wèn)題。 作為防止空氣混入此種裝置內(nèi)部的單元，考慮有將惰性氣體噴在被處理物的表面 的方法。 圖9是將惰性氣體噴出單元附加于圖8的準(zhǔn)分子燈裝置的結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)分子燈裝置 (參考例2)。針對(duì)于惰性氣體噴出單元以外的構(gòu)成與圖8同樣而省略說(shuō)明。
表示于圖9的裝置是在燈罩上游側(cè)，對(duì)于剛輸入至內(nèi)部之前的被處理物，通過(guò)朝 輸送方向噴上惰性氣體，作成防止空氣侵入至燈罩內(nèi)部的裝置。 但是，即使通過(guò)表示于圖9的裝置，惰性氣體噴出單元噴出的氣體流，也會(huì)巻入周圍的空氣，使得含有空氣的氣體流會(huì)噴在被處理物上，而無(wú)法防止空氣侵入至燈罩內(nèi)。
如此，當(dāng)使被處理物的輸送速度高速化時(shí)，侵入至燈罩內(nèi)的空氣量會(huì)增加而無(wú)法 進(jìn)行所期望的處理。即，即使使用將準(zhǔn)分子燈照射在樹脂材料的表面改良的方法，也有無(wú)法 活用其優(yōu)點(diǎn)的課題。

發(fā)明內(nèi)容
綜上所述，在本發(fā)明中，目的在于提供一種即使高速輸送被處理物，也不會(huì)有空氣 被巻入裝置內(nèi)，而以惰性氣體置換移動(dòng)的被處理物表面，能夠高效地照射真空紫外線的準(zhǔn) 分子燈裝置。 為了解決上述課題，本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置一面輸送被處理物一面照射準(zhǔn)分子 光，該準(zhǔn)分子燈裝置具備燈罩；準(zhǔn)分子燈，被收容于該燈罩內(nèi)；及輸送機(jī)構(gòu)；其特征為輸 入被處理物的前室連結(jié)設(shè)置在比上述燈罩靠近輸送方向上游的一側(cè)，在該前室內(nèi)，設(shè)置有 惰性氣體導(dǎo)入口以及氣體噴出單元，該惰性氣體導(dǎo)入口用于將該前室內(nèi)的氣體置換為惰性 氣體，該氣體噴出單元用于沿著輸送方向?qū)υ摫惶幚砦飮姵龆栊詺怏w，該被處理物是由聚 乙烯醇、三醋酸纖維素、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯或聚乙烯中任一一種形成的薄膜狀的樹脂 材料。 而且，本發(fā)明的氣體噴出單元的特征為，設(shè)置于被處理物的上下，從被處理物的上
下噴出惰性氣體。 發(fā)明效果 依照本發(fā)明，輸入被處理物的前室連結(jié)設(shè)置在比燈罩靠近輸送方向上游的一側(cè)， 在前室內(nèi)，設(shè)置有用于通過(guò)惰性氣體置換前室內(nèi)的氣體的惰性氣體導(dǎo)入口以及沿著輸送方 向?qū)Ρ惶幚砦飮姵龆栊詺怏w的氣體噴出單元，被處理物是聚乙烯醇、三醋酸纖維素、聚對(duì)苯 二甲酸乙二醇酯或聚乙烯的任一薄膜狀的樹脂材料，由此，即使以高速輸入被處理物，也不 會(huì)將空氣巻入燈罩內(nèi)。因此，從準(zhǔn)分子燈照射的紫外線由于氧不會(huì)衰減而能夠高效地實(shí)施 紫外線照射處理。 而且，本發(fā)明的氣體噴出單元設(shè)置于被處理物的上下，從被處理物的上下噴出惰 性氣體，由此，能夠以惰性氣體充滿被處理物的上下表面，因此能夠更可靠地防止空氣侵入 燈罩內(nèi)的情形。


圖l是表示本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈的圖，(a)圖是沿管軸的剖視圖，(b)圖是A-A'剖 視圖。 圖2是本發(fā)明的第1實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈裝置沿輸送方向的剖面的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖3是與本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置的輸送方向垂直的剖面的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖4是本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
圖5是本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。 圖6中，(a)圖是表示本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置的氣體噴出單元的一例的概略結(jié)構(gòu) 圖，(b)圖是僅抽出了氣體噴出單元的放大圖。 圖7是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈裝置沿輸送方向的剖面的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖8是表示參考例的準(zhǔn)分子燈裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。 圖9是表示參考例的準(zhǔn)分子燈裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。 標(biāo)記說(shuō)明 100 :準(zhǔn)分子燈裝置 10 :燈罩 ll:氣體導(dǎo)入口 12:氣體排出口 13:輸入口 14 :輸出口 20 :前室 21 :擴(kuò)散板 22， 23， 24 :氣體導(dǎo)入口 25:氣體噴出單元 25a:噴出口 26:輸入口 27 :輸出口 28 :氣體噴出單元 29:氣體排出口 30 :準(zhǔn)分子燈 32 :外側(cè)管 33，34:電極 37:內(nèi)側(cè)管 38:紫外線反射膜 39 :光射出部 40 :輸送機(jī)構(gòu) 50 :燈罩 51:氣體導(dǎo)入口 52:氣體排出口 53:輸入口 54 :輸出口 65 :氣體噴出單元 70 :準(zhǔn)分子燈 W:被處理物
具體實(shí)施例方式
在圖1中，示出用于本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置的準(zhǔn)分子燈的一例。(a)是沿著管軸剖 切的概略結(jié)構(gòu)圖，(b)是A-A'剖面的概略結(jié)構(gòu)圖。 準(zhǔn)分子燈30的放電容器由紫外線透射率高的合成石英玻璃所構(gòu)成，采用在大徑 圓筒狀的外側(cè)管32及其內(nèi)側(cè)的小徑圓筒狀內(nèi)側(cè)管37之間形成放電空間的雙重管構(gòu)造，且兩支管在長(zhǎng)邊方向的端部被連結(jié)。在外側(cè)管32與內(nèi)側(cè)管37的外壁分別設(shè)有電極55、56，利 用設(shè)于外側(cè)管37的電極34采用網(wǎng)狀、格子狀等的形態(tài)，具備可將光射出至燈外方的光射出 部39。 表示該準(zhǔn)分子燈30的尺寸的一例，外側(cè)管32的外徑是約40mm，內(nèi)側(cè)管37的外徑 是25mm，管軸方向的全長(zhǎng)是1600mm，發(fā)光長(zhǎng)度是1400mm。發(fā)光長(zhǎng)度通過(guò)電極的配置決定。
而且，準(zhǔn)分子燈的放電容器的形狀并不被限定于此。例如剖面為圓形或矩形而兩 端被密封的單一管狀的放電容器也可以。 在準(zhǔn)分子燈30的放電容器內(nèi)部以例如10 80kPa的壓力封入有放電用氣體。根 據(jù)放電用氣體的種類不同所放射的準(zhǔn)分子發(fā)光的中心波長(zhǎng)不相同。例如封入有氙(Xe)的 準(zhǔn)分子燈中，產(chǎn)生以172nm作為中心波長(zhǎng)的準(zhǔn)分子發(fā)光，在封入有氬(Ar)與氯(Cl)的混合 氣體的準(zhǔn)分子燈中，產(chǎn)生以175nm作為中心波長(zhǎng)的準(zhǔn)分子發(fā)光，在封入有氪(Kr)與碘(I) 的混合氣體的準(zhǔn)分子燈中，產(chǎn)生以191nm作為中心波長(zhǎng)的準(zhǔn)分子發(fā)光，在封入有氬(Ar)與 氟(F)的混合氣體的準(zhǔn)分子燈中，產(chǎn)生以波長(zhǎng)193nm作為中心波長(zhǎng)的準(zhǔn)分子發(fā)光。
圖2是在被處理物輸送方向剖切本發(fā)明的第1實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈裝置的概略結(jié) 構(gòu)圖。 準(zhǔn)分子燈裝置100具備作為照射光源的準(zhǔn)分子燈30、例如由不銹鋼等金屬所構(gòu) 成的筐體即燈罩10、前室20以及用于輸送被處理物的輥式輸送機(jī)等輸送機(jī)構(gòu)40。
在燈罩內(nèi)，由氣體導(dǎo)入口 11導(dǎo)入惰性氣體，例如氮、氬等，而由氣體排出口 12排 出。由此，燈罩10的內(nèi)部環(huán)境被置換成惰性氣體。 準(zhǔn)分子燈30在燈罩內(nèi)部的空間中，對(duì)于被處理物，通過(guò)未圖示的燈座被保持在例 如距離lOmm的位置，以正交于輸送方向的方式，配置成管軸方向(長(zhǎng)邊方向)從紙面跟前 側(cè)朝向縱深側(cè)。 在準(zhǔn)分子燈30的下方，被處理物W朝著箭頭方向被輸送機(jī)構(gòu)40輸送。在燈罩10 的以箭頭所表示的輸送方向的上游側(cè)，開設(shè)有輸入被處理物的輸入口 13，在下游側(cè)開設(shè)有 輸出口 14。 表示燈罩10的尺寸的一例，內(nèi)尺寸為輸送方向長(zhǎng)度400mm，高度200mm，寬度 1800mm的箱狀。而且，輸入口 13、輸出口 14的開口是例如在高度方向上寬度為10mm。
被導(dǎo)入至燈罩10的惰性氣體量按照燈罩10的內(nèi)容積被適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。例如，每1 分鐘，內(nèi)容積的2 20倍的惰性氣體經(jīng)氣體導(dǎo)入口 ll被導(dǎo)入，從氣體排出口 12被排出。 上述尺寸的情況下，內(nèi)容積為144公升，而惰性氣體導(dǎo)入量為500 (公升/分)，排氣量也是 500 (公升/分)。如此，不斷地導(dǎo)入、排出惰性氣體，連續(xù)地輸送被處理物，由此，即使有輸 入口 13、輸出口 14等的開口，也能夠?qū)粽?1內(nèi)保持在以惰性氣體置換后的狀態(tài)。
與燈罩10鄰接，在輸送方向的上游側(cè)設(shè)有前室20。表示前室20的尺寸的一例，為 輸送方向的長(zhǎng)度100mm、高度50mm、寬度1500mm的箱狀。該前室20的輸出口 27與燈罩10 的輸入口 13被連結(jié)，以防止氣體從間隙泄漏或流入。 在前室20的上部設(shè)有用于將惰性氣體導(dǎo)入前室20內(nèi)的氣體導(dǎo)入口 22。在氣體導(dǎo) 入口 22的下方，設(shè)有用于將前室20的內(nèi)部環(huán)境以惰性氣體均勻置換的擴(kuò)散板21。
該擴(kuò)散板21是在例如厚lmm的不銹鋼制板上，貫通板的(p2mm的孔以孔的中心 彼此間成為10mm間距的方式，縱橫2個(gè)方向所形成的結(jié)構(gòu)。通過(guò)該結(jié)構(gòu)，從氣體導(dǎo)入口 22
6導(dǎo)入的惰性氣體，暫且在擴(kuò)散板21的上游側(cè)被堵住，從多個(gè)孔呈均勻又平緩的流狀而被噴 出至擴(kuò)散板21的下方。從氣體導(dǎo)入口 22被導(dǎo)入至前室20內(nèi)的惰性氣體每l分鐘是內(nèi)容 積的2 20倍的量。從形成于擴(kuò)散板21的孔的每一個(gè)所噴出的氣體流速根據(jù)孔徑與孔數(shù) 可適當(dāng)?shù)卦O(shè)定，例如為0.2(m/sec)左右。如此，通過(guò)從擴(kuò)散板21所噴出的惰性氣體的均勻 性下降流，前室20內(nèi)的環(huán)境被置換。但是，從擴(kuò)散板21所噴出的惰性氣體的流速緩慢，因 而不能充分除去或稀釋被處理物W表面的空氣。 在擴(kuò)散板21的下方，配置有用以將惰性氣體噴在被處理物W的氣體噴出單元25。 氣體噴出單元25為了防止被處理物W的表面附近的氣體流速降低，盡可能接近地設(shè)置成不 會(huì)與被處理物W接觸的程度。 被處理物W是下述樹脂材料的連續(xù)的薄片狀薄膜，通過(guò)輸送機(jī)構(gòu)40從位于工序的 上游側(cè)的滾筒膠巻(口一^7 < & A )(未圖示)被輸入前室20內(nèi)，通過(guò)氣體噴出單元25 的下方，從前室20的輸出口 27輸出的同時(shí)，被輸入至燈罩10內(nèi)。在燈罩10內(nèi)施以照射處 理之后，被輸出而被送至下一工序。 圖3是該前室20的、在垂直于輸送方向的剖面處的概略結(jié)構(gòu)圖。
氣體導(dǎo)入口 23是用以將惰性氣體供給于氣體噴出單元25的導(dǎo)入口，被連接于未 圖示的氣體供應(yīng)源，氣體噴出單元25是如圖所示地例如剖面為圓形狀的管狀體，與準(zhǔn)分子 燈30相同，長(zhǎng)邊方向配置于紙面左右方向。在氣體噴出單元25上，沿著長(zhǎng)邊方向形成有多 個(gè)設(shè)成氣體朝半徑方向噴出的噴出口 25a。 作為氣體噴出單元25的一例，是剖面為圓形，在外徑20mm，長(zhǎng)度1500mm的管狀體 上，沿著其長(zhǎng)度方向，以5mm間距形成有280個(gè)(p0.5mm圓形開口的噴出口的噴出管。而
且，形狀并不限定于上述形狀，噴出口可以是對(duì)應(yīng)于突出的噴嘴那樣形態(tài)的形狀，也可以是 如吹拂器那樣的形狀。 從噴出口 25a朝向被處理物W的表面噴出惰性氣體。噴出口 25a的朝向是水平或 比其稍向下方傾斜，從被處理物W的斜上方噴出惰性氣體。表示于圖中的被處理物W的左 右方向的長(zhǎng)度為寬度，氣體噴出單元25具備噴出口 25a，以便能夠?qū)⒍栊詺怏w噴出到被處 理物W的整個(gè)區(qū)域上。 依照此種氣體噴出單元，可將惰性氣體沿輸送方向均勻地噴出到遍及被處理物W 的寬度方向。 而且，從氣體噴出單元所噴出的惰性氣體的相對(duì)于時(shí)間的流量能夠通過(guò)未圖示的 控制裝置進(jìn)行調(diào)整。因此，惰性氣體的噴出速度能夠由氣體噴出口的面積算出。例如，在上 述尺寸的氣體噴出單元25的情況下，所供應(yīng)的氣體量為20公升/分時(shí)，則氣體噴出速度為 12(m/sec)。 在該準(zhǔn)分子燈裝置中，被紫外線照射處理的被處理物是例如PVA(聚乙烯醇)、
TAC(三醋酸纖維素)、PET[(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(聚酯類)]或PE[聚乙烯(聚烯類)]等。 這些被使用于液晶面板的起偏振鏡或起偏振鏡保護(hù)劑等的TAC等，是薄的薄膜狀 樹脂材料，且具可撓性，能夠?qū)钸B續(xù)狀態(tài)的材料通過(guò)如輥式輸送機(jī)那樣的輸送機(jī)構(gòu)一 面巻繞一面高速輸送。被處理物的輸送速度是例如沿著輸送方向?yàn)?0 40 (m/min)，例如為20 (m/min)。被處理物W這樣以高速輸送，因此一面巻入周圍的空氣一面輸入前室20內(nèi)。 以高速輸送的被處理物W的表面，附著有被巻進(jìn)的空氣而形成空氣層。對(duì)于該空
氣層，氣體噴出單元25噴出惰性氣體，噴在被處理物W的表面，稀釋空氣，降低氧濃度。 當(dāng)從噴出口 25a朝著被處理物W開始噴出氣流時(shí)，氣體噴出口附近的氣體也由于
粘性被拉進(jìn)氣流，氣流整體逐漸擴(kuò)散，流速也降低。但是，為了相對(duì)于被處理物的輸送速度
以充分大的初速度噴出，可到達(dá)被處理物W的表面，使得與被處理物W的相對(duì)速度為0，能夠
與表面的空氣混在一起。 而且，周圍為如上所述，被置換成從前室20的氣體導(dǎo)入口 22導(dǎo)入的惰性氣體，因 而氣體噴出單元25不會(huì)對(duì)被處理物W噴出巻入空氣的惰性氣體。由此，附著于表面的空氣 在前室20內(nèi)的空間中，從被處理物的表面除去，在適合于紫外線照射處理的狀態(tài)下，被處 理物W被輸入燈罩10內(nèi)。 從被處理物的表面除去的空氣利用前室20內(nèi)的惰性氣體被稀釋，保持該稀釋狀 態(tài)從前室20的氣體排出口 29排出。 在圖4中，表示本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。 使用本發(fā)明與兩個(gè)參考例的準(zhǔn)分子燈裝置，評(píng)價(jià)紫外線照射處理后的被處理物W 的潤(rùn)濕性。對(duì)于惰性氣體使用氮，對(duì)被處理物W使用TAC。 作為本發(fā)明的裝置為表示于圖2的準(zhǔn)分子燈裝置，參考例1是表示于圖8的準(zhǔn)分 子燈裝置，參考例2是表示于圖9的準(zhǔn)分子燈裝置。 作為裝置的構(gòu)成，以下與本發(fā)明有關(guān)，在表示于圖8的準(zhǔn)分子燈裝置中附加惰性 氣體單元的裝置為表示于圖9的準(zhǔn)分子燈裝置，附加以惰性氣體置換表示于圖9的準(zhǔn)分子 燈裝置的惰性氣體單元的周圍的前室等的裝置。 作為潤(rùn)濕性的評(píng)價(jià)，進(jìn)行由水滴滴下試驗(yàn)帶來(lái)的接觸角測(cè)量。
在圖4中，橫軸是被處理物W的輸送速度(m/min)?？v軸是處理后的接觸角(° )， 表示接觸角越小，提升潤(rùn)濕性的效果越高。處理前的被處理物的接觸角是大約80。左右。
針對(duì)于圖4中的標(biāo)示，X是使用圖8所表示的前室與沒有惰性氣體的氣體噴出單 元的準(zhǔn)分子燈裝置進(jìn)行處理的標(biāo)示(參考例1) ， A是使用沒有圖9示出的前室的準(zhǔn)分子燈 裝置進(jìn)行處理的標(biāo)示(參考例2) ， O是使用圖2示出的本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置進(jìn)行處理的 標(biāo)示。而且，來(lái)自A (參考例2)及〇(本發(fā)明)的氣體噴出單元的惰性氣體的噴出速度為 10(m/sec)。 如圖4所示，可知輸送速度為5(m/min)以下時(shí)，在任一準(zhǔn)分子燈裝置的處理中，接 觸角都小，具有提升潤(rùn)濕性的效果。 但是，在參考例l(X)的處理中，當(dāng)輸送速度達(dá)到10(m/min)時(shí)，空氣巻入燈罩內(nèi) 的巻入量增加，處理效果降低。而且，當(dāng)輸送速度達(dá)到15(m/min)時(shí)，幾乎看不出處理效果。
而且，在參考例2( △)的處理中，當(dāng)輸送速度達(dá)到15(m/min)時(shí)，處理效果降低。 而且，當(dāng)輸送速度達(dá)到20(m/min)時(shí)，則幾乎看不出處理效果。即，即使有空氣巻入，通過(guò)從 氣體噴出單元所噴出的惰性氣體也有些改善，但是輸送速度變高，可以說(shuō)效果并不充分。
在本發(fā)明(〇)的處理中，即使輸送速度成為20(m/min)以上，也不會(huì)看到處理效 果的降低，即使為40(m/min)，處理效果也高。即，可知通過(guò)設(shè)置前室以惰性氣體置換惰性氣 體的氣體噴出單元的周圍，能夠避免巻入空氣，可進(jìn)行適當(dāng)?shù)刈贤饩€照射處理。
圖5是在與表示于圖4的上述同樣的潤(rùn)濕性評(píng)價(jià)試驗(yàn)中，針對(duì)于本發(fā)明(〇)與參考例2 ( △)，將被處理物的輸送速度設(shè)為20 (m/min)，變更來(lái)自氣體噴出單元的惰性氣體的噴出速度的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。 在圖5中，橫軸是噴出速度(m/sec)，縱軸是處理后的接觸角(° )。
在參考例2(A)的處理中，即使提高噴出速度，處理效果上沒有變化，而幾乎沒有處理效果。對(duì)此，在本發(fā)明(〇)的處理中，隨著噴出速度變高，也提高處理效果，而在噴出速度為10(m/sec)以上時(shí)，成為大致一定。 S卩，可知即使提高來(lái)自氣體噴出單元的氣體噴出速度，若未以惰性氣體置換其周圍，成為噴出巻入空氣的氣體，不會(huì)降低被處理物W表面的氧濃度，因而無(wú)法期待處理效果。 而且，如上所述，剛把被處理物輸入前室內(nèi)之后，在其表面附著有空氣。該空氣以
與被處理物相同的速度流動(dòng)，而仍然這樣追隨著。以惰性氣體置換該空氣的過(guò)程中，當(dāng)惰性
氣體到達(dá)被處理物表面時(shí)，在瑜送方向與被處理物的相對(duì)速度需要為0(m/sec)以上。從氣
體噴出單元所噴出的氣流，從剛噴出之后速度逐漸降低，因而初期噴出速度至少需要在被
處理物的輸送速度以上。即，認(rèn)為隨著噴出速度變高，置換的效果提高。 因此，若初期噴出速度為至少輸送速度以上，為惰性氣體可置換處理表面的噴出
速度，即使噴出速度低也能得到效果，因而在輸送速度低時(shí)，也可以降低初期噴出速度，依
照表示于圖5的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，初期噴出速度越高越提升處理效果，即使過(guò)高，處理效果也有飽
和的傾向，并且也浪費(fèi)惰性氣體，因而能夠根據(jù)輸送速度適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)定。 依照上述構(gòu)成的準(zhǔn)分子燈裝置，即使以高速輸送被處理物，也不會(huì)將空氣巻進(jìn)燈
罩10內(nèi)。因此，因?yàn)檠醪粫?huì)衰減從準(zhǔn)分子燈30所照射的紫外線能夠高效地實(shí)施紫外線照
射處理。 圖6(a)是表示針對(duì)于本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置的氣體噴出單元的其他一例的概略剖視圖，針對(duì)圖6(a)，僅表示于圖2的準(zhǔn)分子燈裝置與氣體噴出單元25的形狀不相同，其他構(gòu)成是與表示于圖2的構(gòu)成相同，因而省略說(shuō)明。在圖6(b)中，表示從圖6(a)抽出氣體噴出單元25而予以放大的放大剖視圖。 在圖6中，氣體噴出單元25是在被處理物W的寬度方向(從紙面跟前側(cè)至縱深側(cè))較長(zhǎng)的管，形成有用以噴出惰性氣體的狹縫25b。該狹縫25b可以一體地連續(xù)形成于整個(gè)寬度方向也可以斷續(xù)地設(shè)置隔壁而形成。利用這種狹縫，氣體噴出單元25可供給層狀的噴出流。而且，通過(guò)將該狹縫的寬度形成極小，即使總流量相同，也可供應(yīng)高速的噴出流。
在構(gòu)成氣體噴出單元25的管的、比狹縫25b處于輸送方向的的下游的下游側(cè)，形成有管表面隨著朝向下游彎曲成與輸送方向相同的曲面25c。當(dāng)惰性氣體從狹縫25b噴出時(shí)，利用附壁效應(yīng)(Coanda effect)，氣流沿著該曲面25c的表面流動(dòng)。
依照上述氣體噴出單元25，利用少量氣體就可噴出高速的氣體，因而可節(jié)省惰性氣體的流量。 圖7是沿著輸送方向剖切本發(fā)明第2實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈裝置的概略剖視圖，圖7是與表示于圖2的準(zhǔn)分子燈裝置相比僅前室20的構(gòu)成不相同，而對(duì)于其他構(gòu)成與表示于圖2的準(zhǔn)分子燈裝置相同的構(gòu)成，因而對(duì)此省略說(shuō)明。 前室20具備位于被處理物的上下的氣體噴出單元25、28以及氣體導(dǎo)入口 25a、28a。 在被處理物W被搬進(jìn)準(zhǔn)分子燈裝置100內(nèi)的狀態(tài)下，前室20內(nèi)的空間通過(guò)被處理物W被分開為上側(cè)與下側(cè)的兩部分。而且，在被處理物W的上下，產(chǎn)生向裝置內(nèi)部的巻入導(dǎo)致的空氣侵入。 僅設(shè)置氣體噴出單元25的情況下，針對(duì)被處理物W上側(cè)的表面可用惰性氣體予以
置換，但是針對(duì)下側(cè)在表面附著有空氣的狀態(tài)下被輸入燈罩內(nèi)，因而不優(yōu)選。 因此，優(yōu)選以空氣不會(huì)侵入到燈罩10內(nèi)的方式，不僅在被處理物W的上側(cè)設(shè)置氣
體噴出單元25，而且在下側(cè)也設(shè)置氣體噴出單元28。 而且，不僅設(shè)置將上側(cè)的氣體噴出單元25的周圍置換成惰性氣體的氣體導(dǎo)入口22，而且還設(shè)置將下側(cè)的氣體噴出單元28的周圍置換成惰性氣體的氣體導(dǎo)入口 24。
由此，針對(duì)比前室20內(nèi)的、被處理物W還要處于下側(cè)的空間也能夠用惰性氣體充 依照上述構(gòu)成，通過(guò)將氣體噴出單元及氣體導(dǎo)入口配置于被處理物的上下，就能夠用惰性氣體充滿被處理物的上下表面，因而能夠更可靠地防止空氣侵入到燈罩內(nèi)。
權(quán)利要求
一種準(zhǔn)分子燈裝置，一面輸送被處理物一面照射準(zhǔn)分子光，該準(zhǔn)分子燈裝置具備燈罩；準(zhǔn)分子燈，被收容于該燈罩內(nèi)；以及輸送機(jī)構(gòu)；其特征在于，輸入被處理物的前室連結(jié)設(shè)置在比上述燈罩靠近輸送方向上游的一側(cè)；在該前室內(nèi)，設(shè)置有惰性氣體導(dǎo)入口以及氣體噴出單元，該惰性氣體導(dǎo)入口用于將該前室內(nèi)的氣體置換為惰性氣體，該氣體噴出單元用于沿著輸送方向?qū)υ摫惶幚砦飮姵龆栊詺怏w；該被處理物是由聚乙烯醇、三醋酸纖維素、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯或聚乙烯中任一一種形成的薄膜狀的樹脂材料。
2. 如權(quán)利要求l所述的準(zhǔn)分子燈裝置，其特征在于， 上述氣體噴出單元設(shè)置于上述被處理物的上下。
全文摘要
提供一種準(zhǔn)分子燈裝置，即使高速輸送被處理物，也不會(huì)有空氣被卷入裝置內(nèi)，而且以惰性氣體置換移動(dòng)的被處理物表面，能夠高效地照射真空紫外線，具備燈罩(10)，被收容于該燈罩內(nèi)的準(zhǔn)分子燈(30)，及輸送機(jī)構(gòu)(40)，一面輸送被處理物(W)一面照射準(zhǔn)分子光，其特征為在比上述燈罩靠輸送方向上游的一側(cè)連結(jié)設(shè)置有被處理物被輸入的前室(20)，在該前室內(nèi)，設(shè)置有用于以惰性氣體置換該前室內(nèi)的惰性氣體導(dǎo)入口(22)以及沿著輸送方向?qū)υ摫惶幚砦飮姵龆栊詺怏w的氣體噴出單元(25)，該被處理物是聚乙烯醇、三醋酸纖維素、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、或聚乙烯的任一薄膜狀的樹脂材料。
文檔編號(hào)H01J65/00GK101752195SQ20091026245
公開日2010年6月23日 申請(qǐng)日期2009年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月19日
發(fā)明者遠(yuǎn)藤真一 申請(qǐng)人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社