專利名稱：Pecvd用硅片載片器的變換裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種太陽能光伏產(chǎn)業(yè)工藝設(shè)備，具體地說是用于平板爐 PECVD(等離子增強化學(xué)氣相沉積)中的配套裝置。
背景技術(shù)：
太陽能電池主要有125型(即125x125) 、156型(即156x156)等規(guī)格，相應(yīng)的硅 片載片器也有125型、156型等規(guī)格。在進行平板爐PECVD的工藝時，硅片是放在同一規(guī)格 的硅片載片器的掛鉤上，由于平板爐是連續(xù)生產(chǎn)，配置的硅片載片器至少要10只以上。因 其價格很貴，有些廠家只配置了 156規(guī)格的硅片載片器，如果要生產(chǎn)125規(guī)格的產(chǎn)品就需要 另外配備125型的，從而增加了采購成本。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型針對上述問題，提供一種PECVD用硅片載片器的變換裝置，該裝置安 裝于156型硅片載片器上，可將156型變換成125型的硅片載片器，可大幅度降低采購成 本。 按照本實用新型的技術(shù)方案一種PECVD用硅片載片器的變換裝置，包括板體，其 特征是所述板體的角部以板體的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂，使所述板體 成十字形；板體的一面設(shè)置與所述十字形對應(yīng)的十字槽；所述十字槽的寬度與第一種規(guī)格 的硅片載片器的框桿寬度相等，支臂的寬度為第一種規(guī)格的硅片載片器的邊長與第二種規(guī) 格的硅片載片器的邊長之差再加上第一種規(guī)格的框桿寬度之和。 各個相鄰的支臂的交叉處設(shè)置有過渡圓弧。所述支臂的兩個外側(cè)面上對稱地設(shè)置 有半腰圓槽，半腰圓槽的對稱線垂直于所述支臂的邊線，所述支臂上設(shè)置有圓孔，圓孔的中 心線在半腰圓槽的對稱線上。在處于同一直線上的兩個支臂中，一個支臂的外端與所述十 字槽的同側(cè)設(shè)置有第一臺肩，另一個支臂的外端與所述十字槽的相反側(cè)設(shè)置有第二臺肩。 本實用新型的技術(shù)效果在于本實用新型安裝于第一種規(guī)格的硅片載片器交叉處， 將第一種規(guī)格的硅片載片器轉(zhuǎn)換為第二種規(guī)格的硅片載片器，用于生產(chǎn)第二種規(guī)格的產(chǎn)品， 可以節(jié)省采購成本；拆除本實用新型后，又可以生產(chǎn)第一種規(guī)格的產(chǎn)品，轉(zhuǎn)換方便；支臂的交 叉處設(shè)置有過渡圓弧，可組裝成第二種規(guī)格的單晶硅片載片器，可以用來生產(chǎn)單晶硅片。

圖1為156型硅片載片器中的一個方框的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本實用新型安裝于156型硅片載片器上的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
本實用新型是一種PECVD用硅片載片器的變換裝置，具體實施例是將156型硅片
3載片器變換為125型硅片載片器。圖1為156型硅片載片器中的一個方框1的結(jié)構(gòu)示意圖。 如圖2所示，本實用新型PECVD用硅片載片器的變換裝置2，包括十字形的板體3， 所述板體3的角部以板體3的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂IO，板體3的一側(cè) 表面設(shè)置有十字槽4，十字槽4的寬度與第一種規(guī)格的C/C框的框桿寬度相等，支臂10的寬 度為第一種規(guī)格的硅片載片器的邊長與第二種規(guī)格的硅片載片器的邊長之差再加上第一 種規(guī)格的硅片載片器的框桿寬度之和。 各個相鄰的支臂10的交叉處設(shè)置有過渡圓弧6。所述支臂10的兩個外側(cè)上分別 設(shè)置有半腰圓槽7，半腰圓槽7的對稱線垂直于所述支臂10的邊線，所述支臂10內(nèi)設(shè)置有 圓孔9，圓孔9的中心線在半腰圓槽7的對稱線上。半腰圓槽7與圓孔9相配合用來安裝掛 鉤。 處于同一直線上的兩個支臂10，一個支臂10的外端與所述十字槽4的同側(cè)設(shè)置有 第一臺肩8，另一個支臂10的外端與所述十字槽4的相反側(cè)設(shè)置有第二臺肩5。如圖3所 示，四個PECVD用硅片載片器變換裝置2安裝于156型硅片載片器的方框1的四個交叉處， 十字槽4嵌入方框1的框桿內(nèi)，第一臺肩8與第二臺肩5相搭接，將156型硅片載片器轉(zhuǎn)換 為125型的硅片載片器，生產(chǎn)125型多晶產(chǎn)品。支臂10的交叉處設(shè)置有過渡圓弧6，可組裝 成125型單晶硅片載片器，可以用來生產(chǎn)單晶硅片。使用本實用新型，可節(jié)省2/3的硅片載 片器成本。 拆除本實用新型后又可進行156規(guī)格產(chǎn)品的生產(chǎn)。本實用新型裝卸方便，使用效 果好。
權(quán)利要求一種PECVD用硅片載片器的變換裝置，包括板體(3)，其特征是所述板體(3)的角部以板體(3)的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂(10)，使所述板體(3)成十字形；板體(3)的一面設(shè)置與所述十字形對應(yīng)的十字槽(4)；所述十字槽(4)的寬度與第一種規(guī)格的硅片載片器的框桿寬度相等，支臂(10)的寬度為第一種規(guī)格的硅片載片器的邊長與第二種規(guī)格的硅片載片器的邊長之差再加上第一種規(guī)格的框桿寬度之和。
2. 按照權(quán)利要求1所述的PECVD用硅片載片器的變換裝置，其特征是各個相鄰的支 臂(10)的交叉處設(shè)置有過渡圓弧(6)。
3. 按照權(quán)利要求2所述的PECVD用硅片載片器的變換裝置，其特征是所述支臂(10) 的兩個外側(cè)面上對稱地設(shè)置有半腰圓槽(7)，半腰圓槽(7)的對稱線垂直于所述支臂(10) 的邊線，所述支臂(10)上設(shè)置有圓孔(9)，圓孔(9)的中心線在半腰圓槽(7)的對稱線上。
4. 按照權(quán)利要求1所述的PECVD用硅片載片器的變換裝置，其特征是在處于同一直 線上的兩個支臂(10)中，一個支臂(10)的外端與所述十字槽(4)的同側(cè)設(shè)置有第一臺肩 (8)，另一個支臂(10)的外端與所述十字槽(4)的相反側(cè)設(shè)置有第二臺肩(5)。
專利摘要本實用新型涉及一種PECVD用硅片載片器的變換裝置，其包括板體，所述板體的角部以板體的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂，使所述板體成十字形；板體的一面設(shè)置與所述十字形對應(yīng)的十字槽；所述十字槽的寬度與第一種規(guī)格的硅片載片器的框桿寬度相等，支臂的寬度為第一種規(guī)格的硅片載片器的邊長與第二種規(guī)格的硅片載片器的邊長之差再加上第一種規(guī)格的框桿寬度之和。本實用新型安裝于第一種規(guī)格的硅片載片器的交叉處，將第一種規(guī)格的硅片載片器轉(zhuǎn)換為第二種規(guī)格的硅片載片器，用于生產(chǎn)第二種規(guī)格的產(chǎn)品，可以節(jié)省采購成本；拆除本實用新型后，又可以生產(chǎn)第一種規(guī)格的產(chǎn)品，轉(zhuǎn)換方便。
文檔編號H01J37/02GK201495285SQ200920234829
公開日2010年6月2日 申請日期2009年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月7日
發(fā)明者尤耀明 申請人:無錫綠波新能源設(shè)備有限公司