專利名稱：等離子體顯示面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于顯示器件等的交流面放電型等離子體顯示面板及其制造方法。
背景技術(shù)：
作為等離子體顯示面板(以下，簡稱為"面板")，代表性的交流面放電型面板在對 置配置的前面板和背面板之間形成有多個放電單元。前面板具有玻璃制的前面基板、由一 對掃描電極和維持電極構(gòu)成的顯示電極對、覆蓋它們的電介質(zhì)層及保護(hù)層。背面板具有玻 璃制的背面基板、數(shù)據(jù)電極、將其覆蓋的電介質(zhì)層、隔壁、熒光體層。而且，以顯示電極對和 數(shù)據(jù)電極立體交叉的方式對置配置前面板和背面板并進(jìn)行密封，在內(nèi)部的放電空間封入有 放電氣體。在此，在顯示電極對和數(shù)據(jù)電極對置的部分形成放電單元。在如此構(gòu)成的面板 的各放電單元內(nèi)產(chǎn)生氣體放電，激發(fā)紅、綠、藍(lán)各色熒光體使其發(fā)光而進(jìn)行彩色顯示。
掃描電極及維持電極分別通過例如在寬度寬的條紋狀的透明電極在上層疊寬度 窄的條紋狀的總線電極而形成。透明電極例如將利用濺射法等形成于前面基板上的銦錫氧 化物(IT0)薄膜，通過光刻法等圖案形成為條紋狀而形成。另外，總線電極是在透明電極上 將銀(Ag)膏劑印刷成條紋狀并燒成而形成(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。但是，為了利用濺射 法等形成銦錫氧化物(IT0)薄膜而需要真空裝置及曝光機(jī)等設(shè)備。因此，其存在的問題是， 生產(chǎn)設(shè)備的大型化，且生產(chǎn)率低、生產(chǎn)成本高。 為了解決這些課題，有文獻(xiàn)公示了下述的方法，通過涂敷、燒成含有選自銦(In)、 錫(Sn)、銻(Sb)、鋁(Al)及鋅(Zn)的金屬的微粒子的分散液，形成透明電極(例如，參照 專利文獻(xiàn)2)。 另外，還公示了下述的方法，在350°C 80(TC下對以銦(In)和錫(Sn)為必須成 分的銦錫氧化物(ITO)復(fù)合氧化物進(jìn)行燒成，并涂敷將使晶界成長的銦錫氧化物(ITO)超 微粒子粉末溶解于有機(jī)溶劑而成的分散液并進(jìn)行燒成，形成透明電極(例如，參照專利文 獻(xiàn)3)。 為了涂敷分散液，可使用網(wǎng)板印刷法、噴墨法等。但是，利用這樣的厚膜印刷法進(jìn) 行的圖案形成，尺寸精度有局限，難以形成可用于面板的尺寸精度的透明電極。特別是放電 單元內(nèi)部的掃描電極和維持電極的距離即放電間隙的距離極大地左右其放電單元的放電 特性。因此，其存在的課題是，當(dāng)透明電極的尺寸精度差且放電間隙的距離的偏差大時，每 個放電單元的放電特性的偏差也將變大，在顯示畫面上產(chǎn)生不勻而降低圖像顯示品質(zhì)。
專利文獻(xiàn)1 :(日本)特開2000-156168號公報
專利文獻(xiàn)2 :(日本)特開2005-183054號公報
專利文獻(xiàn)3 :(日本)特開2005-166350號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種等離子體顯示面板，在前面基板上具備多個在一對掃描電極和維
3持電極之間形成有放電間隙的顯示電極對，其特征在于，掃描電極具有使用含有金屬的微 粒子或金屬氧化物的微粒子的分散液設(shè)于前面基板上的掃描透明電極和設(shè)于前面基板上 的掃描總線電極，維持電極具有使用含有金屬的微粒子或金屬氧化物的微粒子的分散液設(shè) 于前面基板上的維持透明電極和設(shè)于前面基板上的維持總線電極，放電間隙由掃描總線電 極和維持總線電極形成，掃描透明電極的放電間隙側(cè)的外緣部與掃描總線電極重合，維持 透明電極的放電間隙側(cè)的外緣部與維持總線電極重合。 根據(jù)這樣的構(gòu)成，可實現(xiàn)低成本且每個放電單元的放電特性的偏差小且顯示高品 質(zhì)的圖像的面板。


圖1是表示本發(fā)明實施方式1的面板的構(gòu)造的分解立體圖； 圖2A是表示從前面板側(cè)觀察的該面板的顯示電極對的詳情的主視圖； 圖2B是表示該面板的顯示電極對的詳情的前面板的剖面圖； 圖3A是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖； 圖3B是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖； 圖3C是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖； 圖3D是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖； 圖3E是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖； 圖4A是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖； 圖4B是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖； 圖4C是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖； 圖4D是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖； 圖4E是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖； 圖5A是用于說明本發(fā)明實施方式2的面板的前面板的制造方法的圖； 圖5B是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖； 圖5C是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖； 圖5D是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖； 圖5E是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖； 圖6是表示本發(fā)明的實施方式3的面板的顯示電極對的詳情的圖。 符號說明 10 :面禾反 20 、50 :前面板 21 、51 :前面基板 22、52、82 :掃描電極 22b、23b、52b、53b、82b、83b :透明電極 22bx、23bx、52bx、53bx :液體層 23、53、83 :維持電極 24:顯示電極對 25、55 :黑條
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25x、55x :(黑條的)前驅(qū)體 26、56:電介質(zhì)層 27 、57 :保護(hù)層 30 :背面板 31 :背面基板 32:數(shù)據(jù)電極 32x :(數(shù)據(jù)電極的)前驅(qū)體 33:基底電介質(zhì)層 34:隔壁 35 :熒光體層 82a、83a、221a、222a、231a、232a、521a、522a、531a、532a、821a、822a、823a、831a、 832a、833a :總線電極 221c、222c、231c、232c、521c、522c、531c、532c :黑色層 221cx、222cx、231cx、232cx、521cx、522cx、531cx、532cx :(黑色層的)前驅(qū)體
221d、222d、231d、232d、521d、522d、531d、532d :導(dǎo)電層 221dx、222dx、231dx、232dx、521dx、522dx、531dx、532dx :(導(dǎo)電層的)前驅(qū)體
具體實施例方式
以下，參照

本發(fā)明的實施方式。
(實施方式1) 圖1是表示本發(fā)明實施方式1的面板的構(gòu)造的分解立體圖。面板10通過使前面 板20和背面板30對置配置，并將周邊部用密封部件(未圖示)密封而構(gòu)成，在內(nèi)部形成有 多個放電單元。 前面板20具有玻璃制的前面基板21、由掃描電極22和維持電極23構(gòu)成的顯示 電極對24、黑條25、電介質(zhì)層26、保護(hù)層27。在前面基板21上彼此平行地形成有多個由一 對掃描電極22和維持電極23構(gòu)成的顯示電極對24。而且，在相鄰的顯示電極對24之間形 成有黑條25。 圖1中示出的圖為顯示電極對24和黑條25形成為掃描電極22、維持電極23、黑 條25、掃描電極22、維持電極23、黑條25重復(fù)。但是，顯示電極對24和黑條25也可以形成 為掃描電極22、維持電極23、黑條25、維持電極23、掃描電極22、黑條25、掃描電極22、維持 電極23、黑條25、維持電極23、掃描電極22、黑條25重復(fù)。 而且，以覆蓋顯示電極對24及黑條25的方式形成有電介質(zhì)層26，且在電介質(zhì)層 26上形成有保護(hù)層27。 背面板30具有玻璃制的背面基板31、數(shù)據(jù)電極32、基底電介質(zhì)層33、隔壁34、熒 光體層35。在背面基板31上彼此平行地形成有多個數(shù)據(jù)電極32。而且，以覆蓋數(shù)據(jù)電極 32的方式形成基底電介質(zhì)層33，進(jìn)而在其上形成井框狀的隔壁34，在基底電介質(zhì)層33的表 面和隔壁34的側(cè)面形成有紅、綠、藍(lán)各色熒光體層35。 圖2A是表示本發(fā)明實施方式1的面板的從前面板側(cè)觀察的顯示電極對的詳情的 主視圖。圖2B是表示本發(fā)明實施方式1的面板的顯示電極對的詳情的前面板的剖面圖。
掃描電極22具有不透明的兩個掃描總線電極221a、222a和透明的掃描透明電極 22b。維持電極23也具有兩個維持總線電極231a、232a和維持透明電極23b。而且，在掃描 總線電極221a和維持總線電極231a之間形成距離為dl的放電間隙。
掃描總線電極221a由黑色層221c和導(dǎo)電層221d構(gòu)成，掃描總線電極222a由黑 色層222c和導(dǎo)電層222d構(gòu)成。同樣，維持總線電極231a由黑色層231c和導(dǎo)電層231d構(gòu) 成，維持總線電極232a由黑色層232c和導(dǎo)電層232d構(gòu)成。以下，將掃描總線電極221a、 222a分別簡稱為"總線電極221a、222a"，將維持總線電極231a、232a分別簡稱為"總線電 極231a、232a"。另外，將掃描透明電極22b簡稱為"透明電極22b"，將維持透明電極23b簡 稱為"透明電極23b"。 黑色層221c、222c、231c、232c為了在從顯示面?zhèn)扔^察面板10時將總線電極221a、 222a、231a、232a看成黑色而設(shè)置。例如使用以氧化釕(Ru02)為主成分的黑色材料在前面 基板21上形成為寬度窄的條紋狀。而且，在黑色層221c、222c、231c、232c上設(shè)置有層疊了 含有銀(Ag)的導(dǎo)電性材料的導(dǎo)電層221d、222d、231d、232d。由此，總線電極221a、222a、 231a、232a的導(dǎo)電性提高。 黑條25是為了從顯示面?zhèn)扔^察面板10時將顯示面看成黑色而設(shè)置。在本實施方 式中，使用以氧化釕(Ru02)為主成分的黑色材料形成，但也可以使用看成黑色的其它材料， 例如使用以黑色顏料為主成分的材料。另外，黑條25不是必須設(shè)置，但在使顯示面發(fā)黑來 顯示對比度高的圖像方面有效。 透明電極22b、23b是為了在放電空間產(chǎn)生強(qiáng)的電場并產(chǎn)生放電，并且將由熒光體 層35發(fā)出的光向面板10外部取出而設(shè)置的。而且，透明電極22b、23b分別為將包含選自 銦(In)、錫(Sn)、銻(Sb)、鋁(Al)及鋅(Zn)的金屬的微粒子或者金屬氧化物的微粒子的分 散液涂敷成寬度大的條紋狀的電極，在非氧化性環(huán)境中干燥之后，在氧化性環(huán)境中燒成而 形成。 以下，說明面板IO的制造方法。圖3A、圖3B、圖3C、圖3D、圖3E是用于說明本發(fā) 明實施方式1的面板的前面板的制造方法的圖。 為了制造前面板20，首先對玻璃制的前面基板21進(jìn)行堿清洗。然后，形成透明電極22b、23b。首先，制作含有平均粒徑為5nm 100nm的銦(In)、
錫(Sn)、銻(Sb)、鋁(Al)及鋅(Zn)中的至少一種金屬的微粒子、或者它們的至少一種的金
屬氧化物的微粒子(含有這些金屬中的兩種以上的元素、即含有所謂的復(fù)合氧化物的微粒
子)、或者這些金屬中的兩種以上的合金的微粒子、或者這些微粒子的混合物的分散液。在
本實施方式中，將平均粒徑為10nm的銦(In)-錫(Sn)的合金微粒子，按12重量％的濃度
計與分散劑一起分散于有機(jī)溶劑中，制作成分散液。另外，作為有機(jī)溶劑使用了十氫化萘，
但除此之外，還可使用例如像甲苯、二甲苯、苯、十四烷這樣的無機(jī)溶劑，芳香族烴類、己烷、
庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一烷、十二烷、十三烷、十四烷、十五烷、十六烷、十A烷、十九烷、
二十烷、三甲基戊烷等長鏈烷烴，環(huán)己烷、環(huán)庚烷、環(huán)辛烷等環(huán)狀烷烴等。 其次，如圖3A所示，以寬度寬的條紋狀涂敷分散液，形成液體層22bx、23bx。在本
實施方式中，使用具有多個孔的微細(xì)噴嘴的噴墨涂敷裝置形成透明電極22b、23b的液體層
22bx、23bx。此時，以放電間隙側(cè)的液體層22bx和液體層23bx的距離d2比放電間隙的距
離dl寬的方式進(jìn)行涂敷。
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然后，如圖3B所示，對形成有液體層22bx、23bx的前面板21進(jìn)行燒成，在氧化性 氣氛中以400°C 60(TC進(jìn)行燒成，形成由厚度80nm 100nm的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的透明電 極22b、23b。在本實施方式中，首先，將形成有液體層22bx、23bx的前面基板21在1 X 10—3Pa 的減壓下用230°C的溫度條件保持10min進(jìn)行干燥。而且，其后，在大氣中用500°C的溫度條 件進(jìn)行60min燒成，形成由厚度約300nm的銦錫氧化物(ITO)膜構(gòu)成的透明電極22b、23b。
然后，如圖3C所示，使用以氧化釕(Ru02)及黑色顏料為主成分的黑色層用膏劑， 形成黑色層221c、222c、231c、232c的前驅(qū)體221cx、222cx、231cx、232cx及黑條25的前驅(qū) 體25x。接著，使用含銀(Ag)的導(dǎo)電層用膏劑在前驅(qū)體221cx、222cx、231cx、232cx上形成 導(dǎo)電層221d、222d、231d、232d的前驅(qū)體221dx、222dx、231dx、232dx。 在本發(fā)明中，"前驅(qū)體"是指涂敷黑色層用膏劑等構(gòu)成部件用膏劑，除去所含有的 有機(jī)成分，進(jìn)行熱處理直至使無機(jī)成分不熔化的狀態(tài)。 此時，前驅(qū)體221cx以覆蓋透明電極22b的放電間隙側(cè)的外緣部的方式形成，前驅(qū) 體231cx以覆蓋透明電極23b的放電間隙側(cè)的外緣部的方式形成。而且，前驅(qū)體221cx和 前驅(qū)體231cx的距離為放電間隙的距離dl。另外，前驅(qū)體222cx以至少與透明電極22b的 一部分重合的方式形成，前驅(qū)體232cx以至少與透明電極23b的一部分重合的方式形成。
總線電極221a、231a由于形成放電間隙，因而也需要高尺寸精度地形成它們的前 驅(qū)體即前驅(qū)體221cx、231cx、221dx、231dx。在本實施方式中，使用網(wǎng)板印刷法將感光性的黑 色層用膏劑涂敷于前面基板21的整個面，使用曝光掩膜進(jìn)行曝光。其后，將感光性導(dǎo)電層 用膏劑涂敷于前面基板21的整個面，使用曝光掩膜進(jìn)行曝光。而且，其后，進(jìn)行顯影，形成 前驅(qū)體221cx、222xc、231cx、232cx、25x、221dx、222dx、231dx、232dx。 其次，如圖3D所示，對形成有前驅(qū)體221cx、222cx、231cx、232cx、25x、221dx、 222dx、231dx、232dx的前面基板21進(jìn)行燒成，形成總線電極221a、222a、231a、232a、黑條 25。此時的燒成的峰值溫度優(yōu)選55(TC 60(TC，在本實施方式為580°C。另外，總線電極 221a、222a、231a、232a的厚度優(yōu)選1 P m 6 ii m，在本實施方式為4iim。
其次，如圖3E所示，在形成有掃描電極22、維持電極23及黑條25的前面基板21 上形成電介質(zhì)層26和保護(hù)層27。 首先，利用網(wǎng)板印刷法等公知技術(shù)形成電介質(zhì)層26的前驅(qū)體。然后，對電介質(zhì)層 26的前驅(qū)體進(jìn)行燒成，形成厚度20 ii m 50 ii m的電介質(zhì)層26。 在本實施方式中，制作了含有電介質(zhì)玻璃的電介質(zhì)膏劑，該電介質(zhì)玻璃含有氧 化硼(B203) 34.6重量％、氧化硅(Si0》1.4重量^、氧化鋅(Zn0)27.6重量％、氧化鋇 (Ba0)3. 3重量％、氧化鉍(81203) 25重量％、氧化鋁(A1203) 1. 1重量％、氧化鉬但003)4. 0重 量％、氧化鎢(W0》3.0重量X。該電介質(zhì)玻璃的軟化點為約57(TC。然后，在形成有掃描電 極22、維持電極23及黑條25的前面玻璃基板21上利用模涂法涂敷電介質(zhì)膏劑，形成電介 質(zhì)層26的前驅(qū)體(未圖示)。而且，在約59(TC下對電介質(zhì)層26的前驅(qū)體(未圖示)進(jìn)行 燒成，形成厚度約40iim的電介質(zhì)層26。 另外，作為電介質(zhì)膏劑，除上述之外，還可以使用含有軟化點為520°C 590°C 的電解質(zhì)玻璃的電介質(zhì)膏劑，該電介質(zhì)玻璃含有氧化硼(B^)、氧化硅(SiO》、氧化鋅 (ZnO)、氧化鉍(Bi203)、氧化鋁(A1203)、氧化鉬(Mo03)、氧化鎢(W03)、氧化鈰(CeO)，或者堿 土類金屬氧化物、堿金屬氧化物等中的任一種。
而且，在電介質(zhì)層26上利用真空蒸鍍法等公知技術(shù)形成以氧化鎂(Mg0)為主成分 的保護(hù)層27。 另外，在本實施方式中，是使用銦(In)和錫(Sn)的合金微粒子形成由銦錫氧化物 (ITO)膜構(gòu)成的透明電極22b、23b。但是，也可以使用含有例如銦(In)及錫(Sn)的金屬的 微粒子或者金屬氧化物的微粒子形成透明電極。另外，可以使用錫(Sn)的微粒子形成由氧 化錫(Sn02)膜構(gòu)成的透明電極。另外，也可以使用鋅(Zn)的微粒子形成由氧化鋅(ZnO)膜 構(gòu)成的透明電極。另外，也可以使用銦錫氧化物(ITO)微粒子或者氧化錫(Sn02)微粒子或 者氧化鋅(ZnO)微粒子形成由銦錫氧化物(ITO)或者氧化錫(Sn02)或者氧化鋅(ZnO)膜 構(gòu)成的透明電極。 另外，在本實施方式中，在燒成了液體層22bx、23bx之后，形成黑色層22lc、222c、 231c、232c及導(dǎo)電層221d、222d、231d、232d的前驅(qū)體221cx、222cx、231cx、232cx、221dx、 222dx、231dx、232dx并進(jìn)行燒成。但是，例如也可以在液體層22bx、23bx上進(jìn)一步形成黑色 層221c、222c、231c、232c及導(dǎo)電層221d、222d、231d、232d的前驅(qū)體221cx、222cx、231cx、 232cx、221dx、222dx、231dx、232dx，之后將液體層22bx、23bx和前驅(qū)體221cx、222cx、 231cx、232cx、221dx、222dx、231dx、232dx同時燒成，形成掃描電極22、維持電極23。
其次，說明背面板30的制造方法。圖4A、圖4B、圖4C、圖4D、圖4E是用于說明本 發(fā)明實施方式1的面板的背面板的制造方法的圖。 首先，如圖4A所示，使用網(wǎng)板印刷法、光刻法等公知技術(shù)，在背面基板31上將以銀 (Ag)為主成分的導(dǎo)電層用膏劑以一定間隔條紋狀涂敷，形成數(shù)據(jù)電極32的前驅(qū)體32x。
然后，如圖4B所示，對形成有前驅(qū)體32x的背面基板31進(jìn)行燒成，形成數(shù)據(jù)電極 32。數(shù)據(jù)電極32的厚度例如為2iim 10 y m，在本實施方式中為3 y m。
接著，如圖4C所示，在形成有數(shù)據(jù)電極32的背面基板31上涂敷電介質(zhì)膏劑，其 后，進(jìn)行燒成，形成基底電介質(zhì)層33?；纂娊橘|(zhì)層33的厚度例如為5 ii m 15 ii m，在本 實施方式中為lOym。 接著，如圖4D所示，在形成有基底電介質(zhì)層33的背面基板31上涂敷感光性電介 質(zhì)膏劑，其后，進(jìn)行干燥，形成隔壁34的前驅(qū)體。其后，使用光刻法等公知技術(shù)形成隔壁34。 隔壁34的高度例如為100iim 150iim，在本實施方式中為120iim。 而且，如圖4E所示，在隔壁34的壁面及電介質(zhì)層33的表面涂敷含有紅色熒光體、 綠色熒光體、藍(lán)色熒光體中的任一種的熒光體墨液。其后，進(jìn)行干燥、燒成，形成熒光體層 35。 作為紅色熒光體，例如可使用(Y，Gd)B03:Eu、 (Y， V)P04:Eu等，作為綠色熒光體，例 如可使用Zn2Si04:Mn、 (Y， Gd)B03:Tb、 (Y， Gb)Al3(B03)4:Tb等，作為藍(lán)色熒光體，例如可使用 BaMgAl10017:Eu、 Sr3MgSi208:Eu等。 而且，將上述的前面板20和背面板30以使顯示電極對24和數(shù)據(jù)電極32立體交
叉的方式對置配置，在形成有放電單元的圖像顯示區(qū)域的外側(cè)的位置使用低熔點玻璃進(jìn)行
密封。其后，在內(nèi)部的放電空間封入含有氙(Xe)的放電氣體，完成面板IO。 在本實施方式中，如上所述，使用噴墨涂敷裝置形成透明電極22b、23b。根據(jù)噴墨
法，僅在所需要的部分涂敷分散液，因此，無材料損耗。另外，具有即使是復(fù)雜的圖案，也能
夠容易地進(jìn)行涂敷的優(yōu)點。相反，由于尺寸精度受墨液的液落下時的點徑限制，因此，存在難以進(jìn)行高尺寸精度的印刷的缺點。 但是，在本實施方式中，以覆蓋透明電極22b的放電間隙側(cè)的外緣部的方式形成 總線電極221a，且以覆蓋透明電極23b的放電間隙側(cè)的外緣部的方式形成總線電極231a。 這樣，放電間隙的距離dl不是取決于透明電極22b、23b的距離，而是取決于高尺寸精度地 形成的總線電極221a和總線電極231a的距離。因此，能夠高精度地形成放電間隙，且能夠 將每個放電單元的放電特性的偏差抑制得很小。 另外，在本實施方式中，將使平均粒徑為10nm的銦(In)-錫(Sn)的合金微粒子以 高濃度分散的分散液進(jìn)行涂敷、干燥后，在50(TC的高溫下燒成而形成的透明電極22b、23b 的電阻低，透射率高，且與前面基板21及總線電極221a、222a、231a、232a的密接性良好。其 原因在于，通過高溫?zé)?，?In)轉(zhuǎn)換為透明的氧化銦(InA)，并且微粒子間的密接性及 與基板的密接性進(jìn)一步提高。 另外，在本實施方式中，使用平均粒徑為5nm 100nm的金屬的微粒子形成透明電 極22b、23b。這是因為，平均粒徑為5nm以下時，微粒子和電介質(zhì)玻璃易于產(chǎn)生反應(yīng)，另外， 在與含有銀(Ag)的總線電極221a、222a、231a、232a的臺階部容易產(chǎn)生龜裂。另外，當(dāng)平均 粒徑達(dá)到100nm以上時，噴墨涂敷裝置的微細(xì)噴嘴容易發(fā)生堵塞。另外，當(dāng)平均粒徑過大 時，燒成后的粒子間的接觸面積減小，片材電阻增大。 另外，在本實施方式中，首先形成透明電極22b、23b或液體層22bx、23bx，之后，以 覆蓋透明電極22b、23b或液體層22bx、23bx的外緣部的方式形成總線電極221a、222a及總 線電極231a、232a。但是，本發(fā)明不限于此。也可以首先形成總線電極221a、222a、231a、 232a，之后可以形成透明電極22b、23b。以下，對如此形成的前面板的制造方法進(jìn)行說明。 [OO"](實施方式2) 圖5A、圖5B、圖5C、圖5D、圖5E是用于說明本發(fā)明實施方式2的面板的前面板的 制造方法的圖。 為了制造前面板20，首先對玻璃制的前面基板51進(jìn)行堿清洗。
其次，如圖5A所示，使用以氧化釕(Ru02)及黑色顏料為主成分的黑色層用膏劑， 形成黑色層521c、522c、531c、532c的前驅(qū)體521cx、522cx、531cx、532cx及黑條55的前驅(qū) 體55x。此時，前驅(qū)體521cx和前驅(qū)體531cx的距離為放電間隙的距離dl。而且，使用含銀 (Ag)的導(dǎo)電層用膏劑在前驅(qū)體521cx、522cx、531cx、532cx上形成導(dǎo)電層521d、522d、531d、 532d的前驅(qū)體521dx、522dx、531dx、532dx。 其次，如圖5B所示，對形成有前驅(qū)體521cx、522cx、531cx、532cx、55x、521dx、 522dx、531dx、532dx的前面板51進(jìn)行燒成，形成總線電極521a、522a、531a、532a、黑條55。 此時的燒成的峰值溫度優(yōu)選55(TC 60(TC，另外，總線電極521a、522a、531a、532a的厚度 優(yōu)選1 ii m 6 ii m。 其次，形成透明電極52b、53b。首先，制作平均粒徑為5nm 100nm的含有銦(In)、 錫(Sn)、銻(Sb)、鋁(Al)及鋅(Zn)中的至少一種金屬的微粒子、或者它們的至少一種的金 屬氧化物的微粒子、或者這些金屬中的兩種以上的合金的微粒子、或者這些微粒子的混合 物的分散液。 其次，如圖5C所示，使用噴墨涂敷裝置以寬度寬的條紋狀涂敷分散液，形成液體 層52bx、53bx。此時，液體層52bx的放電間隙側(cè)的外緣部以位于總線電極521a上的方式形
9成，液體層53bx的放電間隙側(cè)的外緣部以位于總線電極531a上的方式形成。另外，液體層 52bx的一部分以與總線電極522a的至少一部分重合的方式形成，液體層53bx的一部分以 與總線電極532a的至少一部分重合的方式形成。 之后，如圖5D所示，將形成有液體層52bx、53bx的前面基板51干燥，在氧化性氣 氛中且在400°C 600°C的溫度條件下進(jìn)行燒成，形成由厚度為80nm lOOOnm的透明導(dǎo)電 膜構(gòu)成的透明電極52b、53b。 然后，如圖5E所示，在形成有掃描電極52、維持電極53及黑條55的前面基板51 上形成電介質(zhì)層56和保護(hù)層57。 首先，利用網(wǎng)板印刷法等公知技術(shù)形成電介質(zhì)層56的前驅(qū)體。然后，對電介質(zhì)層
56的前驅(qū)體進(jìn)行燒成，形成厚度為20 ii m 50 ii m的電介質(zhì)層56。而且，在電介質(zhì)層56上，
利用真空蒸鍍法等公知技術(shù)形成以氧化鎂(MgO)為主成分的保護(hù)層57。 即使是使用利用上述方法制造的前面板50的面板，放電間隙的距離dl不是取決
于透明電極52b、53b的距離，而是取決于高尺寸精度地形成的總線電極521a和總線電極
531a的距離。因此，可高精度地形成放電間隙，且可將每個放電單元的放電特性的偏差抑制
得很小。 另外，在實施方式2中，在燒成了黑色層521c、522c、531c、532c及導(dǎo)電層521d、 522d、531d、532d的前驅(qū)體521cx、522cx、531cx、532cx、521dx、522dx、531dx、532dx之后，形 成液體層52bx、53bx并進(jìn)行燒成。但是，例如也可以在前驅(qū)體521cx、522cx、531cx、532cx、 521dx、522dx、531dx、532dx上進(jìn)一步形成液體層52bx、53bx，之后將這些前驅(qū)體521cx、 522cx、531cx、532cx、521dx、522dx、531dx、532dx、52bx、53bx同時燒成，形成掃描電極52、 維持電極53。 另外，在本實施方式中，對掃描總線電極由兩個總線電極521a、522a構(gòu)成，維持總 線電極也由兩個總線電極531a、532a構(gòu)成的情況進(jìn)行了說明。但是，本發(fā)明不限于此。
(實施方式3) 圖6是表示本發(fā)明實施方式3的面板的顯示電極對的詳情的圖。掃描電極82具 有透明電極82b和梯子形狀的掃描總線電極82a，維持電極83具有透明電極83和梯子形狀 的維持電極83a。 掃描電極82a具有相當(dāng)于梯子形狀的長的縱木的一方且規(guī)定放電間隙的總線電 極821a、相當(dāng)于梯子形狀的長的縱木的另一方且用于提高掃描電極82的導(dǎo)電性的總線電 極822a、相當(dāng)于梯子形狀的橫木且用于降低總線電極821a和總線電極822a之間的電阻的 總線電極823a。維持總線電極83a也同樣，具有相當(dāng)于梯子形狀的長的縱木的一方且規(guī)定 放電間隙的總線電極831a、相當(dāng)于梯子形狀的長的縱木的另一方且用于提高掃描電極83 的導(dǎo)電性的總線電極832a、相當(dāng)于梯子形狀的橫木且用于降低總線電極831a和總線電極 832a之間的電阻的總線電極833a。 即使是這種形狀的總線電極82a、83a，放電間隙的距離dl也不是取決于透明電極 82b、83b的距離，而是取決于高尺寸精度地形成的總線電極821a和總線電極831a的距離。 因此，可高尺寸精度地形成總線電極821a和總線電極831a，可以高尺寸精度地形成放電間 隙，且可將每個放電單元的放電特性的偏差抑制得很小。 另外，由于可降低總線電極82la和總線電極822a之間的電阻、及總線電極83la和總線電極832a之間的電阻，所以能夠產(chǎn)生更穩(wěn)定的放電。另外，圖6表示對于三個放電 單元分別各設(shè)置一個總線電極823a、833a的例子，但總線電極823a、833a也可以根據(jù)需要 適宜設(shè)定。 另外，實施方式1 3中使用的具體的各數(shù)值只不過是簡單列舉一例，優(yōu)選根據(jù)面
板的規(guī)格等酌情設(shè)定為最佳的值。 產(chǎn)業(yè)上的可利用性 本發(fā)明中，具有燒成包含金屬的微粒子或金屬氧化物的微粒子的分散液而形成的 低成本的透明電極，可顯示每個放電單元的放電特性的偏差小且品質(zhì)高的圖像，因此，作為 面板及其制造方法是有用的。
權(quán)利要求
一種等離子體顯示面板，在前面基板上具備多個在一對掃描電極和維持電極之間形成有放電間隙的顯示電極對，所述等離子體顯示面板的特征在于，所述掃描電極具有掃描總線電極和掃描透明電極，所述維持電極具有維持總線電極和維持透明電極，所述掃描總線電極及所述維持總線電極以形成所述放電間隙的方式分別形成于所述前面基板上，所述掃描透明電極以放電間隙側(cè)的外緣部與所述掃描總線電極重合的方式使用含有金屬的微粒子或者金屬氧化物的微粒子的分散液來形成，所述維持透明電極以放電間隙側(cè)的外緣部與所述維持總線電極重合的方式使用含有金屬的微粒子或者金屬氧化物的微粒子的分散液來形成。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板，其特征在于， 所述金屬的微粒子或者所述金屬氧化物的微粒子含有銦及錫。
3. —種等離子體顯示面板的制造方法，所述等離子體顯示面板在前面基板上具備多個 在一對掃描電極和維持電極之間形成有放電間隙的顯示電極對，所述等離子體顯示面板的 制造方法的特征在于，所述掃描電極具有掃描總線電極和掃描透明電極，所述維持電極具有維持總線電極和 維持透明電極，將所述掃描總線電極及所述維持總線電極以形成所述放電間隙的方式分別形成于所 述前面基板上，將所述掃描透明電極以放電間隙側(cè)的外緣部與所述掃描總線電極重合的方式使用含 有金屬的微粒子或者金屬氧化物的微粒子的分散液來形成，將所述維持透明電極以放電間 隙側(cè)的外緣部與所述維持總線電極重合的方式使用含有金屬的微粒子或者金屬氧化物的 微粒子的分散液來形成。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于， 利用噴墨法涂敷所述分散液。
全文摘要
本發(fā)明提供一種等離子體顯示面板及其制造方法，等離子體顯示面板可以顯示每個放電單元的放電特性的偏差小且品質(zhì)高的圖像，并且具有低成本的透明電極。因此，掃描電極具有使用含有金屬的微粒子或者金屬氧化物的微粒子的分散液設(shè)于前面基板上的掃描透明電極、和設(shè)于前面基板上的掃描總線電極。另外，維持電極具有使用含有金屬的微粒子或者金屬氧化物的微粒子的分散液設(shè)于前面基板上的維持透明電極、和設(shè)于前面基板上的維持總線電極。另外，放電間隙由掃描總線電極和維持總線電極形成，掃描透明電極的放電間隙側(cè)的外緣部與掃描總線電極重合，維持透明電極的放電間隙側(cè)的外緣部與維持總線電極重合。
文檔編號H01J11/22GK101772825SQ20098010008
公開日2010年7月7日 申請日期2009年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月4日
發(fā)明者村社智宏, 浜田良太, 瓜生英一, 石倉靖久 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社