專利名稱：等離子顯示面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在顯示裝置等中使用的等離子顯示面板的制造方法。
背景技術(shù)：
等離子顯示面板(以下稱為PDP)，由于可以實(shí)現(xiàn)高精細(xì)化、大畫(huà)面化，已經(jīng)在65英 寸級(jí)別的電視等中被商品化。近年來(lái)，PDP在與以往的NTSC方式相比掃描線數(shù)為兩倍以上 的高清晰電視中的應(yīng)用正在開(kāi)展，同時(shí)，對(duì)環(huán)境問(wèn)題的關(guān)注要求不含有鉛成分的PDP。
PDP基本上包括前面板和背面板。前面板包括玻璃基板、顯示電極、電介質(zhì)層、保 護(hù)層。顯示電極由在玻璃基板的一個(gè)主面上形成的條紋狀的透明電極和匯流電極構(gòu)成。電 介質(zhì)層覆蓋顯示電極而作為電容器起作用。保護(hù)層由形成在電介質(zhì)層上的氧化鎂(Mg0)構(gòu) 成。另一方面，背面板包括玻璃基板、尋址電極、基底電介質(zhì)層、隔壁、熒光體層。尋址電極 在玻璃基板的一個(gè)主面上形成為條紋狀?；纂娊橘|(zhì)層覆蓋尋址電極。隔壁形成在基底電 介質(zhì)層上。熒光體層形成在各隔壁之間，分別進(jìn)行紅色、綠色和藍(lán)色發(fā)光。
將前面板和背面板以其電極形成面?zhèn)认鄬?duì)的方式氣密封，在由隔壁分隔成的放電 空間內(nèi)以400Torr 600Torr的壓力封入Ne-Xe放電氣體。對(duì)于PDP而言，通過(guò)對(duì)顯示電 極選擇性地附加顯像信號(hào)電壓而使其放電，基于該放電產(chǎn)生的紫外線激發(fā)各色熒光體層而 使其發(fā)出紅色、綠色、藍(lán)色的光，從而實(shí)現(xiàn)彩色圖像顯示。此種PDP在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)。
在此種PDP中，在前面板的電介質(zhì)層上形成的保護(hù)層具有保護(hù)電介質(zhì)層免受由放 電引起的離子沖擊、釋放用于產(chǎn)生尋址放電的初期電子等功能。保護(hù)電介質(zhì)層免受離子沖 擊對(duì)于防止放電電壓的上升有重要的作用。另外，釋放用于產(chǎn)生尋址放電的初期電子對(duì)防 止尋址放電錯(cuò)誤有重要的作用，而尋址放電錯(cuò)誤是圖像閃爍的原因。 近年來(lái)，電視的高精細(xì)化逐漸發(fā)展，市場(chǎng)上要求低成本、低耗電、高亮度的Fu11 HD(高清晰度)(1920X1080像素逐行顯示)PDP。由于來(lái)自保護(hù)層的電子釋放特性決定 PDP的畫(huà)質(zhì)，因此控制電子釋放特性是非常重要的。
專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2003-128430號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
—種等離子顯示面板的制造方法，所述等離子顯示面板具有前面板和背面板，所 述前面板以覆蓋形成在基板上的顯示電極的方式形成電介質(zhì)層，且在所述電介質(zhì)層上形成 保護(hù)層；所述背面板與前面板相對(duì)配置以形成放電空間，并且在與顯示電極相交叉的方向 上形成尋址電極，且設(shè)置有劃分放電空間的隔壁，前面板的保護(hù)層按如下方式構(gòu)成，即，在 電介質(zhì)層上蒸鍍底膜后，對(duì)底膜實(shí)施表面處理，此后形成由金屬氧化物構(gòu)成的多個(gè)結(jié)晶粒 子和由有機(jī)溶劑構(gòu)成的墨液膜，此后通過(guò)真空干燥從墨液膜除去有機(jī)溶劑而使多個(gè)結(jié)晶粒 子附著在底膜上。


圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施方式中的PDP的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是示出本發(fā)明的實(shí)施方式中的PDP的前面板的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖3是示出本發(fā)明的實(shí)施方式中的PDP的凝集粒子的說(shuō)明圖。圖4是示出在本發(fā)明的PDP的制造方法中的保護(hù)層形成的步驟的圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明1PDP2前面板3前玻璃基板4掃描電極4a、5a透明電極4b、5b金屬匯流電極5維持電極6顯示電極7黑條紋(遮光層)8電介質(zhì)層9保護(hù)層10背面板ll背面玻璃基板12尋址電極13基底電介質(zhì)層14隔壁15熒光體層16放電空間81第一電介質(zhì)層82第二電介質(zhì)層91底膜92凝集粒子92a結(jié)晶粒子
具體實(shí)施例方式
在制造具有高電子放出能并且具有縮小作為存儲(chǔ)器功能的電荷的減衰率的即高
電荷保持特性的所謂同時(shí)具有相反的兩個(gè)特性的PDP的基礎(chǔ)上，在顯示面內(nèi)均勻配置由金
屬氧化物構(gòu)成多個(gè)結(jié)晶粒子所凝集的凝集粒子，且以低成本制造的情況重要。 本發(fā)明是鑒于以上技術(shù)問(wèn)題而開(kāi)展的，能夠以低成本制造具備高精細(xì)且高亮度的
顯示性能、且低耗電的PDP。 以下，對(duì)于本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的PDP，利用附圖進(jìn)行說(shuō)明。圖l是示出本發(fā) 明的實(shí)施方式所實(shí)現(xiàn)的PDP的結(jié)構(gòu)的立體圖。PDP的基本結(jié)構(gòu)與一般的交流面放電型PDP 相同。如圖1所示，PDP1中，由前玻璃基板3等構(gòu)成的前面板2與由背玻璃基板11等構(gòu)成的背面板IO相對(duì)配置，且其外周部被包含玻璃料等的密封材料氣密封。在被密封了的PDP1 內(nèi)部的放電空間16中，以400Torr 600Torr的壓力封入含有Ne和Xe等的放電氣體。
在前面板2的前玻璃基板3上，互相平行地分別配置多列顯示電極6和黑條紋(遮 光層)7，所述顯示電極6是由掃描電極4和維持電極5形成的一對(duì)帶狀的顯示電極。在前 玻璃基板3上以覆蓋顯示電極6和遮光層7的方式形成發(fā)揮作為電容器功能的電介質(zhì)層8， 進(jìn)而在電介質(zhì)層8的表面形成包含氧化鎂(MgO)等的保護(hù)層9。 另外，在背面板10的背玻璃基板11上，在與前面板2的掃描電極4和維持電極5 相正交的方向，互相平行地配置多個(gè)帶狀的尋址電極12，而基底電介質(zhì)層13覆蓋尋址電極 12。進(jìn)而，在尋址電極12之間的基底電介質(zhì)層13上，形成有劃分放電空間16的規(guī)定高度 的隔壁14。在隔壁14之間的槽中以尋址電極12為單位依次涂敷形成紫外線下分別發(fā)出紅 色、綠色和藍(lán)色光的熒光體層15。在掃描電極4、維持電極5與尋址電極12相交叉的位置 形成放電單元，具有沿著顯示電極6方向排列的紅色、綠色、藍(lán)色的熒光體層15的放電單元 成為用于彩色顯示的像素。 圖2是示出本發(fā)明的一實(shí)施方式所實(shí)現(xiàn)的PDP1的前面板2的結(jié)構(gòu)的剖面圖，圖2 以將圖l上下反轉(zhuǎn)的方式進(jìn)行顯示。將由掃描電極4和維持電極5形成的顯示電極6以及 遮光層7圖案化形成。掃描電極4由包含銦錫氧化物(IT0)、氧化錫(Sn02)等的透明電極 4a和在透明電極4a上形成的金屬匯流電極4b構(gòu)成，維持電極5由包含銦錫氧化物(ITO)、 氧化錫(Sn02)等的透明電極5a和在透明電極5a上形成的金屬匯流電極5b構(gòu)成。電介質(zhì) 層8具有第一電介質(zhì)層81和第二電介質(zhì)層82雙層結(jié)構(gòu)。進(jìn)而，在第二電介質(zhì)層82上形成 保護(hù)層9 。第一 電介質(zhì)層81用于覆蓋在前玻璃基板3上形成的這些透明電極4a、 5a和金屬 匯流電極4b、5b以及遮光層7而設(shè)置。第二電介質(zhì)層82形成在第一電介質(zhì)層81上。
保護(hù)層9通過(guò)以下方式構(gòu)成在電介質(zhì)層8上形成由含有雜質(zhì)A1的MgO構(gòu)成的底 膜91，同時(shí)，在該底膜91上，使多個(gè)作為金屬氧化物的MgO的結(jié)晶粒子92a凝集成的凝集粒 子92離散地散布而使其以遍及整個(gè)面大致均勻分布的方式附著。 圖3是示出本發(fā)明的實(shí)施方式中的PDP的前面板的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。所謂凝集粒子 92，是指如圖3所示的具有規(guī)定的一次粒徑的結(jié)晶粒子92a發(fā)生凝集或者縮頸的狀態(tài)而形 成的粒子。作為固體不是具有大結(jié)合力而結(jié)合，而是通過(guò)靜電力、范德華力等由多個(gè)一次粒 子形成集合體的體，因此它們以以下的程度結(jié)合，即，通過(guò)超聲波等外在剌激，其一部分或 者全部變成一次粒子的狀態(tài)程度。作為凝集粒子92的粒徑，為約lym左右，作為結(jié)晶粒子 92a，希望其具有14面體、12面體等有7面以上的面的多面體形狀。 接下來(lái)，圖4是示出在本發(fā)明的PDP的制造方法中的保護(hù)層形成的步驟的步驟圖。 說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施方式、即形成保護(hù)層9的制造步驟。如圖4所示，進(jìn)行形成電介質(zhì)層8 的電介質(zhì)層形成步驟Sll，所述電介質(zhì)層8由第一電介質(zhì)層81和第二電介質(zhì)層82的層疊結(jié) 構(gòu)構(gòu)成。然后，在接下來(lái)的底膜蒸鍍步驟S12中，以含A1的MgO的燒結(jié)體作為原材料，通過(guò) 真空蒸鍍法在電介質(zhì)層8的第二電介質(zhì)層82上形成包含MgO的底膜91。
接下來(lái)，在底膜表面處理步驟S13中，使中心波長(zhǎng)172nm的受激準(zhǔn)分子UV燈以在 基板表面上的累計(jì)照射量成為80mJ以上的方式照射。若使用例如40mW輸出的受激準(zhǔn)分子 UV燈，將燈基板間距離設(shè)定為3mm，通過(guò)N2流將處理氣氛的氧量和水分量調(diào)整為低，則能抑 制UV光(紫外線光)的減衰。如此，在約6秒的照射時(shí)間下，在基板表面能得到150mJ的
5累計(jì)照射量。通過(guò)UV照射(紫外線照射)，分解除去由浮游在大氣中的油成分產(chǎn)生的污染 等而凈化MgO的底膜91表面。凈化的面由于經(jīng)過(guò)時(shí)間而被再污染，因此底膜表面處理步驟 S13優(yōu)選在凝集粒子墨液膜形成步驟S14之前實(shí)施。 在凝集粒子墨液膜形成步驟S14中使用的墨液由凝集粒子92和溶劑構(gòu)成，由于不 含有樹(shù)脂基料，因此粘度非常低，所述凝集粒子92凝集多個(gè)作為金屬氧化物的Mg0的結(jié)晶 粒子92a。凝集粒子92能夠通過(guò)對(duì)碳酸鎂或氫氧化鎂等Mg0前體進(jìn)行加熱的方法得到，通 過(guò)靜電力或范德華力等比較弱的力而由多個(gè)一次粒子形成集合體的體。如此，在墨液化的 過(guò)程中，通過(guò)控制超聲波分散的條件等，將平均粒徑聚集在0. 9 ii m 2 ii m的范圍內(nèi)。溶劑 與Mg0的底膜91或凝集粒子92的親和性高，并且為了容易進(jìn)行在接下來(lái)的步驟即干燥步 驟S15中的蒸鍍除去，蒸氣壓力在常溫下為幾十Pa左右，比較高。因此，作為溶劑，使用例 如甲基甲氧基丁醇、萜品醇、丙撐二醇、苯甲醇等有機(jī)溶劑單體或它們的混合溶劑。使用了 所述溶劑的墨液的粘度為幾mPaS 幾十mPaS。 如此，作為將非常低粘度的上述的凝集粒子的墨液在底膜91上涂敷為恒定的膜 厚的機(jī)構(gòu)，使用例如狹縫涂層法。通過(guò)狹縫涂層法，平均膜厚8 ii m 20 ii m的墨液膜在所 希望的區(qū)域內(nèi)形成為均質(zhì)。形成有墨液膜的基板直接向干燥步驟S15移動(dòng)，進(jìn)行減壓干燥。 由于墨液膜在真空室內(nèi)在幾十秒以內(nèi)被急速干燥，因此在加熱干燥中不產(chǎn)生顯而易見(jiàn)的墨 液的對(duì)流。因此，凝集粒子92不偏離而均勻地附著在底膜91上。 如此，在對(duì)底膜91實(shí)施UV處理(紫外線處理)的基礎(chǔ)上，對(duì)不含有樹(shù)脂基料的低 粘度墨液進(jìn)行狹縫涂敷，進(jìn)行真空干燥，由此能夠使凝集粒子92均勻地附著。因此，能夠以 低設(shè)備成本來(lái)生產(chǎn)高品質(zhì)的面板。 為了實(shí)現(xiàn)具備高精細(xì)、高亮度的顯示性能且低耗電的PDP，而作為保護(hù)層的特性， 必須具有高電子放出能并且具有縮小作為存儲(chǔ)器功能的電荷的減衰率的即高電荷保持特 性的所謂同時(shí)具有相反的兩個(gè)特性。為此，蒸鍍?cè)陔娊橘|(zhì)層上的例如MgO中包含Al或Si 等雜質(zhì)的底膜上均勻配置凝集粒子的情況重要且需要以低成本形成，所述凝集粒子凝集有 由金屬氧化物構(gòu)成的多個(gè)結(jié)晶粒子。 從以上的說(shuō)明可知，根據(jù)本發(fā)明的制造方法，在底膜上以遍及整面均勻分布的方
式配置多個(gè)凝集粒子，且能夠以低成本形成，因此，可以實(shí)現(xiàn)具備低耗電、高精細(xì)、高亮度的
顯示性能的PDP。 產(chǎn)業(yè)上的可利用性 如上所述的本發(fā)明，在實(shí)現(xiàn)具備高精細(xì)、高亮度的顯示性能且低耗電的PDP方面 有用。
權(quán)利要求
一種等離子顯示面板的制造方法，其中，所述等離子顯示面板具有前面板，其以覆蓋形成在基板上的顯示電極的方式形成電介質(zhì)層，并且在所述電介質(zhì)層上形成保護(hù)層；背面板，其以形成放電空間的方式與所述前面板相對(duì)配置，并且在與所述顯示電極交叉的方向上形成尋址電極且設(shè)有劃分所述放電空間的隔壁，如下形成所述保護(hù)層在所述電介質(zhì)層上蒸鍍底膜后，對(duì)所述底膜實(shí)施表面處理，之后，形成由金屬氧化物構(gòu)成的多個(gè)結(jié)晶粒子和由有機(jī)溶劑構(gòu)成的墨液膜，之后，通過(guò)干燥從所述墨液膜除去有機(jī)溶劑而使多個(gè)結(jié)晶粒子附著在所述底膜上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示面板的制造方法，其中， 所述底膜的表面處理是利用紫外線照射進(jìn)行的處理。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子顯示面板的制造方法，其中， 通過(guò)所述紫外線照射所照射的紫外線的波長(zhǎng)為185nm以下。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子顯示面板的制造方法，其中， 通過(guò)所述紫外線照射所照射的紫外線的量為50mJ以上3Q0mJ以下。
全文摘要
本發(fā)明提供一種等離子顯示面板的制造方法。其中，如下形成前面板的保護(hù)層在電介質(zhì)層上蒸鍍底膜后，對(duì)該底膜實(shí)施表面處理，之后形成由金屬氧化物構(gòu)成的多個(gè)結(jié)晶粒子和由有機(jī)溶劑構(gòu)成的墨液膜，之后通過(guò)真空干燥從所述墨液膜除去有機(jī)溶劑而使多個(gè)結(jié)晶粒子附著在所述底膜上。
文檔編號(hào)H01J11/12GK101779263SQ20098010012
公開(kāi)日2010年7月14日 申請(qǐng)日期2009年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月26日
發(fā)明者山下英毅, 結(jié)城治宏 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社