專利名稱：等離子顯示面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示裝置等中使用的交流面放電型等離子顯示面板及其制造方法。
背景技術(shù)：
以等離子顯示面板(以下，簡稱為“面板”。)為代表的交流面放電型面板在相對 配置的前面板與背面板之間形成有多個放電單元。前面板具有玻璃制的前面基板、由一對 掃描電極和維持電極構(gòu)成的顯示電極對、覆蓋所述顯示電極對的電介質(zhì)層及保護層。背面 板具有玻璃制的背面基板、數(shù)據(jù)電極、覆蓋該數(shù)據(jù)電極的電介質(zhì)層、隔壁、熒光體層。并且， 以使顯示電極對與數(shù)據(jù)電極形成立體交叉的方式使前面板與背面板相對配置并進行密封， 在內(nèi)部的放電空間內(nèi)封入有放電氣體。在此，在顯示電極對與數(shù)據(jù)電極的相對的部分形成 有放電單元。在如此構(gòu)成的面板的各放電單元內(nèi)產(chǎn)生氣體放電，使紅、綠、藍各色的熒光體 受激發(fā)光而進行彩色顯示。掃描電極及維持電極例如在寬幅的條紋狀的透明電極上層疊窄幅的條紋狀的總 線電極而形成。透明電極是將使用例如濺射法等在前面基板上形成的銦錫氧化物(ITO)薄 膜通過照相平版印刷法等印刻圖形成條紋狀而形成。而且總線電極是在透明電極上將銀 (Ag)漿糊印刷成條紋狀并進行燒成而形成(例如，參照專利文獻1)。然而，為了通過濺射 法等形成銦錫氧化物(ITO)薄膜，需要真空裝置或曝光機等設(shè)備。因此，存在生產(chǎn)設(shè)備變?yōu)?大型，并且生產(chǎn)性低，成本高的問題。為了解決所述課題，公開有涂敷分散液并進行燒成而形成透明電極的方法，該分 散液包含從銦(In)、錫(Sn)、銻(Sb)、鋁(Al)及鋅(Zn)選擇的金屬的微粒子(例如，參照 專利文獻2)。然而，燒成包含金屬的微粒子的分散液而形成的透明電極與通過濺射法形成的銦 錫氧化物(ITO)薄膜相比，存在機械強度弱，容易剝離，容易損傷等缺點。因此，單純置換為 銦錫氧化物(ITO)薄膜時，存在成品率大幅下降的課題。專利文獻1 日本特開2000-156168號公報專利文獻2 日本特開2005-183054號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是一種等離子顯示面板，在前面基板上形成有具有第一總線電極和第一 透明電極的掃描電極；具有第二總線電極和第二透明電極的維持電極，所述等離子顯示面 板的特征在于，具備設(shè)置在前面基板上的第一總線電極及第二總線電極；設(shè)置在前面基 板上，至少覆蓋第一總線電極的一部分的第一透明電極；設(shè)置在前面基板上，至少覆蓋第二 總線電極的一部分的第二透明電極。根據(jù)此種結(jié)構(gòu)，能夠提供一種不使成品率下降而具有低成本的透明電極的面板。


圖1是示出本發(fā)明的實施方式中的面板的結(jié)構(gòu)的分解立體圖。圖2A是示出該面板的顯示電極對的詳細情況的從前面板側(cè)觀察的主視圖。圖2B是示出該面板的顯示電極對的詳細情況的前面板的剖面圖。圖3A是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖。圖3B是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖。圖3C是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖。圖3D是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖。圖3E是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖。圖4A是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖。圖4B是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖。圖4C是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖。圖4D是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖。圖4E是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖。圖5A是示出本發(fā)明的實施方式2中的面板的顯示電極對的詳細情況的從前面板 側(cè)觀察的主視圖。圖5B是示出該面板的顯示電極對的詳細情況的前面板的剖面圖。圖6A是示出本發(fā)明的實施方式3中的面板的顯示電極對的詳細情況的從前面板 側(cè)觀察的主視圖。圖6B是示出該面板的顯示電極對的詳細情況的前面板的剖面圖。圖7A是示出本發(fā)明的實施方式4中的面板的顯示電極對的詳細情況的從前面板 側(cè)觀察的主視圖。圖7B是示出該面板的顯示電極對的詳細情況的前面板的剖面圖。標號說明10 面板20、50、80、90 前面板21、51、81、91 前面基板22、52、82、92 掃描電極22a、92a(第一)總線電極22b,52b,82b,92b (第一)透明電極22bx、23bx 濕層22c,23c黑色層22cx,23cx (黑色層的)前驅(qū)體22d、2導電層22dx,23dx (導電層的)前驅(qū)體23、53、83、93 維持電極23a、93a(第二)總線電極23b、53b、83b、93b (第二)透明電極24、54、84、94 顯示電極對
25黑條紋25x(黑條紋的)前驅(qū)體26電介質(zhì)層27保護層30背面板31背面基板32數(shù)據(jù)電極32x(數(shù)據(jù)電極的)前驅(qū)體33基底電介質(zhì)層34隔壁35熒光體層99放電間隙
具體實施例方式以下，參照

本發(fā)明的實施方式。(實施方式1)圖1是示出本發(fā)明的實施方式1中的面板的結(jié)構(gòu)的分解立體圖。就面板10而言， 將前面板20與背面板30相對配置并通過使用密封構(gòu)件(未圖示)密封周邊部而構(gòu)成，且 在內(nèi)部形成有多個放電單元。前面板20具有玻璃制的前面基板21、由掃描電極22和維持電極23構(gòu)成的顯示 電極對24、黑條紋25、電介質(zhì)層26、保護層27。在前面基板21上相互平行地形成有多組由 一對掃描電極22和維持電極23構(gòu)成的顯示電極對24。并且在相鄰的顯示電極對24之間 形成有黑條紋25。圖1示出了以反復為掃描電極22、維持電極23、黑條紋25、掃描電極22、 維持電極23、黑條紋25的方式形成顯示電極對24和黑條紋25的圖。然而顯示電極對24 和黑條紋25也可以以反復為掃描電極22、維持電極23、黑條紋25、維持電極23、掃描電極 22、黑條紋25、掃描電極22、維持電極23、黑條紋25、維持電極23、掃描電極22、黑條紋25 的方式形成。 并且，以覆蓋顯示電極對24及黑條紋25的方式形成有電介質(zhì)層26，且在電介質(zhì)層 26上形成有保護層27。背面板30具有玻璃制的背面基板31、數(shù)據(jù)電極32、基底電介質(zhì)層33、隔壁34、熒 光體層35。背面基板31上相互平行地形成有多個數(shù)據(jù)電極32。并且以覆蓋數(shù)據(jù)電極32 的方式形成有基底電介質(zhì)層33，而且其上方形成有井字狀的隔壁34，在基底電介質(zhì)層33的 表面和隔壁34的側(cè)面上形成有紅、綠、藍各色的熒光體層35。圖2A是示出本發(fā)明的實施方式1中的面板的顯示電極對的詳細情況的從前面板 側(cè)觀察的主視圖。圖2B是示出本發(fā)明的實施方式1中的面板的顯示電極對的詳細情況的 前面板的剖面圖。
掃描電極22具有不透明的第一總線電極22a和透明的第一透明電極22b。第一總 線電極22a包括黑色層22c和導電層22d。維持電極23具有第二總線電極23a和第二透 明電極23b。第二總線電極23a包括黑色層23c和導電層23d。以下，將第一總線電極22a及第二總線電極23a分別簡稱為“總線電極22a”及“總線電極23a”。而且將第一透明電極 22b及第二透明電極23b分別簡稱為“透明電極22b”及“透明電極23b”。 黑色層22c、23c為了在從顯示面?zhèn)扔^察面板10時使總線電極22a、23a顯示為黑 色而設(shè)置，將以例如氧化釕(RuO2)為主要成分的黑色的材料在前面基板21上形成為窄幅 的條紋狀。并且導電層22d、23d為了提高總線電極22a、23a的導電性而設(shè)置，是在黑色層 22c,23c上印刷含銀漿糊并進行燒成而形成。黑條紋25為了在從顯示面?zhèn)扔^察面板10時使顯示面顯示為黑色而設(shè)置，使用以 例如氧化釕(RuO2)為主要成分的黑色的材料形成在前面基板21上。透明電極22b、23b為了在放電空間產(chǎn)生強電場，產(chǎn)生放電，并且向面板10的外部 取出由熒光體層35產(chǎn)生的光而設(shè)置。并且，透明電極22b以覆蓋總線電極22a的至少一部 分的方式，而且透明電極23b以覆蓋總線電極23a的至少一部分的方式，分別地將包含金屬 的微粒子或金屬氧化物的微粒子的分散液涂敷成寬幅的條紋狀，并在氧化性氣氛中進行燒 成而形成。接下來，說明面板10的制造方法。圖3A、圖3B、圖3C、圖3D、圖3E是用于說明本 發(fā)明的實施方式1中的面板的前面板的制造方法的圖。制造前面板20時，首先對玻璃制的前面基板21進行堿清洗。之后，使用以氧化釕 (RuO2)或黑色顏料為主要成分、且含有玻璃粉等無機成分和有機成分的黑色層用漿糊，在 前面基板21上形成黑色層22c、23c的前驅(qū)體22cx、23cx、及黑條紋25的前驅(qū)體25x。在本發(fā)明中，所謂“前驅(qū)體”表示涂敷黑色層用漿糊等結(jié)構(gòu)構(gòu)件用漿糊，除去含有 的有機成分，但是在無機成分未熔融的狀態(tài)之前進行熱處理。所述前驅(qū)體22CX、23CX、25X能夠使用網(wǎng)板印刷法、照相平版印刷法等公知技術(shù)形 成。之后，如圖3A所示，使用含銀(Ag)的導電層用漿糊，在前驅(qū)體22cx、23cx上形成導電 層 22d、23d 的前驅(qū)體 22dx、23dx。接下來，如圖3B所示，燒成形成有前驅(qū)體22cx、23cx、25x、22dx、23dx的前面基板21， 形成總線電極22a、23a、黑條紋25。此時的燒成的峰值溫度優(yōu)選550°C 600°C，在本實施方 式中為580°C。而且總線電極22a、23a的厚度優(yōu)選Ιμπι 6μπι，在本實施方式中為4μπι。接下來，形成透明電極22b、23b。為了形成透明電極22b、23b，首先，作成分散液， 該分散液包含平均粒徑為5nm IOOnm的、銦(In)、錫(Sn)、銻(Sb)、鋁(Al)及鋅(Zn)中 至少一個金屬微粒子、或所述至少一個金屬氧化物的微粒子、或上述微粒子的混合物。在本 實施方式中，使平均粒徑為IOnm的銦(In)和錫(Sn)的合金微粒子以12重量％的濃度與 分散劑一起分散在有機溶劑中，作成分散液。此外，作為有機溶劑，雖然使用了十氫化萘， 但是除此之外也可以使用例如甲苯、二甲苯、苯、十四烷之類的無極性溶劑、芳香族烴類、己 烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一烷、十二烷、十三烷、十四烷、十五烷、十六烷、十八烷、十九 烷、廿烷、三甲基戊烷等的長鏈烷烴、環(huán)己烷、環(huán)庚烷、環(huán)辛烷等環(huán)狀烷烴等。 接下來，如圖3C所示，使用噴墨涂敷裝置，將分散液涂敷成覆蓋總線電極22a的至 少一部分的寬幅的條紋狀而形成濕層22bx。同樣地，將分散液涂敷成覆蓋總線電極23a的 至少一部分的寬幅的條紋狀而形成濕層23bx。在本實施方式中，使用具有多孔的微細噴嘴 的噴墨涂敷裝置，形成濕層22bx、23bx。此時，濕層22bx以覆蓋總線電極22a的方式涂敷， 濕層23bx以覆蓋總線電極23a的方式涂敷。
之后，如圖3D所示，對形成有濕層22bx、23bx的前面基板21進行干燥，在氧化性 氣氛中以400°C 600V進行燒成，形成由厚度80nm IOOOnm的透明導電膜構(gòu)成的透明 電極22b、23b。在本實施方式中，將形成有濕層22bx、23bx的前面基板21在1 X10_3Pa的 減壓下以230°C的溫度條件保持IOmin進行干燥。并且在大氣中以500°C的溫度條件燒制 60min，形成由厚度約300nm的銦錫氧化物(ITO)膜構(gòu)成的透明電極22b、23b。如此形成總線電極22a、23a后，通過以覆蓋總線電極22a、23a的至少一部分的方 式形成透明電極23a、23b，能夠在總線電極的形成時，減少透明電極剝離或損傷的可能性。 由此，能夠使用包含金屬的微粒子或金屬氧化物的微粒子的分散液形成透明電極。接下來，在形成有掃描電極22、維持電極23及黑條紋25的前面基板21上通過印 刷法等公知技術(shù)形成電介質(zhì)層的前驅(qū)體。然后燒成電介質(zhì)層的前驅(qū)體，形成厚度20μπι 50 μ m的電介質(zhì)層26。在本實施方式中，作成了包含電介質(zhì)玻璃的電介質(zhì)漿糊，該電介質(zhì)玻璃由氧化硼 (B2O3) 34. 6重量％、氧化硅(SiO2) 1.4重量％、氧化鋅(ZnO) 27. 6重量％、氧化鋇(BaO) 3. 3 重量％、氧化鉍(Bi2O3) 25重量％、氧化鋁(Al2O3)L 1重量％、氧化鉬(MoO3) 4. 0重量％、氧 化鎢(103)3.0重量％構(gòu)成。如此作成的電介質(zhì)玻璃的軟化點約為570°C。接下來，在形成 有掃描電極22、維持電極23及黑條紋25的前面基板21上通過金屬涂料法涂敷電介質(zhì)漿糊 而形成電介質(zhì)層的前驅(qū)體。然后在約590°C下燒成電介質(zhì)層的前驅(qū)體而形成電介質(zhì)層26。 此時的電介質(zhì)層26的厚度約為40 μ m。此外，作為電介質(zhì)漿糊，除上述以外，也可以從例如氧化硼(B2O3)、氧化硅(SiO2)、 氧化鋅(ZnO)、氧化鉍(Bi2O3)、氧化鋁(Al2O3)、氧化鉬(MoO3)、氧化鎢(WO3)、氧化鈰(CeO)、 或堿土類金屬氧化物、堿金屬氧化物等中使用包含幾個軟化點520°C 590°C的電介質(zhì)玻 璃的電介質(zhì)漿糊。然后，如圖3E所示，在電介質(zhì)層26上通過真空蒸鍍法等公知技術(shù)形成以氧化鎂 (MgO)為主要成分的保護層27。另外，在本實施方式中，使用銦(In)和錫(Sn)的合金微粒子形成由銦錫氧化物 (ITO)膜構(gòu)成的透明電極22b、23b。除上述以外，也可以使用例如錫(Sn)的微粒子形成由 氧化錫(SnO2)膜構(gòu)成的透明電極。而且，還可以使用鋅(Zn)的微粒子形成由氧化鋅(ZnO) 膜構(gòu)成的透明電極。另外，在本實施方式中，燒成黑色層22c、23c及導電層22d、23d的前驅(qū)體22cx、 23cx、22dx、23dx后，形成并燒成透明電極22b、23b的濕層22bx、23bx。然而，例如也可以在 黑色層22c、23c及導電層22d、23d的前驅(qū)體22cx、23cx、22dx、23dx上進一步形成透明電極 22b、23b的濕層22bx、23bx，之后，同時燒成所述前驅(qū)體22cx、23cx、22dx、23dx及濕層22bx、 23bx而形成掃描電極22、維持電極23。接下來說明背面板30的制造方法。圖4A、圖4B、圖4C、圖4D、圖4E是用于說明本 發(fā)明的實施方式1中的面板的背面板的制造方法的圖。首先，如圖4A所示，使用網(wǎng)板印刷法、照相平版印刷法等公知技術(shù)，在背面基板31上將以銀為主要成分的導電層用漿糊以恒定間隔涂敷成條紋狀，形成數(shù)據(jù)電極32的前驅(qū) 體 32χ0接下來，如圖4B所示，對形成有前驅(qū)體32x的背面基板31進行燒成，形成數(shù)據(jù)電極32。數(shù)據(jù)電極32的厚度為例如2 μ m 10 μ m。接下來，如圖4C所示，在形成有數(shù)據(jù)電極32的背面基板31上涂敷電介質(zhì)漿糊，之后進行燒成而形成基底電介質(zhì)層33?；纂娊橘|(zhì)層33的厚度例如約為5 μ m 15 μ m。接下來，如圖4D所示，在形成有基底電介質(zhì)層33的背面基板31上涂敷了感光性的電介質(zhì)漿糊后，進行干燥而形成隔壁34的前驅(qū)體。之后，使用照相平版印刷法等公知技 術(shù)形成隔壁34。隔壁34的高度為例如100 μ m 150 μ m。然后，如圖4E所示，在隔壁34的壁面及電介質(zhì)層33的表面涂敷包含紅色熒光體、 綠色熒光體、藍色熒光體的任一種的熒光體墨水。之后進行干燥、燒成而形成熒光體層35。分別地，作為紅色熒光體，能夠使用例如(Y，Gd) BO3:Eu、(Y, V) PO4:Eu等，作為綠色 熒光體，能夠使用例如Zn2SiO4 = Mru (Y,Gd)BO3:Tb, (Y,Gd)Al3(BO3)4:Tb等，作為藍色熒光體， 能夠使用例如 BaMgAlltlO17:Eu、Sr3MgSi2O8 = Eu 等。并且，以使顯示電極對24與數(shù)據(jù)電極32形成為立體交叉的方式將上述的前面板 20和背面板30相對配置，在形成有放電單元的圖像顯示區(qū)域的外側(cè)的位置使用低熔點玻 璃進行密封。此后，在內(nèi)部的放電空間內(nèi)封入有含氙的放電氣體，完成面板10。在本實施方式中，透明電極22b以覆蓋總線電極22a的至少一部分的方式，透明電 極23b以覆蓋總線電極23a的至少一部分的方式，分別地將包含銦(In)、錫(Sn)等金屬微 粒子的分散液涂敷成寬幅的條紋狀，在氧化性氣氛中進行燒成而形成。然后，在接下來的工 序中，以覆蓋透明電極22b、23b的方式用金屬涂料法形成電介質(zhì)層26。因此，即使透明電極 22b、23b的機械性強度低，損傷或剝離的可能性也非常小。另外，在本實施方式中，涂敷使平均粒徑為IOnm的銦(In)和錫(Sn)的合金微粒 子以12重量％分散的分散液后，在500°C的高溫下燒成的透明電極22b、23b的阻抗低，透過 率高，且與前面基板21或總線電極22a、23a的密接性也良好。作為其理由，考慮為例如通 過燒成使銦(In)變化為氧化銦(In2O3)時，微粒子膨脹，因此粒子間的密接性或與基板的密
接性進一步提高。另外，在本實施方式中，使用平均粒徑為5nm IOOnm的金屬的微粒子形成透明電 極22b、23b。這是因為在平均粒徑小于5nm時，微粒子與電介質(zhì)玻璃容易產(chǎn)生反應(yīng)，而且， 在含銀(Ag)的總線電極22a、23a的階梯部容易產(chǎn)生龜裂。而且，是因為在平均粒徑超過 IOOnm時，噴墨涂敷裝置的微細噴嘴容易產(chǎn)生眼堵塞。而且當平均粒徑過大時，粒子間的接 觸面積減少，薄層電阻變大。另外，在本實施方式中，將包含金屬的微粒子的分散液通過噴墨法涂敷成條紋狀。 如此，通過使用噴墨法，能夠不浪費分散液，且尺寸精度高地印刻圖形。此外，通過對透明電極的形狀想辦法，能夠進一步抑制如下所述的分散液的使用量。(實施方式2)圖5A是示出本發(fā)明的實施方式2中的面板的顯示電極對的詳細情況的從前面板 側(cè)觀察的主視圖。圖5B是示出該面板的顯示電極對的詳細情況的前面板的剖面圖。實施 方式2中的面板與實施方式1中的面板10的不同點在于，構(gòu)成前面板50的前面基板51上 形成的透明電極52b、53b的形狀。關(guān)于與實施方式1相同的構(gòu)成要素，附加相同的標號，省 略詳細說明。
掃描電極52包括總線電極22a和透明電極52b。同樣地，維持電極53包括總線電極23a和透明電極53b。而且顯示電極對54包括掃描電極52和維持電極53。透明電極52b以覆蓋總線電極22a的至少一部分的方式，而且透明電極53b以覆蓋總線電極23a的至少一部分的方式，分別涂敷包含銦(In)、錫(Sn)等金屬的微粒子或金 屬氧化物的微粒子的分散液，并在氧化性氣氛中進行燒成而形成。如圖5A所示，實施方式 2的透明電極52b、53b形成為梯子狀的形狀。并且與放電單元分別對應(yīng)地形成有梯子狀的 橫木部分。如此，通過將透明電極52b、53b形成為梯子狀的形狀，能夠進一步抑制分散液的 使用量。(實施方式3)圖6A是示出本發(fā)明的實施方式3中的面板的顯示電極對的詳細情況的從前面板側(cè)觀察的主視圖。圖6B是示出該面板的顯示電極對的詳細情況的前面板的剖面圖。在構(gòu)成前面板80的前面基板81上形成的掃描電極82包括總線電極22a和透明電極82b。同樣地，維持電極83包括總線電極23a和透明電極83b。而且顯示電極對84包 括掃描電極82和維持電極83。透明電極82b以覆蓋總線電極22a的至少一部分的方式，而且透明電極83b以覆蓋總線電極23a的至少一部分的方式，分別涂敷包含銦(In)、錫(Sn)等金屬的微粒子或金 屬氧化物的微粒子的分散液，并在氧化性氣氛中進行燒成而形成。如圖6A所示，實施方式 3的透明電極82b、83b形成為櫛齒狀的形狀。并且與放電單元分別對應(yīng)地形成有櫛齒狀的 櫛的部分。如此，通過將透明電極82b、83b形成為櫛齒狀的形狀，能夠進一步抑制分散液的 使用量。(實施方式4)圖7A是示出本發(fā)明的實施方式4中的面板的顯示電極對的詳細情況的從前面板側(cè)觀察的主視圖。圖7B是示出本發(fā)明的實施方式4中的面板的顯示電極對的詳細情況的 前面板的剖面圖。在構(gòu)成前面板90的前面基板91上形成的掃描電極92包括總線電極92a 和透明電極92b。同樣地，維持電極93包括總線電極93a和透明電極93b。而且顯示電極 對94包括掃描電極92和維持電極93。透明電極92b以覆蓋總線電極92a的至少一部分的方式，而且透明電極93b以覆蓋總線電極93a的至少一部分的方式，分別涂敷包含銦(In)、錫(Sn)等金屬的微粒子或金 屬氧化物的微粒子的分散液，并在氧化性氣氛中進行燒成而形成。如圖7A所示，實施方式 4的透明電極92b、93b形成為櫛齒狀的形狀。并且與放電單元分別對應(yīng)地形成有櫛齒狀的 櫛的部分。如此，在實施方式4中，通過將透明電極92b、93b也形成為櫛齒狀的形狀，與實 施方式3相同地，能夠抑制分散液的使用量。實施方式4中的面板與實施方式3中的面板的不同點在于，通過總線電極92a、93a 形成放電單元內(nèi)部的掃描電極92與維持電極93相對的部分，S卩，形成放電間隙99的部分。通常，放電間隙99的距離對其放電單元的放電特性影響大。因此，放電間隙99的距離的波動大時，每個放電單元的放電特性的波動也大，存在顯示畫面產(chǎn)生不均的擔心。然 而，根據(jù)實施方式4，由于使用尺寸精度高的照相平版印刷法形成總線電極92a、93a，因此 能夠縮小放電間隙99的距離的波動，也能夠抑制每個放電單元的放電特性的波動。而且，如上所述，透明電極92b以覆蓋總線電極92a的至少一部分的方式形成，透明電極93b以覆蓋總線電極93a的至少一部分的方式形成。因此，透明電極92b、93b優(yōu)選具 有總線電極92a、93a的寬度的一半以上且小于總線電極92a、93a的寬度的重疊寬度。艮口， 總線電極92a、93a的寬度W相對于透明電極92b、93b與總線電極92a、93a的重疊寬度D，優(yōu) 選滿足1/2W彡D < W。若以完全覆蓋總線電極92a、93a的方式形成透明電極92b、93b，則在燒成總線電 極92a、93a時，存在總線電極材料的銀粒子的燒結(jié)不充分的可能性。因此，重疊寬度D優(yōu)選 小于總線電極92a、93a的寬度W。其中，重疊寬度D小于總線電極92a、93a的寬度W的一 半時，總線電極92a、93a與透明電極92b、93b的接觸電阻大，其結(jié)果，掃描電極92、維持電 極93的電阻值過大，從而存在圖像顯示品質(zhì)下降的擔心。因此，重疊寬度D設(shè)定為小于總 線電極92a、93a的寬度W的一半的情況不優(yōu)選。此外，在本實施方式中，如圖7A所示，雖然使用透明電極材料形成了櫛齒形狀的櫛的部分，但是本發(fā)明并不局限于此，也可以使用例如總線電極材料形成櫛齒形狀的櫛的 部分。另外，在實施方式1 4中使用的具體的各數(shù)值只不過是列舉的一個例子，優(yōu)選按照面板的規(guī)格等，設(shè)定為最合適的值。產(chǎn)業(yè)上的可利用性根據(jù)本發(fā)明，能夠不使成品率下降而實現(xiàn)具有低成本的透明電極的面板，從而作為面板及其制造方法有用，該透明電極燒成包含金屬的微粒子或金屬氧化物的微粒子的分 散液而形成。
權(quán)利要求
一種等離子顯示面板，其在前面基板上形成有具有第一總線電極和第一透明電極的掃描電極；具有第二總線電極和第二透明電極的維持電極，所述等離子顯示面板的特征在于，具備設(shè)置在所述前面基板上的所述第一總線電極及所述第二總線電極；設(shè)置在所述前面基板上，至少覆蓋所述第一總線電極的一部分的所述第一透明電極；設(shè)置在所述前面基板上，至少覆蓋所述第二總線電極的一部分的所述第二透明電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示面板，其特征在于，所述第一透明電極及所述第二透明電極分別使用包含金屬的微粒子或金屬氧化物的 微粒子的分散液形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子顯示面板，其特征在于，所述微粒子包含銦及錫。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示面板，其特征在于，所述第一透明電極及所述第二透明電極的至少一個為櫛齒狀或梯子狀的形狀。
5.一種等離子顯示面板的制造方法，所述等離子顯示面板在前面基板上形成有具有 第一總線電極和第一透明電極的掃描電極；具有第二總線電極和第二透明電極的維持電 極，所述等離子顯示面板的制造方法的特征在于，具備在所述前面基板上形成所述第一總線電極及所述第二總線電極的步驟；以覆蓋所述第一總線電極或其前驅(qū)體的至少一部分的方式形成所述第一透明電極，并 以覆蓋所述第二總線電極或其前驅(qū)體的至少一部分的方式形成所述第二透明電極的步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子顯示面板的制造方法，其特征在于，所述第一透明電極及所述第二透明電極分別通過涂敷包含金屬的微粒子或金屬氧化 物的微粒子的分散液形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的等離子顯示面板的制造方法，其特征在于，通過噴墨法涂敷所述分散液。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子顯示面板的制造方法，其特征在于，還具備在形成所述第一透明電極和所述第二透明電極的步驟后，形成電介質(zhì)層的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不使成品率下降而實現(xiàn)具有低成本的透明電極的等離子顯示面板。為此，具備設(shè)置在前面基板上的第一總線電極及第二總線電極；設(shè)置在前面基板上，并至少覆蓋第一總線電極的一部分的第一透明電極；設(shè)置在前面基板上，并至少覆蓋第二總線電極的一部分的第二透明電極。
文檔編號H01J11/12GK101802957SQ20098010035
公開日2010年8月11日 申請日期2009年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月30日
發(fā)明者村社智宏, 浜田良太, 瓜生英一, 石倉靖久 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社