專利名稱：等離子顯示面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示裝置等中使用的交流面放電型等離子顯示面板的制造方法。
背景技術(shù)：
以等離子顯示面板(以下，簡(jiǎn)稱為“面板”。)為代表的交流面放電型面板在相對(duì) 配置的前面板與背面板之間形成有多個(gè)放電單元。前面板具有玻璃制的前面基板、由一對(duì) 掃描電極和維持電極構(gòu)成的顯示電極對(duì)、覆蓋所述顯示電極對(duì)的電介質(zhì)層及保護(hù)層。背面 板具有玻璃制的背面基板、數(shù)據(jù)電極、覆蓋該數(shù)據(jù)電極的電介質(zhì)層、隔壁、熒光體層。并且， 以使顯示電極對(duì)與數(shù)據(jù)電極形成立體交叉的方式使前面板與背面板相對(duì)配置并進(jìn)行密封， 在內(nèi)部的放電空間內(nèi)封入有放電氣體。在此，在顯示電極對(duì)與數(shù)據(jù)電極的相對(duì)的部分形成 有放電單元。在如此構(gòu)成的面板的各放電單元內(nèi)產(chǎn)生氣體放電，使紅、綠、藍(lán)各色的熒光體 受激發(fā)光而進(jìn)行彩色顯示。掃描電極及維持電極例如在寬幅的條紋狀的透明電極上層疊窄幅的條紋狀的總 線電極而形成。透明電極是將使用例如濺射法等在前面基板上形成的銦錫氧化物(IT0)薄 膜通過照相平版印刷法等印刻圖形成條紋狀而形成。而且總線電極是在透明電極上將銀 (Ag)漿糊印刷成條紋狀并進(jìn)行燒成而形成(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。然而，為了通過濺射 法等形成銦錫氧化物(IT0)薄膜，需要真空裝置或曝光機(jī)等設(shè)備。因此，存在生產(chǎn)設(shè)備變?yōu)?大型，并且生產(chǎn)性低，成本高的問題。為了解決所述課題，公開有涂敷墨水并進(jìn)行燒成而形成透明電極的方法，該墨水 包含從銦(In)、錫(Sn)、銻(Sb)、鋁(A1)及鋅(Zn)選擇的金屬的微粒子(例如，參照專利 文獻(xiàn)2)。另外，也公開有涂敷墨水并進(jìn)行燒成而形成透明電極的方法，該墨水是在有機(jī)溶 劑中溶解在350°C 800°C下燒成以銦(In)和錫(Sn)為必要成分的銦錫氧化物(IT0)復(fù) 合氧化物并使結(jié)晶粒界生長(zhǎng)的銦錫氧化物(IT0)超微粒子粉末而形成(例如，專利文獻(xiàn)3 參照)。放電單元內(nèi)部的掃描電極與維持電極的距離、即放電間隙的距離對(duì)其放電單元的 放電特性影響大。因此，通過透明電極形成放電間隙的情況下，透明電極的印刷精度差而放 電間隙的距離的波動(dòng)大時(shí)，每個(gè)放電單元的放電特性的波動(dòng)也大，存在顯示畫面產(chǎn)生不均 而圖像顯示品質(zhì)下降的問題。作為形成透明電極的方法，優(yōu)選不浪費(fèi)墨水而能夠高效地印刷、涂敷的噴墨印刷 法。然而，噴墨印刷法的尺寸精度受墨點(diǎn)的尺寸的限制，因此在形成尺寸精度高的透明電極 時(shí)需要縮小墨點(diǎn)直徑?？墒钱?dāng)墨點(diǎn)直徑小時(shí)，存在印刷所需時(shí)間變長(zhǎng)，生產(chǎn)性下降的課題。 而且，雖然為了提高生產(chǎn)性而只需增加噴嘴數(shù)即可，但是不能無(wú)限制地縮小相鄰的噴嘴的 間隔。因此，在現(xiàn)實(shí)中必須在噴墨印刷裝置上設(shè)置多個(gè)印刷頭，從而存在噴墨印刷裝置復(fù)雜 且造價(jià)高的課題。專利文獻(xiàn)1 日本特開2000-156168號(hào)公報(bào)
3
專利文獻(xiàn)2 日本特開2005-183054號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2005-166350號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是在前面基板上具備多組在之間形成有放電間隙的一對(duì)透明電極的等離 子顯示面板的制造方法，其特征在于，通過噴墨印刷法，將包含金屬的微粒子或金屬氧化物 的微粒子的墨水作為直徑不同的多個(gè)墨點(diǎn)印刷到所述前面基板上，形成所述透明電極。根據(jù)此種方法，通過噴墨印刷法，使用包含金屬的微粒子或金屬氧化物的微粒子 的墨水，能夠尺寸精度高且不使生產(chǎn)性大幅降低地形成透明電極。


圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施方式中的面板的結(jié)構(gòu)的分解立體圖。圖2A是示出該面板的顯示電極對(duì)的詳細(xì)情況的從前面板側(cè)觀察的主視圖。圖2B是示出該面板的顯示電極對(duì)的詳細(xì)情況的前面板的剖面圖。圖3A是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖。圖3B是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖。圖3C是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖。圖3D是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖。圖3E是用于說明該面板的前面板的制造方法的圖。圖4是示出在該面板的前面基板上印刷墨水的情況的圖。圖5是示出該面板的濕層的詳細(xì)情況的圖。圖6A是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖。圖6B是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖。圖6C是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖。圖6D是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖。圖6E是用于說明該面板的背面板的制造方法的圖。標(biāo)號(hào)說明10 面板20 前面板21 前面基板22 掃描電極22a (第一)總線電極22b (第一)透明電極22bx、23bx 濕層22c,23c 黑色層23 維持電極22cx,23cx (黑色層的)前驅(qū)體22d、23d 導(dǎo)電層22dx,23dx (導(dǎo)電層的)前驅(qū)體
23a(第二)總線電極
23b(第二)透明電極
24顯示電極對(duì)
25黑條紋
25x(黑條紋的)前驅(qū)體
26電介質(zhì)層
27保護(hù)層
30背面板
31背面基板
32數(shù)據(jù)電極
32x(數(shù)據(jù)電極的)前驅(qū)體
33基底電介質(zhì)層
34隔壁
35熒光體層
80(具有小徑的印刷噴嘴的)印刷頭
90(具有大徑的印刷噴嘴的)印刷頭
82(小)墨點(diǎn)
92(大)墨點(diǎn)
221bx、231bx (窄幅的)濕層
222bx、232bx (寬幅的)濕層
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。(實(shí)施方式)圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施方式1中的面板的結(jié)構(gòu)的分解立體圖。就面板10而言， 將前面板20與背面板30相對(duì)配置并通過使用密封構(gòu)件(未圖示)密封周邊部而構(gòu)成，且 在內(nèi)部形成有多個(gè)放電單元。前面板20具有玻璃制的前面基板21、由掃描電極22和維持電極23構(gòu)成的顯示 電極對(duì)24、黑條紋25、電介質(zhì)層26、保護(hù)層27。在前面基板21上相互平行地形成有多組由 一對(duì)掃描電極22和維持電極23構(gòu)成的顯示電極對(duì)24。并且在相鄰的顯示電極對(duì)24之間 形成有黑條紋25。圖1示出了以反復(fù)為掃描電極22、維持電極23、黑條紋25、掃描電極22、維持電極 23、黑條紋25的方式形成顯示電極對(duì)24和黑條紋25的圖。然而顯示電極對(duì)24和黑條紋 25也可以以反復(fù)為掃描電極22、維持電極23、黑條紋25、維持電極23、掃描電極22、黑條紋 25、掃描電極22、維持電極23、黑條紋25、維持電極23、掃描電極22、黑條紋25的方式形成。并且，以覆蓋顯示電極對(duì)24及黑條紋25的方式形成有電介質(zhì)層26，且在電介質(zhì)層26上形成有保護(hù)層27。背面板30具有玻璃制的背面基板31、數(shù)據(jù)電極32、基底電介質(zhì)層33、隔壁34、熒 光體層35。背面基板31上相互平行地形成有多個(gè)數(shù)據(jù)電極32。并且以覆蓋數(shù)據(jù)電極32的方式形成有基底電介質(zhì)層33，而且其上方形成有井字狀的隔壁34，在基底電介質(zhì)層33的 表面和隔壁34的側(cè)面上形成有紅、綠、藍(lán)各色的熒光體層35。圖2A是示出本發(fā)明的實(shí)施方式1中的面板的顯示電極對(duì)的詳細(xì)情況的從前面板 側(cè)觀察的主視圖。圖2B是示出本發(fā)明的實(shí)施方式1中的面板的顯示電極對(duì)的詳細(xì)情況的 前面板的剖面圖。掃描電極22具有不透明的第一總線電極22a和透明的第一透明電極22b。維持電 極23具有第二總線電極23a和第二透明電極23b。并且在作為一對(duì)透明電極的第一透明電 極22b與第二透明電極23b之間形成有距離d的放電間隙。以下，將第一總線電極22a及 第二總線電極23a分別簡(jiǎn)稱為“總線電極22a、總線電極23a”。而且將第一透明電極22b及 第二透明電極23b分別簡(jiǎn)稱為“透明電極22b、透明電極23b”?？偩€電極22a包括黑色層22c和導(dǎo)電層22d，總線電極23a包括黑色層23c和導(dǎo) 電層23d。黑色層22c、23c為了在從顯示面?zhèn)扔^察面板10時(shí)使總線電極22a、23a顯示為 黑色而設(shè)置。將以例如氧化釕(Ru02)為主要成分的黑色在前面基板21上形成為窄幅的條 紋狀。并且導(dǎo)電層22d、23d為了提高總線電極22a、23a的導(dǎo)電性而設(shè)置，是在黑色層22c、 23c上層疊含銀(Ag)的導(dǎo)電性的材料而形成。黑條紋25為了在從顯示面?zhèn)扔^察面板10時(shí)使顯示面顯示為黑色而設(shè)置。使用以 例如氧化釕(Ru02)為主要成分的黑色的材料形成在前面基板21上。透明電極22b、23b為了在放電空間產(chǎn)生強(qiáng)電場(chǎng)，產(chǎn)生放電，并且向面板10的外部 取出由熒光體層35產(chǎn)生的光而設(shè)置。并且透明電極22b以覆蓋總線電極22a的至少一部 分的方式將包含金屬的微粒子或金屬氧化物的微粒子的墨水印刷成寬幅的條紋狀，并在氧 化性氣氛中進(jìn)行燒成而形成。同樣地，透明電極23b以覆蓋總線電極23a的至少一部分的方式將包含金屬的微 粒子或金屬氧化物的微粒子的墨水印刷成寬幅的條紋狀，并在氧化性氣氛中進(jìn)行燒成而形 成。此外，在本實(shí)施方式中，以總線電極22a、23a的寬度分別為80 ym，透明電極22b、 23b的寬度分別為160i!m進(jìn)行說明。而且，以總線電極22a與透明電極22b的重疊部分及 總線電極23a與透明電極23b的重疊部分分別為80 u m,放電間隙的寬度為60 y m進(jìn)行說 明。此外，所述值優(yōu)選基于面板10的規(guī)格等設(shè)定為最合適的值。接下來(lái)說明面板10的制造方法。圖3A、圖3B、圖3C、圖3D、圖3E是用于說明本發(fā) 明的實(shí)施方式1中的面板的前面板的制造方法的圖。制造前面板20時(shí)，首先對(duì)玻璃制的前面基板21進(jìn)行堿清洗。之后，如圖3A所示， 使用以氧化釕(Ru02)或黑色顏料為主要成分的黑色層用漿糊，在前面基板21上形成黑色 層22c、23c的前驅(qū)體22cx、23cx、及黑條紋25的前驅(qū)體25x。所述前驅(qū)體22cx、23cx、25x 能夠使用網(wǎng)板印刷法、照相平版印刷法等公知技術(shù)形成。之后，使用含銀(Ag)的導(dǎo)電層用 漿糊，在前驅(qū)體22cx、23cx上形成導(dǎo)電層22d、23d的前驅(qū)體22dx、23dx。在本發(fā)明中，所謂“前驅(qū)體”表示涂敷黑色層用漿糊等結(jié)構(gòu)構(gòu)件用漿糊，除去含有 的有機(jī)成分，但是在無(wú)機(jī)成分未熔融的狀態(tài)之前進(jìn)行熱處理。接下來(lái)，如圖3B所示，燒成形成有前驅(qū)體22cx、23cx、25x、22dx、23dx的前面基板 21，形成總線電極22a、23a、黑條紋25。此時(shí)的燒成的峰值溫度優(yōu)選550°C 600°C，在本實(shí)施方式中為580°C。而且總線電極22a、23a的厚度優(yōu)選1 P m 6 y m，在本實(shí)施方式中為 4 li m。接下來(lái)，如圖3C所示，形成透明電極22b、23b。首先，作成墨水，該墨水包含平均 粒徑為5nm lOOnm的、包含銦(In)、錫(Sn)、銻(Sb)、鋁(A1)及鋅(Zn)中至少一個(gè)金屬 微粒子、或所述至少一個(gè)金屬氧化物的微粒子(包含所述金屬中的兩個(gè)以上的元素，包含 所謂復(fù)合氧化物的微粒子)、或所述金屬中的兩個(gè)以上的合金的微粒子、或所述微粒子的混 合物。在本實(shí)施方式中，使平均粒徑為lOnm的銦(In)-錫(Sn)的合金微粒子以12重量％ 的濃度與分散劑一起分散在有機(jī)溶劑中，作成墨水。此外，作為有機(jī)溶劑，雖然使用了十氫 化萘，但是除此之外也可以使用例如甲苯、二甲苯、苯、十四烷之類的無(wú)極性溶劑、芳香族烴 類、己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一烷、十二烷、十三烷、十四烷、十五烷、十六烷、十八烷、 十九烷、廿烷、三甲基戊烷等的長(zhǎng)鏈烷烴、環(huán)己烷、環(huán)庚烷、環(huán)辛烷等環(huán)狀烷烴等。接下來(lái)，使用噴墨印刷裝置，以覆蓋總線電極22a的至少一部分的方式將墨水印 刷成寬幅的條紋狀而形成濕層22bx。而且，以覆蓋總線電極23a的至少一部分的方式將墨 水印刷成寬幅的條紋狀而形成濕層23bx。圖4是示出在本發(fā)明的實(shí)施方式中的面板10的前面基板21上印刷墨水的情況的 圖。而且圖5是示出本發(fā)明的實(shí)施方式中的面板10的濕層22bx、23bx的詳細(xì)情況的放大 圖。如圖4所示，噴墨印刷裝置包括具有小徑的印刷噴嘴的印刷頭80和具有大徑的印 刷噴嘴的印刷頭90。并且各個(gè)印刷頭80、90以顯示電極對(duì)24的反復(fù)間距的整數(shù)倍的間距 具有多個(gè)印刷噴嘴。在本實(shí)施方式中，印刷頭80以顯示電極對(duì)24的反復(fù)間距具有768個(gè)的印刷噴嘴， 其噴嘴直徑為20 u m。該印刷噴嘴噴出的液滴的直徑約為25 u m,并設(shè)計(jì)為當(dāng)擊中前面基板 21時(shí)成為大約30 y m直徑的墨點(diǎn)82。并且印刷頭80以使墨點(diǎn)82相互重疊并排列成一列 的方式印刷墨水而形成第一透明電極22b的放電間隙側(cè)的窄幅的濕層221bx。同樣地，形成 第二透明電極23b的放電間隙側(cè)的窄幅的濕層231bx。另外，印刷頭90以顯示電極對(duì)24的反復(fù)間距具有768個(gè)的印刷噴嘴，其噴嘴直徑 為120 ym。該印刷噴嘴噴出的液滴的直徑約為140m，并設(shè)計(jì)為擊中前面基板21時(shí)成為約 160 ym直徑的墨點(diǎn)92。并且印刷頭90以使墨點(diǎn)92相互重疊且放電間隙側(cè)的濕層221bx 的一部分及總線電極22a的至少一部分重疊并排列成一列的方式印刷墨水而形成寬幅的 濕層222bx。同樣地，以墨點(diǎn)92相互重疊且放電間隙側(cè)的濕層231bx的一部分及總線電極 23a的至少一部分重疊并排列成一列的方式印刷墨水而形成寬幅的濕層232bx。在本實(shí)施方式中，首先使印刷頭80的印刷噴嘴及印刷頭90的印刷噴嘴與第一透 明電極22b的位置重合，印刷768個(gè)濕層22lbx和768個(gè)濕層222bx而形成768個(gè)濕層22bx。 接下來(lái)使印刷頭80的印刷噴嘴及印刷頭90的印刷噴嘴與第二透明電極23b的位置重合， 印刷768個(gè)濕層231bx和768個(gè)濕層232bx而形成768個(gè)濕層23bx。如此，以一往復(fù)兩次 的印刷分別形成768個(gè)濕層22bx、23bx。之后，如圖3D所示，對(duì)形成有濕層22bx、23bx的前面基板21進(jìn)行干燥，在氧化性 氣氛中以400°C 600V進(jìn)行燒成，形成由厚度80nm lOOOnm的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成的透明 電極22b、23b。在本實(shí)施方式中，將形成有濕層22bx、23bx的前面基板21在lX10_3Pa的減壓下以230°C的溫度條件保持lOmin進(jìn)行干燥。并且在大氣中以500°C的溫度條件燒制 60min，形成由厚度約300nm的銦錫氧化物(ITO)膜構(gòu)成的透明電極22b、23b。接下來(lái)，如圖3E所示，在形成有掃描電極22、維持電極23及黑條紋25的前面基板 21上通過印刷法等公知技術(shù)形成電介質(zhì)層26的前驅(qū)體。然后燒成電介質(zhì)層26的前驅(qū)體， 形成厚度20 ii m 50 ii m的電介質(zhì)層26。在本實(shí)施方式中，作成了包含電介質(zhì)玻璃的電介質(zhì)漿糊，該電介質(zhì)玻璃包含氧 化硼(B203) 34.6重量％、氧化硅(Si02)1.4重量％、氧化鋅(ZnO)27.6重量％、氧化鋇 (BaO)3. 3重量％、氧化鉍(Bi203) 25重量％、氧化鋁(A1203) 1. 1重量％、氧化鉬(Mo03)4.0重 量％、氧化鎢(W03)3.0重量％。如此作成的電介質(zhì)玻璃的軟化點(diǎn)約為570°C。接下來(lái)在形 成有掃描電極22、維持電極23及黑條紋25的前面基板21上通過金屬涂料法涂敷電介質(zhì)漿 糊而形成電介質(zhì)層26的前驅(qū)體(未圖示)。然后在約590°C下燒成電介質(zhì)層26的前驅(qū)體 (未圖示)而形成厚度約40 iim的電介質(zhì)層26。此外，作為電介質(zhì)漿糊，除上述以外，也可以從例如氧化硼(B203)、氧化娃(Si02)、 氧化鋅(ZnO)、氧化鉍(Bi203)、氧化鋁(A1203)、氧化鉬(Mo03)、氧化鎢(W03)、氧化鈰(CeO)、 或堿土類金屬氧化物、堿金屬氧化物等中使用包含幾個(gè)軟化點(diǎn)520°C 590°C的電介質(zhì)玻 璃的電介質(zhì)漿糊。然后在電介質(zhì)層26上通過真空蒸鍍法等形成以氧化鎂(MgO)為主要成分的保護(hù) 層27。接下來(lái)說明背面板30的制造方法。圖6A、圖6B、圖6C、圖6D、圖6E是用于說明本 發(fā)明的實(shí)施方式中的面板的背面板的制造方法的圖。首先，如圖6A所示，通過網(wǎng)板印刷法、照相平版印刷法等，在背面基板31上將以 銀(Ag)為主要成分的導(dǎo)電層用漿糊以恒定間隔涂敷成條紋狀，形成數(shù)據(jù)電極32的前驅(qū)體 32x。接下來(lái)，如圖6B所示，對(duì)形成有前驅(qū)體32x的背面基板31進(jìn)行燒成，形成數(shù)據(jù)電 極32。數(shù)據(jù)電極32的厚度為例如2 ii m 10 ii m。接下來(lái)，如圖6C所示，在形成有數(shù)據(jù)電極32的背面基板31上涂敷電介質(zhì)漿糊，之 后進(jìn)行燒成而形成基底電介質(zhì)層33?；纂娊橘|(zhì)層33的厚度例如約為5 y m 15 y m。接下來(lái)，如圖6D所示，在形成有基底電介質(zhì)層33的背面基板31上涂敷了感光性 的電介質(zhì)漿糊后，進(jìn)行干燥而形成隔壁34的前驅(qū)體。之后，使用照相平版印刷法等公知技 術(shù)形成隔壁34。隔壁34的高度為例如100 y m 150 u m。然后，如圖6E所示，在隔壁34的壁面及電介質(zhì)層33的表面涂敷包含紅色熒光體、 綠色熒光體、藍(lán)色熒光體的任一種的熒光體墨水。之后進(jìn)行干燥、燒成而形成熒光體層35。分別地，作為紅色熒光體，能夠使用例如(Y，Gd)B03:Eu、(Y,V)P04:Eu等，作為綠色 熒光體，能夠使用例如Zn2Si04:Mn、(Y，Gd)B03:Tb、(Y，Gd)Al3(B03)4:Tb等，作為藍(lán)色熒光體， 能夠使用例如 BaMgAl1Q017:Eu、Sr3MgSi208:Eu 等。并且，以使顯示電極對(duì)24與數(shù)據(jù)電極32形成為立體交叉的方式將前面板20和背 面板30相對(duì)配置，在形成有放電單元的圖像顯示區(qū)域的外側(cè)的位置使用低熔點(diǎn)玻璃進(jìn)行 密封。此后，在內(nèi)部的放電空間內(nèi)封入有含氙的放電氣體，完成面板10。如上所述，在本實(shí)施方式中，通過噴墨印刷法在前面基板21上印刷包含金屬的微
8粒子或金屬氧化物的微粒子的墨水作為直徑不同的兩個(gè)墨點(diǎn)82、92而形成透明電極22b、 23b。并且，將透明電極22b、23b的放電間隙側(cè)的墨點(diǎn)82的直徑印刷為比其它墨點(diǎn)的直 徑即放電間隙的反對(duì)側(cè)的墨點(diǎn)92的直徑小。進(jìn)而，印刷相互直徑不同的兩列墨點(diǎn)82、92，形成透明電極22b、23b。在本實(shí)施方式中，形成濕層22bx、23bx的噴墨印刷裝置包括具有小徑的印刷噴嘴 的印刷頭80和具有大徑的印刷噴嘴的印刷頭90。并且，使用具有小徑的印刷噴嘴的印刷頭 80，以使墨點(diǎn)82相互重疊并排列成一列的方式印刷墨水。如此，形成第一透明電極22b的 放電間隙側(cè)的窄幅的濕層22lbx及第二透明電極23b的放電間隙側(cè)的窄幅的濕層23lbx。 因此，放電間隙形成在小墨點(diǎn)82的列即濕層221bx與濕層231bx之間。如此，形成放電間隙時(shí)，放電間隙的波動(dòng)為小墨點(diǎn)82的直徑的1/10左右。在本實(shí) 施方式中，由于小墨點(diǎn)82的直徑為30 u m,因此放電間隙的波動(dòng)為3 u m左右，為與照相平版 印刷法大致相同的尺寸精度。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠使用噴墨印刷裝置制造放電間隙 的波動(dòng)小的面板10。此外，小墨點(diǎn)82的直徑以要求的放電間隙的精度的10倍以下、大墨點(diǎn) 92的直徑的1/10以上為目標(biāo)設(shè)定即可。另外，在本實(shí)施方式中，使用具有大徑的印刷噴嘴的印刷頭90，以使墨點(diǎn)92相互 重疊且放電間隙側(cè)的濕層221bx的一部分及總線電極22a的至少一部分重疊并排列成一列 的方式進(jìn)行印刷而形成寬幅的濕層222bx。同樣地，以使墨點(diǎn)92相互重疊且放電間隙側(cè)的 濕層231bx的一部分及總線電極23a的至少一部分重疊并排列成一列的方式進(jìn)行印刷而形 成寬幅的濕層232bx。如此，使用具有大徑的印刷噴嘴的印刷頭90，印刷與透明電極22b、23b的寬度大 致相等的160i!m直徑的墨點(diǎn)92。由此，能夠以單列的墨點(diǎn)92的列形成寬幅的濕層222bx 或濕層232bx。當(dāng)假設(shè)僅以具有小徑的印刷噴嘴的印刷頭80形成透明電極22b、23b時(shí)，必須重疊 30 um直徑的墨點(diǎn)進(jìn)行印刷。這種情況下，為了形成160 u m寬度的透明電極22b、23b，需要 約10列的墨點(diǎn)82的列。因此為了形成濕層22bx、23bx，需要例如10反復(fù)20次的印刷，生 產(chǎn)性顯著下降。當(dāng)然通過設(shè)置十個(gè)印刷頭80，能夠確保與本實(shí)施方式相同的生產(chǎn)性。然而， 噴墨印刷裝置成為大規(guī)模，結(jié)構(gòu)也復(fù)雜，且印刷頭造價(jià)高，因此噴墨印刷裝置的造價(jià)也非常 尚o然而在本實(shí)施方式中，由于通過具有大徑的印刷噴嘴的印刷頭90印刷單列墨點(diǎn) 92而形成寬幅的透明電極22b、23b，因此生產(chǎn)性也高。此外，大墨點(diǎn)92的直徑設(shè)定為要求 的透明電極22b、23b的寬度的程度或比其略小即可。如此，在本實(shí)施方式中，使用具有小徑的印刷噴嘴的印刷頭80，印刷小徑的墨點(diǎn) 82的列，確保放電間隙的尺寸精度。進(jìn)而，由于使用具有大徑的印刷噴嘴的印刷頭90印刷 大徑的墨點(diǎn)92的列，因此高生產(chǎn)性地形成透明電極22b、23b。另外，在本實(shí)施方式中，將包含金屬的微粒子的墨水通過噴墨印刷法印刷成條紋 狀。如此，通過使用噴墨印刷法，能夠不浪費(fèi)墨水，且尺寸精度高地印刻圖形。另外，在本實(shí)施方式中，透明電極22b以覆蓋總線電極22a的至少一部分的方式， 將包含銦(In)、錫(Sn)等金屬微粒子的墨水印刷成寬幅的條紋狀，在氧化性氣氛中進(jìn)行燒
9成而形成。同樣地，透明電極23b以覆蓋總線電極23a的至少一部分的方式將包含銦(In)、錫 (Sn)等金屬微粒子的墨水印刷成寬幅的條紋狀，在氧化性氣氛中進(jìn)行燒成而形成。然后，在接下來(lái)的工序中，以覆蓋透明電極22b、23b的方式形成電介質(zhì)層26。因 此，即使透明電極22b、23b的機(jī)械性的強(qiáng)度低，損傷或剝離的可能性也非常小。另外，在本實(shí)施方式中，印刷包含平均粒徑為lOnm的銦(In)-錫(Sn)的合金微粒 子的墨水后，在500°C的高溫下燒成的透明電極22b、23b的阻抗低，透過率高，且與前面基 板21或總線電極22a、23a的密接性也良好。作為其理由，考慮為例如通過燒成使銦(In)變 化為氧化銦(ln203)時(shí)，微粒子膨脹，因此粒子間的密接性或與基板的密接性進(jìn)一步提高。另外，在本實(shí)施方式中，使用平均粒徑為5nm lOOnm的金屬的微粒子形成透明電 極22b、23b。這是因?yàn)樵谄骄叫∮?nm時(shí)，微粒子與電介質(zhì)玻璃容易產(chǎn)生反應(yīng)，而且， 在含銀(Ag)的總線電極22a、23a的階梯部容易產(chǎn)生龜裂。而且，是因?yàn)樵谄骄匠^ lOOnm時(shí)，噴墨印刷裝置的微細(xì)噴嘴容易產(chǎn)生眼堵塞。而且當(dāng)平均粒徑過大時(shí)，粒子間的接 觸面積減少，薄層電阻變大。此外，在本實(shí)施方式中，雖然使用了包括具有小徑的印刷噴嘴的印刷頭80和具有 大徑的印刷噴嘴的印刷頭90各一個(gè)的噴墨印刷裝置，但是本發(fā)明并不局限于此。例如， 也可以包括具有印刷頭的噴墨印刷裝置，該印刷頭具有小徑的印刷噴嘴；具有印刷頭的 噴墨印刷裝置，該印刷頭具有大徑的印刷噴嘴，使用具有印刷頭的噴墨印刷裝置形成濕層 221bx、231bx，該印刷頭具有小徑的印刷噴嘴，使用具有印刷頭的噴墨印刷裝置形成濕層 222bx、232bx，該印刷頭具有大徑的印刷噴嘴。再者，也可以使具有小徑的印刷噴嘴的印刷 頭的數(shù)目比具有大徑的印刷噴嘴的印刷頭的數(shù)目多，而進(jìn)一步提高生產(chǎn)性。另外，在本實(shí)施方式中，使用銦(In)-錫(Sn)的合金微粒子形成由銦錫氧化物 (IT0)膜構(gòu)成的透明電極22b、23b。然而，上述以外，也可以使用例如錫(Sn)的微粒子形 成由氧化錫(Sn02)膜構(gòu)成的透明電極。此外，還可以使用鋅(Zn)的微粒子形成由氧化鋅 (ZnO)膜構(gòu)成的透明電極。另外，在本實(shí)施方式中，燒成前驅(qū)體22CX、23CX、22dX、23dX后，形成并燒成濕層 22bx、23bx。然而，例如也可以在前驅(qū)體22cx、23cx、22dx、23dx上進(jìn)一步形成濕層22bx、 23bx后，同時(shí)燒成前驅(qū)體22cx、23cx、22dx、23dx、及濕層22bx、23bx而形成掃描電極22、維 持電極23。另外，在本實(shí)施方式中，形成了印刷小徑的墨點(diǎn)82的列和大徑的墨點(diǎn)92的列各一 列總計(jì)兩列的墨點(diǎn)列而形成了濕層22bx、23bx。然而本發(fā)明并不局限于此。也可以印刷三 列或三列以上直徑不同的墨點(diǎn)列，形成濕層22bx或濕層23bx中一方，或濕層22bx、23bx雙 方。其中，這種情況下，優(yōu)選將放電間隙側(cè)的墨點(diǎn)的直徑設(shè)定為比其它墨點(diǎn)的直徑小。而且 以使墨點(diǎn)不成為電游離狀態(tài)的方式，將墨點(diǎn)的間隔設(shè)定為使墨點(diǎn)間及墨點(diǎn)與總線電極之間 為電導(dǎo)通的距離即可。此外，在本實(shí)施方式中使用的具體的各數(shù)值只不過是列舉的一個(gè)例子，優(yōu)選按照 面板的規(guī)格等，設(shè)定為最合適的值。產(chǎn)業(yè)上的可利用性根據(jù)本發(fā)明，通過噴墨印刷法，印刷包含金屬的微粒子或金屬氧化物的微粒子的墨水而能夠尺寸精度高且生產(chǎn)性不下降地形成透明電極。因此，作為具有透明電極的面板的制造方法有用。
權(quán)利要求
一種等離子顯示面板的制造方法，所述等離子顯示面板在前面基板上具備多組在之間形成有放電間隙的一對(duì)透明電極，所述等離子顯示面板的制造方法的特征在于，通過噴墨印刷法，將包含金屬的微粒子或金屬氧化物的微粒子的墨水作為直徑不同的多個(gè)墨點(diǎn)印刷到所述前面基板上，形成所述透明電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示面板的制造方法，其特征在于，將所述透明電極的所述放電間隙側(cè)的墨點(diǎn)的直徑印刷為比其它的墨點(diǎn)的直徑小。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子顯示面板的制造方法，其特征在于， 印刷兩列墨點(diǎn)形成所述透明電極。
全文摘要
本發(fā)明提供一種使用包含金屬的微粒子或金屬氧化物的微粒子的墨水，能夠尺寸精度高且不使生產(chǎn)性大幅降低地形成透明電極的面板的制造方法。為此，通過噴墨印刷法，將包含金屬的微粒子或金屬氧化物的微粒子的墨水作為直徑不同的多個(gè)墨點(diǎn)印刷到前面基板上，形成透明電極。
文檔編號(hào)H01J11/22GK101802954SQ20098010035
公開日2010年8月11日 申請(qǐng)日期2009年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月1日
發(fā)明者村社智宏, 浜田良太, 瓜生英一, 石倉(cāng)靖久 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社