專利名稱：等離子刻蝕機的高壓線圈固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及等離子刻蝕設(shè)備，尤其涉及等離子刻蝕機的高壓線圈固定裝置。
背景技術(shù)：
太陽能是一種輻射能，它必須借助于能量轉(zhuǎn)換器才能變換為電能。這個把太陽能 轉(zhuǎn)換為電能的能量轉(zhuǎn)換器，就是人們俗稱的太陽能電池。P-N結(jié)是晶體硅太陽能電池的核心 部分，沒有P-N結(jié)，便不能產(chǎn)生光電流，也就不能成為太陽能電池。擴散是硅片制作P-N結(jié) 的一種方式，然而在擴散過程中，硅片周邊表面也有擴散層形成。硅片周邊表面的擴散層會 使電池上下電極形成短路環(huán)，必須將其去除。周邊上存在任何微小的局部短路，都會使電池 并聯(lián)電阻下降，以致成為廢品。去除周邊擴散層的方法即為刻蝕，刻蝕效果的好壞，直接影 響成品電池的漏電流大小，刻蝕是影響電池功率和品質(zhì)的重要因素。目前，已有的刻蝕方法有兩種，等離子體刻蝕和激光刻蝕。等離子體邊緣電絕緣刻 蝕是將擴散后的硅片壓成整齊的一疊，用專用夾具固定在聚四氟乙烯片中間，使每個硅片 漏出邊緣以外，然后一起放入等離子體刻蝕機，利用等離子體刻蝕機里的氟離子對硅片邊 緣進行化學(xué)腐蝕，除去邊緣的擴散層，達到絕緣刻蝕的目的。目前，在太陽能電池制造工藝 中，等離子刻蝕機是太陽能電池生產(chǎn)中的關(guān)鍵設(shè)備之一。在等離子體刻蝕過程中，太陽能電 池片在石英反應(yīng)管內(nèi)，由于工藝氣體在經(jīng)過射頻(RF)電源所設(shè)定功率經(jīng)由高壓線圈提供 的電場，解離出部分氣體及等量的帶正負電荷粒子組成的等離子體，產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。高 壓線圈在石英反應(yīng)管中的安裝是否穩(wěn)定可靠不僅直接影響到石英反應(yīng)管的使用壽命，而且 影響到等離子刻蝕機的刻蝕質(zhì)量。在現(xiàn)有的刻蝕機中，高壓線圈的固定裝置如圖1、圖2所 示，它包括高壓線圈1、線圈骨架2和尼龍扎帶3，所述線圈骨架2由底座21和兩根對稱分 布的光滑立柱22組成，兩根光滑立柱22對稱地固定在底座21上，高壓線圈1用尼龍扎帶 3固定在線圈骨架2的光滑立柱22上，這樣的固定結(jié)構(gòu)，線圈骨架2的剛度不高，尤其是兩 根光滑立柱22之間的剛度更低，高壓線圈1用尼龍扎帶3固定在線圈骨架2的光滑立柱22 上不僅會變形，而且等離子刻蝕機在刻蝕過程中要不斷地釋放出高壓輝光，尼龍扎帶3長 期在高壓輝光照射環(huán)境中很容易老化，通常使用6 個月尼龍扎帶3就會出現(xiàn)脆化斷裂現(xiàn) 象，導(dǎo)致高壓線圈1脫離線圈骨架2，出現(xiàn)這一現(xiàn)象不僅直接影響石英反應(yīng)管內(nèi)的磁場強度 和分布均勻性，而且高壓線圈1在脫離線圈骨架2的過程中會碰撞石英反應(yīng)管，嚴重時會導(dǎo) 致石英反應(yīng)管破損，導(dǎo)致等離子刻蝕機無法正常工作。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有等離子刻蝕機由于高壓線圈固定不可靠而帶來的不足，本發(fā)明提供 了一種等離子刻蝕機的高壓線圈固定裝置。采用這種結(jié)構(gòu)的高壓線圈固定裝置，能使高壓 線圈得以穩(wěn)固地固定，避免了因高壓線圈松動損壞石英反應(yīng)管的事故發(fā)生，從而延長了石 英反應(yīng)管的使用壽命，提高了等離子刻蝕機的使用可靠性。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是
所述等離子刻蝕機的高壓線圈固定裝置，包括高壓線圈和線圈骨架，其特征是所述線圈骨架包括底端連接環(huán)、帶槽立柱和頂端連接環(huán)，在底端連接環(huán)和頂端連接環(huán)之間均 勻地設(shè)有三根以上帶槽立柱，在每根帶槽立柱上等間距地設(shè)有容線槽，高壓線圈的繞組內(nèi) 圈壓貼在帶槽立柱上的容線槽中，在帶槽立柱的外側(cè)設(shè)有條狀壓板，在條狀壓板上設(shè)有與 高壓線圈相對應(yīng)的壓線槽，條狀壓板與帶槽立柱之間由螺釘固定連接成一體。進一步，在底端連接環(huán)和頂端連接環(huán)之間均勻地設(shè)有3根帶槽立柱。進一步，所述線圈骨架和條狀壓板的材質(zhì)為耐高溫抗光輻射的材料。更進一步，所述耐高溫抗光輻射的材料為陶瓷或膠木。由于本發(fā)明采用了剛度較好的線圈骨架與條狀壓板來固定高壓線圈，高壓線圈的 繞組置于帶槽立柱的容線槽中，并由條狀壓板上的壓線槽壓緊，且?guī)Р哿⒅c條狀壓板之 間用螺釘來固定，在使用過程中，高壓線圈既不會變形，也不會脫離線圈骨架，石英反應(yīng)管 內(nèi)的磁場強度不僅穩(wěn)定，而且分布均勻；條狀壓板與帶槽立柱均采用耐高溫抗光輻射的材 料，這樣就延長了整個高壓線圈固定裝置的使用壽命，從根本上消除了高壓線圈的繞組脫 離線圈骨架而發(fā)生撞擊石英反應(yīng)管的事故，石英反應(yīng)管不會因撞擊而破損，保證了石英反 應(yīng)管的正常使用壽命，從而提高了等離子刻蝕機的使用可靠性，節(jié)約了生產(chǎn)成本。它克服了 現(xiàn)有高壓線圈固定裝置中用尼龍扎帶固定線圈存在的缺點。


圖1和圖2是現(xiàn)有高壓線圈的固定裝置結(jié)構(gòu)示意圖；其中，圖2是圖1的俯視圖；圖3和圖4是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；其中，圖4是圖3的A-A剖視圖；圖5是本發(fā)明中線圈骨架和條狀壓板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1_高壓線圈；2-線圈骨架；21-底座；22-光滑立柱；23-底端連接環(huán)；24-帶 槽立柱；25-頂端連接環(huán)；26-容線槽；3-尼龍扎帶；4-條狀壓板；41-壓線槽；5-螺釘。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖詳細說明本發(fā)明的具體方式所述等離子刻蝕機的高壓線圈固定裝置，如圖3 圖5所示，它包括高壓線圈1和 線圈骨架2，所述線圈骨架2包括底端連接環(huán)23、帶槽立柱24和頂端連接環(huán)25，在底端連接 環(huán)23和頂端連接環(huán)25之間均勻地設(shè)有三根帶槽立柱24，在每根帶槽立柱24上等間距地設(shè) 有容線槽26，高壓線圈1的繞組內(nèi)圈壓貼在帶槽立柱24上的容線槽26中，在帶槽立柱24 的外側(cè)設(shè)有條狀壓板4，在條狀壓板4上設(shè)有與高壓線圈1相對應(yīng)的壓線槽41，條狀壓板4 與帶槽立柱24之間由螺釘5固定連接成一體，所述線圈骨架2和條狀壓板4的材質(zhì)為陶瓷 或膠木。
權(quán)利要求
一種等離子刻蝕機的高壓線圈固定裝置，包括高壓線圈(1)和線圈骨架(2)，其特征是所述線圈骨架(2)包括底端連接環(huán)(23)、帶槽立柱(24)和頂端連接環(huán)(25)，在底端連接環(huán)(23)和頂端連接環(huán)(25)之間均勻地設(shè)有三根以上帶槽立柱(24)，在每根帶槽立柱(24)上等間距地設(shè)有容線槽(26)，高壓線圈(1)的繞組內(nèi)圈壓貼在帶槽立柱(24)上的容線槽(26)中，在帶槽立柱(24)的外側(cè)設(shè)有條狀壓板(4)，在條狀壓板(4)上設(shè)有與高壓線圈(1)相對應(yīng)的壓線槽(41)，條狀壓板(4)與帶槽立柱(24)之間由螺釘(5)固定連接成一體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述等離子刻蝕機的高壓線圈固定裝置，其特征是在底端連接環(huán) (23)和頂端連接環(huán)(25)之間均勻地設(shè)有三根帶槽立柱(24)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述等離子刻蝕機的高壓線圈固定裝置，其特征是所述線圈骨架 (2)和條狀壓板⑷的材質(zhì)為耐高溫抗光輻射的材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述等離子刻蝕機的高壓線圈固定裝置，其特征是所述耐高溫抗 光輻射的材料為陶瓷或膠木。
全文摘要
一種離子刻蝕機的高壓線圈固定裝置，其線圈骨架包括底端連接環(huán)、帶槽立柱和頂端連接環(huán)，在底端連接環(huán)和頂端連接環(huán)之間均勻地設(shè)有三根以上帶槽立柱，在每根帶槽立柱上等間距地設(shè)有容線槽，在帶槽立柱的外側(cè)設(shè)有條狀壓板，在條狀壓板上設(shè)有與高壓線圈相對應(yīng)的壓線槽，條狀壓板與帶槽立柱之間由螺釘固定連接成一體。由于采用了剛度較好的線圈骨架與條狀壓板來固定高壓線圈，高壓線圈既不會變形，也不會脫離線圈骨架，能從根本上消除高壓線圈的繞組脫離線圈骨架而發(fā)生撞擊石英反應(yīng)管的事故，保證了石英反應(yīng)管的正常使用壽命，提高了等離子刻蝕機的使用可靠性，節(jié)約了生產(chǎn)成本。
文檔編號H01J37/02GK101800147SQ20101011446
公開日2010年8月11日 申請日期2010年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月26日
發(fā)明者朱國平 申請人:常州億晶光電科技有限公司