專利名稱：可消氣真空陽(yáng)極板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種可消氣真空陽(yáng)極板的制造方法，適用于真空平板顯示器件(FlatPanelDiSplay，F(xiàn)PD)制作過程中消氣劑的放置，尤其對(duì)于高真空度要求的平板顯示器 件來說，消氣劑的放置及使用對(duì)器件內(nèi)真空度維持具有明顯改善作用。
背景技術(shù)：
目前，顯示器技術(shù)已由過去普通的熱陰極射線管(CathodeRayTube，CRT)，發(fā)展為 包括液晶顯示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)，等離子平板顯示器(PlasmaDisplayPanel， PDP)，場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器(FieldEmissionDisplayJED)等平板顯示器件。其優(yōu)勢(shì)在于其 超薄的厚度。和CRT —樣，高真空度要求的平板顯示器件需要使用消氣劑來維持器件內(nèi)部 的真空度。而且，在器件封離排氣之后，消氣劑是保證器件內(nèi)部真空度的惟一手段，其重要 性不言而喻。消氣劑可分為蒸散型和非蒸散型(Non-EvaporationGettersNEG)兩種，適用 于不同的場(chǎng)合。平板顯示器內(nèi)部空間很有限(不同于CRT)，消氣劑的放置是一個(gè)難題，通常都將消 氣劑制成環(huán)狀放在玻璃管中，將玻璃管放在平板顯示器的某個(gè)位置，這種類似尾巴的附加 物增加了器件的厚度，另外對(duì)于大尺寸的器件來說效果不好，一般說來，在遠(yuǎn)離吸氣劑中心 位置5厘米之外，其真空度下降至少兩個(gè)數(shù)量級(jí)以上；歐洲專利應(yīng)用申請(qǐng)?zhí)朎P-A-572170在 關(guān)于場(chǎng)發(fā)射顯示器中消氣劑的使用中提及將非蒸散型消氣劑制做在微尖陰極上，這種制 作過程顯然會(huì)影響微尖的電子發(fā)射；中國(guó)專利公開號(hào)CN1937163A中也提出了一種場(chǎng)發(fā)射 陰極制作方法將碳納米管和消氣劑材料都制作在陰極上，這同樣會(huì)影響陰極電子發(fā)射。顯 然在真空顯示器件制作過程中，消氣劑材料種類的選擇、位置的方式及使用都是至關(guān)重要 的。鑒于以上存在的技術(shù)瓶頸，需要解決真空平板顯示器消氣劑合理地放置問題。使 得器件的真空度維持在較高狀態(tài)，以期使平板顯示器的質(zhì)量、性能、壽命等能較好地滿足人 們的需要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可消氣真空陽(yáng)極板的制造方法，考慮將消氣劑材料放 在陽(yáng)極板上，使得消氣劑的放置不占用顯示器的有效空間，它可以適用于各種平板顯示器 的陽(yáng)極板，尤其適用于超薄的平板顯示器，從而使平板顯示器的厚度更薄，并且具有較強(qiáng)的 真空度維持能力。本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的一種可消氣真空陽(yáng)極板的制造方法，其特征在于按以下 步驟進(jìn)行。a.制造透明玻璃基板。b.在透明玻璃基板一側(cè)面上涂覆有陽(yáng)極導(dǎo)電層，所述陽(yáng)極導(dǎo)電層是整面ITO透明 導(dǎo)電薄膜，或者是通過絲網(wǎng)印刷直接制得條狀銀漿電極，亦或者通過感光銀漿經(jīng)光刻工藝制得條狀銀漿電極，要求銀漿電極的寬度夠細(xì)，滿足光線的透射即可。c.調(diào)制黑矩陣涂層，黑矩陣涂層有效成分是不導(dǎo)電的黑色介質(zhì)，其主要成分是低 玻粉，外添一些黑色色料，將上述黑矩陣涂層材料制成印刷漿料，并通過絲網(wǎng)印刷方法在陽(yáng) 極板上制作寬度相對(duì)較細(xì)的條狀黑矩陣涂層，并控制黑矩陣涂層進(jìn)行預(yù)燒烘干，控制溫度 < 150°C，再對(duì)黑矩陣涂層進(jìn)行燒結(jié)，控制燒結(jié)溫度在450°C。d.調(diào)制熒光粉涂層，所述熒光粉涂層需選用能耐500°C以上高溫而保持較好活性 的高溫?zé)Y(jié)型熒光粉，消氣劑選用非蒸散型，可選用意大利SAES公司&-A1合金系列產(chǎn)品， 消氣劑的量占一次印刷總質(zhì)量的0. 5 20%之間，將消氣劑材料通過碾磨等方法制成粉末 狀并與熒光粉混合，攪拌均勻，制作成印刷漿料，通過套印方法將此混合漿料套印在條狀的 黑矩陣涂層之間，可以將消氣劑與三基色熒光粉中的任一色混合，控制熒光粉的燒結(jié)溫度 在 450°C。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是本發(fā)明能較好地解決了超薄平板顯示器件制作工藝中難以實(shí)現(xiàn) 的消氣劑放置空間優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了消氣劑的有效放置。


圖1為實(shí)施例1中消氣劑與熒光粉結(jié)合的陽(yáng)極示意圖。圖2為實(shí)施例2中消氣劑與黑矩陣結(jié)合的陽(yáng)極示意圖。圖3為實(shí)施例1中消氣劑與熒光粉結(jié)合的陽(yáng)極俯視示意圖。圖4為實(shí)施例2中消氣劑與黑矩陣結(jié)合的陽(yáng)極俯視示意圖。圖5為實(shí)施例3中消氣劑放置在陽(yáng)極導(dǎo)電層所在位置的示意圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作進(jìn)一步的闡述?，F(xiàn)請(qǐng)參看圖1，圖1所示為本發(fā)明的一種陽(yáng)極板結(jié)構(gòu)立體示意圖，圖中11為透明玻 璃基板。12為陽(yáng)極導(dǎo)電層，可以是銀漿條狀電極，也可以是ITO透明導(dǎo)電薄膜。13為熒光 粉層，其中R、G、B依次排列。14是黑矩陣，其寬度要求小于熒光粉寬度，位于相鄰單色熒光 粉中間。黑色斜杠表示其中混有微量消氣劑材料。請(qǐng)參看圖2，21為透明玻璃基板。22為陽(yáng)極導(dǎo)電層，厚膜型條狀電極，也可以是ITO 透明導(dǎo)電薄膜。23是R、G、B依次排列的三基色熒光粉。24為黑矩陣，將各單色熒光粉隔 開。其中消氣劑材料與黑矩陣混合。請(qǐng)參看圖3，11是包含有陽(yáng)極導(dǎo)電層的玻璃基底，13為熒光粉層，14是黑矩陣。這 里表示消氣劑材料與熒光粉混合。請(qǐng)參看圖4，21是包含有陽(yáng)極導(dǎo)電層的玻璃基底，23是順序排列的RGB三基色熒光 粉，24是黑矩陣。請(qǐng)參看圖5，31是玻璃基板，32是陽(yáng)極的導(dǎo)電層，圖中31和32重合。33是RGB三 基色熒光粉層，34是黑矩陣，35為封接邊，36是消氣劑材料。該種平板顯示器的消氣劑的放置和制作方法見于具體實(shí)施例。實(shí)施例1。 陽(yáng)極基板及導(dǎo)電層的制作基板11是選用透明玻璃基板。陽(yáng)極導(dǎo)電層12是整面ITO透明導(dǎo)電薄膜，或者是通過絲網(wǎng)印刷直接制得條狀銀漿電極，亦或者通過感光銀漿經(jīng)光 刻工藝制得條狀銀漿電極，要求銀漿電極的寬度夠細(xì)，滿足光線的投射即可。黑矩陣的制作黑矩陣14有效成分是不導(dǎo)電的黑色介質(zhì)，其主要成分是低玻粉， 外添一些黑色色料。將其制成印刷漿料，并通過絲網(wǎng)印刷方法在陽(yáng)極板上制作寬度相對(duì)較 細(xì)的條狀黑矩陣。由于黑矩陣和熒光粉的燒結(jié)溫度均在450°C，因此具體實(shí)施中只需將其先 低溫烘干，最后與熒光粉一起燒結(jié)。熒光粉層制作陽(yáng)極熒光粉需選用能耐500°C以上高溫而保持較好活性的高溫?zé)?結(jié)型熒光粉13。消氣劑選用非蒸散型(如&-A1合金系列)。將適量消氣劑材料通過碾磨等 方法制成粉末狀并與熒光粉混合，控制消氣劑的含量，使其占漿料總質(zhì)量的0. 5 20%之間， 并攪拌均勻，制作成印刷漿料，通過套印方法將此混合漿料13套印在條狀黑矩陣之間。根 據(jù)制量的關(guān)系，可以將消氣劑與三基色熒光粉中的任一色混合，這樣也可減少對(duì)熒光粉的 影響?？刂茻晒夥鄣臒Y(jié)溫度在450°C。實(shí)施例2。 陽(yáng)極基板21及導(dǎo)電層22的制作同實(shí)施例1。含有消氣劑材料黑矩陣24的制作黑矩陣可以選用不導(dǎo)電的黑色介質(zhì)，其主要成 分是低玻粉，外添一些黑色色料。消氣劑選用非蒸散型(同實(shí)施例1中的消氣劑材料)。將 適量消氣劑材料通過碾磨等方法制成粉狀物，使之融合于黑矩陣漿料之中，控制消氣劑的 含量，使其占漿料總質(zhì)量的0. 5 20%之間，用印刷方法在陽(yáng)極導(dǎo)電層上印上一層含有消氣 劑材料的黑矩陣，控制其燒結(jié)溫度在450°C。具體制作過程同實(shí)施例1中所述。熒光粉層23的制作，通過套印方法在黑矩陣之間印上一層能耐500°C以上高溫而 保持較好活性的高溫?zé)Y(jié)型熒光粉。并控制熒光粉的燒結(jié)溫度在450°C。實(shí)施例3。陽(yáng)極基板31及導(dǎo)電層32的制作同實(shí)施例1。黑矩陣34的制作同實(shí)施例1中的方法。只是注意因?yàn)橄麣鈩┎牧戏旁陉?yáng)極板邊 緣、封接邊的內(nèi)側(cè)，所以條狀黑矩陣及熒光粉的長(zhǎng)度需縮短少許。消氣劑材料36放置，消氣劑材料同實(shí)施例1中的要求，將消氣劑材料通過碾磨等 方法制成粉末狀后再與適量低玻粉混合配制成稀漿料并攪拌均勻，主要成分是消氣劑，控 制其含量占30、0%之間，用細(xì)孔針筒將其打在陽(yáng)極板邊緣、封接邊內(nèi)側(cè)。也可進(jìn)行預(yù)烘使 其更好地牢固在陽(yáng)極板上。熒光粉層35的制作同實(shí)施例2中的方法。本發(fā)明的方法，較好地解決了超薄平板顯示器件制作工藝中難以實(shí)現(xiàn)的消氣劑放 置空間優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了消氣劑的有效放置。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，凡依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所做的均等變化與 修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
一種可消氣真空陽(yáng)極板的制造方法，其特征在于按以下步驟進(jìn)行，a．制造透明玻璃基板；b．在透明玻璃基板一側(cè)面上涂覆有陽(yáng)極導(dǎo)電層，所述陽(yáng)極導(dǎo)電層是整面ITO透明導(dǎo)電薄膜，或者是通過絲網(wǎng)印刷直接制得條狀銀漿電極，亦或者通過感光銀漿經(jīng)光刻工藝制得條狀銀漿電極，要求銀漿電極的寬度夠細(xì)，滿足光線的透射即可；c．調(diào)制黑矩陣涂層，黑矩陣涂層有效成分是不導(dǎo)電的黑色介質(zhì)，其主要成分是低玻粉，外添一些黑色色料，將上述黑矩陣涂層材料制成印刷漿料，并通過絲網(wǎng)印刷方法在陽(yáng)極板上制作寬度相對(duì)較細(xì)的條狀黑矩陣涂層，并控制黑矩陣涂層進(jìn)行預(yù)燒烘干，控制溫度＜150℃，再對(duì)黑矩陣涂層進(jìn)行燒結(jié)，控制燒結(jié)溫度在450℃；d．調(diào)制熒光粉涂層，所述熒光粉涂層需選用能耐500℃以上高溫而保持較好活性的高溫?zé)Y(jié)型熒光粉，消氣劑選用非蒸散型，可選用意大利SAES公司Zr-Al合金系列產(chǎn)品，消氣劑的量占一次印刷總質(zhì)量的0.5～20%之間，將消氣劑材料通過碾磨等方法制成粉末狀并與熒光粉混合，攪拌均勻，制作成印刷漿料，通過套印方法將此混合漿料套印在條狀的黑矩陣涂層之間，可以將消氣劑與三基色熒光粉中的任一色混合，控制熒光粉的燒結(jié)溫度在450℃。
2.一種可消氣真空陽(yáng)極板的制造方法，其特征在于按以下步驟進(jìn)行，a.制造透明玻璃基板；b.在透明玻璃基板一側(cè)面上涂覆有陽(yáng)極導(dǎo)電層，所述陽(yáng)極導(dǎo)電層是整面ITO透明導(dǎo)電 薄膜，或者是通過絲網(wǎng)印刷直接制得條狀銀漿電極，亦或者通過感光銀漿經(jīng)光刻工藝制得 條狀銀漿電極，要求銀漿電極的寬度夠細(xì)，滿足光線的投射即可；c.調(diào)制黑矩陣涂層，，黑矩陣涂層有效成分是不導(dǎo)電的黑色介質(zhì)，其主要成分是低玻 粉，外添一些黑色色料，消氣劑選用非蒸散型，可選用意大利SAES公司&-A1合金系列產(chǎn) 品，將適量消氣劑材料通過碾磨等方法制成粉狀物，使之融合于黑矩陣漿料之中，使得消氣 劑的含量占漿料總量的0. 5 20%之間，并且攪拌均勻，用印刷方法在陽(yáng)極導(dǎo)電層上印上一 層含有消氣劑材料的黑矩陣，并對(duì)其進(jìn)行低溫烘干，控制其燒結(jié)溫度在450°C ；d.調(diào)制熒光粉涂層，通過套印方法在黑矩陣之間印上一層能耐500°C以上高溫而保持 較好活性的高溫?zé)Y(jié)型熒光粉，控制熒光粉的燒結(jié)溫度在450°C。
3.一種可消氣真空陽(yáng)極板的制造方法，其特征在于按以下步驟進(jìn)行，a.制造透明玻璃基板；b.在透明玻璃基板一側(cè)面上涂覆有陽(yáng)極導(dǎo)電層，所述陽(yáng)極導(dǎo)電層是整面ITO透明導(dǎo)電 薄膜，或者是通過絲網(wǎng)印刷直接制得條狀銀漿電極，亦或者通過感光銀漿經(jīng)光刻工藝制得 條狀銀漿電極，要求銀漿電極的寬度夠細(xì)，滿足光線的投射即可；c.選用黑矩陣涂層，該涂層可以是不導(dǎo)電的黑色介質(zhì)，其主要成分是低玻粉，外添一些 黑色色料，將上述材料碾磨配成漿料，用印刷方法在陽(yáng)極導(dǎo)電層上印上黑矩陣涂層，控制其 燒結(jié)溫度在450°C ；d.調(diào)制熒光粉涂層，通過套印方法在所述黑矩陣之間印上一層能耐500°C以上高溫而 保持較好活性的高溫?zé)Y(jié)型熒光粉，控制熒光粉的燒結(jié)溫度在450°C ；e.選用消氣劑為非蒸散型，可選用意大利SAES公司&-A1合金系列產(chǎn)品，將消氣劑材 料通過碾磨等方法制成粉末狀后再與適量低玻粉混合配制成稀漿料并攪拌均勻，主要成分是消氣劑，控制其含量占3(T90%之間，再用細(xì)孔針筒將其打在陽(yáng)極導(dǎo)電層邊緣，也可進(jìn)行 預(yù)烘使其更好地牢固在陽(yáng)極導(dǎo)電層上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種可消氣真空陽(yáng)極板的制造方法，其特征在于按以下步驟進(jìn)行，a.制造透明玻璃基板；b.在透明玻璃基板一側(cè)面上涂覆有陽(yáng)極導(dǎo)電層；c.調(diào)制黑矩陣涂層，并將所述黑矩陣涂層涂覆在陽(yáng)極導(dǎo)電層上；d.調(diào)制熒光粉涂層，并將所述熒光粉涂層涂覆在所述黑矩陣涂層之間。本發(fā)明能較好地解決了超薄平板顯示器件制作工藝中難以實(shí)現(xiàn)的消氣劑放置空間優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了消氣劑的有效放置。
文檔編號(hào)H01J9/22GK101872705SQ201010232478
公開日2010年10月27日 申請(qǐng)日期2010年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月21日
發(fā)明者葉蕓, 林金堂, 翁衛(wèi)祥, 胡利勤, 郭太良 申請(qǐng)人:福州大學(xué)