專利名稱：一種平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平面介質(zhì)阻擋放電平面光源工藝過(guò)程中的真空排氣技術(shù)領(lǐng)域，具體涉 及一種平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車。
背景技術(shù)：
近些年來(lái)，照明節(jié)能燈方面取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，各種不同原理的照明裝置層出不 窮。電子節(jié)能燈以其高光效、高顯色、節(jié)電以及長(zhǎng)壽命的良好性能得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用， 代表未來(lái)照明光源的發(fā)展方向。但是目前市場(chǎng)上的照明節(jié)能燈主要以球形和柱形為主，屬 于點(diǎn)光源或者線光源，幾乎沒(méi)有平面照明的光源。極少數(shù)可以用作平面的照明燈，其成本也 是非常昂貴的。而基于等離子體發(fā)光原理的平面介質(zhì)阻擋放電平面光源，其發(fā)光原理與等 離子體一致，都是通過(guò)高壓促使稀有混合氣體放電，產(chǎn)生紫外光激發(fā)彩色熒光粉發(fā)光，但是 其器件構(gòu)造要遠(yuǎn)遠(yuǎn)簡(jiǎn)單于等離子體顯示器，并且其成本遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于現(xiàn)有的平面光源已經(jīng)越來(lái) 越成為未來(lái)平面照明光源的發(fā)展趨勢(shì)。而現(xiàn)在的針對(duì)平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車是在原彩色顯像管排氣小車基礎(chǔ) 上進(jìn)行技術(shù)改進(jìn)的，但原彩色顯像管排氣小車的構(gòu)造簡(jiǎn)單，不適合應(yīng)用于平面介質(zhì)阻擋放 電光源，主要存在抽真空過(guò)程中，抽氣的速度無(wú)法控制，對(duì)平面介質(zhì)阻擋放電光源這樣非常 薄的玻璃器件來(lái)說(shuō)很容易破碎，以及沒(méi)有充氣系統(tǒng)，無(wú)法給平面介質(zhì)阻擋放電光源中充入 兩種惰性氣體的缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種平面介質(zhì)阻擋放 電光源排氣小車，該排氣小車分為三個(gè)部分，分別為平面介質(zhì)阻擋放電光源的固定臺(tái)面、由 機(jī)械泵和擴(kuò)散泵組成的抽氣系統(tǒng)、由兩種惰性氣體氬氣和氡氣的氣瓶及對(duì)應(yīng)的閥門組成的 充氣系統(tǒng)，這樣的結(jié)構(gòu)能在抽真空過(guò)程中，有效控制抽氣的速度，避免了抽氣過(guò)程中造成平 面介質(zhì)阻擋放電光源的玻璃器件破碎的問(wèn)題，另外所述的充氣系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了能給平面介質(zhì) 阻擋放電光源中充入兩種惰性氣體氬氣和氡氣的功能。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是一種平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，包括帶有工件真空室19的平面介質(zhì)阻擋 放電光源21對(duì)應(yīng)的固定臺(tái)面18，還包括適配于所述的工件真空室19的泵頭1，泵頭1的底 部出口和擴(kuò)散泵4的入口通過(guò)法蘭密封相連通，擴(kuò)散泵4的出口通過(guò)金屬氣管與機(jī)械泵7 的入口相連通，擴(kuò)散泵4和機(jī)械泵7構(gòu)成了抽氣系統(tǒng)，另外所述的泵頭1的側(cè)面入口通過(guò)三 路金屬氣管22與氬氣充氣閥11的入口和氡氣充氣閥12的入口相連通，氬氣充氣閥11的 出口通過(guò)金屬氣管和氬氣氣瓶角閥14相連通，氡氣充氣閥12的出口通過(guò)金屬氣管和氡氣 氣瓶角閥20相連通，氬氣氣瓶16、氡氣氣瓶17、氬氣充氣閥11以及氡氣充氣閥12構(gòu)成了 充氣系統(tǒng)。所述的擴(kuò)散泵4和機(jī)械泵7之間通過(guò)金屬氣管依次串聯(lián)接入節(jié)油器5和擋油器6。
所述的機(jī)械泵7的出口通過(guò)金屬氣管和凝氣器8相連通。所述的泵頭1上設(shè)置針閥2和真空電離規(guī)3。所述的三路金屬氣管22上設(shè)置壓力計(jì)10。所述的氬氣充氣閥11和氬氣氣瓶角閥14之間的金屬氣管設(shè)置氬氣調(diào)壓閥13，所 述的氡氣充氣閥12和氡氣氣瓶角閥20之間的金屬氣管上設(shè)置氡氣調(diào)壓閥15。本發(fā)明的平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，該排氣小車分為三個(gè)部分，分別為平 面介質(zhì)阻擋放電光源的固定臺(tái)面18、由機(jī)械泵7和擴(kuò)散泵4組成的抽氣系統(tǒng)、由兩種惰性氣 體氬氣和氡氣的氣瓶及對(duì)應(yīng)的閥門組成的充氣系統(tǒng)，這樣的結(jié)構(gòu)能在抽真空過(guò)程中，有效 控制抽氣的速度，避免了抽氣過(guò)程中造成平面介質(zhì)阻擋放電光源的玻璃器件破碎的問(wèn)題， 另外所述的充氣系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了能給平面介質(zhì)阻擋放電光源中充入兩種惰性氣體氬氣和氡 氣的功能。


附圖是本發(fā)明的工作原理連接示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作更詳細(xì)的說(shuō)明。如附圖所示，平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，包括帶有工件真空室19的平面介 質(zhì)阻擋放電光源21對(duì)應(yīng)的固定臺(tái)面18，還包括適配于所述的工件真空室19的泵頭1，泵頭 1的底部出口和擴(kuò)散泵4的入口通過(guò)法蘭密封相連通，擴(kuò)散泵4的出口通過(guò)金屬氣管與機(jī)械 泵7的入口相連通，而擴(kuò)散泵4和機(jī)械泵7就構(gòu)成了抽氣系統(tǒng)，另外所述的泵頭1的側(cè)面入 口通過(guò)三路金屬氣管22與氬氣充氣閥11的入口和氡氣充氣閥12的入口相連通，氬氣充氣 閥11的出口通過(guò)金屬氣管和氬氣氣瓶角閥14相連通，氡氣充氣閥12的出口通過(guò)金屬氣管 和氡氣氣瓶角閥20相連通，而氬氣氣瓶16、氡氣氣瓶17、氬氣充氣閥11以及氡氣充氣閥12 構(gòu)成了充氣系統(tǒng)。所述的擴(kuò)散泵4和機(jī)械泵7之間通過(guò)金屬氣管依次串聯(lián)接入節(jié)油器5和 擋油器6，這樣就能有效防止擴(kuò)散泵的機(jī)油被抽到機(jī)械泵中造成機(jī)械泵抽氣效果差的后果。 所述的機(jī)械泵7的出口通過(guò)金屬氣管和凝氣器8相連通，這樣的結(jié)構(gòu)能維持排氣高度真空， 并且把其中的乏汽凝結(jié)成水以保證機(jī)械泵抽氣效果。所述的泵頭1上設(shè)置針閥2和真空電 離規(guī)3，這樣的結(jié)構(gòu)更能保證通過(guò)真空電離規(guī)3對(duì)真空度的測(cè)量，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)針閥2進(jìn)行擴(kuò)散 泵4抽氣量的速度控制。所述的三路金屬氣管22上設(shè)置壓力計(jì)10，這樣的設(shè)置更能保證 對(duì)充氣壓力的控制。所述的氬氣充氣閥11和氬氣氣瓶角閥14之間的金屬氣管設(shè)置氬氣調(diào) 壓閥13，而所述的氡氣充氣閥12和氡氣氣瓶角閥20之間的金屬氣管設(shè)置設(shè)置氡氣調(diào)壓閥 15，這樣的調(diào)壓閥能夠滿足實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)充氣壓力。本發(fā)明的工作原理為如附圖所示，先將所述的平面介質(zhì)阻擋放電光源21固定在 對(duì)應(yīng)的固定臺(tái)面18上，隨后將平面介質(zhì)阻擋放電光源22的工件真空室19的入口用玻璃管 和與泵頭1的入口連接起來(lái)，同時(shí)將氡氣充氣閥12和氬氣充氣閥11關(guān)閉，然后啟動(dòng)機(jī)械泵 7開始通過(guò)工件真空室19對(duì)平面介質(zhì)阻擋放電光源21進(jìn)行抽氣，并且通過(guò)真空電離規(guī)3的 測(cè)量當(dāng)真空度達(dá)到小于預(yù)設(shè)真空度值時(shí)，終止機(jī)械泵7而切換啟動(dòng)擴(kuò)散泵4對(duì)平面介質(zhì)阻 擋放電光源21進(jìn)行抽氣，同時(shí)在真空電離規(guī)3的測(cè)量控制下通過(guò)針閥2來(lái)實(shí)時(shí)控制抽氣速度，等工件真空室19的真空度達(dá)到預(yù)定要求后，關(guān)閉針閥2，抽氣過(guò)程完成；接下來(lái)打開氬 氣氣瓶角閥14、氡氣氣瓶角閥20、氬氣調(diào)壓閥13、氡氣調(diào)壓閥15、氬氣充氣閥11以及氡氣 充氣閥12，同時(shí)觀察壓力計(jì)10的壓力值變化實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)氬氣調(diào)壓閥13和氡氣調(diào)壓閥15控制 充氣壓力對(duì)平面介質(zhì)阻擋放電光源21進(jìn)行充氣，達(dá)到預(yù)定壓力后關(guān)掉氬氣充氣閥11以及 氡氣充氣閥12，最后拆除玻璃管，取下平面介質(zhì)阻擋放電光源21，這樣就完成了充氣過(guò)程。
本發(fā)明的平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，該排氣小車分為三個(gè)部分，分別為平 面介質(zhì)阻擋放電光源的固定臺(tái)面18、由機(jī)械泵7和擴(kuò)散泵4組成的抽氣系統(tǒng)、由兩種惰性氣 體氬氣和氡氣的氣瓶及對(duì)應(yīng)的閥門組成的充氣系統(tǒng)，這樣的結(jié)構(gòu)能在抽真空過(guò)程中，有效 控制抽氣的速度，避免了抽氣過(guò)程中造成平面介質(zhì)阻擋放電光源的玻璃器件破碎的問(wèn)題， 另外所述的充氣系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了能給平面介質(zhì)阻擋放電光源中充入兩種惰性氣體氬氣和氡 氣的功能。
權(quán)利要求
1.一種平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，包括帶有工件真空室(19)的平面介質(zhì)阻擋 放電光源對(duì)應(yīng)的固定臺(tái)面(18)，其特征在于還包括適配于所述的工件真空室(19) 的泵頭(1)，泵頭⑴的底部出口和擴(kuò)散泵⑷的入口通過(guò)法蘭密封相連通，擴(kuò)散泵⑷的 出口通過(guò)金屬氣管與機(jī)械泵(7)的入口相連通，擴(kuò)散泵⑷和機(jī)械泵(7)構(gòu)成了抽氣系統(tǒng)， 所述的泵頭(1)的側(cè)面入口通過(guò)三路金屬氣管0 與氬氣充氣閥(11)的入口和氡氣充氣 閥(1 的入口相連通，氬氣充氣閥(11)的出口通過(guò)金屬氣管和氬氣氣瓶角閥(14)相連 通，氡氣充氣閥(1 的出口通過(guò)金屬氣管和氡氣氣瓶角閥OO)相連通，氬氣氣瓶(16)、氡 氣氣瓶(17)、氬氣充氣閥(11)以及氡氣充氣閥(1 構(gòu)成了充氣系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，其特征在于所述的擴(kuò)散 泵(4)和機(jī)械泵(7)之間通過(guò)金屬氣管依次串聯(lián)接入節(jié)油器( 和擋油器(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，其特征在于 所述的機(jī)械泵(7)的出口通過(guò)金屬氣管和凝氣器(8)相連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，其特征在于 所述的泵頭⑴上設(shè)置針閥⑵和真空電離規(guī)(3)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，其特征在于 所述的三路金屬氣管0 上設(shè)置壓力計(jì)(10)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，其特征在于 所述的氬氣充氣閥(11)和氬氣氣瓶角閥(14)之間的金屬氣管設(shè)置氬氣調(diào)壓閥(13)，而所 述的氡氣充氣閥(1 和氡氣氣瓶角閥OO)之間的金屬氣管設(shè)置設(shè)置氡氣調(diào)壓閥(15)。
全文摘要
一種平面介質(zhì)阻擋放電光源排氣小車，該排氣小車分為三個(gè)部分，分別為平面介質(zhì)阻擋放電光源的固定臺(tái)面、由機(jī)械泵和擴(kuò)散泵組成的抽氣系統(tǒng)、由兩種惰性氣體氬氣和氡氣的氣瓶及對(duì)應(yīng)的閥門組成的充氣系統(tǒng)，這樣的結(jié)構(gòu)能在抽真空過(guò)程中，有效控制抽氣的速度，避免了抽氣過(guò)程中造成平面介質(zhì)阻擋放電光源的玻璃器件破碎的問(wèn)題，另外所述的充氣系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了能給平面介質(zhì)阻擋放電光源中充入兩種惰性氣體氬氣和氡氣的功能。
文檔編號(hào)H01J9/385GK102064066SQ20101058228
公開日2011年5月18日 申請(qǐng)日期2010年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月8日
發(fā)明者石篤篤, 程治國(guó) 申請(qǐng)人:彩虹集團(tuán)公司