專(zhuān)利名稱(chēng)：用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及質(zhì)譜儀領(lǐng)域，具體的涉及一種用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
質(zhì)譜儀又稱(chēng)質(zhì)譜計(jì)，一種分離和檢測(cè)不同同位素的儀器，即根據(jù)帶電粒子在電磁 場(chǎng)中能夠偏轉(zhuǎn)的原理，按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離和檢測(cè)物質(zhì)組成 的一類(lèi)儀器。質(zhì)譜儀以離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器為核心。離子源是使試樣分子在 高真空條件下離子化的裝置。電離后的分子因接受了過(guò)多的能量會(huì)進(jìn)一步碎裂成較小質(zhì)量 的多種碎片離子和中性粒子。它們?cè)诩铀匐妶?chǎng)作用下獲取具有相同能量的平均動(dòng)能而進(jìn)入 質(zhì)量分析器。質(zhì)量分析器是將同時(shí)進(jìn)入其中的不同質(zhì)量的離子，按質(zhì)荷比m/z大小分離的 裝置。分離后的離子依次進(jìn)入離子檢測(cè)器，采集放大離子信號(hào)，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理，繪制成質(zhì)譜 圖。離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器都各有多種類(lèi)型。質(zhì)譜儀按應(yīng)用范圍分為同位素質(zhì) 譜儀、無(wú)機(jī)質(zhì)譜儀和有機(jī)質(zhì)譜儀；按分辨本領(lǐng)分為高分辨、中分辨和低分辨質(zhì)譜儀；按工作 原理分為靜態(tài)儀器和動(dòng)態(tài)儀器。質(zhì)譜儀的真空度是影響離子運(yùn)動(dòng)速率的重要因素，真空度不足容易導(dǎo)致離子與氣 體分子碰撞，從而降低離子的運(yùn)動(dòng)速率，對(duì)質(zhì)量分析器的電信號(hào)和檢測(cè)器電信號(hào)之間對(duì)應(yīng) 關(guān)系的影響主要是體現(xiàn)時(shí)間對(duì)應(yīng)性等方面從而影響質(zhì)量準(zhǔn)確度，同時(shí)真空度不足導(dǎo)致的離 子運(yùn)動(dòng)速率變化也會(huì)影響質(zhì)譜儀的分辨率。但現(xiàn)有質(zhì)譜儀的真空腔的設(shè)計(jì)普遍存在真空度 不足的問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于質(zhì)譜儀的真空腔 系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以保證質(zhì)譜儀的真空度達(dá)到一個(gè)較高的水平。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)，其包括一真空腔，所述真空腔通過(guò)一連接腔連接 一分子泵，所述分子泵連接一不銹鋼管。優(yōu)選的，所述真空腔還連接一真空規(guī)。優(yōu)選的，所述真空腔兩端設(shè)有端蓋，所述端蓋與真空腔連接處加設(shè)有0型密封圈。優(yōu)選的，所述真空腔的表面粗糙度Ra達(dá)到0. 8-1. 6。優(yōu)選的，所述真空腔使用的是鋁材料。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)采用分子泵來(lái)產(chǎn)生高真 空，通過(guò)采用高精度的表面粗糙度(0. 8-1. 6)，避免表面的高吸附性對(duì)真空的影響，以及使 用鋁材料使得質(zhì)量非常的輕，表面吸附少，同時(shí)使用密封圈對(duì)真空腔進(jìn)行密封，減少了成本 以及拆裝方便。上述說(shuō)明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技 術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。
圖1為本實(shí)用新型的用于質(zhì)譜儀真空腔系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的用于質(zhì)譜儀真空腔系統(tǒng)的真空腔的剖視圖。圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明1.真空腔，2.分子泵，3.不銹鋼管，4.真空規(guī)，5.連接腔，6.0型密 封圈，7.端蓋。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的介紹。請(qǐng)參見(jiàn)圖1，圖2所示，一種用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)，其包括一真空腔1，所述真 空腔1通過(guò)一連接腔5連接一分子泵2，所述分子泵2連接一不銹鋼管3。優(yōu)選的，所述真空腔1還連接一真空規(guī)4。優(yōu)選的，所述真空腔1兩端設(shè)有端蓋7，所述端蓋7與真空腔1連接處加設(shè)有0型 密封圈6。優(yōu)選的，所述真空腔1的表面粗糙度Ra達(dá)到0. 8-1. 6。優(yōu)選的，所述真空腔1使用的是鋁材料。以上對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)介紹，對(duì) 于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的思想，在具體實(shí)施方式
及應(yīng)用范圍上 均會(huì)有改變之處，因此凡依本實(shí)用新型設(shè)計(jì)思想所做的任何改變都在本實(shí)用新型的保護(hù)范 圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)，其特征在于包括一真空腔(1)，所述真空腔(1)通 過(guò)一連接腔( 連接一分子泵O)，所述分子泵( 連接一不銹鋼管(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)，其特征在于所述真空腔(1)還 連接一真空規(guī)(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)，其特征在于所述真空腔(1)兩 端設(shè)有端蓋(7)，所述端蓋(7)與真空腔(1)連接處加設(shè)有0型密封圈(6)。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)，其特征在于 所述真空腔(1)的表面粗糙度Ra達(dá)到0. 8-1. 6。
5.根據(jù)上述權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)，其特征在于 所述真空腔(1)材料為鋁材料。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)，其包括一真空腔，所述真空腔通過(guò)一連接腔連接一分子泵，所述分子泵連接一不銹鋼管，所述真空腔還連接一真空規(guī)，所述真空腔兩端設(shè)有端蓋，所述端蓋與真空腔連接處加設(shè)有O型密封圈，所述真空腔的表面粗糙度Ra達(dá)到0.8-1.6，所述真空腔使用的是鋁材料。本實(shí)用新型的用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于拆裝，可以保證質(zhì)譜儀的真空度達(dá)到一個(gè)較高的水平。
文檔編號(hào)H01J49/04GK201829450SQ20102021807
公開(kāi)日2011年5月11日 申請(qǐng)日期2010年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月8日
發(fā)明者任建凱, 胡曉斌 申請(qǐng)人:江蘇天瑞儀器股份有限公司