專利名稱：電子顯微鏡電子槍的換氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，具體來說，是涉及一種給電子顯微鏡電子槍充入絕緣氣體的換氣裝置。
背景技術(shù)：
電子顯微鏡是一種可以觀察微小物質(zhì)的重要儀器，人們利用它可以觀察0.25nm 以下的物質(zhì)。電子顯微鏡以電子束作為照明光源，以磁透鏡或靜電透鏡作為偏轉(zhuǎn)電子的裝置，實現(xiàn)光學(xué)放大。電子顯微鏡在物理、化學(xué)、材料、科學(xué)研究、生命科學(xué)、地質(zhì)、探礦、機械工業(yè)、電子工業(yè)等軍民領(lǐng)域具有非常廣泛的應(yīng)用前景。電子槍是產(chǎn)生電子束的裝置，為了防止電子擊穿，需向電子槍內(nèi)充絕緣氣體。對此，采用一套換氣裝置對電子槍進行抽真空與充入絕緣氣體，以解決電子槍擊穿的問題。在目前的各種電子槍換氣裝置，各部件獨立設(shè)置，在對電子槍進行抽-充-放氣的處理時，要分別更換連接各部件，才能完成對電子槍的抽-充-放氣操作，存在密封性較差的缺點，并且現(xiàn)有的換氣裝置還存在機械結(jié)構(gòu)設(shè)計比較復(fù)雜、體積較大、不便裝配和不便維修等缺點。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施方式的目的是提供一種電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其結(jié)構(gòu)簡單， 對電子槍進行抽-充-放氣操作過程中，不用連接替換各部件，密封性好，且體積小，便于裝配和維修。本發(fā)明的目的是通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)的本發(fā)明實施方式提供一種電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，包括四通組件、充氣組件、轉(zhuǎn)換閥、抽氣裝置和電接點壓力表；所述四通組件設(shè)有進氣接口、抽放氣接口、壓力表接口和用于連接電子槍的換氣接口，四個接口通過所述四通組件內(nèi)部相互連通；其中，所述四通組件的進氣接口與所述充氣組件的出氣口連接，抽放氣接口經(jīng)所述轉(zhuǎn)換閥與所述抽氣裝置連接，壓力表接口與所述電接點壓力表連接；所述轉(zhuǎn)換閥設(shè)有抽氣接口和四通組件接口，通過所述四通組件接口與所述四通組件的抽放氣接口連接，通過抽氣接口與所述抽氣裝置連接，所述轉(zhuǎn)換閥內(nèi)部設(shè)有開關(guān)結(jié)構(gòu)， 所述開關(guān)結(jié)構(gòu)設(shè)有抽氣、充氣和放氣三個位置，處于抽氣位置時能使所述四通組件接口與抽氣接口之間連通；處于充氣位置時能使所述四通組件接口與抽氣接口都關(guān)閉；處于放氣位置時能使所述四通組件接口經(jīng)所述轉(zhuǎn)換閥與外部大氣相通進行放氣。所述四通組件由兩個三通組件構(gòu)成，一個三通組件的一個接口與另一三通組件的一個接口相互連通，其余的四個接口分別作為進氣接口、抽放氣接口、換氣接口和壓力表接所述充氣組件包括充氣罐、控制閥和管路；
用于儲存向電子槍內(nèi)充入的絕緣氣體的充氣罐上端設(shè)置控制閥，控制閥的出口上設(shè)有用于連接所述四通組件的進氣接口的管路。所述轉(zhuǎn)換閥包括閥體組件、軸、軸套、螺釘和密封圈；所述閥體組件內(nèi)為空腔，閥體組件一端設(shè)有開口，另一端設(shè)有抽氣接口，在抽氣接口一端的閥體組件側(cè)壁上設(shè)有四通組件接口，所述抽氣接口和所述四通組件接口均與所述閥體組件內(nèi)的空腔連通，所述閥體組件外壁上設(shè)有軸套定位槽；所述軸前端的軸體上間隔設(shè)有兩道環(huán)槽，各環(huán)槽內(nèi)均設(shè)有密封圈，軸前端設(shè)置在所述閥體組件的空腔內(nèi)，能在所述空腔內(nèi)滑動，與所述空腔形成滑動密封配合，軸前端的兩道密封圈滑動至所述四通組件接口之外的空腔處為抽氣位置，能開通所述抽氣接口和所述四通組件接口之間的通路；軸前端的兩道密封圈滑動至分布在所述四通組件接口兩側(cè)為充氣位置，能關(guān)閉所述四通組件接口 ；軸前端的兩道密封圈滑動至所述抽氣接口和所述四通組件接口之間的空腔處為放氣位置，能打開所述四通組件接口與所述軸和軸套的空隙之間的通路，并關(guān)閉所述抽氣接口和所述四通組件接口之間的通路；所述軸套內(nèi)為空腔，前端設(shè)有開口，通過所述開口套裝在所述閥體組件的設(shè)有開口一端的外面，軸套后端與所述軸的后端固定連接，軸套上設(shè)有螺釘，螺釘前端嵌入到所述閥體組件外壁的所述軸套定位槽內(nèi)，所述軸套能在所述螺釘和軸套定位槽的限制下沿所述閥體組件滑動并帶動所述軸在所述閥體組件內(nèi)滑動到抽氣位置、充氣位置或放氣位置。所述閥體組件圓柱形，內(nèi)部為圓柱形空腔結(jié)構(gòu)；所述軸的外形為與所述閥體組件內(nèi)的圓柱形空腔相匹配的圓柱形；所述軸套內(nèi)部為與所述閥體組件外形相匹配的圓柱形空腔。所述軸前端的軸體上設(shè)有兩個環(huán)槽，環(huán)槽內(nèi)均設(shè)有0形橡膠密封圈。所述軸套后端與所述軸的后端固定連接為軸套后端設(shè)有通孔，軸的后端穿過所述通孔與所述軸套后端連接，通孔兩側(cè)的軸體上各設(shè)有一道安裝槽，每道安裝槽內(nèi)均設(shè)有E形擋板，通過兩個E形擋板使所述軸的后端與軸套的后端連接。所述抽氣裝置為機械泵。所述換氣裝置還包括兩個底板，所述四通組件固定設(shè)置在一個底板上；所述電接點壓力表固定設(shè)置在另一個底板上。所述電接點壓力表還包括壓力報警器，用于當(dāng)充氣壓力達到或超過預(yù)設(shè)值時進行報警。本發(fā)明實施方式提供的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，經(jīng)四通組件將充氣組件、 轉(zhuǎn)換閥、抽氣裝置和電接點壓力表相互連接，對電子槍內(nèi)換氣時，通過控制充氣組件的開關(guān)及調(diào)整轉(zhuǎn)換閥內(nèi)開關(guān)處于抽氣、充氣或放氣等不同的位置，即可完成對電子槍內(nèi)進行抽氣、 充氣或放氣等換氣操作。該換氣裝置結(jié)構(gòu)簡單，由于將各部件通過四通組件連接，并配合轉(zhuǎn)換閥的開關(guān)的不同位置，在不用替換連接各部件的情況下，即可在密閉狀態(tài)下完成對電子槍的換氣操作，避免了對電子槍換氣過程中，因更換各部件造成的操作繁瑣和絕緣氣體的泄漏損耗等問題。


圖1為本發(fā)明實施例提供的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置的另一角度結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的換氣裝置的四通組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實施例提供的換氣裝置的充氣組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明實施例提供的換氣裝置的轉(zhuǎn)換閥的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明實施例提供的換氣裝置的轉(zhuǎn)換閥的正面結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明實施例提供的換氣裝置的轉(zhuǎn)換閥處于抽氣位置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本發(fā)明實施例提供的換氣裝置的轉(zhuǎn)換閥處于充氣位置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本發(fā)明實施例提供的換氣裝置的轉(zhuǎn)換閥處于放氣位置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖中各部件為1-四通組件；101-進氣接口 ；102-抽放氣接口 ；103-換氣接口 ； 104-壓力表接；2-充氣組件；201-充氣罐；202-控制閥；203-管路；2 ；3-轉(zhuǎn)換閥；301-四通組件接口 ；302-抽氣接口 ；303-閥體組件；304-軸套；305-螺釘；306-軸；307-閥體組件內(nèi)的空腔；308-軸套定位槽；309-E形擋板；3010-環(huán)槽；3011-密封圈；4-抽氣裝置；5-電接點壓力表；6-底板一 ；7-底板二。
具體實施例方式下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進一步說明。本發(fā)明實施例提供一種電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，可用于電子顯微鏡的電子槍進行抽氣、充入SF6*緣氣體的操作，如圖1、2所示，該換氣裝置包括四通組件1、充氣組件2、轉(zhuǎn)換閥3、抽氣裝置4和電接點壓力表5 ；其中，所述四通組件1設(shè)有進氣接口 103、抽放氣接口 104、換氣接口 105和壓力表接口 106，四個接口 103、104、105、106通過所述四通組件內(nèi)部相互連通；其中，所述四通組件1的進氣接口 103與所述充氣組件2的出氣口連接，抽放氣接口 104經(jīng)所述轉(zhuǎn)換閥3與所述抽氣裝置4連接，壓力表接口 106與所述電接點壓力表5連接，電接點壓力表5內(nèi)可設(shè)置壓力報警器，通過壓力報警器可當(dāng)充氣壓力達到或超過預(yù)設(shè)值時進行報警，換氣接口 105 用于連接電子槍的換氣口；所述轉(zhuǎn)換閥3設(shè)有抽氣接口 302和四通組件接口 301，通過所述四通組件接口 301 與所述四通組件1的抽放氣接口 104連接，通過抽氣接口 302與所述抽氣裝置4連接，抽氣裝置4可采用機械泵，所述轉(zhuǎn)換閥3內(nèi)部設(shè)有開關(guān)結(jié)構(gòu)，所述開關(guān)結(jié)構(gòu)設(shè)有抽氣、充氣和放氣三個位置，處于抽氣位置時能使所述四通組件接口 301與抽氣接口 302之間連通；處于充氣位置時能使所述四通組件接口 301與抽氣接口 302都關(guān)閉；處于放氣位置時能使所述四通組件接口 301經(jīng)所述轉(zhuǎn)換閥進行放氣。上述換氣裝置中，可以設(shè)置兩個底板6、7，用于支撐固定部件，可將四通組件固定設(shè)置在一個底板上6 ；將電接點壓力表5固定設(shè)置在另一個底板7上。如圖3所示，上述換氣裝置中的四通組件1可由兩個三通組件101、102構(gòu)成，一個三通組件101的一個接口與另一三通組件102的一個接口相互連通，其余的四個接口分別作為進氣接口 103、抽放氣接口 104、換氣接口 105和壓力表接口 106。如圖4所示，上述換氣裝置中的充氣組件2包括充氣罐201、控制閥202和管路 203 ；其中，充氣罐201用于儲存向電子槍內(nèi)充入的絕緣氣體，如SF6絕緣氣體，充氣罐201上端設(shè)置控制閥202，控制閥202的出口上設(shè)有管路203，管路203的出口用于連接所述四通組件的進氣接口。如圖5 7所示，上述換氣裝置中的轉(zhuǎn)換閥3包括閥體組件303、軸306、軸套 304、螺釘305和密封圈3011 ；其中，所述閥體組件303外形為圓柱形，其內(nèi)為圓柱形空腔307，閥體組件303—端設(shè)有開口，另一端設(shè)有抽氣接口 302，抽氣接口 302設(shè)置在閥體組件303的端部，在靠近抽氣接口 302 —端的閥體組件303側(cè)壁上設(shè)有四通組件接口 301，抽氣接口 302和四通組件接口 301均與所述閥體組件303內(nèi)的空腔307連通，即抽氣接口 302和四通組件接口 301在沒有阻擋物的前提下，可通過所述閥體組件內(nèi)的空腔307連通，所述閥體組件303外壁上設(shè)有軸套定位槽308 ；所述軸306的外形為與所述閥體組件303內(nèi)的空腔307相匹配的圓柱形，軸306 前端的軸體上設(shè)有兩道環(huán)槽3010，兩道環(huán)槽3010內(nèi)均設(shè)有密封圈3011 (可用0形橡膠密封圈)，軸306前端設(shè)置在所述閥體組件303的空腔307內(nèi)，能在所述空腔307內(nèi)滑動，與所述空腔307形成滑動密封配合，軸306前端的兩道密封圈3011滑動至所述四通組件接口之外的空腔307處為抽氣位置(見圖7)，能開通所述抽氣接口和所述四通組件接口之間的通路；軸306前端的兩道密封圈3011滑動至分布在所述四通組件接口兩側(cè)為充氣位置(見圖 8)，能關(guān)閉所述四通組件接口 301和抽氣接口 302，從而使得所述閥體組件303的四通組件接口 301的抽氣接口 302均不會影響充氣組件對電子槍進行充氣；軸306前端的兩道密封圈3011滑動至所述抽氣接口和所述四通組件接口之間的空腔處為放氣位置(見圖9)，能打開所述四通組件接口 301與所述軸306和軸套304的空隙之間的通路，并關(guān)閉所述抽氣接口 302和所述四通組件接口 301之間的通路；所述軸套304內(nèi)為圓柱形空腔，該圓柱形空腔與所述閥體組件303的外形相匹配， 軸套304前端設(shè)有開口，通過所述開口套裝在所述閥體組件303的設(shè)有開口一端的外面，軸套304后端與所述軸306的后端固定連接，軸套304上設(shè)有螺釘305，螺釘305前端嵌入到所述閥體組件303外壁的所述軸套定位槽308內(nèi)，所述軸套304能在所述螺釘305和軸套定位槽308的限制下沿所述閥體組件滑動并帶動所述軸在所述閥體組件內(nèi)滑動到抽氣、充氣或放氣的不同位置，從而控制所述轉(zhuǎn)換閥處于不同的狀態(tài)。如軸套304滑動到螺釘305在軸套定位槽308后端的限位處(即轉(zhuǎn)換閥的開關(guān)的抽氣位置)時，帶動軸306前端的兩道密封圈滑動至閥體組件303的所述抽氣接口 302和所述四通組件接口 301之外的空腔處， 從而開通了所述抽氣接口 302和所述四通組件接口 301之間的通路。若軸套304滑動到螺釘305在軸套定位槽308中間的限位處(即轉(zhuǎn)換閥的開關(guān)的充氣位置)時，帶動軸306前端的兩道密封圈滑動分布到閥體組件303的所述四通組件接口 301的兩側(cè)，從而關(guān)閉了所述四通組件接口 301和抽氣接口 302。若軸套304滑動到螺釘305在軸套定位槽308前端的限位處(即轉(zhuǎn)換閥的開關(guān)的放氣位置)時，帶動軸306前端的兩道密封圈3011滑動至閥體組件303的所述抽氣接口 302和所述四通組件接口 301之間的空腔307處，從而打開所述四通組件接口 301與所述軸306和軸套304的空隙之間的通路，通過該通路實現(xiàn)與外部大氣相通，并關(guān)閉了所述抽氣接口 301和所述四通組件接口 302之間的通路。上述轉(zhuǎn)換閥3中軸套304后端與所述軸306的后端固定連接可通過在軸套304后端設(shè)置通孔，使軸306的后端穿過所述通孔與所述軸套304后端連接，在通孔兩側(cè)的軸306 的軸體上各設(shè)置一道安裝槽，每道安裝槽內(nèi)均設(shè)置E形擋板309，通過兩個E形擋板309配合使所述軸306的后端與軸套304的后端連接。上述換氣裝置工作時，將電子槍的換氣口連接到換氣裝置的換氣接口上，抽氣時， 關(guān)閉充氣組件，將轉(zhuǎn)換閥3的軸(即開關(guān))放到抽氣位置(見圖7)，此時轉(zhuǎn)換閥打開，即抽氣裝置經(jīng)轉(zhuǎn)換閥的抽氣接口、四通組件接口、四通組件的抽放氣接口、換氣接口對電子槍內(nèi)進行抽氣；向電子槍充氣時，先將轉(zhuǎn)換閥3的軸(即開關(guān))放到充氣位置(見圖8)，此時轉(zhuǎn)換閥關(guān)閉，即關(guān)閉轉(zhuǎn)換閥的四通組件接口和抽氣接口，進而關(guān)閉四通組件的抽放氣接口，再打開充氣組件的控制閥，使充氣罐內(nèi)的高純度的SF6氣體(絕緣氣體)經(jīng)四通組件的進氣接口、換氣接口進入電子槍完成充氣；放氣時，關(guān)閉充氣組件和抽氣裝置，將轉(zhuǎn)換閥3的軸(即開關(guān))放到放氣位置(見圖9)，此時轉(zhuǎn)換閥打開，使電子槍經(jīng)四通組件的換氣接口、抽放氣接口、轉(zhuǎn)換閥的四通組件接口和轉(zhuǎn)換閥的軸與軸套之間的空隙與外部大氣相通，電子槍進行放氣。無論是抽氣，還是充氣過程中，均通過電接點壓力表對抽、充氣的氣壓進行監(jiān)控， 充氣時，氣壓達到或超過預(yù)設(shè)值時，電接點壓力表的壓力報警器可以進行報警。本發(fā)明實施例的換氣裝置，其結(jié)構(gòu)簡單，對電子槍充、抽、放氣操作方便，變換操作時，不用替換不同的部件，只通過轉(zhuǎn)換閥簡單的轉(zhuǎn)換開關(guān)檔位即可，保證了密封性，避免了絕緣氣體的泄露和浪費。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實施方式
，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此， 任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換， 都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其特征在于，包括四通組件、充氣組件、轉(zhuǎn)換閥、抽氣裝置和電接點壓力表；所述四通組件設(shè)有進氣接口、抽放氣接口、壓力表接口和用于連接電子槍的換氣接口， 四個接口通過所述四通組件內(nèi)部相互連通；其中，所述四通組件的進氣接口與所述充氣組件的出氣口連接，抽放氣接口經(jīng)所述轉(zhuǎn)換閥與所述抽氣裝置連接，壓力表接口與所述電接點壓力表連接；所述轉(zhuǎn)換閥設(shè)有抽氣接口和四通組件接口，通過所述四通組件接口與所述四通組件的抽放氣接口連接，通過抽氣接口與所述抽氣裝置連接，所述轉(zhuǎn)換閥內(nèi)部設(shè)有開關(guān)結(jié)構(gòu)，所述開關(guān)結(jié)構(gòu)設(shè)有抽氣、充氣和放氣三個位置，處于抽氣位置時能使所述四通組件接口與抽氣接口之間連通；處于充氣位置時能使所述四通組件接口與抽氣接口都關(guān)閉；處于放氣位置時能使所述四通組件接口經(jīng)所述轉(zhuǎn)換閥與外部大氣相通進行放氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其特征在于，所述四通組件由兩個三通組件構(gòu)成，一個三通組件的一個接口與另一三通組件的一個接口相互連通，其余的四個接口分別作為進氣接口、抽放氣接口、換氣接口和壓力表接口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其特征在于，所述充氣組件包括充氣罐、控制閥和管路；用于儲存向電子槍內(nèi)充入的絕緣氣體的充氣罐上端設(shè)置控制閥，控制閥的出口上設(shè)有用于連接所述四通組件的進氣接口的管路。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)換閥包括閥體組件、軸、軸套、螺釘和密封圈；所述閥體組件內(nèi)為空腔，閥體組件一端設(shè)有開口，另一端設(shè)有抽氣接口，在抽氣接口一端的閥體組件側(cè)壁上設(shè)有四通組件接口，所述抽氣接口和所述四通組件接口均與所述閥體組件內(nèi)的空腔連通，所述閥體組件外壁上設(shè)有軸套定位槽；所述軸前端的軸體上間隔設(shè)有兩道環(huán)槽，各環(huán)槽內(nèi)均設(shè)有密封圈，軸前端設(shè)置在所述閥體組件的空腔內(nèi)，能在所述空腔內(nèi)滑動，與所述空腔形成滑動密封配合，軸前端的兩道密封圈滑動至所述四通組件接口之外的空腔處為抽氣位置，能開通所述抽氣接口和所述四通組件接口之間的通路；軸前端的兩道密封圈滑動至分布在所述四通組件接口兩側(cè)為充氣位置，能關(guān)閉所述四通組件接口 ；軸前端的兩道密封圈滑動至所述抽氣接口和所述四通組件接口之間的空腔處為放氣位置，能打開所述四通組件接口與所述軸和軸套的空隙之間的通路，并關(guān)閉所述抽氣接口和所述四通組件接口之間的通路；所述軸套內(nèi)為空腔，前端設(shè)有開口，通過所述開口套裝在所述閥體組件的設(shè)有定位槽一端的外面，軸套后端與所述軸的后端固定連接，軸套上設(shè)有螺釘，螺釘前端嵌入到所述閥體組件外壁的所述軸套定位槽內(nèi)，所述軸套能在所述螺釘和軸套定位槽的限制下沿所述閥體組件滑動并帶動所述軸在所述閥體組件內(nèi)滑動到抽氣位置、充氣位置或放氣位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其特征在于，所述閥體組件圓柱形，內(nèi)部為圓柱形空腔結(jié)構(gòu)；所述軸的外形為與所述閥體組件內(nèi)的圓柱形空腔相匹配的圓柱形；所述軸套內(nèi)部為與所述閥體組件外形相匹配的圓柱形空腔。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其特征在于，所述軸前端的軸體上設(shè)有兩個環(huán)槽，環(huán)槽內(nèi)均設(shè)有0形橡膠密封圈。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其特征在于，所述軸套后端與所述軸的后端固定連接為軸套后端設(shè)有通孔，軸的后端穿過所述通孔與所述軸套后端連接，通孔兩側(cè)的軸體上各設(shè)有一道安裝槽，每道安裝槽內(nèi)均設(shè)有E形擋板，通過兩個E形擋板使所述軸的后端與軸套的后端連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其特征在于，所述抽氣裝置為機械泵。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其特征在于，所述換氣裝置還包括兩個底板，所述四通組件固定設(shè)置在一個底板上；所述電接點壓力表固定設(shè)置在另一個底板上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡電子槍的換氣裝置，其特征在于，所述電接點壓力表還包括壓力報警器，用于當(dāng)充氣壓力達到或超過預(yù)設(shè)值時進行報警。
全文摘要
本發(fā)明公開一種電子顯微鏡的電子槍換氣裝置，屬電子顯微鏡領(lǐng)域。包括四通組件設(shè)有進氣接口、抽放氣接口、壓力表接口和接電子槍的換氣接口，四個接口通過四通組件內(nèi)部相互連通；其中，四通組件的進氣接口與充氣組件的出氣口連接，抽放氣接口經(jīng)轉(zhuǎn)換閥與抽氣裝置連接，壓力表接口與電接點壓力表連接；轉(zhuǎn)換閥設(shè)有抽氣接口和四通組件接口，通過四通組件接口與四通組件的抽放氣接口連接，通過抽氣接口與抽氣裝置連接，轉(zhuǎn)換閥內(nèi)設(shè)有開關(guān)，開關(guān)設(shè)有抽氣、充氣和放氣三個位置，處于抽氣位置時能使四通組件接口與抽氣接口之間連通；處于充氣位置時能使四通組件接口與抽氣接口都關(guān)閉，處于放氣位置能進行放氣。該換氣裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，密封性好。
文檔編號H01J37/26GK102231354SQ201110077408
公開日2011年11月2日 申請日期2011年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月29日
發(fā)明者于成交, 姚駿恩, 孫茂多, 孟凡念, 張春熹, 楊彥杰, 董全林, 袁水平 申請人:北京航空航天大學(xué)