專利名稱：真空鍍?cè)鐾改ぬ岣邿艟卟ＡУ墓馔康姆椒?br> 真空鍍?cè)鐾改ぬ岣邿艟卟ＡУ墓馔康姆椒?b>技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空鍍膜的方法，尤其涉及一種真空鍍?cè)鐾改ぬ岣邿艟卟ＡУ墓馔康姆椒ā?b>背景技術(shù)：
目前，節(jié)能成為一項(xiàng)市場熱點(diǎn)，LED燈具節(jié)能環(huán)保，在市面上得到廣泛的應(yīng)用，LED 燈具的燈罩蓋板一般為玻璃或塑料材質(zhì)，而玻璃或塑料材質(zhì)的透光率不高，為89%左右，影響了 LED燈光的透過率，大量的LED燈光被燈罩蓋板反射和吸收，使得燈罩的發(fā)熱大，不節(jié)能。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中LED燈具的燈罩蓋板透光率不足提供一種真空鍍?cè)鐾改ぬ岣邿艟邿粽稚w板的光通量的方法。
本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的一種真空鍍?cè)鐾改ぬ岣邿艟卟ＡУ墓馔康姆椒?，包括以下步驟
(1)提供工件玻璃或塑料；
(2)將工件玻璃或塑料進(jìn)行前處理，以使工件玻璃或塑料的表面清潔；
(3)將經(jīng)前處理的工件玻璃或塑料裝載在工件架上，由傳動(dòng)系統(tǒng)將工件架導(dǎo)入真空室；
(4)在真空室內(nèi)預(yù)先設(shè)有靶材，靶材的材質(zhì)為Nb、Si或者為Ti、Si，然后向真空室內(nèi)通入Ar和&的混合氣體，使真空室的真空度達(dá)到KT1Pa ；
(5)給靶材通電，使Ar和仏的混合氣體電離，電離后的粒子轟擊靶材，使靶材Nb、 Si或者Ti、Si以原子形式逸出，Nb、Si或者Ti、Si原子向下沉積的過程中和A電離后的氧原子結(jié)合形成Nb205、SiO2或者Ti02、SiO2,并沉積在工件玻璃或塑料的表面；
(6)控制真空室內(nèi)傳動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)速度，在工件玻璃或塑料表面先沉積8-12nm的 Nb2O5或者SiO2,然后在Nb2O5或者SW2上再沉積100-120nm的SiO2,使工件玻璃或塑料的透光率從89%提高到94% ；
(7)取出工件玻璃或塑料，再進(jìn)行前處理，以使工件玻璃或塑料的表面清潔；
(8)將經(jīng)前處理的工件玻璃或塑料非膜面朝上裝載在工件架上，由傳動(dòng)系統(tǒng)將工件架導(dǎo)入真空室；
(9)重復(fù)步驟(4)、(5)、(6)，使工件玻璃或塑料雙面鍍膜，將單面增透膜的透光率由94%提高到98%。
下面對(duì)以上技術(shù)方案作進(jìn)一步闡述
所述步驟C3)及步驟(7)將工件玻璃或塑料進(jìn)行前處理，前處理包括用純度大于 15ΜΩ的純凈水來清洗工件玻璃或塑料表面。
本發(fā)明的有益效果在于將LED燈罩蓋板的玻璃或塑料的透光率由89%提高到98 %，減少了燈罩蓋板的反射光和吸收光，燈罩發(fā)熱少，光照照度提高，起到了節(jié)能的作用。具體實(shí)施方式

一種真空鍍?cè)鐾改ぬ岣邿艟卟ＡУ墓馔康姆椒?，包括以下步驟
(1)提供工件玻璃或塑料；
(2)將工件玻璃或塑料進(jìn)行前處理，以使工件玻璃或塑料的表面清潔；
(3)將經(jīng)前處理的工件玻璃或塑料裝載在工件架上，由傳動(dòng)系統(tǒng)將工件架導(dǎo)入真空室；
(4)在真空室內(nèi)預(yù)先設(shè)有靶材，靶材的材質(zhì)為Nb、Si或者為Ti、Si，然后向真空室內(nèi)通入Ar和&的混合氣體，使真空室的真空度達(dá)到KT1Pa ；
(5)給靶材通電，使Ar和仏的混合氣體電離，電離后的粒子轟擊靶材，使靶材Nb、 Si或者Ti、Si以原子形式逸出，Nb、Si或者Ti、Si原子向下沉積的過程中和A電離后的氧原子結(jié)合形成Nb205、SiO2或者Ti02、SiO2,并沉積在工件玻璃或塑料的表面；
(6)控制真空室內(nèi)傳動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)速度，在工件玻璃或塑料表面先沉積8-12nm的 Nb2O5或者SiO2,然后在Nb2O5或者SW2上再沉積100-120nm的SiO2,使工件玻璃或塑料的透光率從89%提高到94% ；
(7)取出工件玻璃或塑料，再進(jìn)行前處理，以使工件玻璃或塑料的表面清潔；
(8)將經(jīng)前處理的工件玻璃或塑料非膜面朝上裝載在工件架上，由傳動(dòng)系統(tǒng)將工件架導(dǎo)入真空室；
(9)重復(fù)步驟⑷、(5)、(6)，使工件玻璃或塑料雙面鍍膜，將單面增透膜的透光率由94%提高到98%。
下面對(duì)以上技術(shù)方案作進(jìn)一步闡述
所述步驟( 及步驟(7)將工件玻璃或塑料進(jìn)行前處理，前處理包括用純度大于 15ΜΩ的純凈水來清洗工件玻璃或塑料表面。
根據(jù)上述說明書的揭示和教導(dǎo)，本發(fā)明所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員還可以對(duì)上述實(shí)施方式進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏托薷摹Ｒ虼?，本發(fā)明并不局限于上面揭示和描述的具體實(shí)施方式
，對(duì)本發(fā)明的一些修改和變更也應(yīng)當(dāng)落入本發(fā)明的權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。此外，盡管本說明書中使用了一些特定的術(shù)語，但這些術(shù)語只是為了方便說明，并不對(duì)本發(fā)明構(gòu)成任何限制。
權(quán)利要求
1.一種真空鍍?cè)鐾改ぬ岣邿艟卟ＡУ墓馔康姆椒?，其特征在于包括以下步驟(1)提供工件玻璃或塑料；(2)將工件玻璃或塑料進(jìn)行前處理，以使工件玻璃或塑料的表面清潔；(3)將經(jīng)前處理的工件玻璃或塑料裝載在工件架上，由傳動(dòng)系統(tǒng)將工件架導(dǎo)入真空室；(4)在真空室內(nèi)預(yù)先設(shè)有靶材，靶材的材質(zhì)為Nb、Si或者為Ti、Si，然后向真空室內(nèi)通入Ar和&的混合氣體，使真空室的真空度達(dá)到KT1Pa ；(5)給靶材通電，使Ar和&的混合氣體電離，電離后的粒子轟擊靶材，使靶材Nb、Si或者Ti、Si以原子形式逸出，Nb、Si或者Ti、Si原子向下沉積的過程中和&電離后的氧原子結(jié)合形成Nb205、SiO2或者Ti02、SiO2,并沉積在工件玻璃或塑料的表面；(6)控制真空室內(nèi)傳動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)速度，在工件玻璃或塑料表面先沉積8-12nm的Nb2O5 或者SiO2,然后在Nb2O5或者SW2上再沉積100-120nm的SiO2,使工件玻璃或塑料的透光率從89%提高到94% ；(7)取出工件玻璃或塑料，再進(jìn)行前處理，以使工件玻璃或塑料的表面清潔；(8)將經(jīng)前處理的工件玻璃或塑料非膜面朝上裝載在工件架上，由傳動(dòng)系統(tǒng)將工件架導(dǎo)入真空室；(9)重復(fù)步驟0)、(5)、(6)，使工件玻璃或塑料雙面鍍膜，將單面增透膜的透光率由 94%提高到98%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍不導(dǎo)電膜的方法，其特征在于所述步驟(3)及步驟 (7)將工件玻璃或塑料進(jìn)行前處理，前處理包括用純度大于15ΜΩ的純凈水來清洗工件玻璃或塑料表面。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種真空鍍?cè)鐾改ぬ岣邿艟卟ＡУ墓馔康姆椒?，包括以下步驟先提供工件玻璃或塑料，再將工件玻璃或塑料進(jìn)行前處理，以使工件玻璃或塑料的表面清潔；然后將經(jīng)前處理的工件玻璃或塑料裝載在工件架上，由傳動(dòng)系統(tǒng)將工件架導(dǎo)入真空室；在真空室內(nèi)預(yù)先設(shè)有靶材，靶材的材質(zhì)為Nb、Si或者為Ti、Si，然后向真空室內(nèi)通入Ar和O2的混合氣體；給靶材通電，使Ar和O2的混合氣體電離，Nb、Si或者為Ti、Si，和O2電離后的氧原子結(jié)合形成Nb2O5、SiO2或者TiO2、SiO2，并沉積在工件玻璃或塑料的表面；其有益效果在于將LED燈罩蓋板的玻璃或塑料的透光率由89％提高到98％，減少了燈罩蓋板的反射光和吸收光，燈罩發(fā)熱少，光照照度提高，起到了節(jié)能的作用。
文檔編號(hào)F21V3/04GK102506383SQ201110418330
公開日2012年6月20日 申請(qǐng)日期2011年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月14日
發(fā)明者熊樹林 申請(qǐng)人:深圳市杰瑞表面技術(shù)有限公司