專利名稱：一種真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制備工藝中，需要對反應(yīng)腔室內(nèi)部的裝置進行精確定位，如機械手送取片、電極運動及靶位運動等，這就需要對真空環(huán)境下的部件實施精確定位；同時要求傳感器不進入真空環(huán)境，或不受反應(yīng)腔室內(nèi)部的污染，這就需要一套既能檢測到反應(yīng)腔室內(nèi)部運動的部件又能將信號傳遞出來的裝置。在真空環(huán)境中，半導(dǎo)體制備工藝過程多伴有污染、高溫等，一般傳感器無法在這種條件下工作?，F(xiàn)有的工業(yè)傳感器，例如行程開關(guān)，會由于受到工藝污染而造成短路；磁性開關(guān)，會由于受到高溫的影響而造成失效，并且精度不高。如果采用直接電接觸或碰停方法·使轉(zhuǎn)動部件停止，會造成感應(yīng)器形變或短路無法確保定位精度?？傊?，現(xiàn)有工業(yè)上的慣用方法，在真空、高溫、伴有污染的環(huán)境下均無法使用，導(dǎo)致真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件不能準確定位。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決真空伴有污染、高溫環(huán)境下的真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的精確定位問題，本發(fā)明提供了一種真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，包括激光反射裝置、密封部件、腔體外玻璃密封件和密封框架；所述激光反射裝置位于反應(yīng)室內(nèi)，并與所述密封框架的頂端通過螺紋連接；所述密封框架由下向上裝入反應(yīng)室，并通過螺釘與反應(yīng)室固定連接；所述腔體外玻璃密封件與密封框架的底端通過螺紋連接；所述反應(yīng)室與密封框架連接之處設(shè)置有所述密封部件；所述腔體外玻璃密封件與密封框架底端連接之處設(shè)置有所述密封部件和玻璃。所述密封框架的頂端和底端具有外螺紋，所述密封框架的一側(cè)設(shè)置有防污狹縫缺□。所述激光反射裝置具有內(nèi)螺紋。所述激光反射裝置內(nèi)部設(shè)置有金屬反射面。所述金屬反射面為鋁金屬反射面。所述腔體外玻璃密封件的中心設(shè)置有通孔，所述腔體外玻璃密封件具有內(nèi)螺紋。所述密封部件為“O”型密封圈。所述密封框架由金屬鋁制作而成，并且具有雙密封法蘭接口。所述雙密封法蘭接口上分別設(shè)置有燕尾式密封槽。本發(fā)明提供的定位裝置能夠在真空伴有污染、高溫環(huán)境下的半導(dǎo)體制備工藝過程中對機械手運動位置或靶位進行精確定位，同時該裝置結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、可靠性高、容易維護和修理。


圖I是本發(fā)明實施例提供的真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置的剖視圖2是本發(fā)明實施例中密封框架的剖視圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明技術(shù)方案作進一步描述。參見圖I和圖2，本發(fā)明實施例提供了一種真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，包括激光反射裝置2、密封部件9、腔體外玻璃密封件12和密封框架I。其中，激光反射裝置2位于反應(yīng)室6內(nèi)，并與密封框架I的頂端通過螺紋連接；密封框架I由下向上裝入反應(yīng)室6，并通過螺釘10與反應(yīng)室6固定連接；腔體外玻璃密封件12與密封框架I的底端通過螺紋連接；反應(yīng)室6與密封框架I連接之處設(shè)置有密封部件9 ;腔體外玻璃密封件12與密封框架I底端連接之處設(shè)置有密封部件9和玻璃13。參見圖2，密封框架I的頂端和底端具有外螺紋7，密封框架I的一側(cè)設(shè)置有防污狹縫缺口 18 ;激光反射裝置2內(nèi)部設(shè)置有鋁金屬反射面4和內(nèi)螺紋3，通過內(nèi)螺紋3實現(xiàn)激光反射裝置2與密封框架I頂端的外螺紋7之間的螺紋連接，手動調(diào)節(jié)激光反射裝置2旋·入密封框架I頂端的深度，以便調(diào)節(jié)鋁金屬反射面4與密封框架I頂端的高度，進而控制激光束的返回路徑；腔體外玻璃密封件12的中心設(shè)置有通孔，腔體外玻璃密封件12具有內(nèi)螺紋3，通過內(nèi)螺紋3實現(xiàn)腔體外玻璃密封件12與密封框架I底端的外螺紋7之間的螺紋連接。本實施例中，密封部件9為“O”型密封圈；密封框架I由金屬鋁制作而成，并且具有雙密封法蘭接口 20，用于真空密封和使激光束通過；雙密封法蘭接口 20上分別設(shè)置有用于半導(dǎo)體真空設(shè)備之間密封的燕尾式密封槽19，“O”型密封圈分別設(shè)置在燕尾式密封槽19內(nèi)。在實際應(yīng)用中，激光反射裝置2內(nèi)部可以不設(shè)置鋁金屬反射面4，同樣可以實現(xiàn)發(fā)明，僅是激光反射效果不如本實施例。在使用本發(fā)明實施例的定位裝置之前，需要進行安裝，具體是將密封框架I由下向上裝入反應(yīng)室6，固定螺釘10擰緊后由“O”型密封圈9對密封框架進行密封；反應(yīng)室6內(nèi)部的激光反射裝置2通過內(nèi)螺紋3和密封框架的外螺紋7固定；反應(yīng)室6外部通過外螺紋7和腔體外玻璃密封件12的內(nèi)螺紋3連接，旋緊腔體外玻璃密封件12進而向玻璃施加壓力，“O”型密封圈9通過玻璃13由腔體外玻璃密封件12壓緊密封，以便保證真空密封；激光器16固定在密封框架I上，通過固定螺釘10調(diào)整激光器的位置。在轉(zhuǎn)動部件的定位過程中，激光器16發(fā)射的激光束通過腔體外玻璃密封件12中心的通孔和玻璃13射到鋁金屬反射面4后，反射回激光器16的接收器，運動無物體信號被激光器16識別；當(dāng)有靶電極帶動的激光吸收標簽5通過防污狹縫缺口 18時，激光束被吸收標簽5吸收，使得激光束無法返回激光器16的接收器，運動物體信號被激光器16識別。在實際應(yīng)用中，防污狹縫缺口 18的寬度可以為3mm，這樣不僅可保證激光吸收標簽5能夠順利通過和機械強度，而且還可以防止反應(yīng)室中的污染物污染鋁金屬反射面4和玻璃13。本發(fā)明實施例的定位裝置用于濺射臺中，特別是在有污染和高溫的真空環(huán)境下，可以實現(xiàn)高速轉(zhuǎn)動部件的高精度定位，且裝置結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、可操作性強、精度高及維護性好。 以上所述的具體實施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，其特征在于，包括激光反射裝置、密封部件、腔體外玻璃密 封件和密封框架；所述激光反射裝置位于反應(yīng)室內(nèi)，并與所述密封框架的頂端通過螺紋連接；所述密封框架由下向上裝入反應(yīng)室，并通過螺釘與反應(yīng)室固定連接；所述腔體外玻璃密封件與密封框架的底端通過螺紋連接；所述反應(yīng)室與密封框架連接之處設(shè)置有所述密封部件；所述腔體外玻璃密封件與密封框架底端連接之處設(shè)置有所述密封部件和玻璃。
2.如權(quán)利要求I所述的真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，其特征在于，所述密封框架的頂端和底端具有外螺紋，所述密封框架的一側(cè)設(shè)置有防污狹縫缺口。
3.如權(quán)利要求I所述的真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，其特征在于，所述激光反射裝置具有內(nèi)螺紋。
4.如權(quán)利要求3所述的真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，其特征在于，所述激光反射裝置內(nèi)部設(shè)置有金屬反射面。
5.如權(quán)利要求4所述的真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，其特征在于，所述金屬反射面為鋁金屬反射面。
6.如權(quán)利要求I所述的真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，其特征在于，所述腔體外玻璃密封件的中心設(shè)置有通孔，所述腔體外玻璃密封件具有內(nèi)螺紋。
7.如權(quán)利要求I所述的真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，其特征在于，所述密封部件為 “O”型密封圈。
8.如權(quán)利要求I所述的真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，其特征在于，所述密封框架由金屬鋁制作而成，并且具有雙密封法蘭接口。
9.如權(quán)利要求8所述的真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，其特征在于，所述雙密封法蘭接口上分別設(shè)置有燕尾式密封槽。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動部件的定位裝置，屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域。所述裝置包括激光反射裝置、密封部件、腔體外玻璃密封件和密封框架；激光反射裝置位于反應(yīng)室內(nèi)，并與密封框架的頂端通過螺紋連接；密封框架由下向上裝入反應(yīng)室，并通過螺釘與反應(yīng)室固定連接；腔體外玻璃密封件與密封框架的底端通過螺紋連接；反應(yīng)室與密封框架連接之處設(shè)置有密封部件；腔體外玻璃密封件與密封框架底端連接之處設(shè)置有密封部件和玻璃。本發(fā)明的定位裝置用于濺射臺中，特別是在有污染和高溫的真空環(huán)境下，可以實現(xiàn)高速轉(zhuǎn)動部件的高精度定位，且裝置結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、可操作性強、精度高及維護性好。
文檔編號H01J37/244GK102881547SQ201210390288
公開日2013年1月16日 申請日期2012年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月15日
發(fā)明者王佳, 劉訓(xùn)春, 席峰, 夏洋 申請人:中國科學(xué)院微電子研究所, 北京泰龍電子技術(shù)有限公司