專利名稱：開放式微焦點(diǎn)x射線管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種無損檢測(cè)使用的微焦點(diǎn)X射線管，具體說是涉及一種維修方便，可更換內(nèi)部零部件的開放式微焦點(diǎn)X射線管。
背景技術(shù)：
微焦點(diǎn)X射線管是X射線檢測(cè)中使用的X射線管的一種，其主要應(yīng)用在半導(dǎo)體BGA、線路板等內(nèi)部位移的分析，利于判別空焊、虛焊等BGA焊接缺陷，微電子系統(tǒng)和膠封元件、電纜、裝具和塑料件內(nèi)部情況分析等。目前國內(nèi)市場(chǎng)的微焦點(diǎn)X射線管為封閉式微焦點(diǎn)X射線管，這種封閉式微焦點(diǎn)X射線管的特點(diǎn)是體積小，將陰極燈絲、電子集束筒、陽極靶等一起密封在一個(gè)真空殼體中。這種結(jié)構(gòu)的X射線管中的燈絲或陽極靶一旦損壞，無法維修，整個(gè)X射線管就得報(bào)廢，造成的經(jīng)濟(jì)損失很大。隨著我國半導(dǎo)體行業(yè)及電子行業(yè)的迅猛發(fā)·展，封閉式微焦點(diǎn)X射線管的不可修復(fù)性已滿足不了市場(chǎng)的需求。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有封閉式微焦點(diǎn)X射線管維修難，不易更換零部件的問題，本發(fā)明提供一種易維修、能快速更換零部件的開放式微焦點(diǎn)X射線管。解決上述技術(shù)問題所采取的具體技術(shù)措施是
一種開放式微焦點(diǎn)X射線管，其特征是由靶罩I、陽極靶2、頂蓋3、電束軌跡管4、線圈5、冷卻水塊6、蝴蝶扣裝置7、頂蓋底座8、上蓋9、彈簧螺釘10、管體11、真空裝置12、燈絲罩頂蓋13、燈絲14、燈絲罩15和電纜套裝置16組成，陽極靶2被靶罩I固定在電束軌跡管4上，電束軌跡管4穿過線圈5和冷卻水塊6被固定在頂蓋3上，頂蓋3固定在頂蓋底座8上，冷卻水塊6固定在線圈5上，頂蓋底座8固定在上蓋9上，上蓋9的一端連接在蝴蝶扣裝置7上，另一端用彈簧螺釘10固定在管體11上，管體11上還固定有真空裝置12，燈絲14安裝在燈絲罩15內(nèi)，在燈絲14的上方固定燈絲罩頂蓋13，燈絲罩15固定在電纜套裝置16上，電纜套裝置16通過法蘭固定在管體11上。本發(fā)明的有益效果X射線管中的燈絲、陽極靶等易損耗件很容易拆卸，任何人都可操作，維修非常方便，大大節(jié)約了成本，克服了封閉式微焦點(diǎn)X射線管不可修復(fù)的弊端，延長了 X射線管的使用壽命。


圖I是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。一種開放式微焦點(diǎn)X射線管，如圖I所示，由靶罩I、陽極靶2、頂蓋3、電束軌跡管4、線圈5、冷卻水塊6、蝴蝶扣裝置7、頂蓋底座8、上蓋9、彈簧螺釘10、管體11、真空裝置12、燈絲罩頂蓋13、燈絲14、燈絲罩15和電纜套裝置16組成，陽極靶2被靶罩I用螺紋固定在電束軌跡管4上，電束軌跡管4穿過線圈5和冷卻水塊6用四個(gè)M4沉頭螺釘固定在頂蓋3上，頂蓋3用用六個(gè)沉頭螺釘固定在頂蓋底座8上，冷卻水塊6固定在線圈5上，在冷卻水塊6中裝著密封的流動(dòng)水，將產(chǎn)生的熱能傳導(dǎo)出去。頂蓋底座8固定在上蓋9上，上蓋9的一端連接在蝴蝶扣裝置7上，另一端用彈簧螺釘10固定在管體11上，這個(gè)蝴蝶扣裝置7起著合頁的作用，將彈簧螺釘10擰開，就可以打開上蓋，并在相應(yīng)的位置固定住。管體11上還固定有真空裝置12，通過真空裝置12可以使管體11始終保持在高真空的狀態(tài)中。燈絲14裝在燈絲罩15內(nèi)，在燈絲14的上方固定燈絲罩頂蓋13，打開上蓋9后，就可以對(duì)各個(gè)零部件進(jìn)行拆卸。燈絲罩15用螺釘固定在電纜套裝置16上，電纜套裝置16通過法蘭用螺釘固定在管體11上，這樣管體11內(nèi)就形成了一個(gè)密閉的空間，通過真空泵不斷的工作，就可以使這個(gè)空間達(dá)到并保持高真空狀態(tài)，此時(shí)，燈絲發(fā)射足夠多的電子，這些電子通過電束軌跡管4，再由線圈5聚焦，撞擊在陽極靶2上，其中一部分就轉(zhuǎn)換成X射線，這種X射線焦點(diǎn)很小，適合檢測(cè)微小的缺陷。整個(gè)射線管是用螺釘來連接的，用密封圈進(jìn)行高真空密封和水密封，因此，所有的零部件都可進(jìn)行拆卸，一旦其中的燈絲、陽極靶等零部件損壞，可以方便 的打開，對(duì)各個(gè)部件都可以方便地進(jìn)行維修和更換。
權(quán)利要求
1.一種開放式微焦點(diǎn)X射線管，其特征是由靶罩(I)、陽極靶(2)、頂蓋(3)、電束軌跡管(4)、線圈(5)、冷卻水塊(6)、蝴蝶扣裝置(7)、頂蓋底座(8)、上蓋(9)、彈簧螺釘(10)、管體(11)、真空裝置(12)、燈絲罩頂蓋(13)、燈絲(14)、燈絲罩(15)和電纜套裝置(16)組成，陽極靶(2 )被靶罩(I)固定在電束軌跡管(4)上，電束軌跡管(4)穿過線圈(5 )和冷卻水塊(6)被固定在頂蓋(3)上，頂蓋(3)固定在頂蓋底座(8)上，冷卻水塊(6)固定在線圈(5)上，頂蓋底座(8)固定在上蓋(9)上，上蓋(9)的一端連接在蝴蝶扣裝置(7 )上，另一端用彈簧螺釘(10)固定在管體(11)上，管體(11)上還固定有真空裝置(12)，燈絲(14)安裝在燈絲罩(15)內(nèi)，在燈絲(14)的上方固定燈絲罩頂蓋(13)，燈絲罩(15)固定在電纜套裝置(16)上，電纜套裝置(16)通過法蘭固定在管體(11)上。
全文摘要
一種開放式的微焦點(diǎn)X射線管，陽極靶被固定在電束軌跡管上，電束軌跡管穿過線圈和冷卻水塊被固定在頂蓋上，頂蓋固定在頂蓋底座上，冷卻水塊固定在線圈上，頂蓋底座固定在上蓋上，上蓋的一端連接在蝴蝶扣裝置上，另一端固定在管體上，管體上還固定有真空裝置，燈絲安裝在燈絲罩內(nèi)，在燈絲的上方固定燈絲罩頂蓋，燈絲罩固定在電纜套裝置上，電纜套裝置固定在管體上。本發(fā)明整體是用螺釘來連接的，用密封圈進(jìn)行高真空密封和水密封，可以方便的打開，對(duì)其中的燈絲、陽極靶等各個(gè)部件都可以進(jìn)行維修，克服了封閉式微焦點(diǎn)X射線管的燈絲、陽極靶等各部件都密封在一個(gè)殼體內(nèi)不能進(jìn)行維修的弊端。
文檔編號(hào)H01J35/08GK102891059SQ20121042389
公開日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月31日
發(fā)明者姜盛杰, 張晶 申請(qǐng)人:丹東奧龍射線儀器有限公司