專利名稱：電場發(fā)射型x射線產(chǎn)生裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使用了電場發(fā)射型冷陰極元件的X射線產(chǎn)生裝置。
背景技術(shù)：
使用了電場發(fā)射型冷陰極元件的X射線管(以下，稱為“電場發(fā)射型X射線管”)能進行在常溫下的電子發(fā)射，即使發(fā)熱量少且小型，高性能化也容易實現(xiàn)。因而，被期待作為代替以往的燈絲(filament)方式(將加熱后的燈絲作為電子發(fā)射源使用)的X射線管的高輸出光源。但是，作為電子源的電子發(fā)射元件(冷陰極元件)的電子發(fā)射量有在工作電壓以上的范圍中伴隨著施加電壓上升而呈指數(shù)函數(shù)增加的趨勢。例如，當在施加工作電壓-13.5kV時產(chǎn)生300 μ A的管電流(在X射線管內(nèi)部從冷陰極元件到接地靶(target)電極之間流過的電流)的X射線管中,施加比上述工作電壓高的-14.5kV的電壓時，管電流變成3000 μ Α，管電流激增為十倍。像這樣的急劇的電流的增力口，變得容易在管內(nèi)引發(fā)局部的放電現(xiàn)象，該放電現(xiàn)象會引起作為電子發(fā)射源的冷陰極元件以及靶的破損、管內(nèi)的真空程度的劣化等。其結(jié)果是，導(dǎo)致在額定電壓范圍下的X射線輸出的降低，即，導(dǎo)致壽命的縮短。在發(fā)明者們的見解中，作為成為異常放電的原因的管電壓變動的主要原因，可舉出起因于積蓄在容納有冷陰極元件的玻璃管內(nèi)壁面的電荷的放電。對此結(jié)合圖6進行詳述。以往的電場發(fā)射型X射線管101具有接地、上表面開口了的框體102。在該框體102內(nèi)，經(jīng)由絕緣體103支承玻璃管104的一個端部。玻璃管104收容在框體102內(nèi)。在該玻璃管104的絕緣體103側(cè)設(shè)置有冷陰極元件105，在該冷陰極元件105的周圍設(shè)置有圓筒狀的金屬電極106。冷陰極元件105與金屬電極106并聯(lián)連接，從直流電源107向這些電極施加負電壓。在玻璃管104的另一端側(cè)內(nèi)表面形成有由導(dǎo)電性良好的金屬材料構(gòu)成的靶108。在靶108接合有成為接地電位的窗部109，該窗部109露出到外部。窗部109使用具有將在靶108產(chǎn)生的X射線發(fā)射到外部的功能的材料，例如由X射線的透射性優(yōu)越的鈹(beryllium)構(gòu)成。另外,玻璃管104以氣密的方式構(gòu)成,進而在玻璃管104和框體102的上表面端部之間架設(shè)有對框體102的玻璃管104的固定構(gòu)件(以下，稱為“固定構(gòu)件”)110。利用這樣的結(jié)構(gòu)，在框體102和玻璃管104之間形成有空間S。而且，當向冷陰極元件105施加規(guī)定的高壓電壓例如-13.5kV使電場發(fā)射型X射線管101動作時，電子從冷陰極元件105朝向靶108發(fā)射，從窗部109發(fā)射出X射線。此時，因為在冷陰極元件105周邊的同電位的金屬電極106和接地的框體102之間形成電場，所以一部分電子由該電場朝向框體102進行供給。但是，在金屬電極106和框體102之間存在作為絕緣體的玻璃管104，朝向框體102發(fā)射的電子積蓄在該玻璃管104的內(nèi)表面。該電子的積蓄會繼續(xù)到玻璃管104和金屬電極106間的電位差消失為止。換句話說，在變?yōu)橥娢?在該情況下是-13.5kV)的時候，由電子向玻璃管104內(nèi)壁面的積蓄造成的增加將消失，變成平衡狀態(tài)。其結(jié)果是，相對于剛動作之后在冷陰極元件105和框體102之間有-13.5kV的電位差，在動作后的平衡狀態(tài)中會變成在玻璃管104和框體102之間的空氣層S產(chǎn)生-13.5kV的電位差，產(chǎn)生局部的放電的風險變高。特別是，玻璃管104的下端部A周邊更容易發(fā)生電場集中，容易變成放電產(chǎn)生的起點。當發(fā)生該放電時，在周邊伴隨著急劇的電場的變化，也會影響到對冷陰極元件105的施加電壓，使其變化。在該施加電壓的變化成為原因，特別是施加電壓增加(作為絕對電壓，例如-13.5kV增加到-14kV)了的情況下，電子發(fā)射量急劇增力口，由于該過電流導(dǎo)致冷陰極元件105的電子發(fā)射面的損傷，成為壽命劣化的較大的原因。關(guān)于這一點，提出了在采用以往的熱電子方式作為電子源的X射線管的內(nèi)部，在絕緣構(gòu)件的外表面粘著具有高電阻值的電阻膜的方案(專利文獻I)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻 專利文獻
專利文獻1:日本特開2009-245806公報。但是，在專利文獻I記載的現(xiàn)有技術(shù)中將在X射線管內(nèi)部的放電作為問題，關(guān)于對如上述那樣的在框體102和玻璃管104之間產(chǎn)生的放電如何進行應(yīng)對則不清楚。此外，上述現(xiàn)有技術(shù)對電阻膜的電阻值有所限制，限于具有比X射線管的導(dǎo)電部高且比絕緣部低的電阻值的電阻膜，在這一方面不能說是有通用性的電阻膜。此外，如果進一步說，在上述現(xiàn)有技術(shù)中不僅對于關(guān)于放電現(xiàn)象是如何產(chǎn)生的沒有說明，而且對于利用電阻膜涂敷為何能防止放電也沒有說明。因此，不能理解對策的具體的效果，關(guān)于對上述的在玻璃管104和框體102之間產(chǎn)生的局部的放電現(xiàn)象應(yīng)如何進行應(yīng)用或者在進行了應(yīng)用的情況下的效果，也完全沒有啟示。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的方面而做成的，其目的在于，在使用了電場發(fā)射型冷陰極元件的X射線產(chǎn)生裝置中，不用涂敷這樣的高電阻膜，就可防止收容有冷陰極元件的玻璃管和位于其外側(cè)的框體間的微小放電，與以往相比，延長冷陰極元件、X射線產(chǎn)生裝置的壽命，實現(xiàn)穩(wěn)定的工作。為了達成所述目的，本發(fā)明是，一種電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置，在接地的框體內(nèi)經(jīng)由絕緣構(gòu)件支承玻璃管的一個端部，在該玻璃管內(nèi)的該一個端部側(cè)以支承等方式設(shè)置有發(fā)射電子的冷陰極元件，在該玻璃管的另一端部側(cè)，即，與所述冷陰極元件相向的一側(cè)，具有由從所述冷陰極元件發(fā)射的電子的照射而產(chǎn)生X射線的靶和將在所述靶產(chǎn)生的X射線發(fā)射到外部的窗部，該電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置的特征在于，所述玻璃管中的至少一個端部周緣表面被絕緣材料所覆蓋。根據(jù)本發(fā)明，由于電場集中而容易成為放電的起點的一個端部周緣表面被絕緣材料所覆蓋，因此能防止在空氣中的電場強度的上升，能抑制電荷的積蓄，能防止如上述那樣的放電的產(chǎn)生。雖然在本發(fā)明中只要至少覆蓋由于電場集中而容易成為放電的起點的玻璃管的冷陰極元件側(cè)的端部周緣表面即可，但是當然也可以覆蓋玻璃管的表面全部。此外，也可以使未被上述絕緣材料覆蓋的上述玻璃管的表面被導(dǎo)體(電導(dǎo)體)所被覆，該導(dǎo)體接地。進而，也可以用導(dǎo)體對像這樣覆蓋了玻璃管的表面的絕緣構(gòu)件的表面進行被覆，并使該導(dǎo)體接地。在這樣的情況下的導(dǎo)體中包含例如由導(dǎo)體制成的網(wǎng)狀物(mesh)、金屬網(wǎng)、導(dǎo)電性線圈、導(dǎo)體膜。關(guān)于上述導(dǎo)體,能提出例如由銀衆(zhòng)、鎳衆(zhòng)(nickel paste)、金衆(zhòng)、鈕衆(zhòng)(palladiumpaste)、或者碳糊(carbon paste)的任一種,或者它們的組合制成的導(dǎo)體膜。根據(jù)本發(fā)明，不用涂敷高電阻膜，就能防止收容有冷陰極元件的玻璃管和位于其外側(cè)的框體間的放電，與以往相比，能延長冷陰極元件、X射線產(chǎn)生裝置的壽命，能實現(xiàn)穩(wěn)定的工作。


圖1是對示出實施方式的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置的結(jié)構(gòu)的概略的側(cè)面截面示意性地進行示出的說明圖。圖2是示意性地示出在圖1的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置中用導(dǎo)體對絕緣材料的表面進行被覆的例子的側(cè)面截面的說明圖。圖3是示意性地示出用絕緣材料覆蓋玻璃管的周面全部并用導(dǎo)體對該絕緣材料的表面進行被覆的例子的側(cè)面截面的說明圖。圖4是示意性地示出在圖1的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置中用導(dǎo)體對未被絕緣體覆蓋的玻璃管表面進行被覆的例子的側(cè)面截面的說明圖。圖5是示出實施方式的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置和現(xiàn)有技術(shù)的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置中的管電流的隨時間變化的圖表。圖6是對示出現(xiàn)有技術(shù)的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置的結(jié)構(gòu)的概略的側(cè)面截面示意性地進行示出的說明圖。
具體實施例方式以下，對本發(fā)明的實施方式進行說明。圖1示出了實施方式的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置I的結(jié)構(gòu)的概略，電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置I在接地、上表面開口 了的大致立方體的框體2內(nèi)，經(jīng)由絕緣材料3支承玻璃管4的一個端部，玻璃管4收容在框體2內(nèi)。絕緣材料3設(shè)置在玻璃管4的下端部4a和框體2的底面部2a之間，進而，該絕緣材料3覆蓋玻璃管4的下端部4a的周緣部4b，并直到玻璃管4的側(cè)面的中間左右，覆蓋其周圍。另外，關(guān)于用絕緣材料3覆蓋的范圍，在發(fā)明者們的見解中，只要從玻璃管4的下端部4a開始朝向上端部覆蓋至少3mm的范圍，就能達成預(yù)期的目的。絕緣材料3的材質(zhì)例如包括娃酮橡膠(silicone rubber)。在該玻璃管4的絕緣材料3側(cè)設(shè)置有冷陰極元件5，在該冷陰極元件5的周圍設(shè)置有圓筒狀的金屬電極6。冷陰極元件5和金屬電極6并聯(lián)連接，從直流電源7經(jīng)由高壓電纜向這些電極施加負電壓。高壓電纜對絕緣材料3的貫通部為玻璃管4的下端部4a側(cè)。在玻璃管4的上端部內(nèi)表面形成有由鎢(tungsten)、銅等導(dǎo)電性良好的金屬材料構(gòu)成的靶8。在靶8接合有成為接地電位的窗部9，該窗部9露出到外部。窗部9使用具有將在靶8產(chǎn)生的X射線發(fā)射到外部的功能的材料構(gòu)成，例如由X射線的透射性優(yōu)越的鈹構(gòu)成。玻璃管4以氣密的方式構(gòu)成,在玻璃管4和框體2的上表面端部之間設(shè)置有固定構(gòu)件10。利用這樣的結(jié)構(gòu)，在框體2和玻璃管4之間形成有空間S。
實施方式的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置I具有以上的結(jié)構(gòu)，當向冷陰極元件5施加規(guī)定的高壓電壓例如-13.5kV時，電子從冷陰極元件5朝向靶8發(fā)射，在靶8處由電子的沖擊生成X射線，從窗部9發(fā)射出X射線。此時，因為在冷陰極元件5周邊的同電位的金屬電極6和接地的框體2之間依然形成電場，所以一部分電子由該電場朝向框體2供給，如前文所述的那樣，電子積蓄在玻璃管4的內(nèi)表面。但是，因為在本實施方式中，以往電場集中、容易產(chǎn)生放電的玻璃管4的下端部4a的周緣部4b也被絕緣材料3所覆蓋，所以能使強的電場部分形成在該絕緣材料3，能削減周緣部4b成為在空間S中的放電的起點的風險。因此，能防止起因于放電的冷陰極元件5的損傷、劣化，與以往相比，能延長X射線產(chǎn)生裝置I自身的壽命，而且能實現(xiàn)穩(wěn)定的工作。另外，從避免電場集中的意義考慮，優(yōu)選覆蓋至玻璃管4的側(cè)面的中間左右的絕緣材料3的端部3a，如圖1所示那樣做成向外凸出彎曲的形狀。雖然在上述實施方式中，用絕緣材料3覆蓋玻璃管4的下端部4a的周緣部4b，直到玻璃管4的側(cè)面的中間左右，覆蓋其周圍，抑制了放電的產(chǎn)生，但是也可以如圖2所示，在像這樣形成了絕緣材料3之后，進而用導(dǎo)體21對該絕緣材料3的表面進行被覆(cover)。導(dǎo)體21接地。在接地時，只要與已經(jīng)接地的框體2進行電連接即可。由此，感應(yīng)出與積蓄在玻璃管4的壁面內(nèi)的電子相反極性的正電荷(感應(yīng)電荷)，利用該感應(yīng)電荷能使形成在外部的強的電場減少至大致接近零。其結(jié)果是，能可靠地防止前文所述的放電現(xiàn)象。另一方面，雖然在玻璃管4壁面，在內(nèi)表面和外表面產(chǎn)生-13kV的電位差，但是I 2mm厚度左右的玻璃原材料的放電擊穿電壓是20 30kV/mm左右，通過做成Imm以上的玻璃壁，從而能可靠地防止由于本電位差造成的放電。作為導(dǎo)體21，例如能使用導(dǎo)電性材料，例如由金屬制成的網(wǎng)狀物、金屬網(wǎng)、導(dǎo)電性線圈。其材質(zhì)以及厚度不特別限定，只要是具有通過接地從而能迅速地形成感應(yīng)電荷的性能的條件即可。此外，即使不是均勻(平坦)的膜也可以，可以是像金屬網(wǎng)那樣的導(dǎo)體，此外，也可以是僅以規(guī)定的間隔纏繞了導(dǎo)電線后的導(dǎo)體。在這樣的情況下，優(yōu)選使與相鄰的導(dǎo)電線的距離為2mm以下。這是因為，當該距離過長時，在與框體2之間形成的電場會慢慢地變聞。從這樣的方面考慮，作為導(dǎo)體21，優(yōu)選代替前文所述的金屬網(wǎng)等，利用由銀漿、鎳漿、金漿、鈀漿、或者碳糊的任一種，或者它們的組合制成的導(dǎo)體膜進行的涂覆。進而，用導(dǎo)體21進行被覆的不只是絕緣材料3的表面，還可以將其區(qū)域擴大至未被絕緣材料3覆蓋的玻璃管4的表面。進而此外，如圖3所示，玻璃管4的下端部4a的周緣部4b自不必說，還可以將絕緣材料3覆蓋的區(qū)域擴展到玻璃管4的整個側(cè)面周圍。由此，也可以使玻璃管4的壁面在空間S內(nèi)露出的部分為零(zero)，使玻璃管4表面的絕緣破壞強度整體提升。此外，在這樣的情況下，也可以用導(dǎo)體21對像這樣擴大了被覆區(qū)域的絕緣材料3的表面進行被覆，并使該導(dǎo)體21接地。由此，能使玻璃管4和框體2間的放電為零，而且能使玻璃管4自身的強度提升。雖然如前文所述的那樣，通過用絕緣材料3覆蓋玻璃管4的下端部4a的周緣部4b，從而能削減周緣部4b成為在空間S中的放電的起點的風險，能防止起因于放電的冷陰極元件5的損傷、劣化，以及與以往相比，能延長X射線產(chǎn)生裝置I自身的壽命，但是也可以用導(dǎo)體21對玻璃管4中的未被絕緣材料3覆蓋的部分進行被覆。圖4示出了這樣的結(jié)構(gòu)的X射線產(chǎn)生裝置1，在該例子中，相對于圖1所示的例子，用上述的導(dǎo)體21對玻璃管4中的未被絕緣材料3覆蓋的部分進行被覆，并將該導(dǎo)體21接地。另外，當導(dǎo)體21和絕緣材料3之間的邊界部分位于玻璃管4的表面時，用導(dǎo)體21進行被覆的部分有在該部分導(dǎo)致電場集中的危險。因此，優(yōu)選使導(dǎo)體21和絕緣材料3之間的邊界部分不位于玻璃管4的表面，而是位于如圖4所示那樣的絕緣材料3的表面部分。S卩，優(yōu)選是，用導(dǎo)體21進行被覆的部分是玻璃管4中的未被絕緣材料3覆蓋的部分、以及絕緣材料3的端部3a全周且不與玻璃管4的表面相接的部分。另外，因為框體2已經(jīng)接地，所以例如只要將該導(dǎo)體21經(jīng)由窗部9與框體2進行電連接即可。通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，從而與圖1所示的例子相比，能更加可靠地防止起因于放電的冷陰極元件5的損傷、劣化，與以往相比，能延長X射線產(chǎn)生裝置I自身的壽命。進而，通過像這樣用導(dǎo)體21對玻璃管4中的未被絕緣材料3覆蓋的部分進行被覆，從而能將玻璃管4的熱通過導(dǎo)體21釋放到外部，能抑制玻璃管4以及其內(nèi)部蓄熱的情況。因此，從這樣的方面考慮，也能延長玻璃管4以及玻璃管4內(nèi)部的冷陰極元件5等的壽命。此外，在使用立方體或者水平截面為正方形的框體作為框體2的情況下，框體2和圓筒形的玻璃管4的表面之間的距離是不均勻的。即，框體2的側(cè)面中央和玻璃管4的表面之間的距離變得最短，變得容易在該部分引起絕緣破壞、容易產(chǎn)生放電。因此，在使用水平截面為正方形的框體作為框體2的情況下，為了防止在該部分產(chǎn)生放電，優(yōu)選用導(dǎo)體21對玻璃管4的周面進行被覆。進而此外，在玻璃管4的下端部周緣沒有引起電場集中那樣的凸部的情況下，在上述的框體2的側(cè)面中央和玻璃管4的表面之間的距離最短的部分產(chǎn)生放電的可能性高。在像這樣的情況下，也可以不用絕緣材料3覆蓋玻璃管4的下端部4a的周緣部4b，而用導(dǎo)體21對玻璃管4的周面整體進行被覆，并使該導(dǎo)體21接地。接著，對制作各兩臺圖2所示的實施方式的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置I和圖6所示的以往的X射線管，并同時實施了這四臺的連續(xù)點亮試驗的結(jié)果進行說明。在該試驗中使用的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置I中，使用由銀漿制成的導(dǎo)電膜作為導(dǎo)體21，將其厚度做成大約20 μ m。在本試驗中，大約每隔十分鐘進行預(yù)測為成為本技術(shù)課題的現(xiàn)象產(chǎn)生的概率會變更高的開啟(ON) —關(guān)閉(OFF)(大約I分鐘)一開啟(ON)動作。將對各冷陰極元件5、105的額定施加電壓設(shè)為更高的電位_14kV，以便能更加明確地評價本發(fā)明的有效性。此外，著眼于由于產(chǎn)生微小放電而導(dǎo)致冷陰極元件5、105的電子發(fā)射特性有劣化的趨勢的方面，采用連續(xù)地觀測電子電流的方法，作為觀測微小放電現(xiàn)象的方式。在圖5中示出實施150小時這樣的試驗后的結(jié)果。在圖5中，X1、X2分別示出兩臺實施方式的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置I的結(jié)果，Y1、Y2分別示出兩臺以往的X射線管的結(jié)果。據(jù)此，雖然初始的管電流與490 500 μ A存在若干偏差(變動，variation)，但是當比較各自的管電流的變化時，可確認到明確的差異。即，對于實施方式的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置1，兩臺都是管電流在150小時幾乎沒有變化，非常穩(wěn)定。另一方面，對于以往的X射線管，兩臺都在多處可見急劇的降低，相對于初始電流，Yl降低大約30μΑ，在Y2的情況下，竟然降低大約60 μ A，冷陰極元件105的電子發(fā)射性能的劣化明顯。另外，在以往的X射線管中，可見的各個5 6處的急劇的降低，推測是起因于上述局部的放電現(xiàn)象的劣化。此外，降低幅度示出次數(shù)越重復(fù)、變得越大的趨勢。另外，對于在試驗中使用的實施方式的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置的X1、X2，確認到此后也使其繼續(xù)點亮，能維持3000小時穩(wěn)定的輸出。產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明在使用電場發(fā)射型冷陰極元件的X射線產(chǎn)生裝置中有用。附圖標記的說明
I電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置；2框體；2a底面部；3絕緣材料；4玻璃管；4a下端部；4b周緣部；5冷陰極元件；6金屬電極；7直流電源；8靶；9窗部；10固定構(gòu)件；21導(dǎo)體；S空間。
權(quán)利要求
1.一種電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置，在接地的框體內(nèi)經(jīng)由絕緣構(gòu)件支承玻璃管的一個端部，在該玻璃管內(nèi)的該一個端部側(cè)設(shè)置有發(fā)射電子的冷陰極元件，在該玻璃管的另一端部側(cè)具有由從所述冷陰極元件發(fā)射的電子的照射而產(chǎn)生X射線的靶和將在所述靶產(chǎn)生的X射線發(fā)射到外部的窗部，其中， 所述玻璃管中的至少一個端部周緣表面被絕緣材料所覆蓋。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置，其中， 未被所述絕緣材料覆蓋的所述玻璃管的表面以及所述絕緣材料的端部用導(dǎo)體進行被覆，該導(dǎo)體接地。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置，其中， 所述絕緣材料的表面用導(dǎo)體進行被覆，該導(dǎo)體接地。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置，其中， 所述絕緣材料的表面用導(dǎo)體進行被覆，該導(dǎo)體接地。
5.根據(jù)權(quán)利要求2、3或者4的任一項所述的電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置，其中， 所述導(dǎo)體是由銀漿、鎳漿、金漿、鈀漿、或者碳糊的任一種，或者它們的組合制成的導(dǎo)體膜。
全文摘要
本發(fā)明涉及電場發(fā)射型X射線產(chǎn)生裝置。在使用電場發(fā)射型冷陰極元件的X射線產(chǎn)生裝置中，防止收容有冷陰極元件的玻璃管和位于其外側(cè)的框體間的放電，與以往相比，延長冷陰極元件、X射線產(chǎn)生裝置的壽命，實現(xiàn)穩(wěn)定的工作?？蝮w(2)接地。通過來自直流電源(7)的電壓的施加而發(fā)射電子的冷陰極元件(5)收容在玻璃管(4)內(nèi)，玻璃管(4)的下端部(4a)在框體(2)內(nèi)被絕緣材料(3)支承。在玻璃管(4)的上端部側(cè)設(shè)置有靶(8)和將在靶(8)產(chǎn)生的X射線發(fā)射到外部的窗部(9)。玻璃管(4)中的下端部(4a)的周緣部(4b)被絕緣材料(3)所覆蓋，絕緣材料(3)的表面用接地的導(dǎo)體(21)進行被覆。
文檔編號H01J35/00GK103137400SQ201210501939
公開日2013年6月5日 申請日期2012年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月30日
發(fā)明者稻葉仁, 鬼塚好弘, 中村智宣, 定塚淳生, 小池高壽 申請人:高砂熱學工業(yè)株式會社, 株式會社鬼塚硝子