專利名稱：粒子束系統(tǒng)及其運行方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種帶電粒子束系統(tǒng)及運行帶電粒子束系統(tǒng)的方法。本發(fā)明特別涉及使用帶電粒子系統(tǒng)執(zhí)行線掃描(line scans)。
背景技術(shù)：
通常的帶電粒子束系統(tǒng)包括束源和將帶電粒子束引導(dǎo)至物體上的聚焦透鏡、用于熄滅和不熄滅束的束熄滅器 以及用于在物體上掃描束的束偏轉(zhuǎn)器。帶電粒子束系統(tǒng)可進一步包括用于檢測帶電粒子和/或由于入射束而自物體出現(xiàn)的輻射。使用檢測器，可通過在物體上掃描束以及將檢測的粒子強度與對應(yīng)的掃描位置相關(guān)聯(lián)來產(chǎn)生物體的圖像。在物體上的束的掃描典型地包括執(zhí)行多個線掃描，其中物體上的束的入射位置沿著直線路徑連續(xù)移動。線掃描典型地由觸發(fā)信號發(fā)起，通過提供可調(diào)延遲電路于各自的控制束偏轉(zhuǎn)器的電子電路、束熄滅器和數(shù)據(jù)采集中來相對于觸發(fā)信號分別地電子控制其他的諸如開始掃描偏轉(zhuǎn)、結(jié)束掃描偏轉(zhuǎn)、不熄滅束、熄滅(blank)束、開始數(shù)據(jù)采集和停止數(shù)據(jù)采集等必要動作。也可使用其它帶電粒子系統(tǒng)，用于例如通過偏轉(zhuǎn)束到將被寫入的圖案特征的位置中而在物體上寫入圖案，熄滅束，并進ー步偏轉(zhuǎn)束，使得其在圖案特征中的其他位置入射。

發(fā)明內(nèi)容
已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，對執(zhí)行這些運行是必需的多個電子延遲電路的調(diào)整是冗長的，缺乏再現(xiàn)性，并且不靈活。當考慮了上述問題吋，作出了本發(fā)明。根據(jù)本發(fā)明的實施例，一種運行粒子束系統(tǒng)的方法包括數(shù)字地控制粒子束系統(tǒng)的第一數(shù)字控制模塊和粒子束系統(tǒng)的第二數(shù)字控制模塊；發(fā)送數(shù)字命令數(shù)據(jù)至第一和第二數(shù)字控制模塊，其中數(shù)字命令數(shù)據(jù)至少包括用于第一數(shù)字控制模塊的第一命令和用于第二數(shù)字控制模塊的第二命令，其中基于表示第一命令將由第一數(shù)字控制模塊執(zhí)行的時間的信息、以及基于表示第二命令將由第二數(shù)字控制模塊執(zhí)行的時間的信息而產(chǎn)生數(shù)字命令數(shù)據(jù)。特別地，第一和第二數(shù)字控制模塊可為束偏轉(zhuǎn)器和束熄滅器、第一和第二束偏轉(zhuǎn)器、束偏轉(zhuǎn)器和信號檢測器、以及束熄滅器和信號檢測器中的任ー個。根據(jù)ー些實施例，ー種運行帶電粒子束系統(tǒng)的方法包括確定至少ー個偏轉(zhuǎn)量和至少ー個偏轉(zhuǎn)時間；產(chǎn)生第一數(shù)字命令，其表示用于連接至粒子束系統(tǒng)的數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的粒子束系統(tǒng)的束偏轉(zhuǎn)模塊以提供至少ー個對應(yīng)于偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)給帶電粒子束的指令；以及為了執(zhí)行指示的操作，即在偏轉(zhuǎn)時間提供對應(yīng)于偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)，發(fā)送數(shù)字命令至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)，使得束偏轉(zhuǎn)模塊可接收數(shù)字命令。該方法可進ー步包括確定束不熄滅時間和束熄滅時間；產(chǎn)生第二數(shù)字命令數(shù)據(jù)，其指示帶電粒子系統(tǒng)的連接至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的束熄滅模塊，以在束不熄滅時間不熄滅帶電粒子束，并且在束熄滅時間熄滅帶電粒子束；以及為了執(zhí)行指示的操作，發(fā)送第二數(shù)字命令數(shù)據(jù)至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)，使得束熄滅模塊可接收該數(shù)字命令數(shù)據(jù)。根據(jù)特定的實施例，該方法可進ー步包括產(chǎn)生包括多個數(shù)據(jù)記錄的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其中每ー個數(shù)據(jù)記錄包括表示用于束偏轉(zhuǎn)模塊和束熄滅模塊的至少ー個的指令的命令、以及表示將指令發(fā)送至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的時間的命令時間；按照命令時間將數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的記錄分類；以及發(fā)送ー組數(shù)字命令，該數(shù)字命令以與分類的記錄的順序?qū)?yīng)的順序編碼包括在數(shù)據(jù)記錄中的命令至網(wǎng)絡(luò)。根據(jù)ー些實施例,該方法包括確定第一和第二偏轉(zhuǎn)量以及第一和第二偏轉(zhuǎn)時間。例如，第一和第二偏轉(zhuǎn)量和時間可用于指不線掃描，在第一偏轉(zhuǎn)時間使用該第一偏轉(zhuǎn)量開始，在第二偏轉(zhuǎn)時間使用第二偏轉(zhuǎn)量結(jié)束，其中偏轉(zhuǎn)在第一偏轉(zhuǎn)時間和第二偏轉(zhuǎn)時間之間的時間周期內(nèi)連續(xù)地或以離散的步幅(Step)變化。根據(jù)在此的特定實施例，該組的至少ー個數(shù)字命令表示用于束偏轉(zhuǎn)模塊的組合指令，以提供對應(yīng)于第一偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)給束，井隨后提供對應(yīng)于第二偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)給束。該至少ー個數(shù)字命令可包括，例如，表示在第二偏轉(zhuǎn)時間和第一偏轉(zhuǎn)時間之間的時間差的至少一個數(shù)據(jù)元素。此外，該至少ー個數(shù)字命令可包括至少ー個數(shù)據(jù)元素，其表示以下中的至少一個第一束偏轉(zhuǎn)模塊在后續(xù)時間步幅(time step)中改變束的偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)步進尺寸、以及第一束偏轉(zhuǎn)模塊在第一偏轉(zhuǎn)時間和第二偏轉(zhuǎn)時間之間改變束的偏轉(zhuǎn)的步數(shù)。根據(jù)另外的實施例，該方法進ー步包括確定數(shù)據(jù)采集開始時間和數(shù)據(jù)采集停止時間；產(chǎn)生數(shù)字命令，其指示帶電粒子系統(tǒng)的連接至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的數(shù)據(jù)采集模塊，以開始收集表示在采集開始時間檢測 到的粒子強度的數(shù)據(jù)和停止收集表示在采集停止時間檢測到的粒子強度的數(shù)據(jù)；以及發(fā)送這些數(shù)字命令至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)，使得數(shù)據(jù)采集模塊可接收數(shù)字命令，以執(zhí)行指示的操作。然后，所分類的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的一個或多個數(shù)據(jù)記錄可包括表示用于數(shù)據(jù)采集模塊的相應(yīng)指令的命令。在本發(fā)明中的數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)為支持在連接至通信設(shè)備的模塊之間的數(shù)字數(shù)據(jù)傳輸?shù)耐ㄐ旁O(shè)備。該網(wǎng)絡(luò)可配置成具有特定拓撲，比如，點對點，總線，星型和環(huán)型。根據(jù)某些實施例，產(chǎn)生數(shù)字命令數(shù)據(jù)的組，使得該組的至少ー個數(shù)字命令表示用于束偏轉(zhuǎn)模塊以提供對應(yīng)于偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)至束的指令和用于束熄滅模塊以不熄滅束的指令。在這里的示例實施例中，指示不同模塊以改變它們的狀態(tài)的多個數(shù)字命令，比如束偏轉(zhuǎn)模塊改變提供的偏轉(zhuǎn)或束熄滅模塊將熄滅束改變?yōu)椴幌缡€可包括用于其他模塊以保持它們的狀態(tài)的指令。這些后面的指令不影響其他的模塊，但允許有數(shù)字命令的統(tǒng)一形式并易于以廣播類型的協(xié)議分布到連接至網(wǎng)絡(luò)的模塊。通過網(wǎng)絡(luò)發(fā)送的單個數(shù)字命令數(shù)據(jù)可作為ー個數(shù)據(jù)包發(fā)送，或它們可分離以適合多個數(shù)據(jù)包。不管單個命令數(shù)據(jù)是否分離成多個數(shù)據(jù)包，它們可表示成緩沖器或ー組表示一個或多個數(shù)據(jù)元素的多個位。在單個數(shù)字命令數(shù)據(jù)緩沖器中，至少ー個數(shù)據(jù)元素確定將由連接至網(wǎng)絡(luò)的尋址模塊執(zhí)行的命令。例如，數(shù)據(jù)元素可以表示命令“不熄滅束”或“熄滅束”，用于由束熄滅器執(zhí)行，或“開始掃描”或“停止掃描”，用于由束偏轉(zhuǎn)器執(zhí)行。數(shù)字命令數(shù)據(jù)可進一歩包括一個或更多的數(shù)據(jù)元素，其表示為特定命令的執(zhí)行提供附加信息的命令參數(shù)。例如，命令“開始掃描”可伴隨一個或更多的參數(shù)，其表示掃描持續(xù)時間或掃描步數(shù)以及在掃描期間束應(yīng)該保持在相同掃描位置的持續(xù)時間。根據(jù)實施例，本發(fā)明提供ー種粒子束系統(tǒng)，其至少包括第一數(shù)字控制模塊，第二數(shù)字控制模塊，以及配置為產(chǎn)生數(shù)字命令數(shù)據(jù)的編碼模塊，其中數(shù)字命令數(shù)據(jù)至少包括用于第一數(shù)字控制模塊的第一命令和用于第二數(shù)字控制模塊的第二命令，其中基于表示第一命令由第一數(shù)字控制模塊執(zhí)行的時間的信息、并基于表示第二命令由第二數(shù)字控制模塊執(zhí)行的時間的信息而產(chǎn)生數(shù)字命令數(shù)據(jù)。特別地，第一和第二數(shù)字控制模塊可以是束偏轉(zhuǎn)器和束熄滅器、第一和第二束偏轉(zhuǎn)器、束偏轉(zhuǎn)器和信號檢測器、以及束熄滅器和信號檢測器中的任何ー種。根據(jù)示例實施例，ー種粒子束系統(tǒng)包括配置成產(chǎn)生帶電粒子束的帶電粒子束源；數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)；連接至該數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)并配置成熄滅和不熄滅帶電粒子束的束熄滅模塊；配置成將帶電粒子束聚焦在物體上的聚焦透鏡；連接至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)并配置成偏轉(zhuǎn)束的束偏轉(zhuǎn)模塊；計算模塊，其配置成確定偏轉(zhuǎn)時間、束不熄滅時間和束熄滅時間，以產(chǎn)生包括多個數(shù)據(jù)記錄的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其中每ー個數(shù)據(jù)記錄包括表示用于束偏轉(zhuǎn)模塊和束熄滅模塊中的ー個的指令的命令，以及表示將指令發(fā)送至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的時間的命令時間，并且按照命令時間將數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)記錄分類；以及配置成產(chǎn)生ー組數(shù)字命令的編碼模塊，其編碼包括在數(shù)據(jù)記錄中的命令，并以與分類的記錄的順序?qū)?yīng)的順序發(fā)送產(chǎn)生的數(shù)字命令至網(wǎng)絡(luò)。


前述公開的內(nèi)容以及其他有利的特征將從參考附圖的示例實施例的以下詳細描述中變得更為清楚。需注意的是，不是所有可能的實施例必須呈現(xiàn)在此確定的優(yōu)勢的每ー個或任何ー個。圖1為根據(jù)示例實施例的帶電粒子束系統(tǒng)的示意圖；圖2為示出了圖1中示出的系統(tǒng)的控制模塊執(zhí)行線掃描的運行時序的圖；圖3為包括在圖1中示出的系統(tǒng)的運行的執(zhí)行中的控制模塊的示意圖；圖4a和4b為用于圖3中示出的控制模塊之間的通信的命令數(shù)據(jù)的圖示；圖5為根據(jù)進一步的不例實施例的帶電粒子束系統(tǒng)的不意圖；和圖6為圖5中示出的帶電粒子束系統(tǒng)的控制方法的流程圖。
具體實施例方式在下述示例實施例中，功能和結(jié)構(gòu)相似的組件通常由相同的附圖標記指定。因此，為了理解具體實施例的單個組件的特征，可參照其他實施例的描述和發(fā)明內(nèi)容。圖1為粒子束系統(tǒng)的實施例的意圖，該粒子束系統(tǒng)在出的例中為電子顯微鏡。粒子束系統(tǒng)1包括粒子束源3，粒子束源3包括陰極5、抑制電極7和提取電極9，用于產(chǎn)生電子束11。從提取電極9中的一個開ロ出現(xiàn)的電子束11由陽極13加速到預(yù)定動能并通過陽極13中的開ロ進入束管15。電子束可穿過聚光透鏡17、設(shè)置在電子檢測器21中的孔徑19。電子束進ー步穿過物鏡23，用于將電子束11聚焦于在物鏡23的物平面27中的位置25上。使用粒子束系統(tǒng)I檢查或操作的物體29的表面可布置在物平面27中。物鏡23包括布置在環(huán)形極靴(annular pole piece) 33中的環(huán)形線圈31,該環(huán)形極靴33包括環(huán)形上極靴35和環(huán)形下極靴37，使得聚焦電子束11的磁場產(chǎn)生于在兩個極靴35和37之間的環(huán)形間隙中。物鏡進一歩包括終端電極39，其布置成與束管15的下端41隔離開，并具有供電子束11穿過的開ロ。在束管41的下端和終端電極39之間產(chǎn)生的電場使以高動能傳播進入束管15的電子減速至入射到物體29上的期望的較低動能。這個電場可和磁場一起提供附加的聚焦效應(yīng)。粒子束系統(tǒng)I的單個部件由控制器42控制?？刂破髟趫D1中作為功能框圖示出，并包括多個控制模塊，其可以在空間上彼此分開或一起布置在例如殼體中。而且，這些多個控制模塊的ー個或多個可以實現(xiàn)為単獨的電路，和/或其也可以與其它控制模塊或執(zhí)行其它任務(wù)的模塊(諸如為系統(tǒng)I提供用戶接ロ的模塊)一起實現(xiàn)為運行在合適處理器，例如通用處理器(generalpurpose processor)上的軟件模塊?？刂破?2的一個模塊通過連接器43控制束源，用于供應(yīng)加熱電流至陰極5并限定陰極的電勢。通過連接器44控制抑制電極7和提取電極9的電勢。束管15和陽極13的電勢由控制器通過連接器45限定。出于這個目的，控制器42包括穩(wěn)定的高壓源，其提供相對于地的諸如SkV的電壓至連接器45。 由控制器42的束偏轉(zhuǎn)模塊通過連接器48控制的束偏轉(zhuǎn)器47可布置在物鏡23中。束偏轉(zhuǎn)器可以為磁束偏轉(zhuǎn)器，該磁束偏轉(zhuǎn)器可在束管15中提供可調(diào)偏轉(zhuǎn)磁場，以改變電子束11入射到物體29上的位置25，并在物體29的表面27的部分上掃描粒子束11。入射到物體29上的粒子束11導(dǎo)致ニ級電子或后向散射電子從物體29發(fā)射出。這些電子的一部分會進入束管15并可由電子檢測器21檢測到。入射到電子檢測器21上的ニ級電子的示例軌跡在圖1中用附圖標記51標示。入射電子觸發(fā)的檢測信號由電 子檢測器21在連接器53處輸出，并可由控制器42的數(shù)據(jù)采集模塊讀入。粒子束源3優(yōu)選地以固定模式運行，即，一旦其投入運行，粒子束源3在恒定條件下運行數(shù)個小時甚至數(shù)天，使得電子束11連續(xù)地產(chǎn)生。然而，期望不允許電子束11恒定地入射到物體29上并期望可根據(jù)需要開關(guān)該束。出于這個目的，粒子束系統(tǒng)I包括束熄滅器系統(tǒng)55,其包括一對偏轉(zhuǎn)器電極56、57,該偏轉(zhuǎn)器電極56、57可布置在束管15的內(nèi)部,使得該電子束11穿過形成在偏轉(zhuǎn)器電極56、57之間的間隙?？刂破?2包括通過連接器58和59向偏轉(zhuǎn)器電極56、57提供電勢的束熄滅模塊。如果兩個偏轉(zhuǎn)器電極56、57處于相同電勢，束11沿著直線穿過偏轉(zhuǎn)器電極之間的間隙。優(yōu)選地，偏轉(zhuǎn)器電極處于和束管15相同的電勢。如果偏轉(zhuǎn)器56、57處于不同電勢，在兩個偏轉(zhuǎn)器電極之間產(chǎn)生靜電場。這個電場使電子束11偏轉(zhuǎn)，遠離其原始的軌跡。偏轉(zhuǎn)的電子束在圖1中作為虛線11’示出，并入射到布置在束管15中的板61上。板61具有孔徑62，該孔徑62由將入射到物體29的表面27上的未偏轉(zhuǎn)的束11穿過。入射到板61上的電子束11’被吸收，而不能到達物體29的表面27。圖2示出了由控制器42的束偏轉(zhuǎn)模塊、束熄滅模塊和數(shù)據(jù)采集模塊執(zhí)行的動作的時序的圖。在程序中執(zhí)行這些動作以使用在圖1中示出的電子顯微鏡記錄圖像。記錄圖像包括通過沿著線掃描束記錄的圖像信息的多個線和記錄相應(yīng)的檢測到的粒子強度。在圖2中描述的特定動作涉及執(zhí)行ー個這種線掃描。圖(a)表示依賴于時間的供給束偏轉(zhuǎn)器的電流I。為了首先提供與第一偏轉(zhuǎn)量對應(yīng)的偏轉(zhuǎn)，這個電流處于恒定的第一水平101。束掃描開始于時間Tss并停止于時間Tse，使得電流處于不同的恒定的第二水平105，以在時間Tse后提供與第二偏轉(zhuǎn)量對應(yīng)的偏轉(zhuǎn)。在時間Tss和Tse之間，為了連續(xù)改變提供的偏轉(zhuǎn)使得在時間Tss和Tse之間的時間周期中執(zhí)行線掃描，產(chǎn)生連續(xù)增加的電流水平，如由參考數(shù)字106指出的。根據(jù)線101、105和106的電流由束偏轉(zhuǎn)模塊基于接收相應(yīng)命令來產(chǎn)生。將開始掃描的命令發(fā)送給網(wǎng)絡(luò)并由束偏轉(zhuǎn)模塊在時間Tss之前的時間Tcss時接收。時間Tss和Tcss之間的時間差S T對應(yīng)于束偏轉(zhuǎn)模塊的內(nèi)部處理時間。該處理時間S T是預(yù)定的和已知的，使得可適當?shù)剡x擇時間Tcss，這樣束偏轉(zhuǎn)的物理開始發(fā)生在時間Tss吋。類似地，將停止掃描的命令發(fā)送給網(wǎng)絡(luò)，并由束偏轉(zhuǎn)模塊在時間Tcse接收該停止掃描的命令。又一次地，時間Tcse早于時間Tse，其中在時間Tse和時間Tcse之間的時間差S T，說明由束偏轉(zhuǎn)模塊停止掃描所需要的處理時間。這個Tcse之后的處理時間S T可具有與Tcss之后的處理時間S T相同的持續(xù)時間或不同的持續(xù)時間。圖(b)不出了施加至束熄滅器的電極56、57的電壓的時間依賴性。在該不例中，束的不熄滅發(fā)生在時間Tub時，而束的熄滅發(fā)生在時間Tb吋。因為束熄滅模塊需要一些時間以執(zhí)行接收的命令并改變施加到電極的電壓，所以分別在較早的命令時間Tcub和TcbJf相應(yīng)的命令發(fā)送至網(wǎng)絡(luò)并由束熄滅模塊接收該命令。在此，Tub和Tcub之間的時間差STl可長于Tb和Tcb之間的時間差5 T2。熄滅束包括少量地偏轉(zhuǎn)將穿過孔徑62的束，使得其入射到板61上。這可以相當?shù)匮杆?，因為束甚至在將由偏轉(zhuǎn)器56、57提供的束偏轉(zhuǎn)設(shè)定在固定值之前是不熄滅的。另ー方面，不熄滅束包括引導(dǎo)最初入射到板61上的束，使得其在將由偏轉(zhuǎn)器56、57提供的束偏轉(zhuǎn)設(shè)定為固定值后精確穿過孔徑62。這可需要相對更多的時間。S Tl和S T2的示例值可處于ー范圍內(nèi)，比如從50ns至300ns。特別地，S Tl和S T2可具有不同的值。比如，S Tl可長于ST2。根據(jù)ー些實施例，在熄滅時間和不熄滅時間之間的時間差同第二命令時間和第一命令時間之間的時間差相差大于50ns,大于IOOns或大于200ns。在示出的示例中，不熄滅束的時間Tub早于束偏轉(zhuǎn)模塊開始掃描的時間Tss。這是由于粒子需要時間以在束熄滅器的電極56、57和束偏轉(zhuǎn)器的偏轉(zhuǎn)線圈47之間行迸。由于這個行進時間，束熄滅器必須早于束偏轉(zhuǎn)器運行。類似地，束熄滅器熄滅束的時間Tb早于束偏轉(zhuǎn)模塊停止掃描束的時間Tse。圖(c)示出了控制器42的數(shù)據(jù)采集模塊的運行。檢測器21連續(xù)地產(chǎn)生模擬檢測信號，不管是否熄滅或不熄滅或掃描束。為了記錄物體的電子顯微圖像，必須將檢測的粒子強度和記錄時間時束的掃描位置(即物體的位置)關(guān)聯(lián)。出于這個目的，期望收集表示檢測的粒子強度的一序列數(shù)據(jù)值，其中該序列在掃描束位于相應(yīng)開始位置(例如對應(yīng)于左圖像邊緣)時開始，并且該序列在掃描束在不同的位置( 例如對應(yīng)于右圖像邊緣)時停止。數(shù)據(jù)采集的開始和停止必須和束的掃描同步，其中，由于需要時間用于初級粒子從偏轉(zhuǎn)器行進至該物體，并且ニ級粒子需要時間從物體行進到檢測器，所以相對于束偏轉(zhuǎn)延遲數(shù)據(jù)采集。如圖(C)中所示，數(shù)據(jù)采集模塊在晚于束偏轉(zhuǎn)模塊開始掃描的時間Tss的時間Tas開始收集數(shù)字圖像數(shù)據(jù)。類似地，數(shù)據(jù)采集模塊在晚于束偏轉(zhuǎn)模塊停止掃描的時間Tse的時間Tae停止數(shù)據(jù)采集。再次地，因為數(shù)據(jù)采集模塊需要ー些用于執(zhí)行命令的處理時間，所以在早于Tas的時間Teas，將用于指示數(shù)據(jù)采集模塊開始收集數(shù)據(jù)的命令發(fā)送給網(wǎng)絡(luò)，并由數(shù)據(jù)采集模塊接收該命令，以及在早于Tae的時間Tcae，將用于指示數(shù)據(jù)采集模塊停止收集數(shù)據(jù)的命令發(fā)送給網(wǎng)絡(luò)，并由數(shù)據(jù)采集模塊接收該命令。圖(d)示出了上面示出的用于本示例實施例的命令時序Tcub < Tcss < Teas < Tcb < Tcse < Tcae0根據(jù)其他實施例，其他時序也是可以的，比如，依賴于在系統(tǒng)中的粒子行進時間和單獨模塊的處理時間的時序。圖3為用于控制束熄滅器、束偏轉(zhuǎn)器和數(shù)據(jù)采集的控制器42的一部分的示意圖。出于這個目的，控制器42包括基于多個參數(shù)確定時間Tub、TSS、TaS、Tb、Tse、Tae的計算模塊111。一些參數(shù)通過接ロ 113接收，該接ロ 113可以為局域網(wǎng)的接ロ或配置成接收表示將執(zhí)行的任務(wù)的數(shù)據(jù)的鍵盤，這些參數(shù)諸如記錄的圖像的左右邊界、像素速度、圖像分辨率和其他參數(shù)。由模塊111執(zhí)行的計算可占用相當大的處理時間量，并且為了計算相應(yīng)行進時間，考慮諸如動能和帶電粒子速度的表示帶電粒子束系統(tǒng)的物理屬性的其他參數(shù)，以及其他參數(shù)。一旦模塊111完成時間Tub、Tss、Tas, Tb、Tse、Tae的計算，相應(yīng)的較早的命令時間Tcub、Tcss、Teas、Tcb、Tcse、Tcae就可基于各個模塊執(zhí)行命令需要的處理時間而計算出來。將表示Tcub、Tcss、Tcas、Tcb、Tcse、Tc`ae以及附加的命令參數(shù)的數(shù)據(jù)傳輸給命令產(chǎn)生模塊115，模塊115將命令和附加的參數(shù)編碼成適合穿過網(wǎng)絡(luò)117發(fā)送給相應(yīng)模塊的數(shù)字命令數(shù)據(jù)。模塊115還根據(jù)圖2的圖(d)所示的時序?qū)a(chǎn)生的命令數(shù)據(jù)供給網(wǎng)絡(luò)117。出于這個目的，模塊115接收來自時鐘119的時鐘信號。同樣將相同的時鐘信號供給網(wǎng)絡(luò)117的組件和束熄滅器的電極56、57連接的束熄滅模塊121，束偏轉(zhuǎn)器47連接的束偏轉(zhuǎn)模塊123，檢測器21連接的數(shù)據(jù)采集模塊125。將由數(shù)據(jù)采集模塊125收集的數(shù)據(jù)提供給圖像存儲器127。將束熄滅模塊121、束偏轉(zhuǎn)模塊123和數(shù)據(jù)采集模塊125連接至網(wǎng)絡(luò)117，使得它們可接收由模塊115提供的命令。將模塊121、123、125配置成基于從網(wǎng)絡(luò)117接收的命令執(zhí)行相應(yīng)動作。在本圖中，假設(shè)在發(fā)送命令至網(wǎng)絡(luò)和通過各模塊接收命令之間的時間是可忽略的。然而，如果這種假設(shè)在實際中不夠精確，那么在基于時間Tub、Tss、Tas, Tb、Tse、Tae計算時間Tcub、Tcss、Teas、Tcb、Tcse、Tcae時,可考慮命令穿過網(wǎng)絡(luò)行進所必需的時間。圖4a示意地示出了在編碼示例命令的數(shù)據(jù)緩沖器中的數(shù)據(jù)元素的示例的布局。數(shù)據(jù)緩沖器包括具有位于圖4a左側(cè)的低階位的以及具有位于圖4a右側(cè)的高階位的多個n位。第一多個連續(xù)位141表示命令的目的模塊在網(wǎng)絡(luò)內(nèi)的地址。依賴于該網(wǎng)絡(luò)的拓撲，該地址可以省略。例如，具有點對點拓撲的網(wǎng)絡(luò)，將不需要將尋址模塊的地址包括在命令內(nèi)。第二多個連續(xù)位143表示命令。在示出的示例中，該命令為指示束偏轉(zhuǎn)模塊開始掃描的“開始掃描”。第三多個連續(xù)位145形成表示命令參數(shù)的數(shù)據(jù)元素。在示出的示例中，這個命令參數(shù)為掃描的持續(xù)時間并指示束偏轉(zhuǎn)模塊在該持續(xù)時間之后停止掃描。因而，不需要単獨的后續(xù)命令単獨地指示束偏轉(zhuǎn)模塊停止掃描。因此，指示束偏轉(zhuǎn)模塊開始掃描和指示束偏轉(zhuǎn)模塊停止掃描的兩個命令組合成單個組合命令。根據(jù)其他示例，不使用這種組合命令，并且產(chǎn)生単獨的命令以開始和停止掃描，其中表示掃描的持續(xù)時間的數(shù)據(jù)元素不需要包括在命令數(shù)據(jù)中。第四多個連續(xù)位147形成表示其他命令參數(shù)的數(shù)據(jù)元素，該命令參數(shù)為要在開始掃描和停止掃描之間執(zhí)行的掃描步數(shù)。因此，這個參數(shù)決定采用掃描達到的圖像分辨率。圖4b示意的示出了編碼多個命令的數(shù)據(jù)緩沖器中的數(shù)據(jù)元素的另ー個示例布局。數(shù)據(jù)緩沖器包括具有位于圖4b左側(cè)的低階位和位于圖4b右側(cè)的高階位的多個m位。第一多個連續(xù)位149表示用于束熄滅模塊熄滅或不熄滅束的命令。例如，這個命令可由一個單個位來編碼。第二多個連續(xù)位151表示用于數(shù)據(jù)采集模塊收集數(shù)據(jù)或不收集數(shù)據(jù)的命令。同樣，這個命令可由一個單個位來編碼。第三多個連續(xù)位153表示用于束偏轉(zhuǎn)模塊向束提供對應(yīng)于給定偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)的命令。例如，該偏轉(zhuǎn)量可通過第三多個連續(xù)位153中的連續(xù)位的兩個子組155和157來編碼，其中子組155編碼在X方向的偏轉(zhuǎn)，子組157編碼偏轉(zhuǎn)模塊的y方向的偏轉(zhuǎn)。數(shù)據(jù)緩沖器可被同時廣播至所有模塊，即束偏轉(zhuǎn)模塊、束熄滅模塊和數(shù)據(jù)采集模塊，其中束熄滅模塊從數(shù)據(jù)緩沖器提取位149并處理這些位作為接收命令，數(shù)據(jù)采集模塊從數(shù)據(jù)緩沖器提取位151并處理這些位作為接收命令，并且束熄滅模塊從數(shù)據(jù)緩沖器提取位153并處理這些位作為接收命令。如果利用這種布局，必須通過命令改變僅一個模塊的狀態(tài)，那么基于需要的變化足夠產(chǎn)生用于這個模塊的命令，并且容易產(chǎn)生用于其他模塊的命令，使得它們對于那些模塊的先前的命令或這些模塊的當前狀 態(tài)是同樣的。例如，如果在束熄滅模塊的狀態(tài)應(yīng)當保持不變，即是不熄滅的時，第一命令包括用于束熄滅模塊不熄滅束的指令，并且后續(xù)命令包括用于束偏轉(zhuǎn)模塊開始線掃描的指令，那么后續(xù)命令可包括重復(fù)指令以不熄滅束，因為這種重復(fù)指令將不改變束熄滅器的當前狀態(tài)。根據(jù)另ー個示例，如果在束偏轉(zhuǎn)模塊的狀態(tài)應(yīng)該保持不變，即束偏轉(zhuǎn)器應(yīng)當繼續(xù)線掃描時，第一命令包括用于束偏轉(zhuǎn)模塊開始線掃描的指令，并且后續(xù)命令包括用于束熄滅模塊不熄滅束的指令，那么該后續(xù)命令可包含新的用于束偏轉(zhuǎn)模塊開始線掃描的指令，其中將新線掃描的參數(shù)選擇為使得新線掃描沒有間斷的穩(wěn)定地繼續(xù)先前的線掃描。顯然，在圖4a和4b中示出的命令數(shù)據(jù)布局可以有多種變形。圖5為粒子束系統(tǒng)的實施例的不意圖，該系統(tǒng)在不出的不例中為尚子束系統(tǒng)。尚子束系統(tǒng)I包括離子源3和用于從源3提取離子并加速提取的離子以產(chǎn)生離子束11的電極7和9，該離子束11由聚光透鏡17準直。束11進ー步通過電極13加速并穿過包括偏轉(zhuǎn)器電極56和57的束熄滅器55、以及具有孔徑62的板61，將該孔徑62配置為使得束11在將相同電勢施加至電極56和57吋，能夠穿過孔徑62，并且使得如果將不同電勢施加至電極56和57時，束11入射到板61上并由板61吸收。配置成將離子束11聚焦在物平面27中的物鏡23設(shè)置在束熄滅器55的下游。離子束系統(tǒng)I還包括布置在束熄滅器55下游的第一束偏轉(zhuǎn)器47,以及布置在第一束偏轉(zhuǎn)器47下游和物鏡23上游的第二束偏轉(zhuǎn)器47’。將束偏轉(zhuǎn)器47和47’配置成引導(dǎo)離子束11至物平面27中的選定位置。在圖5的例證中，離子束11在離物鏡23的對稱軸2的距離d處聚焦干物平面27。為完成離子束11的這個偏轉(zhuǎn)，第一偏轉(zhuǎn)器47將束偏轉(zhuǎn)遠離對稱軸2，而隨后的第二偏轉(zhuǎn)器47’朝向?qū)ΨQ軸2偏轉(zhuǎn)束使得束11靠近物鏡23的對稱軸穿過物鏡23，使得由該物鏡23引起的像差維持在相對低的水平。ニ級粒子檢測器21位于靠近物平面27處，使得可檢測到由入射離子束11產(chǎn)生的ニ級粒子。圖5中的線51表示從物體釋放并入射到檢測器21上的電子的示例軌跡。離子束系統(tǒng)I包括用于控制用于產(chǎn)生和引導(dǎo)離子束11至物平面27的單個組件的控制器。與圖1中的例證相似，將控制器42作為功能框圖示出，其包括多個控制模塊，該多個控制模塊可彼此物理地分離和/或?qū)嵤樵谶m合的處理器上運行的軟件模塊。特別地，通過連接器43將離子源3連接至控制器42，使得控制器42可給與離子源3能量并操作離子源3。通過連接器 44和45將電極7、9、13和61連接至控制器42，使得施加到電極的電勢可由控制器42調(diào)整。類似地，提供連接器49以將透鏡17和23連接至控制器42，使得控制器42可提供合適的電勢和電流至透鏡，以準直和聚焦離子束11。第一和第二束偏轉(zhuǎn)器47和47'的每ー個包括分布在對稱軸2周圍的多個偏轉(zhuǎn)電極46。例如，偏轉(zhuǎn)電極46的數(shù)量例如可以為2、4、8，如示出的實施例中的，或者甚至可以大于8。通過連接器48將偏轉(zhuǎn)電極46連接至控制器42，使得控制器42可調(diào)整由偏轉(zhuǎn)器47、47'提供給離子束11的偏轉(zhuǎn)的角度和方向。類似地，通過連接器43將檢測器21連接至控制器42，使得控制器可接收由檢測器21產(chǎn)生的檢測信號?？刂破?2可具有和上述圖3所示的構(gòu)造類似的構(gòu)造。特別地，控制器42可包括用于接收將由離子束系統(tǒng)I執(zhí)行的任務(wù)的參數(shù)的接ロ，配置為確定適合控制束熄滅器55、第一和第二偏轉(zhuǎn)器47、47'和通過檢測器21的測量數(shù)據(jù)的采集的命令和命令參數(shù)的計算模塊。控制器42可進ー步包括用于將計算的命令和命令參數(shù)編碼成數(shù)字命令數(shù)據(jù)的命令產(chǎn)生模塊，和用于分配數(shù)字命令數(shù)據(jù)至控制離子束系統(tǒng)I的組件的控制模塊的網(wǎng)絡(luò)，這些組件諸如束熄滅模塊、用于第一束偏轉(zhuǎn)器47的束偏轉(zhuǎn)模塊、用于第二束偏轉(zhuǎn)器47'的束偏轉(zhuǎn)模塊和用于從檢測器21采集測量數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集模塊。圖6為示出控制離子束系統(tǒng)I的多個模塊的方法的流程圖。在步驟201，確定首要任務(wù)的參數(shù)。在示出的示例中，該任務(wù)為沿著樣品上的直線掃描聚焦的離子束，并記錄由檢測器21產(chǎn)生的相應(yīng)檢測信號。相應(yīng)的首要任務(wù)為控制第一和第二偏轉(zhuǎn)器,使得施加到第一偏轉(zhuǎn)器47的相對偏轉(zhuǎn)電極46上的電壓在時間Tssl開始從給定電壓水平(位置)以一定的速率(速度)上升，并且在時間Tsel停止上升。將相應(yīng)程序限定用于第二偏轉(zhuǎn)器47'，其中位置和速度可在偏轉(zhuǎn)器之間變化，因為第二偏轉(zhuǎn)器47'必須比第一偏轉(zhuǎn)器47偏轉(zhuǎn)束更大的量。此外，由于在第一偏轉(zhuǎn)器47和第二偏轉(zhuǎn)器47'之間的離子的行進時間，開始時間和停止時間將在偏轉(zhuǎn)器之間變化。首要任務(wù)的參數(shù)可由用戶輸入，或者它們可由某些軟件產(chǎn)生并通過其接口供給控制器42。首要任務(wù)的參數(shù)可由數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)表示，該數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)在圖6中示出為表203，在表203中，分隔的行表示用于操作組件的不同命令，并且在表203中，列表示執(zhí)行給定命令的時間、執(zhí)行命令的組件、由組件執(zhí)行的命令和各個命令的參數(shù)。在步驟205，確定附加次要任務(wù)，該次要任務(wù)對于執(zhí)行首要任務(wù)是必須的。例如，為了在時間Tssl利用給定電壓水平(位置)采用偏轉(zhuǎn)器I開始偏轉(zhuǎn)，必須在更早的時間Tssl-A設(shè)定初始電壓水平(位置)，其中將A選擇成使得施加到電極46的對的電壓在時間Tssl被決定并是足夠穩(wěn)定的。一個類似的過程應(yīng)用于第二偏轉(zhuǎn)器。此外，必須在時間Tub控制束熄滅器以不熄滅束，時間Tub由于束熄滅器和第一偏轉(zhuǎn)器之間的離子的行進時間而早于偏轉(zhuǎn)器I的偏轉(zhuǎn)開始。同樣確定用于束熄滅器熄滅束的時間Tb。此外,確定用于在時間Tas開始數(shù)據(jù)采集和用于在時間Tae結(jié)束數(shù)據(jù)采集的命令。由于離子朝向樣品及來自樣品的ニ級粒子朝向檢測器21的行進時間，時間Tas會晚于使用第一偏轉(zhuǎn)器開始偏轉(zhuǎn)的時間Tssl o在増加次要任務(wù)后，可將表示命令的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)描繪成表207，其中不同行表示不同的命令，列表示時間、組件、命令和參數(shù)。増加次要任務(wù)的步驟205可由控制器42的計算模塊執(zhí)行。表207的某些命令可在步驟209中組合成組合命令。例如，指示第一偏轉(zhuǎn)器在Tssl開始偏轉(zhuǎn)并在Tsel停止偏 轉(zhuǎn)的命令可以組合成組合命令，該組合命令指示第一偏轉(zhuǎn)器在Tssl開始偏轉(zhuǎn)，其中偏轉(zhuǎn)的持續(xù)時間為命令的參數(shù)。類似地，用于開始和停止第二偏轉(zhuǎn)器的偏轉(zhuǎn)的命令和用于不熄滅和熄滅束的命令可組合成具有作為參數(shù)的持續(xù)時間的組合命令?？蓪⒈硎窘M合命令的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)描繪成表211。組合任務(wù)的步驟209同樣由控制器42的計算模塊執(zhí)行。在步驟213中，針對控制模塊和接收各自命令與開始執(zhí)行命令之間的電子組件和電路所需要的延遲，校正ー些命令。例如，通過延遲Std來校正使用第一偏轉(zhuǎn)器開始偏轉(zhuǎn)的時間Tssl，該8 td是為了執(zhí)行偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)模塊接收和分析命令以及設(shè)置諸如電壓發(fā)生器的電子電路所需的時間。校正后的時間Tcssl = Tssl-5 td表示命令時間,在該命令時間，將命令發(fā)送至網(wǎng)絡(luò)，使得束掃描在時間Tssl開始。類似地，用于指示束熄滅器在Tub不熄滅束的命令時間Tcub通過從Tub減去8 tb來確定，并且指示數(shù)據(jù)采集模塊開始和停止數(shù)據(jù)采集的命令的命令時間Tcas和Tcae通過從Tas和Tae分別減去Sta來確定。在示出的示例中，沒有針對附加的電子延遲校正時間Tssl-A和Tss2_A，因為已經(jīng)將時間A選擇成使得初始電壓分別被設(shè)置為充分超前于Tssl和Tss2。因此，用于指示束偏轉(zhuǎn)模塊的這些命令的命令時間等于Tssl-A和Tss2_ A。將表示在步驟213中產(chǎn)生的命令的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)在圖6中示為表215。同樣，步驟213可由控制器42的計算模塊執(zhí)行。在步驟217中按照命令時間分類(sort)步驟213中產(chǎn)生的命令，使得該命令根據(jù)它們的對應(yīng)時間排列。在圖6中將分類的命令示為表219。同樣，步驟217可由控制器42的計算模塊執(zhí)行。而后，在步驟221中，將命令編碼成與命令時間表關(guān)聯(lián)的數(shù)字命令數(shù)據(jù)。可將每個命令的數(shù)字命令數(shù)據(jù)發(fā)送通過網(wǎng)絡(luò)，到達控制器42的接收控制模塊。將數(shù)字命令數(shù)據(jù)和時間表在圖6中描繪為表223。在步驟221中的命令的編碼可在從計算模塊接收到計算命令后，由控制器42的命令產(chǎn)生模塊執(zhí)行。然后，在步驟225中，在時間表定義的時間，命令產(chǎn)生模塊將發(fā)送數(shù)字命令數(shù)據(jù)的序列到網(wǎng)絡(luò)。發(fā)送命令的序列的開始時間，可由時鐘產(chǎn)生的或供給的觸發(fā)信號単獨定義。數(shù)字命令數(shù)據(jù)由束熄滅模塊、束偏轉(zhuǎn)模塊和數(shù)據(jù)采集模塊從網(wǎng)絡(luò)、以及解釋命令和控制束熄滅器的模塊、偏轉(zhuǎn)器和數(shù)據(jù)采集組件接收，使得命令按期望執(zhí)行。
在上面參照圖6示出示例中，每ー個數(shù)字命令包括用于帶電粒子系統(tǒng)的ー個模塊的指令。根據(jù)其他的例子，可將數(shù)字命令產(chǎn)生為使得ー些或全部數(shù)字命令的每ー個包括用于多于一個模塊的指令，如上面參考圖4b所示出的。在上面示出的示例中，使用運行粒子束系統(tǒng)的方法，用于采用帶電粒子束執(zhí)行線掃描，該粒子束系統(tǒng)使用發(fā)送至網(wǎng)絡(luò)的分類的命令，使得它們由束偏轉(zhuǎn)模塊和束熄滅模塊接收。然而，這些方法也可用于使用帶電粒子系統(tǒng)執(zhí)行其他程序，比如通過在樣品上沉積材料或從樣品上去除材料來修改樣品，其可通過向樣品供應(yīng)活性氣體，或在抗蝕劑(resist)中寫入圖案來協(xié)助。這些程序需要偏轉(zhuǎn)束至樣品上的目標位置的操作，并且當束到達目標位置吋，不熄滅束，使得將帶電粒子劑量傳遞給樣品的表面以執(zhí)行所需的動作，比如去除材料、沉積材料和修改抗蝕劑。依賴于圖案的構(gòu)造，偏轉(zhuǎn)束使得將其引導(dǎo)至特定的圖案特征中的目標位置的初始偏轉(zhuǎn)依賴于這個特定圖案特征離另ー個先前處理的圖案特征的距離。例如，將束從先前處理的圖案特征移動至緊鄰的圖案特征需要相對小的偏轉(zhuǎn)，而將束從先前處理的圖案特征 移動至遠離的下一個圖案特征則需要充分更大的偏轉(zhuǎn)量。依賴于偏轉(zhuǎn)量，在完成偏轉(zhuǎn)后直到束穩(wěn)定并且指向下ー特征內(nèi)的期望目標為止，需要不同的設(shè)置時間。通常，該設(shè)置時間或附加等待時間對于更大的偏轉(zhuǎn)是更長的。為了以高準確度執(zhí)行諸如寫圖案的期望動作，束僅在這種設(shè)置時間終止后是不熄滅的。使用上述方法，這種附加的和可變的等待時間可以輕易地實現(xiàn)。根據(jù)本文的ー個示例實施例，束不熄滅時間晚于偏轉(zhuǎn)停止時間，并且束不熄滅時間和偏轉(zhuǎn)停止時間之間的時間差是可變的。例如，這個時間差的變化可以大于5 u s和50 u S。在上述實施例中，通過使用用于產(chǎn)生數(shù)字命令的方法來控制諸如圖1中示出的電子束列和圖5中示出的離子束列的粒子束列，該數(shù)字命令用于控制如上所述的粒子束列的模塊。然而，也可以使用這種方法控制分布在多個離子束列上的模塊。例如，可使用這種方法控制包括電子束列和離子束列的系統(tǒng)，其中諸如偏轉(zhuǎn)器、束熄滅器和檢測器的兩個粒子束列的多種模塊可連接至共同的數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)。該兩個粒子束的模塊可接收基于分類的數(shù)據(jù)記錄產(chǎn)生的命令，該數(shù)據(jù)記錄包括表示用于單個模塊的指令的命令。例如，數(shù)字命令可由ー個控制器產(chǎn)生。雖然關(guān)于本發(fā)明的某些示例實施例描述了本發(fā)明，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說，多種替換、修改和變形是顯而易見的。因此，于此闡明的本發(fā)明的示例實施例g在示意性，而不以任何方式限制?？梢詫崿F(xiàn)多種改變，而不脫離后續(xù)權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種運行粒子束系統(tǒng)的方法，所述方法包括 確定至少一個偏轉(zhuǎn)量和至少一個偏轉(zhuǎn)時間，在該偏轉(zhuǎn)時間，連接至所述粒子束系統(tǒng)的數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的所述粒子束系統(tǒng)的第一束偏轉(zhuǎn)模塊將對應(yīng)于所述偏轉(zhuǎn)量的至少一個偏轉(zhuǎn)提供給帶電粒子束； 確定不熄滅時間，在該不熄滅時間，連接至所述數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的所述粒子束系統(tǒng)的束熄滅模塊不熄滅所述束； 確定熄滅時間，在該熄滅時間，連接至所述數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的所述束熄滅模塊熄滅所述束；產(chǎn)生包括多個數(shù)據(jù)記錄的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其中每一個數(shù)據(jù)記錄包括命令和命令時間，該命令表示用于所述第一束偏轉(zhuǎn)模塊和所述束熄滅模塊的至少一個的指令，該命令時間表示將所述指令發(fā)送給所述數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的時間； 按照命令時間將所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的記錄分類； 基于所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，產(chǎn)生一組數(shù)字命令，其中為每一個所述記錄產(chǎn)生一個數(shù)字命令；以及 以與所分類的記錄的順序?qū)?yīng)的順序發(fā)送所述組的數(shù)字命令至所述網(wǎng)絡(luò)； 其中所述組的至少一個數(shù)字命令表示用于所述第一束偏轉(zhuǎn)模塊以將對應(yīng)于所述偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)提供給所述束的指令； 其中所述組的至少一個數(shù)字命令表示用于所述束熄滅模塊以不熄滅所述束的指令；以及 其中所述組的至少一個數(shù)字命令表示用于所述束熄滅模塊以熄滅所述束的指令。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述組的至少一個數(shù)字命令表示用于所述第一束偏轉(zhuǎn)模塊以將對應(yīng)于所述偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)提供給所述束的指令和用于所述束熄滅模塊以不熄滅所述束的指令二者。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述組的至少一個數(shù)字命令表示用于所述第一束偏轉(zhuǎn)模塊以將對應(yīng)于所述偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)提供給所述束的指令和用于所述束熄滅模塊以熄滅所述束的指令二者。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的方法，其中所述方法包括確定第一和第二偏轉(zhuǎn)量以及第一和第二偏轉(zhuǎn)時間； 其中所述組的至少一個數(shù)字命令表示用于所述第一束偏轉(zhuǎn)模塊以將對應(yīng)于第一偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)提供給所述束和隨后將對應(yīng)于第二偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)提供給所述束的組合指令。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中所述至少一個數(shù)字命令包括至少一個數(shù)據(jù)元素，該數(shù)據(jù)元素表示所述第二偏轉(zhuǎn)時間和所述第一偏轉(zhuǎn)時間之間的時間差。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的方法，其中所述至少一個數(shù)字命令包括至少一個數(shù)據(jù)元素，該數(shù)據(jù)元素表示以下中的至少一個所述第一束偏轉(zhuǎn)模塊在后續(xù)時間步輻中用來改變所述束的偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)步進大?。灰约八龅谝皇D(zhuǎn)模塊在所述第一偏轉(zhuǎn)時間和所述第二偏轉(zhuǎn)時間之間改變所述束的偏轉(zhuǎn)的步數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6之一所述的方法，其中所述不熄滅時間晚于所述偏轉(zhuǎn)時間，并且其中所述束不熄滅時間和所述偏轉(zhuǎn)時間之間的時間差是可變的。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述不熄滅時間和所述偏轉(zhuǎn)時間之間的時間差能夠變化大于5ns或大于50 u S。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8之一所述的方法，其中所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)包括第一數(shù)據(jù)記錄，該第一數(shù)據(jù)記錄包括表示用于所述束熄滅模塊以不熄滅所述束的指令的命令和表示將該指令發(fā)送給所述數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的時間的第一命令時間； 其中所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)包括第二數(shù)據(jù)記錄，該第二數(shù)據(jù)記錄包括表示用于所述束熄滅模塊以熄滅所述束的指令的命令和表示將該指令發(fā)送給所述數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的時間的第二命令時間；以及 其中所述熄滅時間和所述不熄滅時間之間的時間差不同于所述第二命令時間和所述第一命令時間之間的時間差。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述熄滅時間和所述不熄滅時間之間的時間差與所述第二命令時間和所述第一命令時間之間的時間差相差大于50ns、大于IOOns或大于200ns。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10之一所述的方法，其中所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)包括至少一個記錄，該至少一個記錄包括表示用于所述束熄滅模塊以不熄滅所述束的指令和用于所述束熄滅模塊以熄滅所述束的指令二者的命令，其中所述命令包括至少一個數(shù)據(jù)元素，該數(shù)據(jù)元素表示在所述熄滅時間和所述不熄滅時間之間的時間差。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至11之一所述的方法，其進一步包括 確定數(shù)據(jù)采集開始時間，在該開始時間，連接至所述數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的所述粒子束系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集模塊開始收集表示檢測的粒子強度的數(shù)據(jù)；以及 確定數(shù)據(jù)采集停止時間，在該停止時間，所述數(shù)據(jù)采集模塊停止收集數(shù)據(jù)； 其中所述組的至少一個數(shù)字命令表示用于所述數(shù)據(jù)采集模塊以開始收集所述數(shù)據(jù)的指令；以及 其中所述組的至少一個數(shù)字命令表示用于所述數(shù)據(jù)采集模塊以停止收集所述數(shù)據(jù)的指令。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中所述組的至少一個數(shù)字命令表示用于所述第一數(shù)據(jù)采集模塊以開始收集所述數(shù)據(jù)以及隨后停止收集所述數(shù)據(jù)的組合指令。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述至少一個數(shù)字命令包括至少一個數(shù)據(jù)元素，該數(shù)據(jù)元素表示所述采集停止時間和所述采集開始時間之間的時間差。
15.根據(jù)權(quán)利要求1至14之一所述的方法，其進一步包括 確定至少一個偏轉(zhuǎn)量、和偏轉(zhuǎn)時間，在該偏轉(zhuǎn)時間，連接至所述粒子束系統(tǒng)的數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的所述粒子束系統(tǒng)的第二束偏轉(zhuǎn)模塊為所述帶電粒子束提供對應(yīng)于所述偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)； 其中所述組的至少一個數(shù)字命令表示用于所述第二束偏轉(zhuǎn)模塊以為所述束提供對應(yīng)于所述偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)的指令。
16.根據(jù)權(quán)利要求1至15之一所述的方法，其中以下的至少一個大于Ins 包括表示用于所述第一束偏轉(zhuǎn)模塊以為所述帶電粒子束提供對應(yīng)于所述偏轉(zhuǎn)量的偏轉(zhuǎn)的指令的命令的數(shù)據(jù)記錄的命令時間和所述偏轉(zhuǎn)時間之間的時間差； 包括表示用于所述束熄滅模塊以不熄滅所述束的指令的命令的數(shù)據(jù)記錄的命令時間和所述不熄滅時間之間的時間差；以及 包括表示用于所述束熄滅模塊以熄滅所述束的指令的命令的數(shù)據(jù)記錄的命令時間和所述熄滅時間之間的時間差。
17.—種運行粒子束系統(tǒng)的方法，所述方法包括 數(shù)字地控制所述粒子束系統(tǒng)的第一數(shù)字控制模塊和所述粒子束系統(tǒng)的第二數(shù)字控制模塊；以及 發(fā)送數(shù)字命令數(shù)據(jù)至所述第一和第二數(shù)字控制模塊，其中所述數(shù)字命令數(shù)據(jù)至少包括用于所述第一數(shù)字控制模塊的第一命令和用于所述第二數(shù)字控制模塊的第二命令，其中基于表示由所述第一數(shù)字控制模塊執(zhí)行所述第一命令的時間的信息以及基于表示由所述第二數(shù)字控制模塊執(zhí)行所述第二命令的時間的信息產(chǎn)生所述數(shù)字命令數(shù)據(jù)。
18.一種粒子束系統(tǒng)，其包括 帶電粒子束源，其配置成產(chǎn)生帶電粒子束； 數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)； 束熄滅模塊，其連接至所述數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)并配置成熄滅和不熄滅所述帶電粒子束； 聚焦透鏡，其配置成將所述帶電粒子束聚焦在物體上； 束偏轉(zhuǎn)模塊，其連接至所述數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)并配置成偏轉(zhuǎn)所述束； 計算模塊，其配置為確定偏轉(zhuǎn)時間、不熄滅時間和熄滅時間，以產(chǎn)生包括多個數(shù)據(jù)記錄的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，并且按照命令時間將所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)記錄分類，其中每一個數(shù)據(jù)記錄包括表示用于所述束偏轉(zhuǎn)模塊和所述束熄滅模塊的至少一個的指令的命令、以及表示將所述指令發(fā)送至所述數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的時間的命令時間；以及 編碼模塊，其配置為產(chǎn)生一組數(shù)字命令數(shù)據(jù)，所述數(shù)字命令數(shù)據(jù)編碼包括在所述數(shù)據(jù)記錄中的命令，并以與所分類的記錄的順序?qū)?yīng)的順序發(fā)送所產(chǎn)生的數(shù)字命令數(shù)據(jù)至所述網(wǎng)絡(luò)。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的粒子束系統(tǒng)，其進一步包括 檢測器，其配置為檢測自所述物體射出的帶電粒子；以及 數(shù)據(jù)采集模塊，其配置為從所述檢測器接收檢測信號并收集表示檢測的粒子強度的數(shù)據(jù)；并且 其中所述計算模塊進一步配置為確定采集開始時間和采集停止時間，并產(chǎn)生所述數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)使得其包括至少一個數(shù)據(jù)記錄，該至少一個數(shù)據(jù)記錄包括表示用于所述數(shù)據(jù)采集模塊的指令的命令。
20.一種粒子束系統(tǒng)，其包括 第一數(shù)字控制模塊； 第二數(shù)字控制模塊；和 編碼模塊，其配置為產(chǎn)生數(shù)字命令數(shù)據(jù)，其中所述數(shù)字命令數(shù)據(jù)至少包括用于所述第一數(shù)字控制模塊的第一命令和用于所述第二數(shù)字控制模塊的第二命令，其中基于表示由所述第一數(shù)字控制模塊執(zhí)行所述第一命令的時間的信息、以及基于表示由所述第二數(shù)字控制模塊執(zhí)行所述第二命令的時間的信息產(chǎn)生所述數(shù)字命令數(shù)據(jù)。
全文摘要
一種運行粒子束系統(tǒng)的方法，其包括確定連接至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的束偏轉(zhuǎn)模塊的偏轉(zhuǎn)量及偏轉(zhuǎn)時間；確定連接至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的束熄滅模塊的不熄滅時間；確定連接至數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的束熄滅模塊的熄滅時間；產(chǎn)生包括多個數(shù)據(jù)記錄的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，其中每一個數(shù)據(jù)記錄包括表示用于至少一個模塊的指令的命令，以及表示將指令發(fā)送給數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的時間的命令時間；按照命令時間將數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的記錄分類；基于數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，產(chǎn)生一組數(shù)字命令；以及以與分類的記錄的順序相應(yīng)的順序發(fā)送該組的數(shù)字命令至網(wǎng)絡(luò)。
文檔編號H01J37/32GK103050361SQ201210543969
公開日2013年4月17日 申請日期2012年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
發(fā)明者J·比伯格, R·普爾韋, V·維喬雷克 申請人:卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司