專利名稱：非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種真空排氣裝置，特別涉及一種用于等離子屏的真空排氣裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，等離子屏發(fā)光原理非常簡單，制造原理也不復(fù)雜，但制造過程卻耗時費工。從成本結(jié)構(gòu)可以看到，玻璃基板成本僅占整段等離子屏面板成本的15%，而制造費就占了總成本的30%，主要原因是由于現(xiàn)有技術(shù)中等離子屏真空排氣裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高昂，并且在使用過程中抽真空與充入惰性氣體的操作也比較繁瑣。
實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、成本低且抽真空與充入惰性氣體的操作簡單的非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置。本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的一種非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置，包括屏體排氣管、導(dǎo)氣管、充惰性氣體閥門、真空泵主閥門、惰性氣體瓶和真空泵，所述惰性氣體瓶依次通過惰性氣體連接管和導(dǎo)氣管與所述屏體排氣管流體導(dǎo)通，所述真空泵通過導(dǎo)氣管與所述屏體排氣管流體導(dǎo)通，所述惰性氣體連接管上安裝有充惰性氣體閥門，所述惰性氣體連接管和所述導(dǎo)氣管的連接點與所述真空泵之間的所述導(dǎo)氣管上安裝有真空泵主閥門。上述非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置，所述惰性氣體連接管和所述導(dǎo)氣管的連接點與所述屏體排氣管之間的所述導(dǎo)氣管上連通有封裝排氣管，所述封裝排氣管上裝有一個通氣閥門。上述非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置，所述真空泵主閥門與所述真空泵之間的所述導(dǎo)氣管上安裝有真空測量儀表，所述惰性氣體連接管和所述導(dǎo)氣管的連接點與所述真空泵主閥門之間的所述導(dǎo)氣管上也安裝有真空測量儀表。本實用新型的有益效果是(I)最大真空度可達(dá)I. OX 10_5Pa，真空泵抽速不小于4L/S。(2)結(jié)構(gòu)簡單、成本低且抽真空與充入惰性氣體的操作簡單。

圖I為本實用新型非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-等離子屏上玻璃板，2-等離子屏下玻璃板，3-屏體排氣管，4-導(dǎo)氣管，5-通氣閥門，6-充惰性氣體閥門，7-真空測量儀表，8-真空泵主閥門，9-惰性氣體瓶，10-真空泵，11-惰性氣體連接管，12-封裝排氣管。
具體實施方式
結(jié)合附圖對本實用新型做進(jìn)一步的說明[0011]參見圖1，本實施例非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置包括屏體排氣管3、導(dǎo)氣管4、充惰性氣體閥門6、真空泵主閥門8、惰性氣體瓶9和真空泵10，所述惰性氣體瓶9依次通過惰性氣體連接管11和導(dǎo)氣管4與所述屏體排氣管3流體導(dǎo)通，所述真空泵10通過導(dǎo)氣管4與所述屏體排氣管3流體導(dǎo)通，所述惰性氣體連接管11上安裝有充惰性氣體閥門6，所述惰性氣體連接管11和所述導(dǎo)氣管4的連接點與所述真空泵10之間的所述導(dǎo)氣管4上安裝有真空泵主閥門8。所述惰性氣體連接管11和所述導(dǎo)氣管4的連接點與所述屏體排氣管3之間的所述導(dǎo)氣管4上連通有封裝排氣管12，所述封裝排氣管12上裝有一個通氣閥門5。所述真空泵主閥門8與所述真空泵10之間的所述導(dǎo)氣管4上安裝有真空測量儀表7，所述惰性氣體連接管11和所述導(dǎo)氣管4的連接點與所述真空泵主閥門8之間的所述導(dǎo)氣管4上也安裝有真空測量儀表7。本實施例非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置的工作原理如下等離子屏體的等離子屏上玻璃板I和等離子屏下玻璃板2四周用膠密封后，將所述屏體排氣管3封接在等離子屏體上，關(guān)閉所述通氣閥門5、所述充惰性氣體閥門6和所述真空泵主閥門8，開動所述真空泵10，然后打開所述真空泵主閥門8，所述等離子屏上玻璃板I和所述等離子屏下玻 璃板2之間的腔室內(nèi)真空度滿足要求之后，關(guān)閉所述真空泵主閥門8并且關(guān)閉所述真空泵10，打開所述充惰性氣體閥門6，通過所述惰性氣體瓶9向所述等離子屏上玻璃板I和所述等離子屏下玻璃板2之間的腔室內(nèi)充入惰性氣體(發(fā)光氣體)，保持2-4小時后將所述屏體排氣管3與所述導(dǎo)氣管4分離。本實施例真空排氣裝置的結(jié)構(gòu)簡單、成本低且抽真空與充入惰性氣體的操作簡單。上述實施例僅僅是為清楚地說明本實用新型創(chuàng)造所作的舉例，而并非對本實用新型創(chuàng)造具體實施方式
的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所引伸出的任何顯而易見的變化或變動仍處于本實用新型創(chuàng)造權(quán)利要求的保護(hù)范圍之中。
權(quán)利要求1.非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置，其特征在于，包括屏體排氣管(3)、導(dǎo)氣管(4)、充惰性氣體閥門(6)、真空泵主閥門⑶、惰性氣體瓶(9)和真空泵(10)，所述惰性氣體瓶(9)依次通過惰性氣體連接管(11)和導(dǎo)氣管(4)與所述屏體排氣管(3)流體導(dǎo)通，所述真空泵(10)通過導(dǎo)氣管(4)與所述屏體排氣管(3)流體導(dǎo)通，所述惰性氣體連接管(11)上安裝有充惰性氣體閥門￠)，所述惰性氣體連接管(11)和所述導(dǎo)氣管(4)的連接點與所述真空泵(10)之間的所述導(dǎo)氣管(4)上安裝有真空泵主閥門(8)。
2.如權(quán)利要求I所述的非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝 置，其特征在于，所述惰性氣體連接管(11)和所述導(dǎo)氣管(4)的連接點與所述屏體排氣管(3)之間的所述導(dǎo)氣管(4)上連通有封裝排氣管(12)，所述封裝排氣管(12)上裝有一個通氣閥門(5)。
3.如權(quán)利要求2所述的非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置，其特征在于，所述真空泵主閥門(8)與所述真空泵(10)之間的所述導(dǎo)氣管(4)上安裝有真空測量儀表(7)，所述惰性氣體連接管(11)和所述導(dǎo)氣管(4)的連接點與所述真空泵主閥門(8)之間的所述導(dǎo)氣管(4)上也安裝有真空測量儀表(7)。
專利摘要本實用新型公開非高溫環(huán)境下等離子屏的真空排氣裝置，包括屏體排氣管、導(dǎo)氣管、充惰性氣體閥門、真空泵主閥門、惰性氣體瓶和真空泵，所述惰性氣體瓶依次通過惰性氣體連接管和導(dǎo)氣管與所述屏體排氣管流體導(dǎo)通，所述真空泵通過導(dǎo)氣管與所述屏體排氣管流體導(dǎo)通，所述惰性氣體連接管上安裝有充惰性氣體閥門，所述惰性氣體連接管和所述導(dǎo)氣管的連接點與所述真空泵之間的所述導(dǎo)氣管上安裝有真空泵主閥門。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、成本低且抽真空與充入惰性氣體的操作簡單。
文檔編號H01J9/385GK202495413SQ201220089520
公開日2012年10月17日 申請日期2012年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月21日
發(fā)明者李躍 申請人:北京盛泉科技有限公司, 李躍