專利名稱：等離子清洗電極的制作方法
技術領域：
本實用新型與真空卷繞鍍膜機的等離子清洗電極有關。
背景技術：
真空卷繞鍍膜機的等離子清洗電極用于對塑料薄膜進行清洗，真空卷繞鍍膜機是用來在塑料薄膜上蒸鍍一層金屬膜，蒸鍍金屬膜前要對塑料薄膜進行清洗，以提高金屬膜的附著力。低氣壓下，充入特定氣體，在兩組電極間施加一定電壓，氣體被電離，電離后的等離子體在運動過程中撞擊薄膜，去掉薄膜表面的雜質，并使薄膜帶電，提高蒸鍍的金屬膜在薄膜上的附著力。已有的等離子清洗電極結構復雜，安裝和維護不便，電極棒過熱會造成零件變形和密封圈的損壞，電極外罩易損壞塑料薄膜。實用新型內容本實用新型的目的是提供一種結構簡單，安裝和維護方便，零件不會因電極棒過熱受損，不會損壞塑料薄膜的等離子清洗電極。本實用新型是這樣實現(xiàn)的本實用新型等離子清洗電極，電極棒6兩端各與一真空箱4連接，其中一端安裝在與真空箱4連接的固定座11上，該端與真空箱之間有絕緣環(huán)10，其中另一端與真空箱之間有絕緣套筒8并由螺母9固定于真空箱4，電極棒該端有進水管15和出水管14，所述電極棒6外安裝有外罩，外罩包括位于電極棒兩端的支撐1，與兩支撐I連接的固定罩2，與固定罩連接的活動罩3，氣管12固定在真空箱4上，并穿過支撐1，固定罩2上裝有薄膜導向塊13。本實用新型結構簡單，安裝和維護方便，對電極棒進行維護保養(yǎng)時，只需拆下活動罩。電極棒由水冷卻，可防止過熱。固定罩外裝的薄膜導向塊可避免損壞塑料薄膜。


圖1為本實用新型結構圖。圖2為本實用新型的活動罩拆除圖。圖3為電極棒結構圖。圖4為電極棒一端與真空箱連接圖。圖5為電極棒另一端與真空箱連接圖。
具體實施方式
在電極棒6和真空箱4之間加高壓直流電源，電極棒6為陽極，為使放電區(qū)域在一定范圍內進行，電極棒6外安裝有電極外罩，電極外罩與真空箱4用螺釘連接， 為電源的陰極。電極外罩由電極外罩支撐1、電極固定罩2、電極活動罩3組成，并用螺釘連接；對電極棒進行維護保養(yǎng)時，只需要拆裝電極活動罩3。電極棒6內有磁極,一端焊有冷卻水進水管15和出水管14,磁極可以使電極棒周圍的氣體電離更充分，提高清洗能力；長時間清洗，電極棒會發(fā)熱，通入冷卻水可以防止電極棒過熱，避免零件變形和密封圈的損壞。電極棒的兩端分別固定在真空箱4內，一端用鎖母9固定,另一端安裝在固定座11上，通過固定座11用螺釘固定在真空箱4上，為防止陰極和陽極導通，在電極與真空箱之間安裝絕緣套筒8和絕緣環(huán)10。電極外罩上裝有氣管12，以通入特定氣體，被電極棒6電離后產生等離子體，轟擊薄膜表面，去掉雜質，并使薄膜帶 電，提高蒸鍍的金屬膜在薄膜上的附著力。電極外罩上裝有薄膜導向塊13，薄膜從兩塊導向塊13之間穿過，防止薄膜碰到電極固定罩2,避免薄膜損環(huán)。
權利要求1.等離子清洗電極，其特征在于電極棒(6)兩端各與一真空箱(4)連接，其中一端安裝在與真空箱(4)連接的固定座(11)上，該端與真空箱之間有絕緣環(huán)(10)，其中另一端與真空箱之間有絕緣套筒(8)并由螺母(9)固定于真空箱(4)，電極棒該端有進水管(15)和出水管(14)，所述電極棒(6)外安裝有外罩，外罩包括位于電極棒兩端的支撐(I )，與兩支撐(I) 連接的固定罩(2)，與固定罩連接的活動罩(3)，氣管(12)固定在真空箱(4)上，并穿過支撐 (1)，固定罩(2)上裝有薄膜導向塊(13)。
專利摘要本實用新型為等離子清洗電極，解決已有清洗電極安裝和維護不便，易損壞零件和塑料薄膜的問題。電極棒(6)兩端各與一真空箱(4)連接，其中一端安裝在與真空箱(4)連接的固定座(11)上，該端與真空箱之間有絕緣環(huán)(10)，其中另一端與真空箱之間有絕緣套筒(8)并由螺母(9)固定于真空箱(4)，電極棒該端有進水管(15)和出水管(14)，所述電極棒(6)外安裝有外罩，外罩包括位于電極棒兩端的支撐(1)，與兩支撐(1)連接的固定罩(2)，與固定罩連接的活動罩(3)，氣管(12)固定在真空箱(4)上，并穿過支撐(1)，固定罩(2)上裝有薄膜導向塊(13)。
文檔編號H01J37/32GK202881369SQ201220545350
公開日2013年4月17日 申請日期2012年10月24日 優(yōu)先權日2012年10月24日
發(fā)明者張果, 王偉, 姜玉倫, 晉照春 申請人:愛發(fā)科東方真空(成都)有限公司