專利名稱：一種不同厚度樣品同平面測(cè)試用掃描電鏡樣品臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及掃描電鏡樣品臺(tái)，特別是一種不同厚度樣品同平面測(cè)試用掃描電鏡樣品臺(tái)。
背景技術(shù)：
掃描電鏡是一種新型的電子光學(xué)儀器。它具有制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點(diǎn)。數(shù)十年來(lái)，掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中，促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。進(jìn)行掃描觀察時(shí)，在加速電壓作用下，由電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束經(jīng)過(guò)多級(jí)磁透鏡會(huì)聚，形成約5nm的電子束聚焦在樣品表面并做光柵狀掃描，由此產(chǎn)生的信號(hào)電子經(jīng)探測(cè)器收集并轉(zhuǎn)化為電信號(hào)輸出，最終形成動(dòng)態(tài)的三維圖像在系統(tǒng)上顯示。樣品臺(tái)是掃描電子顯微鏡的關(guān)鍵部件之一，它用以承載樣品，并通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)成像表征樣品的局部特征。然而，一些不導(dǎo)電樣品須經(jīng)噴碳或噴金處理從而導(dǎo)致了在樣品臺(tái)上水平高度不一，但掃描電鏡對(duì)工作距離又有嚴(yán)格的要求，給樣品制備造成了一定難度。另夕卜，目前場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的常用樣品臺(tái)對(duì)裝載樣品的數(shù)量和尺寸有著很大的限制，只適用于單個(gè)小尺寸樣品的觀察，造成掃描電鏡工作效率低和樣品制備條件苛刻的問(wèn)題。因此，掃描電鏡樣品臺(tái)的創(chuàng)新和改進(jìn)是需要解決的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容針對(duì)上述情況，為克服現(xiàn)有技術(shù)之缺陷，本實(shí)用新型之目的就是提供一種不同厚度樣品同平面測(cè)試用掃描電鏡樣品臺(tái)，可有效解決多個(gè)樣品難以調(diào)至同一水平高度，工作效率低，樣品制備難度大的問(wèn)題。本實(shí)用新型解決的技術(shù)方案是，包括臺(tái)體、樣品臺(tái)體和螺桿，臺(tái)體上有若干均布的豎向腔體，樣品臺(tái)體經(jīng)其下部的螺桿裝在腔體內(nèi)。本實(shí)用新型新穎獨(dú)特，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易生產(chǎn)，使用方便快捷，適用于各種場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，通過(guò)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)的螺桿升降裝置，可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的同一水平高度快捷準(zhǔn)確調(diào)節(jié)，有效地縮減了掃描過(guò)程中多次調(diào)節(jié)工作距離的時(shí)間，樣品臺(tái)可同時(shí)放置多個(gè)樣品，以實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)小尺寸樣品的同時(shí)裝載，大大提高了工作效率，是掃描電鏡樣品臺(tái)上方面的創(chuàng)新。

圖1為本實(shí)用新型的俯視圖。圖2為本實(shí)用新型圖1的A-A向剖視圖。圖3為本實(shí)用新型樣品臺(tái)體及螺桿的主視圖。圖4為本實(shí)用新型樣品臺(tái)體及螺桿的仰視圖。
具體實(shí)施方式
[0012]
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。由圖1至圖4給出，本實(shí)用新型包括臺(tái)體、樣品臺(tái)體和螺桿，臺(tái)體3上有若干均布的豎向腔體2圖1中給出7個(gè)，樣品臺(tái)體I經(jīng)其下部的螺桿4裝在腔體2內(nèi)。為保證使用效果，所述的腔體2為圓形的通孔，由上部的第一腔體2a和下部中心相連的第二腔體2b構(gòu)成，第一腔體2a的直徑大于第二腔體2b，第二腔體2b周壁上有螺紋，螺桿4旋裝在第二腔體內(nèi)，構(gòu)成樣品臺(tái)體的上、下調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)；所述的螺桿4下端部有一字槽5 ；所述的樣品臺(tái)體I的數(shù)量與腔體2的數(shù)量相等；所述的螺桿螺距較小，以方便精確控制樣品臺(tái)體I的水平高度。申請(qǐng)人:要指出的是，本申請(qǐng)上述給出的僅僅是一種實(shí)施例，并不是用于限制本申請(qǐng)的保護(hù)范圍，凡是用等同或等效替代手段所做出與本申請(qǐng)本質(zhì)上相同的技術(shù)方案均屬于本申請(qǐng)的保護(hù)范圍。本實(shí)用新型的使用情況是，首先將若干個(gè)樣品臺(tái)體調(diào)至同一水平高度，接著將掃描樣品用導(dǎo)電膠粘附在上面，然后對(duì)所需樣品進(jìn)行噴碳或噴金處理，觀察樣品是否存在因噴涂不均而引起的高度不一，再通過(guò)使用螺絲刀旋轉(zhuǎn)螺桿4的一字槽5，可微調(diào)使經(jīng)處理后的樣品處于同一水平面。由上述結(jié)構(gòu)及工作情況可以看出，本實(shí)用新型包括臺(tái)體及臺(tái)體上的若干腔體，從而同時(shí)觀察多個(gè)樣品，避免了目前大多樣品臺(tái)僅能裝載單個(gè)樣品的缺點(diǎn)，防止儀器損壞，并且可通過(guò)調(diào)節(jié)螺桿使掃描樣品位于同一水平高度，有效地節(jié)省了掃描過(guò)程中因調(diào)節(jié)工作距離所需的時(shí)間，提高掃描電鏡的工作效率和減小樣品的制備難度。本實(shí)用新型新穎獨(dú)特，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易生產(chǎn)，使用方便快捷，適用于各種場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，大大提高了工作效率，是掃描電鏡樣品臺(tái)上的方面創(chuàng)新。
權(quán)利要求1.一種不同厚度樣品同平面測(cè)試用掃描電鏡樣品臺(tái)，包括臺(tái)體、樣品臺(tái)體和螺桿，其特征在于，臺(tái)體(3)上有若干均布的豎向腔體(2)，樣品臺(tái)體(I)經(jīng)其下部的螺桿(4)裝在腔體(2)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不同厚度樣品同平面測(cè)試用掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的腔體(2)為圓形的通孔，由上部的第一腔體(2a)和下部中心相連的第二腔體(2b)構(gòu)成，第一腔體(2a)的直徑大于第二腔體(2b)，第二腔體(2b)周壁上有螺紋，螺桿(4)旋裝在第二腔體內(nèi)，構(gòu)成樣品臺(tái)體的上、下調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不同厚度樣品同平面測(cè)試用掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的螺桿(4)下端部有一字槽(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不同厚度樣品同平面測(cè)試用掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的樣品臺(tái)體(I)的數(shù)量與腔體(2)的數(shù)量相等。
專利摘要本實(shí)用新型涉及不同厚度樣品同平面測(cè)試用掃描電鏡樣品臺(tái)，可有效解決多個(gè)樣品難以調(diào)至同一水平高度，工作效率低，樣品制備難度大的問(wèn)題，其解決的技術(shù)方案是，包括臺(tái)體、樣品臺(tái)體和螺桿，臺(tái)體上有若干均布的豎向腔體，樣品臺(tái)體經(jīng)其下部的螺桿裝在腔體內(nèi)，本實(shí)用新型新穎獨(dú)特，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易生產(chǎn)，使用方便快捷，適用于各種場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，通過(guò)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)的螺桿升降裝置，可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的同一水平高度快捷準(zhǔn)確調(diào)節(jié)，有效地縮減了掃描過(guò)程中多次調(diào)節(jié)工作距離的時(shí)間，樣品臺(tái)可同時(shí)放置多個(gè)樣品，以實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)小尺寸樣品的同時(shí)裝載，大大提高了工作效率，是掃描電鏡樣品臺(tái)上方面的創(chuàng)新。
文檔編號(hào)H01J37/20GK202930353SQ20122063339
公開日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2012年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月27日
發(fā)明者陳永, 劉勝新, 趙益弘 申請(qǐng)人:鄭州大學(xué)