臺裝置以及臺裝置的控制方法
臺裝置以及臺裝置的控制方法
【專利摘要】在本發(fā)明的臺裝置中，在試樣或試樣支架或旋轉(zhuǎn)桌上設(shè)置能夠測定位置和方向的標(biāo)記，依照預(yù)定的動作模式進(jìn)行臺的旋轉(zhuǎn)并進(jìn)移動，測定這時的標(biāo)記的位置和方向，根據(jù)其結(jié)果確定旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置，并且求出修正旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量和修正旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量，生成對旋轉(zhuǎn)角的修正量表，從修正量表中取得與輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值或?qū)嶋H旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的修正量，修正所輸入的旋轉(zhuǎn)/并進(jìn)指令值或檢測出的旋轉(zhuǎn)角/并進(jìn)位置，控制臺裝置。
【專利說明】臺裝置以及臺裝置的控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在掃描電子顯微鏡等帶電粒子束裝置中裝載觀察試樣進(jìn)行并進(jìn)/旋轉(zhuǎn)移動而使觀察視野移動的臺裝置及其控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]作為代表性的帶電粒子束裝置的掃描電子顯微鏡(SEM)，一邊二維狀地向觀察試樣的表面掃描電子射束(初級電子線)一邊進(jìn)行照射，將從試樣二次產(chǎn)生的次級電子的強(qiáng)度作為與初級電子線的掃描同步地掃描生成的圖像的亮度調(diào)制輸入，由此取得試樣表面的SEM圖像。這時，通過裝載試樣的臺的移動來選擇成為觀察對象的試樣表面。通常，操作者邊看SEM圖像邊對跟蹤球等操作輸入單元進(jìn)行操作，使臺進(jìn)行移動直到作為SEM圖像而得到目標(biāo)的試樣表面部分為止。SEM被用于半導(dǎo)體圖案的缺陷、不良的觀察等，但近年來伴隨著半導(dǎo)體工藝的細(xì)微化，要求在SEM中進(jìn)行更高倍率的觀察。因此，對在SEM中使用的臺也要求更細(xì)微且高精度的動作。
[0003]而且，在觀察如半導(dǎo)體晶圓那樣相同的細(xì)微的圖案(單元)連續(xù)的試樣的情況下，以一定速度向預(yù)定的方向掃描試樣，通過目視或圖像處理測量通過SEM畫面上的單元的個數(shù)，由此確定觀察位置。這被稱為單元計(jì)數(shù)，為了進(jìn)行該操作，需要進(jìn)行用于使臺的并進(jìn)移動方向與試樣的掃描方向一致的旋轉(zhuǎn)(rotation)。另外，在試樣的形狀是立體的情況下，理想的是能夠使觀察方向變化而三維地觀察試樣，為此也需要進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動作。
[0004]邊看SEM圖像邊進(jìn)行臺的操作，因此在使試樣旋轉(zhuǎn)時，理想的是能夠以在SEM圖像上設(shè)定的假想點(diǎn)為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)從而使得視野不會移動。該動作功能被稱為保持位置旋轉(zhuǎn)(rotation eucentric)。在現(xiàn)有的臺中，由于旋轉(zhuǎn)軸的偏心、搖轉(zhuǎn)、或致動器、傳遞結(jié)構(gòu)的嘎嘎聲和反沖，SEM圖像上的旋轉(zhuǎn)中心的位置變動大，特別在高倍率觀察時難以將旋轉(zhuǎn)中心保持在SEM圖像內(nèi)。因此，在使試樣旋轉(zhuǎn)時，需要按照以下的步驟，即暫時降低觀察倍率而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，然后一邊通過并進(jìn)移動調(diào)整位置一邊再次提高倍率，該操作繁雜。另外，難以一邊使試樣旋轉(zhuǎn)一邊連續(xù)進(jìn)行觀察。例如在專利文獻(xiàn)I中公開了修正這樣的旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的技術(shù)。
[0005]另外，在專利文獻(xiàn)2中，公開以下的技術(shù)，即在掃描型電子顯微鏡中，通過設(shè)置在臺以外的基準(zhǔn)標(biāo)記圖像來修正電子射束掃描區(qū)域。另外，在專利文獻(xiàn)3中，公開了在帶電粒子裝置用試樣臺中在試樣臺上形成記號的結(jié)構(gòu)，進(jìn)而，在專利文獻(xiàn)4中，公開了以下的結(jié)構(gòu)，即在帶電粒子裝置的試樣固定臺中，在試樣固定臺上設(shè)置標(biāo)記，在外部成像裝置中檢測位置偏離。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本專利第4515179號公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2000-260379號公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)3:日本特開2007-18944號公報(bào)[0011]專利文獻(xiàn)4:日本特開2008-146990號公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0012]發(fā)明要解決的問題
[0013]在專利文獻(xiàn)I所公開的技術(shù)中，一邊使旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)一邊向基板上的旋轉(zhuǎn)中心附近照射電子射束EB，在基板上描繪能夠通過SEM等放大觀察整體的小直徑的測定圓，通過測定圓的測量求出偏心量而進(jìn)行修正。但是，在該方法中，不是只通過根據(jù)該方法描繪出的測定圓的輪廓求出位置偏離量而測定旋轉(zhuǎn)角的誤差進(jìn)行修正，不對因旋轉(zhuǎn)角誤差造成的位置偏離進(jìn)行修正。在其他的專利文獻(xiàn)中也同樣沒有解決上述的問題。
[0014]本發(fā)明就是鑒于這樣的問題而提出的，本發(fā)明的目的在于:提供一種臺裝置，其除了位置偏離量以外還修正旋轉(zhuǎn)誤差，能夠進(jìn)行高精度的保持位置旋轉(zhuǎn)動作。
[0015]解決問題的方案
[0016]為了達(dá)到解決上述問題的目的，本發(fā)明提供一種臺裝置，在裝載試樣而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和并進(jìn)移動的臺裝置中具備:旋轉(zhuǎn)桌，其載置試樣或安裝有試樣的試樣支架；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使旋轉(zhuǎn)桌旋轉(zhuǎn)；并進(jìn)機(jī)構(gòu)，其使旋轉(zhuǎn)桌并進(jìn)移動；臺控制單元，其依照從外部輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值，控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)，該臺裝置在試樣或試樣支架或旋轉(zhuǎn)桌上設(shè)置能夠測定位置和方向的標(biāo)記，測定在依照預(yù)定的動作模式使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)動作時的標(biāo)記的位置和方向，根據(jù)該測定的結(jié)果確定旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置，進(jìn)而將用于修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量和用于修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的并進(jìn)修正量生成為相對于旋轉(zhuǎn)角的修正量表，從修正量表中取得與輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值或?qū)嶋H旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量，使用所取得的這些修正量控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
[0017]為了生成該修正量表，測定在只旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時的標(biāo)記的位置和方向，根據(jù)其結(jié)果求出旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置和用于修正旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量，進(jìn)而測定為了使標(biāo)記作為假想旋轉(zhuǎn)中心位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動時的標(biāo)記的、至少位置、理想的是位置和方向，根據(jù)該結(jié)果求出修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量，根據(jù)它生成與旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的修正量表。
[0018]另外，作為使用修正量表進(jìn)行控制的方法，從修正量表取得與輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量，求出將取得的修正量與輸入的指令值相加所得的修正指令值，將其作為新的指令值進(jìn)行控制。
[0019]作為其他方法，具備:旋轉(zhuǎn)角檢測單元，其檢測旋轉(zhuǎn)角；并進(jìn)位置檢測單元，其檢測并進(jìn)位置，其中，從它們?nèi)〉脤?shí)際旋轉(zhuǎn)角和實(shí)際并進(jìn)位置，從修正量表取得與實(shí)際旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量，將從實(shí)際旋轉(zhuǎn)角和實(shí)際并進(jìn)位置減去了修正量所得的值作為反饋量進(jìn)行控制。
[0020]另外，在本發(fā)明中使用的標(biāo)記能夠確定位置和方向，設(shè)定具有至少2個以上的特征點(diǎn)、或?qū)ο筝S為I個以下的輪廓形狀的標(biāo)記。另外，能夠由操作者邊看SEM圖像邊選擇標(biāo)記。
[0021]理想的是本發(fā)明的臺裝置對驅(qū)動單元和電力傳遞機(jī)構(gòu)使用的嘎嘎聲、反沖小的設(shè)備，例如理想的是使用壓電電動機(jī)。[0022]發(fā)明效果
[0023]根據(jù)本發(fā)明，在臺裝置中，具備:設(shè)置在試樣等上的能夠測定位置和方向的標(biāo)記；標(biāo)記位置方向測定單元，其測定在依照預(yù)定的動作模式使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)動作時的標(biāo)記的位置和方向；旋轉(zhuǎn)中心確定單元，其根據(jù)測定結(jié)果確定旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置；修正量表生成單元，其將修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量和修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量生成為相對于旋轉(zhuǎn)角的修正量；記錄旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量的修正量表；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元，其從修正量表中取得與輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值或?qū)嶋H旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量，使用取得的修正量控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元，其控制并進(jìn)機(jī)構(gòu)，由此，能夠提供能夠修正旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量而進(jìn)行高精度的保持位置旋轉(zhuǎn)動作的臺裝置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0024]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的臺裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0025]圖2是表示使用本發(fā)明的實(shí)施例1的臺裝置的SEM的示意圖。
[0026]圖3是本發(fā)明的實(shí)施例1的臺裝置的正面圖。
[0027]圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的標(biāo)記的示意圖。
[0028]圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的標(biāo)記的應(yīng)用例子的示意圖。
[0029]圖6是本發(fā)明的實(shí)施例1的求出旋轉(zhuǎn)中心和旋轉(zhuǎn)角修正量以及并進(jìn)修正量的處理的流程圖。
[0030]圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的求出旋轉(zhuǎn)中心和旋轉(zhuǎn)角修正量的動作模式的示意圖。
[0031]圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的求出并進(jìn)修正量的動作模式的示意圖。
[0032]圖9是本發(fā)明的實(shí)施例1的測定標(biāo)記位置和方向的操作畫面的說明圖。
[0033]圖10是本發(fā)明的實(shí)施例1的設(shè)定標(biāo)記的操作畫面的說明圖。
[0034]圖11是本發(fā)明的實(shí)施例1的應(yīng)用例子的測定標(biāo)記位置和方向的操作畫面的說明圖。
[0035]圖12是表示本發(fā)明的實(shí)施例2的臺裝置的框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036]以下，使用【專利附圖】
【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施例。
[0037]實(shí)施例1
[0038](SEM 的結(jié)構(gòu))
[0039]在本發(fā)明的實(shí)施例1中，使用圖2說明使用臺裝置的SM的結(jié)構(gòu)。在實(shí)施例1中，SEMl由具備電子光學(xué)系統(tǒng)的鏡筒2、試樣室3、臺11構(gòu)成。從電子槍4產(chǎn)生的初級電子線5通過收斂透鏡6、物鏡7照射到試樣12，通過次級電子檢測器10檢測從試樣12產(chǎn)生的次級電子9。初級電子線5通過掃描偏光器8 二維狀地對所觀察的試樣12的表面進(jìn)行掃描。電子光學(xué)系統(tǒng)控制單元13控制基于掃描偏光器8的初級電子線5的掃描，并且將通過次級電子檢測器10檢測出的次級電子9的強(qiáng)度作為與初級電子線的掃描同步地掃描生成的圖像的亮度調(diào)制輸入，由此生成試樣表面的觀察圖像(SEM圖像)。[0040]所生成的SEM圖像被顯示在顯示裝置14上。成為觀察對象的試樣12被裝載到放置在試樣室3內(nèi)的臺11。臺11使試樣12并進(jìn)/旋轉(zhuǎn)移動，具有水平方向(XY方向)、上下方向(Z方向)、旋轉(zhuǎn)(圍繞Z軸的旋轉(zhuǎn))、傾斜(圍繞X軸的旋轉(zhuǎn))等的自由度。臺控制單元15例如依照跟蹤球、操縱桿等臺操作輸入單元16的輸入來控制臺11。也可以使用通過網(wǎng)絡(luò)、串行通信等連接的PC作為臺操作輸入單元16。首先設(shè)定顯示在顯示裝置14上的SEM圖像上的假想旋轉(zhuǎn)中心位置，通過臺操作輸入單元16輸入旋轉(zhuǎn)角來進(jìn)行實(shí)施例1作為對象的旋轉(zhuǎn)操作。
[0041](臺裝置)
[0042]使用圖3說明實(shí)施例1的臺裝置的具體結(jié)構(gòu)的一個例子。臺11由直接或經(jīng)由試樣支架裝載試樣的旋轉(zhuǎn)桌210、使旋轉(zhuǎn)桌210旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200、使旋轉(zhuǎn)桌210并進(jìn)移動的并進(jìn)機(jī)構(gòu)100構(gòu)成。
[0043]通過使并進(jìn)機(jī)構(gòu)100和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200動作而使試樣并進(jìn)/旋轉(zhuǎn)移動，進(jìn)而通過使并進(jìn)機(jī)構(gòu)100和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200協(xié)調(diào)動作，實(shí)現(xiàn)以設(shè)置在與旋轉(zhuǎn)桌210的旋轉(zhuǎn)軸不同的位置的假想點(diǎn)為中心的旋轉(zhuǎn)動作、即保持位置旋轉(zhuǎn)動作。
[0044]并進(jìn)機(jī)構(gòu)100例如將線性導(dǎo)軌102安裝在基座101上，使可動桌103沿著它移動。使用線性電動機(jī)作為驅(qū)動可動桌103的并進(jìn)機(jī)構(gòu)驅(qū)動單元。將線性電動機(jī)的軸104安裝在基座上，將電動機(jī)主體105安裝在可動桌上，通過使電動機(jī)主體105沿著軸104移動，而使可動桌103移動。
[0045]作為檢測可動桌103的位置的并進(jìn)位置檢測單元，使用線性標(biāo)尺即可。在安裝在基座101上的線性標(biāo)尺106上以每一定間隔附加狹縫，使安裝在可動桌103上的傳感器頭107在其上移動。在傳感器頭107每次通過狹縫時產(chǎn)生脈沖，通過對該脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，得到可動桌103相對于基座101的位置。為了實(shí)現(xiàn)2個自由度的并進(jìn)移動，如圖3所示那樣重疊2段的并進(jìn)機(jī)構(gòu)即可。
[0046]旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200將旋轉(zhuǎn)電動機(jī)205安裝在并進(jìn)機(jī)構(gòu)100的最上段的可動桌103b上，將旋轉(zhuǎn)桌210安裝在旋轉(zhuǎn)電動機(jī)205的軸上。作為檢測旋轉(zhuǎn)桌210的旋轉(zhuǎn)角的旋轉(zhuǎn)角檢測單元，使用旋轉(zhuǎn)標(biāo)尺206。與線性標(biāo)尺同樣,在安裝在旋轉(zhuǎn)桌210上的旋轉(zhuǎn)標(biāo)尺206上以一定角度間隔附加狹縫，通過用安裝在可動桌103b上的傳感器頭207讀取該狹縫，而取得旋轉(zhuǎn)桌210相對于可動桌103的旋轉(zhuǎn)角。
[0047]此外，在實(shí)施例1中作為對象的臺機(jī)構(gòu)具備使試樣旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和使其并進(jìn)移動的并進(jìn)機(jī)構(gòu)即可，本發(fā)明并不限于實(shí)施例1的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
[0048](標(biāo)記的設(shè)定)
[0049]在本發(fā)明中，在試樣支架或旋轉(zhuǎn)桌上設(shè)置用于測定位置和方向的標(biāo)記，測定在依照預(yù)定模式使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動時的標(biāo)記位置和方向，根據(jù)其測定結(jié)果求出旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心(位置)、修正旋轉(zhuǎn)誤差以及旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的修正量。
[0050]在本發(fā)明中使用的標(biāo)記使用能夠在SEM圖像上確定并且能夠同時測定位置和方向的特征性圖形。例如，使用圖4所示那樣的三角形400，將三角形400的各頂點(diǎn)401、402、403設(shè)定為特征點(diǎn)。
[0051]在使用這樣的具有多個特征點(diǎn)的標(biāo)記的情況下，使用特征點(diǎn)401、402、403的重心位置作為標(biāo)記的代表位置，使用將特征點(diǎn)中的2點(diǎn)連接起來的線段(理想的是使用連接距離最長的2點(diǎn)的線段)、或從重心位置朝向I個特征點(diǎn)的向量404作為標(biāo)記的方向即可。在使用具有多個特征點(diǎn)的標(biāo)記的情況下，如果特征點(diǎn)有至少2點(diǎn)，則可以作為標(biāo)記使用。
[0052]另外，作為標(biāo)記的應(yīng)用例子，可以如圖5所示那樣使用特征性圖形的輪廓形狀自身。這在使用圖像處理裝置的情況下是有效的，選擇包含特征性圖形400的區(qū)域405，對該區(qū)域進(jìn)行邊沿強(qiáng)調(diào)處理，提取特征性輪廓形狀400。使用輪廓圖案400的重心作為標(biāo)記的代表位置，使用圖案的寬度最長的部分作為標(biāo)記的方向即可。但是，在利用輪廓形狀的情況下，如果有多個對稱軸，則方向并不唯一地確定，因此無法使用這樣的圖形(圓、正多邊形
[0053](旋轉(zhuǎn)桌的修正量的導(dǎo)出)
[0054]在實(shí)施例1中，依照預(yù)定的模式使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200和并進(jìn)機(jī)構(gòu)100移動，測定這時的標(biāo)記的位置和方向，確定旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心，求出修正旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量、以及修正旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的并進(jìn)修正量。以下，使用圖6~8說明其導(dǎo)出方法。
[0055]開始，使用圖6的流程圖說明旋轉(zhuǎn)中心和旋轉(zhuǎn)角修正量、并進(jìn)修正量的導(dǎo)出。首先，通過上述的方法在試樣等上設(shè)定標(biāo)記(步驟S1000)。
[0056]接著，只使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200旋轉(zhuǎn)而測定標(biāo)記的位置和方向(S1001)。例如如圖7所示那樣，只使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200移動一定角度刻度，測定這時的標(biāo)記的位置和方向。圖7表示每次旋轉(zhuǎn)90度時的標(biāo)記位置。旋轉(zhuǎn)角指令值至少是3個即可，另外不嚴(yán)格要求必須是固定角度刻度。其結(jié)果是例如在η次地使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)移動并進(jìn)行測定時，將對旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)角指令值、這時測定的標(biāo)記的位置、標(biāo)記的方向設(shè)定如下:
[0057]旋轉(zhuǎn)角指令值:9ri(i=l,......，η)
[0058]標(biāo)記的位置:(Xi，Yi)(i=l，......，n)
[0059]標(biāo)記的方向:(i=l，......，n)
[0060]接著，確定旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心(S1002)。如果設(shè)旋轉(zhuǎn)中心為(Xe，Yc)，旋轉(zhuǎn)半徑為R，則以下的關(guān)系式成立。
[0061](公式I)
[0062](X1-Xc)2+ (Y1-Yc) 2=R2......(I)
[0063]如果對該關(guān)系式應(yīng)用最小二乘法，則能夠確定誤差最小的(Xe, Yc)和R。
[0064]接著，求出用于修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量(S1003)。根據(jù)旋轉(zhuǎn)角指令值和標(biāo)記的方向Θ i如下述這樣求出旋轉(zhuǎn)誤差Δ 0i (i=l,......，n)。
[0065](公式2)
[0066]Δ θ i= ( θ ?- Θ offset) - Θ r1......(2)
[0067]在此，Θ offset是標(biāo)記的方向相對于旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)角的偏移值。能夠使用該Δ 修正旋轉(zhuǎn)誤差，利用它作為旋轉(zhuǎn)角修正量即可。
[0068]此外，在S1002和S1003中，表示出在實(shí)施例1中進(jìn)行的確定/運(yùn)算方法的一個例子，但也可以組合標(biāo)記的位置和方向進(jìn)行更高精度的運(yùn)算。
[0069]接著，使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200、并進(jìn)機(jī)構(gòu)100移動使得以標(biāo)記為中心，測定標(biāo)記的位置變化量、理想的是位置和方向(S1004)。如果只單純地使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)移動而將旋轉(zhuǎn)角設(shè)為0ri，則標(biāo)記的理想位置坐標(biāo)如下。
[0070](Xc+Rcos ( Θ ri+ Θ O), Yc+Rsin ( Θ ri+ θ O))[0071]在此，θ O是標(biāo)記初始位置相對于旋轉(zhuǎn)桌角度原點(diǎn)的角度。因此，在使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時，如果使并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動上述標(biāo)記位置的變動量，則能夠?qū)崿F(xiàn)以標(biāo)記為假想中心的旋轉(zhuǎn)(這是根據(jù)幾何學(xué)關(guān)系進(jìn)行旋轉(zhuǎn)中心位置的修正的處理，稱為幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正)。這時，一邊進(jìn)行在S1003中求出的旋轉(zhuǎn)角修正和上述的幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正，一邊測定如圖8所示那樣將旋轉(zhuǎn)角改變?yōu)?ri (i=l,……，n)時的標(biāo)記的位置和方向。圖8表示每次旋轉(zhuǎn)90度時的情況。
[0072]接著，求出修正旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的并進(jìn)修正量(S1005)。S1004中的標(biāo)記的位置和方向的測定結(jié)果分別如下。
[0073]標(biāo)記的位置:(X2i，Y2i)(i=l，......，η)
[0074]標(biāo)記的方向:θ2i (i=l，......，n)
[0075]在是旋轉(zhuǎn)軸的單純偏心、旋轉(zhuǎn)軸的傾斜的情況下，能夠通過上述的幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正來修正旋轉(zhuǎn)中心的位置變動，但在發(fā)生了非線性的變動的情況下，通過該測量會產(chǎn)生標(biāo)記的位置變動。該標(biāo)記的位置變動量相當(dāng)于旋轉(zhuǎn)中心的位置變動，因此將標(biāo)記的位置變動量作為并進(jìn)修正量即可。
[0076]此外，在此使用標(biāo)記的位置求出并進(jìn)修正量，但也可以進(jìn)行使用標(biāo)記的位置和方向更高精度地求解的運(yùn)算。
[0077]作為以旋轉(zhuǎn)角為索引的修正量表來保存通過以上的測定/運(yùn)算求出的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量(S1006)。在給出任意的旋轉(zhuǎn)角時，從修正量表中取得修正值。
[0078](基于特征點(diǎn)標(biāo)記的修正操作)
[0079]接著，使用圖9~11說明標(biāo)記的設(shè)定和測定方法。圖9~11表示圖4所示的標(biāo)記具有特征性圖形的特征點(diǎn)的情況下的測定時的顯示裝置14中的SEM圖像的操作畫面。在圖9中，首先根據(jù)需要使并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動，將標(biāo)記400顯示在SEM圖像500上。這時，使用特征點(diǎn)401~403測定標(biāo)記的代表位置和方向，因此使畫面上的X光標(biāo)508和y光標(biāo)509移動而與測定位置的特征點(diǎn)匹配。如果一致則按下設(shè)置(Set)按鍵504，這時該特征點(diǎn)的位置被確定，在特征點(diǎn)位置顯示欄501中顯示其坐標(biāo)。505是取消(Cancel)按鍵。
[0080]對全部特征點(diǎn)進(jìn)行該操作，如果結(jié)束則按下全部設(shè)置(AllSet)按鍵506。由此，計(jì)算標(biāo)記的代表位置和方向，將其結(jié)果顯示在標(biāo)記位置/方向顯示欄502中，并且在SEM圖像上也顯示其向量404。
[0081]改變旋轉(zhuǎn)角指令值而繼續(xù)測定，如果對全部的旋轉(zhuǎn)角的測定結(jié)束，則按下完成(Finish)按鍵507，由此進(jìn)行旋轉(zhuǎn)中心的確定、修正量的計(jì)算。在SEM圖像500上設(shè)置索引顯示503，由此能夠確認(rèn)測定個數(shù)。
[0082](基于輪廓形狀標(biāo)記的修正操作)
[0083]使用圖10和圖11說明將圖5所示的輪廓形狀圖案用作標(biāo)記的情況下的修正。在使用形狀圖案時，首先進(jìn) 行圖案的登記。圖10是其登記畫面的例子。使并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動，將希望登記的形狀圖案400顯示在SEM圖像上。接著，使用光標(biāo)設(shè)定包含形狀圖案的區(qū)域405，按下圖案設(shè)置(Pattern Set)按鍵510。由此，進(jìn)行邊沿強(qiáng)調(diào)、二值化等圖像處理，將形狀圖案400登記為標(biāo)記。511是下一個(Next)按鍵。
[0084]在圖11中表示測定標(biāo)記位置和方向時的操作方法的例子。根據(jù)需要使并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動，將登記了的形狀圖案顯示在SEM圖像500上。根據(jù)需要設(shè)定區(qū)域405，如果按下OK(確認(rèn))按鍵512，則進(jìn)行邊沿強(qiáng)調(diào)、二值化、圖案匹配等圖像處理，提取形狀圖案400，求出其代表位置和方向，顯示在標(biāo)記位置/方向顯示欄502中，并且在SEM圖像上也顯示其向量404。
[0085]與特征點(diǎn)標(biāo)記同樣，改變旋轉(zhuǎn)角指令值繼續(xù)測定，如果對全部的旋轉(zhuǎn)角的測定結(jié)束，則按下完成(Finish)按鍵507，由此進(jìn)行旋轉(zhuǎn)中心的確定、修正量的計(jì)算。
[0086](臺裝置的控制)
[0087]接著，使用圖1說明實(shí)施例1的臺裝置的控制方法。實(shí)施例1的臺裝置由并進(jìn)機(jī)構(gòu)100、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200、通過外部提供的指令值來控制并進(jìn)機(jī)構(gòu)100和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200的臺控制單元300構(gòu)成。
[0088]臺控制單元300具備控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元301、控制并進(jìn)機(jī)構(gòu)的并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元302、在進(jìn)行圍繞假想中心點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)時根據(jù)幾何學(xué)修正旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正單元303、保存旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量的修正量表304。
[0089]另外，具備進(jìn)行S1002的處理而確定旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)中心確定單元305、以及進(jìn)行S1003、S1005、S1006而求出旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量生成修正量表304的修正量表生成單元306、標(biāo)記位置/方向測定單元307。也可以在臺控制單元300中具備這些單元。另夕卜，具備具有旋轉(zhuǎn)標(biāo)尺和傳感器頭的旋轉(zhuǎn)角檢測單元208、具有線性標(biāo)尺和傳感器頭的并進(jìn)位置檢測單元108。
[0090]如下述這樣進(jìn)行臺裝置的動作。首先，在動作開始前，確定旋轉(zhuǎn)中心作為幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正單元303的參數(shù)，另外生成修正量表304。在從外部給出了旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值時，從修正量表304中取得與給出的旋轉(zhuǎn)角指令值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量。修正量表304將旋轉(zhuǎn)角作為索引進(jìn)行參照，但在所給出的旋轉(zhuǎn)角指令值位于前后的索引的中間的情況下，進(jìn)行內(nèi)插補(bǔ)插，取得修正量。
[0091]所取得的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量與所給出的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置修正值相加，據(jù)此控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元301和并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元302，使臺移動。
[0092]在現(xiàn)有技術(shù)中，產(chǎn)生從旋轉(zhuǎn)軸到假想中心之間的距離乘以旋轉(zhuǎn)誤差的量的假想旋轉(zhuǎn)中心位置的變動。在實(shí)施例1中，對旋轉(zhuǎn)誤差進(jìn)行了修正，因此通過進(jìn)行旋轉(zhuǎn)角的修正能夠修正其變動。另外，通過針對旋轉(zhuǎn)角求出作為表的修正量，對于無法作為單純的旋轉(zhuǎn)中心的偏差而進(jìn)行修正的非線性的變動也能夠?qū)⑵湫拚?，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的位置保持旋轉(zhuǎn)動作。
[0093]此外，對于實(shí)施例1的臺裝置的并進(jìn)機(jī)構(gòu)100和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200，理想的是致動器、傳遞機(jī)構(gòu)沒有嘎嘎聲和反沖。因此，如果使用壓電電動機(jī)作為并進(jìn)機(jī)構(gòu)100和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200的驅(qū)動單元，則能夠謀求降低嘎嘎聲和反沖。由此，能夠降低不依存于旋轉(zhuǎn)角的變動和非線性的變動，能夠?qū)崿F(xiàn)更高精度的保持位置旋轉(zhuǎn)動作。
[0094]實(shí)施例2
[0095]接著，使用圖12說明本發(fā)明的實(shí)施例2。旋轉(zhuǎn)中心的確定和修正量表的生成與實(shí)施例I相同。實(shí)施例2中的臺裝置由并進(jìn)機(jī)構(gòu)100、并進(jìn)位置檢測單元108、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200、旋轉(zhuǎn)角檢測單元208、臺控制單元300構(gòu)成，進(jìn)而在臺控制單元300中具備旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元301、并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元302、幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正單元303、修正量表304。另外，雖然未圖示，但在臺控制單元300的內(nèi)部或外部具備旋轉(zhuǎn)中心確定單元、修正量表生成單元。
[0096]在實(shí)施例2的臺裝置中，取得與通過旋轉(zhuǎn)角檢測單元208檢測出的旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量。在旋轉(zhuǎn)角位于修正量表的前后的索引的中間的情況下，進(jìn)行內(nèi)插補(bǔ)插，取得修正量。
[0097]分別從由旋轉(zhuǎn)角檢測單元208檢測出的旋轉(zhuǎn)角和由并進(jìn)位置檢測單元108檢測出的并進(jìn)位置減去所取得的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量，將其值作為向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元301和并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元302的反饋量而進(jìn)行控制。
[0098]使用以上那樣的結(jié)構(gòu)，也能夠修正旋轉(zhuǎn)誤差，還能夠?qū)Ψ蔷€性的變動進(jìn)行修正，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的保持位置旋轉(zhuǎn)動作。
[0099]符號的說明
[0100]1:掃描電子顯微鏡；11:臺；12:試樣；13:電子光學(xué)系統(tǒng)控制單元；14:顯示裝置；15:臺控制單元；16:臺操作輸入單元；100:并進(jìn)機(jī)構(gòu)；101:并進(jìn)機(jī)構(gòu)基座；102:線性導(dǎo)軌；103:并進(jìn)機(jī)構(gòu)可動桌；104:線性電動機(jī)軸；105:線性電動機(jī)主體；106:線性標(biāo)尺；107:傳感器頭；108:并進(jìn)位置檢測單元；200:旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；205:旋轉(zhuǎn)電動機(jī)；208:旋轉(zhuǎn)角檢測單元；210:旋轉(zhuǎn)桌；300:臺控制單元；301:旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元；302:并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元；303:幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正單元；304:修正量表；305:旋轉(zhuǎn)中心確定單元；306:修正量表生成步驟；400:成為標(biāo)記的圖形；401?403:特征點(diǎn)；404:表示標(biāo)記的代表位置/方向的向量；405:圖像處理區(qū)域；500 =SEM圖像。
【權(quán)利要求】
1.一種臺裝置，具備:旋轉(zhuǎn)桌，其直接或經(jīng)由試樣支架載置試樣；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使上述旋轉(zhuǎn)桌旋轉(zhuǎn)；并進(jìn)機(jī)構(gòu)，其使上述旋轉(zhuǎn)桌并進(jìn)移動；臺控制單元，其根據(jù)從外部輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值來控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)，該臺裝置的特征在于，具備: 設(shè)置在上述試樣或上述試樣支架或上述旋轉(zhuǎn)桌上的能夠測定位置和方向的標(biāo)記； 標(biāo)記位置方向測定單元，其測定在依照預(yù)定的動作模式使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)動作時的上述標(biāo)記的位置和方向； 旋轉(zhuǎn)中心確定單元，其根據(jù)上述測定的結(jié)果確定上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置； 修正量表生成單元，其將修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量和修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量生成為相對于旋轉(zhuǎn)角的修正量； 修正量表，其記錄上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元以及并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元，其從上述修正量表中取得與上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值或?qū)嶋H旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量，使用取得的這些修正量控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)以及上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臺裝置，其特征在于， 上述修正量表生成單元測定只使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時的上述標(biāo)記的位置和方向，根據(jù)其結(jié)果求出上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置、修正旋轉(zhuǎn)誤差的上述旋轉(zhuǎn)角修正量， 進(jìn)而，上述修正量表生成單元測定使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動時的上述標(biāo)記的位置，使得利用所得到的上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置和旋轉(zhuǎn)角修正量以上述標(biāo)記作為假想旋轉(zhuǎn)中心位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，根據(jù)其結(jié)果求出修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量，根據(jù)所求出的`上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量生成相對于旋轉(zhuǎn)角的上述修正量表。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的臺裝置，其特征在于， 上述臺控制單元從上述修正量表中取得與上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量，求出將取得的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量與上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值相加所得的修正指令值，針對上述修正指令值，經(jīng)由上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的臺裝置，其特征在于，具備: 旋轉(zhuǎn)角檢測單元，其檢測上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)角； 并進(jìn)位置檢測單元，其檢測上述旋轉(zhuǎn)桌的并進(jìn)位置，其中 從上述旋轉(zhuǎn)角檢測單元和上述并進(jìn)位置檢測單元檢測實(shí)際旋轉(zhuǎn)角和實(shí)際并進(jìn)位置，從上述修正量表中取得與上述實(shí)際旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量，針對上述實(shí)際旋轉(zhuǎn)角和上述并進(jìn)位置減去上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量來求出修正旋轉(zhuǎn)角和修正并進(jìn)位置，使用上述修正旋轉(zhuǎn)角和上述修正并進(jìn)位置作為反饋量來控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4的任意一項(xiàng)所述的臺裝置，其特征在于， 上述標(biāo)記使用能夠判定為在SEM圖像中至少具有2個特征點(diǎn)的圖案、或具有對象軸為I個以下的輪廓形狀的圖案的標(biāo)記。
6.根據(jù)權(quán)利要求1~5的任意一項(xiàng)所述的臺裝置，其特征在于，具備:標(biāo)記選擇單元，其由操作者邊看SEM圖像邊選擇標(biāo)記。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6的任意一項(xiàng)所述的臺裝置，其特征在于， 使用壓電電動機(jī)作為驅(qū)動上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動單元。
8.根據(jù)權(quán)利要求1~7的任意一項(xiàng)所述的臺裝置，其特征在于，其被用于帶電粒子束裝置中。
9.一種臺裝置的控制方法，該臺裝置具備:旋轉(zhuǎn)桌，其直接或經(jīng)由試樣支架載置試樣；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使上述旋轉(zhuǎn)桌旋轉(zhuǎn)；并進(jìn)機(jī)構(gòu)，其使上述旋轉(zhuǎn)桌并進(jìn)移動；臺控制單元，其根據(jù)從外部輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值來控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)，該臺裝置的控制方法的特征在于， 在上述試樣或上述試樣支架或上述旋轉(zhuǎn)桌上設(shè)置能夠測定位置和方向的標(biāo)記， 測定在根據(jù)預(yù)定的動作模式使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)動作時的上述標(biāo)記的位置和方向， 根據(jù)上述測定的結(jié)果確定上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置， 進(jìn)而將用于修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量和用于修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量生成為相對于旋轉(zhuǎn)角的修正量表， 從上述修正量表中取得與 上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值或?qū)嶋H旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量， 使用所取得的這些修正量控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的臺裝置的控制方法，其特征在于， 上述修正量表的生成，測定只使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時的上述標(biāo)記的位置和方向， 根據(jù)其結(jié)果求出上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置、用于修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的上述旋轉(zhuǎn)角修正量， 測定使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動時的上述標(biāo)記的至少位置，使得利用上述所得到的旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置和旋轉(zhuǎn)角修正量以上述標(biāo)記作為假想旋轉(zhuǎn)中心位置而旋轉(zhuǎn)，根據(jù)其結(jié)果求出用于修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量，根據(jù)所求出的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量生成相對于旋轉(zhuǎn)角的上述修正量表。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的臺裝置的控制方法，其特征在于， 從上述修正量表中取得與上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量， 求出將所取得的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量與上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值相加所得的修正指令值， 針對上述修正指令值來控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
12.根據(jù)權(quán)利要求9~11的任意一項(xiàng)所述的臺裝置的控制方法，其特征在于， 從旋轉(zhuǎn)角檢測單元和并進(jìn)位置檢測單元檢測實(shí)際旋轉(zhuǎn)角和實(shí)際并進(jìn)位置， 從上述修正量表中取得與上述實(shí)際旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量， 針對上述實(shí)際旋轉(zhuǎn)角和上述并進(jìn)位置減去上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量，求出修正旋轉(zhuǎn)角和修正并進(jìn)位置，使用上述修正旋轉(zhuǎn)角和上述修正并進(jìn)位置作為反饋量，控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
【文檔編號】H01J37/22GK103608890SQ201280028423
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2012年6月6日 優(yōu)先權(quán)日:2011年6月9日
【發(fā)明者】桃井康行, 高橋要, 羽根田茂 申請人:株式會社日立高新技術(shù)
【專利摘要】在本發(fā)明的臺裝置中，在試樣或試樣支架或旋轉(zhuǎn)桌上設(shè)置能夠測定位置和方向的標(biāo)記，依照預(yù)定的動作模式進(jìn)行臺的旋轉(zhuǎn)并進(jìn)移動，測定這時的標(biāo)記的位置和方向，根據(jù)其結(jié)果確定旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置，并且求出修正旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量和修正旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量，生成對旋轉(zhuǎn)角的修正量表，從修正量表中取得與輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值或?qū)嶋H旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的修正量，修正所輸入的旋轉(zhuǎn)/并進(jìn)指令值或檢測出的旋轉(zhuǎn)角/并進(jìn)位置，控制臺裝置。
【專利說明】臺裝置以及臺裝置的控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在掃描電子顯微鏡等帶電粒子束裝置中裝載觀察試樣進(jìn)行并進(jìn)/旋轉(zhuǎn)移動而使觀察視野移動的臺裝置及其控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]作為代表性的帶電粒子束裝置的掃描電子顯微鏡(SEM)，一邊二維狀地向觀察試樣的表面掃描電子射束(初級電子線)一邊進(jìn)行照射，將從試樣二次產(chǎn)生的次級電子的強(qiáng)度作為與初級電子線的掃描同步地掃描生成的圖像的亮度調(diào)制輸入，由此取得試樣表面的SEM圖像。這時，通過裝載試樣的臺的移動來選擇成為觀察對象的試樣表面。通常，操作者邊看SEM圖像邊對跟蹤球等操作輸入單元進(jìn)行操作，使臺進(jìn)行移動直到作為SEM圖像而得到目標(biāo)的試樣表面部分為止。SEM被用于半導(dǎo)體圖案的缺陷、不良的觀察等，但近年來伴隨著半導(dǎo)體工藝的細(xì)微化，要求在SEM中進(jìn)行更高倍率的觀察。因此，對在SEM中使用的臺也要求更細(xì)微且高精度的動作。
[0003]而且，在觀察如半導(dǎo)體晶圓那樣相同的細(xì)微的圖案(單元)連續(xù)的試樣的情況下，以一定速度向預(yù)定的方向掃描試樣，通過目視或圖像處理測量通過SEM畫面上的單元的個數(shù)，由此確定觀察位置。這被稱為單元計(jì)數(shù)，為了進(jìn)行該操作，需要進(jìn)行用于使臺的并進(jìn)移動方向與試樣的掃描方向一致的旋轉(zhuǎn)(rotation)。另外，在試樣的形狀是立體的情況下，理想的是能夠使觀察方向變化而三維地觀察試樣，為此也需要進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動作。
[0004]邊看SEM圖像邊進(jìn)行臺的操作，因此在使試樣旋轉(zhuǎn)時，理想的是能夠以在SEM圖像上設(shè)定的假想點(diǎn)為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)從而使得視野不會移動。該動作功能被稱為保持位置旋轉(zhuǎn)(rotation eucentric)。在現(xiàn)有的臺中，由于旋轉(zhuǎn)軸的偏心、搖轉(zhuǎn)、或致動器、傳遞結(jié)構(gòu)的嘎嘎聲和反沖，SEM圖像上的旋轉(zhuǎn)中心的位置變動大，特別在高倍率觀察時難以將旋轉(zhuǎn)中心保持在SEM圖像內(nèi)。因此，在使試樣旋轉(zhuǎn)時，需要按照以下的步驟，即暫時降低觀察倍率而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，然后一邊通過并進(jìn)移動調(diào)整位置一邊再次提高倍率，該操作繁雜。另外，難以一邊使試樣旋轉(zhuǎn)一邊連續(xù)進(jìn)行觀察。例如在專利文獻(xiàn)I中公開了修正這樣的旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的技術(shù)。
[0005]另外，在專利文獻(xiàn)2中，公開以下的技術(shù)，即在掃描型電子顯微鏡中，通過設(shè)置在臺以外的基準(zhǔn)標(biāo)記圖像來修正電子射束掃描區(qū)域。另外，在專利文獻(xiàn)3中，公開了在帶電粒子裝置用試樣臺中在試樣臺上形成記號的結(jié)構(gòu)，進(jìn)而，在專利文獻(xiàn)4中，公開了以下的結(jié)構(gòu)，即在帶電粒子裝置的試樣固定臺中，在試樣固定臺上設(shè)置標(biāo)記，在外部成像裝置中檢測位置偏離。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本專利第4515179號公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2000-260379號公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)3:日本特開2007-18944號公報(bào)[0011]專利文獻(xiàn)4:日本特開2008-146990號公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0012]發(fā)明要解決的問題
[0013]在專利文獻(xiàn)I所公開的技術(shù)中，一邊使旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)一邊向基板上的旋轉(zhuǎn)中心附近照射電子射束EB，在基板上描繪能夠通過SEM等放大觀察整體的小直徑的測定圓，通過測定圓的測量求出偏心量而進(jìn)行修正。但是，在該方法中，不是只通過根據(jù)該方法描繪出的測定圓的輪廓求出位置偏離量而測定旋轉(zhuǎn)角的誤差進(jìn)行修正，不對因旋轉(zhuǎn)角誤差造成的位置偏離進(jìn)行修正。在其他的專利文獻(xiàn)中也同樣沒有解決上述的問題。
[0014]本發(fā)明就是鑒于這樣的問題而提出的，本發(fā)明的目的在于:提供一種臺裝置，其除了位置偏離量以外還修正旋轉(zhuǎn)誤差，能夠進(jìn)行高精度的保持位置旋轉(zhuǎn)動作。
[0015]解決問題的方案
[0016]為了達(dá)到解決上述問題的目的，本發(fā)明提供一種臺裝置，在裝載試樣而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和并進(jìn)移動的臺裝置中具備:旋轉(zhuǎn)桌，其載置試樣或安裝有試樣的試樣支架；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使旋轉(zhuǎn)桌旋轉(zhuǎn)；并進(jìn)機(jī)構(gòu)，其使旋轉(zhuǎn)桌并進(jìn)移動；臺控制單元，其依照從外部輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值，控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)，該臺裝置在試樣或試樣支架或旋轉(zhuǎn)桌上設(shè)置能夠測定位置和方向的標(biāo)記，測定在依照預(yù)定的動作模式使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)動作時的標(biāo)記的位置和方向，根據(jù)該測定的結(jié)果確定旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置，進(jìn)而將用于修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量和用于修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的并進(jìn)修正量生成為相對于旋轉(zhuǎn)角的修正量表，從修正量表中取得與輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值或?qū)嶋H旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量，使用所取得的這些修正量控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
[0017]為了生成該修正量表，測定在只旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時的標(biāo)記的位置和方向，根據(jù)其結(jié)果求出旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置和用于修正旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量，進(jìn)而測定為了使標(biāo)記作為假想旋轉(zhuǎn)中心位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動時的標(biāo)記的、至少位置、理想的是位置和方向，根據(jù)該結(jié)果求出修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量，根據(jù)它生成與旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的修正量表。
[0018]另外，作為使用修正量表進(jìn)行控制的方法，從修正量表取得與輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量，求出將取得的修正量與輸入的指令值相加所得的修正指令值，將其作為新的指令值進(jìn)行控制。
[0019]作為其他方法，具備:旋轉(zhuǎn)角檢測單元，其檢測旋轉(zhuǎn)角；并進(jìn)位置檢測單元，其檢測并進(jìn)位置，其中，從它們?nèi)〉脤?shí)際旋轉(zhuǎn)角和實(shí)際并進(jìn)位置，從修正量表取得與實(shí)際旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量，將從實(shí)際旋轉(zhuǎn)角和實(shí)際并進(jìn)位置減去了修正量所得的值作為反饋量進(jìn)行控制。
[0020]另外，在本發(fā)明中使用的標(biāo)記能夠確定位置和方向，設(shè)定具有至少2個以上的特征點(diǎn)、或?qū)ο筝S為I個以下的輪廓形狀的標(biāo)記。另外，能夠由操作者邊看SEM圖像邊選擇標(biāo)記。
[0021]理想的是本發(fā)明的臺裝置對驅(qū)動單元和電力傳遞機(jī)構(gòu)使用的嘎嘎聲、反沖小的設(shè)備，例如理想的是使用壓電電動機(jī)。[0022]發(fā)明效果
[0023]根據(jù)本發(fā)明，在臺裝置中，具備:設(shè)置在試樣等上的能夠測定位置和方向的標(biāo)記；標(biāo)記位置方向測定單元，其測定在依照預(yù)定的動作模式使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)動作時的標(biāo)記的位置和方向；旋轉(zhuǎn)中心確定單元，其根據(jù)測定結(jié)果確定旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置；修正量表生成單元，其將修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量和修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量生成為相對于旋轉(zhuǎn)角的修正量；記錄旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量的修正量表；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元，其從修正量表中取得與輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值或?qū)嶋H旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量，使用取得的修正量控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元，其控制并進(jìn)機(jī)構(gòu)，由此，能夠提供能夠修正旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量而進(jìn)行高精度的保持位置旋轉(zhuǎn)動作的臺裝置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0024]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的臺裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0025]圖2是表示使用本發(fā)明的實(shí)施例1的臺裝置的SEM的示意圖。
[0026]圖3是本發(fā)明的實(shí)施例1的臺裝置的正面圖。
[0027]圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的標(biāo)記的示意圖。
[0028]圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的標(biāo)記的應(yīng)用例子的示意圖。
[0029]圖6是本發(fā)明的實(shí)施例1的求出旋轉(zhuǎn)中心和旋轉(zhuǎn)角修正量以及并進(jìn)修正量的處理的流程圖。
[0030]圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的求出旋轉(zhuǎn)中心和旋轉(zhuǎn)角修正量的動作模式的示意圖。
[0031]圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的求出并進(jìn)修正量的動作模式的示意圖。
[0032]圖9是本發(fā)明的實(shí)施例1的測定標(biāo)記位置和方向的操作畫面的說明圖。
[0033]圖10是本發(fā)明的實(shí)施例1的設(shè)定標(biāo)記的操作畫面的說明圖。
[0034]圖11是本發(fā)明的實(shí)施例1的應(yīng)用例子的測定標(biāo)記位置和方向的操作畫面的說明圖。
[0035]圖12是表示本發(fā)明的實(shí)施例2的臺裝置的框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036]以下，使用【專利附圖】
【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施例。
[0037]實(shí)施例1
[0038](SEM 的結(jié)構(gòu))
[0039]在本發(fā)明的實(shí)施例1中，使用圖2說明使用臺裝置的SM的結(jié)構(gòu)。在實(shí)施例1中，SEMl由具備電子光學(xué)系統(tǒng)的鏡筒2、試樣室3、臺11構(gòu)成。從電子槍4產(chǎn)生的初級電子線5通過收斂透鏡6、物鏡7照射到試樣12，通過次級電子檢測器10檢測從試樣12產(chǎn)生的次級電子9。初級電子線5通過掃描偏光器8 二維狀地對所觀察的試樣12的表面進(jìn)行掃描。電子光學(xué)系統(tǒng)控制單元13控制基于掃描偏光器8的初級電子線5的掃描，并且將通過次級電子檢測器10檢測出的次級電子9的強(qiáng)度作為與初級電子線的掃描同步地掃描生成的圖像的亮度調(diào)制輸入，由此生成試樣表面的觀察圖像(SEM圖像)。[0040]所生成的SEM圖像被顯示在顯示裝置14上。成為觀察對象的試樣12被裝載到放置在試樣室3內(nèi)的臺11。臺11使試樣12并進(jìn)/旋轉(zhuǎn)移動，具有水平方向(XY方向)、上下方向(Z方向)、旋轉(zhuǎn)(圍繞Z軸的旋轉(zhuǎn))、傾斜(圍繞X軸的旋轉(zhuǎn))等的自由度。臺控制單元15例如依照跟蹤球、操縱桿等臺操作輸入單元16的輸入來控制臺11。也可以使用通過網(wǎng)絡(luò)、串行通信等連接的PC作為臺操作輸入單元16。首先設(shè)定顯示在顯示裝置14上的SEM圖像上的假想旋轉(zhuǎn)中心位置，通過臺操作輸入單元16輸入旋轉(zhuǎn)角來進(jìn)行實(shí)施例1作為對象的旋轉(zhuǎn)操作。
[0041](臺裝置)
[0042]使用圖3說明實(shí)施例1的臺裝置的具體結(jié)構(gòu)的一個例子。臺11由直接或經(jīng)由試樣支架裝載試樣的旋轉(zhuǎn)桌210、使旋轉(zhuǎn)桌210旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200、使旋轉(zhuǎn)桌210并進(jìn)移動的并進(jìn)機(jī)構(gòu)100構(gòu)成。
[0043]通過使并進(jìn)機(jī)構(gòu)100和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200動作而使試樣并進(jìn)/旋轉(zhuǎn)移動，進(jìn)而通過使并進(jìn)機(jī)構(gòu)100和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200協(xié)調(diào)動作，實(shí)現(xiàn)以設(shè)置在與旋轉(zhuǎn)桌210的旋轉(zhuǎn)軸不同的位置的假想點(diǎn)為中心的旋轉(zhuǎn)動作、即保持位置旋轉(zhuǎn)動作。
[0044]并進(jìn)機(jī)構(gòu)100例如將線性導(dǎo)軌102安裝在基座101上，使可動桌103沿著它移動。使用線性電動機(jī)作為驅(qū)動可動桌103的并進(jìn)機(jī)構(gòu)驅(qū)動單元。將線性電動機(jī)的軸104安裝在基座上，將電動機(jī)主體105安裝在可動桌上，通過使電動機(jī)主體105沿著軸104移動，而使可動桌103移動。
[0045]作為檢測可動桌103的位置的并進(jìn)位置檢測單元，使用線性標(biāo)尺即可。在安裝在基座101上的線性標(biāo)尺106上以每一定間隔附加狹縫，使安裝在可動桌103上的傳感器頭107在其上移動。在傳感器頭107每次通過狹縫時產(chǎn)生脈沖，通過對該脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，得到可動桌103相對于基座101的位置。為了實(shí)現(xiàn)2個自由度的并進(jìn)移動，如圖3所示那樣重疊2段的并進(jìn)機(jī)構(gòu)即可。
[0046]旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200將旋轉(zhuǎn)電動機(jī)205安裝在并進(jìn)機(jī)構(gòu)100的最上段的可動桌103b上，將旋轉(zhuǎn)桌210安裝在旋轉(zhuǎn)電動機(jī)205的軸上。作為檢測旋轉(zhuǎn)桌210的旋轉(zhuǎn)角的旋轉(zhuǎn)角檢測單元，使用旋轉(zhuǎn)標(biāo)尺206。與線性標(biāo)尺同樣,在安裝在旋轉(zhuǎn)桌210上的旋轉(zhuǎn)標(biāo)尺206上以一定角度間隔附加狹縫，通過用安裝在可動桌103b上的傳感器頭207讀取該狹縫，而取得旋轉(zhuǎn)桌210相對于可動桌103的旋轉(zhuǎn)角。
[0047]此外，在實(shí)施例1中作為對象的臺機(jī)構(gòu)具備使試樣旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和使其并進(jìn)移動的并進(jìn)機(jī)構(gòu)即可，本發(fā)明并不限于實(shí)施例1的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
[0048](標(biāo)記的設(shè)定)
[0049]在本發(fā)明中，在試樣支架或旋轉(zhuǎn)桌上設(shè)置用于測定位置和方向的標(biāo)記，測定在依照預(yù)定模式使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動時的標(biāo)記位置和方向，根據(jù)其測定結(jié)果求出旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心(位置)、修正旋轉(zhuǎn)誤差以及旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的修正量。
[0050]在本發(fā)明中使用的標(biāo)記使用能夠在SEM圖像上確定并且能夠同時測定位置和方向的特征性圖形。例如，使用圖4所示那樣的三角形400，將三角形400的各頂點(diǎn)401、402、403設(shè)定為特征點(diǎn)。
[0051]在使用這樣的具有多個特征點(diǎn)的標(biāo)記的情況下，使用特征點(diǎn)401、402、403的重心位置作為標(biāo)記的代表位置，使用將特征點(diǎn)中的2點(diǎn)連接起來的線段(理想的是使用連接距離最長的2點(diǎn)的線段)、或從重心位置朝向I個特征點(diǎn)的向量404作為標(biāo)記的方向即可。在使用具有多個特征點(diǎn)的標(biāo)記的情況下，如果特征點(diǎn)有至少2點(diǎn)，則可以作為標(biāo)記使用。
[0052]另外，作為標(biāo)記的應(yīng)用例子，可以如圖5所示那樣使用特征性圖形的輪廓形狀自身。這在使用圖像處理裝置的情況下是有效的，選擇包含特征性圖形400的區(qū)域405，對該區(qū)域進(jìn)行邊沿強(qiáng)調(diào)處理，提取特征性輪廓形狀400。使用輪廓圖案400的重心作為標(biāo)記的代表位置，使用圖案的寬度最長的部分作為標(biāo)記的方向即可。但是，在利用輪廓形狀的情況下，如果有多個對稱軸，則方向并不唯一地確定，因此無法使用這樣的圖形(圓、正多邊形
[0053](旋轉(zhuǎn)桌的修正量的導(dǎo)出)
[0054]在實(shí)施例1中，依照預(yù)定的模式使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200和并進(jìn)機(jī)構(gòu)100移動，測定這時的標(biāo)記的位置和方向，確定旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心，求出修正旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量、以及修正旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的并進(jìn)修正量。以下，使用圖6~8說明其導(dǎo)出方法。
[0055]開始，使用圖6的流程圖說明旋轉(zhuǎn)中心和旋轉(zhuǎn)角修正量、并進(jìn)修正量的導(dǎo)出。首先，通過上述的方法在試樣等上設(shè)定標(biāo)記(步驟S1000)。
[0056]接著，只使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200旋轉(zhuǎn)而測定標(biāo)記的位置和方向(S1001)。例如如圖7所示那樣，只使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200移動一定角度刻度，測定這時的標(biāo)記的位置和方向。圖7表示每次旋轉(zhuǎn)90度時的標(biāo)記位置。旋轉(zhuǎn)角指令值至少是3個即可，另外不嚴(yán)格要求必須是固定角度刻度。其結(jié)果是例如在η次地使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)移動并進(jìn)行測定時，將對旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)角指令值、這時測定的標(biāo)記的位置、標(biāo)記的方向設(shè)定如下:
[0057]旋轉(zhuǎn)角指令值:9ri(i=l,......，η)
[0058]標(biāo)記的位置:(Xi，Yi)(i=l，......，n)
[0059]標(biāo)記的方向:(i=l，......，n)
[0060]接著，確定旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心(S1002)。如果設(shè)旋轉(zhuǎn)中心為(Xe，Yc)，旋轉(zhuǎn)半徑為R，則以下的關(guān)系式成立。
[0061](公式I)
[0062](X1-Xc)2+ (Y1-Yc) 2=R2......(I)
[0063]如果對該關(guān)系式應(yīng)用最小二乘法，則能夠確定誤差最小的(Xe, Yc)和R。
[0064]接著，求出用于修正旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量(S1003)。根據(jù)旋轉(zhuǎn)角指令值和標(biāo)記的方向Θ i如下述這樣求出旋轉(zhuǎn)誤差Δ 0i (i=l,......，n)。
[0065](公式2)
[0066]Δ θ i= ( θ ?- Θ offset) - Θ r1......(2)
[0067]在此，Θ offset是標(biāo)記的方向相對于旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)角的偏移值。能夠使用該Δ 修正旋轉(zhuǎn)誤差，利用它作為旋轉(zhuǎn)角修正量即可。
[0068]此外，在S1002和S1003中，表示出在實(shí)施例1中進(jìn)行的確定/運(yùn)算方法的一個例子，但也可以組合標(biāo)記的位置和方向進(jìn)行更高精度的運(yùn)算。
[0069]接著，使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200、并進(jìn)機(jī)構(gòu)100移動使得以標(biāo)記為中心，測定標(biāo)記的位置變化量、理想的是位置和方向(S1004)。如果只單純地使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)移動而將旋轉(zhuǎn)角設(shè)為0ri，則標(biāo)記的理想位置坐標(biāo)如下。
[0070](Xc+Rcos ( Θ ri+ Θ O), Yc+Rsin ( Θ ri+ θ O))[0071]在此，θ O是標(biāo)記初始位置相對于旋轉(zhuǎn)桌角度原點(diǎn)的角度。因此，在使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時，如果使并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動上述標(biāo)記位置的變動量，則能夠?qū)崿F(xiàn)以標(biāo)記為假想中心的旋轉(zhuǎn)(這是根據(jù)幾何學(xué)關(guān)系進(jìn)行旋轉(zhuǎn)中心位置的修正的處理，稱為幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正)。這時，一邊進(jìn)行在S1003中求出的旋轉(zhuǎn)角修正和上述的幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正，一邊測定如圖8所示那樣將旋轉(zhuǎn)角改變?yōu)?ri (i=l,……，n)時的標(biāo)記的位置和方向。圖8表示每次旋轉(zhuǎn)90度時的情況。
[0072]接著，求出修正旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的并進(jìn)修正量(S1005)。S1004中的標(biāo)記的位置和方向的測定結(jié)果分別如下。
[0073]標(biāo)記的位置:(X2i，Y2i)(i=l，......，η)
[0074]標(biāo)記的方向:θ2i (i=l，......，n)
[0075]在是旋轉(zhuǎn)軸的單純偏心、旋轉(zhuǎn)軸的傾斜的情況下，能夠通過上述的幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正來修正旋轉(zhuǎn)中心的位置變動，但在發(fā)生了非線性的變動的情況下，通過該測量會產(chǎn)生標(biāo)記的位置變動。該標(biāo)記的位置變動量相當(dāng)于旋轉(zhuǎn)中心的位置變動，因此將標(biāo)記的位置變動量作為并進(jìn)修正量即可。
[0076]此外，在此使用標(biāo)記的位置求出并進(jìn)修正量，但也可以進(jìn)行使用標(biāo)記的位置和方向更高精度地求解的運(yùn)算。
[0077]作為以旋轉(zhuǎn)角為索引的修正量表來保存通過以上的測定/運(yùn)算求出的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量(S1006)。在給出任意的旋轉(zhuǎn)角時，從修正量表中取得修正值。
[0078](基于特征點(diǎn)標(biāo)記的修正操作)
[0079]接著，使用圖9~11說明標(biāo)記的設(shè)定和測定方法。圖9~11表示圖4所示的標(biāo)記具有特征性圖形的特征點(diǎn)的情況下的測定時的顯示裝置14中的SEM圖像的操作畫面。在圖9中，首先根據(jù)需要使并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動，將標(biāo)記400顯示在SEM圖像500上。這時，使用特征點(diǎn)401~403測定標(biāo)記的代表位置和方向，因此使畫面上的X光標(biāo)508和y光標(biāo)509移動而與測定位置的特征點(diǎn)匹配。如果一致則按下設(shè)置(Set)按鍵504，這時該特征點(diǎn)的位置被確定，在特征點(diǎn)位置顯示欄501中顯示其坐標(biāo)。505是取消(Cancel)按鍵。
[0080]對全部特征點(diǎn)進(jìn)行該操作，如果結(jié)束則按下全部設(shè)置(AllSet)按鍵506。由此，計(jì)算標(biāo)記的代表位置和方向，將其結(jié)果顯示在標(biāo)記位置/方向顯示欄502中，并且在SEM圖像上也顯示其向量404。
[0081]改變旋轉(zhuǎn)角指令值而繼續(xù)測定，如果對全部的旋轉(zhuǎn)角的測定結(jié)束，則按下完成(Finish)按鍵507，由此進(jìn)行旋轉(zhuǎn)中心的確定、修正量的計(jì)算。在SEM圖像500上設(shè)置索引顯示503，由此能夠確認(rèn)測定個數(shù)。
[0082](基于輪廓形狀標(biāo)記的修正操作)
[0083]使用圖10和圖11說明將圖5所示的輪廓形狀圖案用作標(biāo)記的情況下的修正。在使用形狀圖案時，首先進(jìn) 行圖案的登記。圖10是其登記畫面的例子。使并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動，將希望登記的形狀圖案400顯示在SEM圖像上。接著，使用光標(biāo)設(shè)定包含形狀圖案的區(qū)域405，按下圖案設(shè)置(Pattern Set)按鍵510。由此，進(jìn)行邊沿強(qiáng)調(diào)、二值化等圖像處理，將形狀圖案400登記為標(biāo)記。511是下一個(Next)按鍵。
[0084]在圖11中表示測定標(biāo)記位置和方向時的操作方法的例子。根據(jù)需要使并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動，將登記了的形狀圖案顯示在SEM圖像500上。根據(jù)需要設(shè)定區(qū)域405，如果按下OK(確認(rèn))按鍵512，則進(jìn)行邊沿強(qiáng)調(diào)、二值化、圖案匹配等圖像處理，提取形狀圖案400，求出其代表位置和方向，顯示在標(biāo)記位置/方向顯示欄502中，并且在SEM圖像上也顯示其向量404。
[0085]與特征點(diǎn)標(biāo)記同樣，改變旋轉(zhuǎn)角指令值繼續(xù)測定，如果對全部的旋轉(zhuǎn)角的測定結(jié)束，則按下完成(Finish)按鍵507，由此進(jìn)行旋轉(zhuǎn)中心的確定、修正量的計(jì)算。
[0086](臺裝置的控制)
[0087]接著，使用圖1說明實(shí)施例1的臺裝置的控制方法。實(shí)施例1的臺裝置由并進(jìn)機(jī)構(gòu)100、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200、通過外部提供的指令值來控制并進(jìn)機(jī)構(gòu)100和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200的臺控制單元300構(gòu)成。
[0088]臺控制單元300具備控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元301、控制并進(jìn)機(jī)構(gòu)的并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元302、在進(jìn)行圍繞假想中心點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)時根據(jù)幾何學(xué)修正旋轉(zhuǎn)中心的位置變動的幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正單元303、保存旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量的修正量表304。
[0089]另外，具備進(jìn)行S1002的處理而確定旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)中心確定單元305、以及進(jìn)行S1003、S1005、S1006而求出旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量生成修正量表304的修正量表生成單元306、標(biāo)記位置/方向測定單元307。也可以在臺控制單元300中具備這些單元。另夕卜，具備具有旋轉(zhuǎn)標(biāo)尺和傳感器頭的旋轉(zhuǎn)角檢測單元208、具有線性標(biāo)尺和傳感器頭的并進(jìn)位置檢測單元108。
[0090]如下述這樣進(jìn)行臺裝置的動作。首先，在動作開始前，確定旋轉(zhuǎn)中心作為幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正單元303的參數(shù)，另外生成修正量表304。在從外部給出了旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值時，從修正量表304中取得與給出的旋轉(zhuǎn)角指令值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量。修正量表304將旋轉(zhuǎn)角作為索引進(jìn)行參照，但在所給出的旋轉(zhuǎn)角指令值位于前后的索引的中間的情況下，進(jìn)行內(nèi)插補(bǔ)插，取得修正量。
[0091]所取得的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量與所給出的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置修正值相加，據(jù)此控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元301和并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元302，使臺移動。
[0092]在現(xiàn)有技術(shù)中，產(chǎn)生從旋轉(zhuǎn)軸到假想中心之間的距離乘以旋轉(zhuǎn)誤差的量的假想旋轉(zhuǎn)中心位置的變動。在實(shí)施例1中，對旋轉(zhuǎn)誤差進(jìn)行了修正，因此通過進(jìn)行旋轉(zhuǎn)角的修正能夠修正其變動。另外，通過針對旋轉(zhuǎn)角求出作為表的修正量，對于無法作為單純的旋轉(zhuǎn)中心的偏差而進(jìn)行修正的非線性的變動也能夠?qū)⑵湫拚?，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的位置保持旋轉(zhuǎn)動作。
[0093]此外，對于實(shí)施例1的臺裝置的并進(jìn)機(jī)構(gòu)100和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200，理想的是致動器、傳遞機(jī)構(gòu)沒有嘎嘎聲和反沖。因此，如果使用壓電電動機(jī)作為并進(jìn)機(jī)構(gòu)100和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200的驅(qū)動單元，則能夠謀求降低嘎嘎聲和反沖。由此，能夠降低不依存于旋轉(zhuǎn)角的變動和非線性的變動，能夠?qū)崿F(xiàn)更高精度的保持位置旋轉(zhuǎn)動作。
[0094]實(shí)施例2
[0095]接著，使用圖12說明本發(fā)明的實(shí)施例2。旋轉(zhuǎn)中心的確定和修正量表的生成與實(shí)施例I相同。實(shí)施例2中的臺裝置由并進(jìn)機(jī)構(gòu)100、并進(jìn)位置檢測單元108、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200、旋轉(zhuǎn)角檢測單元208、臺控制單元300構(gòu)成，進(jìn)而在臺控制單元300中具備旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元301、并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元302、幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正單元303、修正量表304。另外，雖然未圖示，但在臺控制單元300的內(nèi)部或外部具備旋轉(zhuǎn)中心確定單元、修正量表生成單元。
[0096]在實(shí)施例2的臺裝置中，取得與通過旋轉(zhuǎn)角檢測單元208檢測出的旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量。在旋轉(zhuǎn)角位于修正量表的前后的索引的中間的情況下，進(jìn)行內(nèi)插補(bǔ)插，取得修正量。
[0097]分別從由旋轉(zhuǎn)角檢測單元208檢測出的旋轉(zhuǎn)角和由并進(jìn)位置檢測單元108檢測出的并進(jìn)位置減去所取得的旋轉(zhuǎn)角修正量和并進(jìn)修正量，將其值作為向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元301和并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元302的反饋量而進(jìn)行控制。
[0098]使用以上那樣的結(jié)構(gòu)，也能夠修正旋轉(zhuǎn)誤差，還能夠?qū)Ψ蔷€性的變動進(jìn)行修正，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的保持位置旋轉(zhuǎn)動作。
[0099]符號的說明
[0100]1:掃描電子顯微鏡；11:臺；12:試樣；13:電子光學(xué)系統(tǒng)控制單元；14:顯示裝置；15:臺控制單元；16:臺操作輸入單元；100:并進(jìn)機(jī)構(gòu)；101:并進(jìn)機(jī)構(gòu)基座；102:線性導(dǎo)軌；103:并進(jìn)機(jī)構(gòu)可動桌；104:線性電動機(jī)軸；105:線性電動機(jī)主體；106:線性標(biāo)尺；107:傳感器頭；108:并進(jìn)位置檢測單元；200:旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；205:旋轉(zhuǎn)電動機(jī)；208:旋轉(zhuǎn)角檢測單元；210:旋轉(zhuǎn)桌；300:臺控制單元；301:旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元；302:并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元；303:幾何學(xué)旋轉(zhuǎn)修正單元；304:修正量表；305:旋轉(zhuǎn)中心確定單元；306:修正量表生成步驟；400:成為標(biāo)記的圖形；401?403:特征點(diǎn)；404:表示標(biāo)記的代表位置/方向的向量；405:圖像處理區(qū)域；500 =SEM圖像。
【權(quán)利要求】
1.一種臺裝置，具備:旋轉(zhuǎn)桌，其直接或經(jīng)由試樣支架載置試樣；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使上述旋轉(zhuǎn)桌旋轉(zhuǎn)；并進(jìn)機(jī)構(gòu)，其使上述旋轉(zhuǎn)桌并進(jìn)移動；臺控制單元，其根據(jù)從外部輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值來控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)，該臺裝置的特征在于，具備: 設(shè)置在上述試樣或上述試樣支架或上述旋轉(zhuǎn)桌上的能夠測定位置和方向的標(biāo)記； 標(biāo)記位置方向測定單元，其測定在依照預(yù)定的動作模式使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)動作時的上述標(biāo)記的位置和方向； 旋轉(zhuǎn)中心確定單元，其根據(jù)上述測定的結(jié)果確定上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置； 修正量表生成單元，其將修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量和修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量生成為相對于旋轉(zhuǎn)角的修正量； 修正量表，其記錄上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元以及并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元，其從上述修正量表中取得與上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值或?qū)嶋H旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量，使用取得的這些修正量控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)以及上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的臺裝置，其特征在于， 上述修正量表生成單元測定只使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時的上述標(biāo)記的位置和方向，根據(jù)其結(jié)果求出上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置、修正旋轉(zhuǎn)誤差的上述旋轉(zhuǎn)角修正量， 進(jìn)而，上述修正量表生成單元測定使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動時的上述標(biāo)記的位置，使得利用所得到的上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置和旋轉(zhuǎn)角修正量以上述標(biāo)記作為假想旋轉(zhuǎn)中心位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，根據(jù)其結(jié)果求出修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量，根據(jù)所求出的`上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量生成相對于旋轉(zhuǎn)角的上述修正量表。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的臺裝置，其特征在于， 上述臺控制單元從上述修正量表中取得與上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量，求出將取得的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量與上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值相加所得的修正指令值，針對上述修正指令值，經(jīng)由上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制單元和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)控制單元控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的臺裝置，其特征在于，具備: 旋轉(zhuǎn)角檢測單元，其檢測上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)角； 并進(jìn)位置檢測單元，其檢測上述旋轉(zhuǎn)桌的并進(jìn)位置，其中 從上述旋轉(zhuǎn)角檢測單元和上述并進(jìn)位置檢測單元檢測實(shí)際旋轉(zhuǎn)角和實(shí)際并進(jìn)位置，從上述修正量表中取得與上述實(shí)際旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量，針對上述實(shí)際旋轉(zhuǎn)角和上述并進(jìn)位置減去上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量來求出修正旋轉(zhuǎn)角和修正并進(jìn)位置，使用上述修正旋轉(zhuǎn)角和上述修正并進(jìn)位置作為反饋量來控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4的任意一項(xiàng)所述的臺裝置，其特征在于， 上述標(biāo)記使用能夠判定為在SEM圖像中至少具有2個特征點(diǎn)的圖案、或具有對象軸為I個以下的輪廓形狀的圖案的標(biāo)記。
6.根據(jù)權(quán)利要求1~5的任意一項(xiàng)所述的臺裝置，其特征在于，具備:標(biāo)記選擇單元，其由操作者邊看SEM圖像邊選擇標(biāo)記。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6的任意一項(xiàng)所述的臺裝置，其特征在于， 使用壓電電動機(jī)作為驅(qū)動上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動單元。
8.根據(jù)權(quán)利要求1~7的任意一項(xiàng)所述的臺裝置，其特征在于，其被用于帶電粒子束裝置中。
9.一種臺裝置的控制方法，該臺裝置具備:旋轉(zhuǎn)桌，其直接或經(jīng)由試樣支架載置試樣；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使上述旋轉(zhuǎn)桌旋轉(zhuǎn)；并進(jìn)機(jī)構(gòu)，其使上述旋轉(zhuǎn)桌并進(jìn)移動；臺控制單元，其根據(jù)從外部輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值來控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)，該臺裝置的控制方法的特征在于， 在上述試樣或上述試樣支架或上述旋轉(zhuǎn)桌上設(shè)置能夠測定位置和方向的標(biāo)記， 測定在根據(jù)預(yù)定的動作模式使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)動作時的上述標(biāo)記的位置和方向， 根據(jù)上述測定的結(jié)果確定上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置， 進(jìn)而將用于修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的旋轉(zhuǎn)角修正量和用于修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量生成為相對于旋轉(zhuǎn)角的修正量表， 從上述修正量表中取得與 上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值或?qū)嶋H旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量， 使用所取得的這些修正量控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的臺裝置的控制方法，其特征在于， 上述修正量表的生成，測定只使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時的上述標(biāo)記的位置和方向， 根據(jù)其結(jié)果求出上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置、用于修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)誤差的上述旋轉(zhuǎn)角修正量， 測定使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)移動時的上述標(biāo)記的至少位置，使得利用上述所得到的旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置和旋轉(zhuǎn)角修正量以上述標(biāo)記作為假想旋轉(zhuǎn)中心位置而旋轉(zhuǎn)，根據(jù)其結(jié)果求出用于修正上述旋轉(zhuǎn)桌的旋轉(zhuǎn)中心位置的位置變動的并進(jìn)修正量，根據(jù)所求出的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量生成相對于旋轉(zhuǎn)角的上述修正量表。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的臺裝置的控制方法，其特征在于， 從上述修正量表中取得與上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量， 求出將所取得的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量與上述所輸入的旋轉(zhuǎn)角指令值和并進(jìn)位置指令值相加所得的修正指令值， 針對上述修正指令值來控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
12.根據(jù)權(quán)利要求9~11的任意一項(xiàng)所述的臺裝置的控制方法，其特征在于， 從旋轉(zhuǎn)角檢測單元和并進(jìn)位置檢測單元檢測實(shí)際旋轉(zhuǎn)角和實(shí)際并進(jìn)位置， 從上述修正量表中取得與上述實(shí)際旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)的上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量， 針對上述實(shí)際旋轉(zhuǎn)角和上述并進(jìn)位置減去上述旋轉(zhuǎn)角修正量和上述并進(jìn)修正量，求出修正旋轉(zhuǎn)角和修正并進(jìn)位置，使用上述修正旋轉(zhuǎn)角和上述修正并進(jìn)位置作為反饋量，控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和上述并進(jìn)機(jī)構(gòu)。
【文檔編號】H01J37/22GK103608890SQ201280028423
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2012年6月6日 優(yōu)先權(quán)日:2011年6月9日
【發(fā)明者】桃井康行, 高橋要, 羽根田茂 申請人:株式會社日立高新技術(shù)
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