專利名稱：一種線性等離子體源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種線性等離子體源。
背景技術(shù)：
隨著科技的進(jìn)步，太陽能電池的應(yīng)用越來越廣泛，在太陽能電池的硅片沉膜或刻蝕的過程中，需要用到線性等離子體源來產(chǎn)生用于沉膜的等離子。現(xiàn)有技術(shù)中，線性等離子體源主要有中空陰極等離子體源、微波線性等離子體源等?，F(xiàn)有技術(shù)中的微波線性等離子體源，具有與產(chǎn)生微波的裝置連接的導(dǎo)管，導(dǎo)管位于反應(yīng)室內(nèi)，反應(yīng)室內(nèi)安裝產(chǎn)生磁場的裝置，反應(yīng)室內(nèi)先加載了反應(yīng)氣體，導(dǎo)管將微波饋入到反應(yīng)室中，使反應(yīng)室中的反應(yīng)氣體形成等離子體，再通過磁場裝置的指引由等離子出口向外排出。但是現(xiàn)有技術(shù)的線性等離子體源，生產(chǎn)成本較高，工藝復(fù)雜，并且等離子體的均勻性得不到保障
發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)制作成本低，均勻性好，膜層致密性高的一種線性等離子體源。一種線性等離子體源，包括:外殼，所述外殼形成具有出口的反應(yīng)室；進(jìn)氣系統(tǒng)，包括內(nèi)部管道，所述內(nèi)部管道安裝在所述外殼上，位于所述反應(yīng)室內(nèi)，用于向反應(yīng)室內(nèi)釋放反應(yīng)氣體；電極系統(tǒng)，包括至少兩個(gè)電極板，所述電極板安裝在外殼上，位于所述反應(yīng)室內(nèi)的內(nèi)部管道周圍；電磁系統(tǒng)，包括電磁線圈，所述電磁線圈安裝在所述外殼反應(yīng)室的出口處，具有等尚子出口。本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案中，電極板對內(nèi)部管道所釋放的反應(yīng)氣體進(jìn)行處理產(chǎn)生等離子，結(jié)構(gòu)簡單，制作成本低，而且電極板位于內(nèi)部管道周圍，使得產(chǎn)生的等離子更加均勻，并且生產(chǎn)速度更快，再通過電磁線圈產(chǎn)生有效磁場，能夠有效約束等離子體的運(yùn)動(dòng)方向和增加等離子體密度，使得釋放出來的等離子均勻密度大，能夠有效的加快沉膜或刻蝕的速度，并使得膜層致密性高。


為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源立體示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源仰視示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源第一分解示意圖4為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源第二分解示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源截面示意圖；圖6為本發(fā)明實(shí)施例中第一管道系統(tǒng)示意圖；圖7為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源與等離子體截面示意圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí) 施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供一種線性等離子體源。下面進(jìn)行詳細(xì)說明。請參閱圖1至圖7，圖1為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源立體示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源仰視示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源第一分解示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源第二分解示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源截面示意圖；本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源包括:外殼10，進(jìn)氣系統(tǒng)20，電極系統(tǒng)30以及電磁系統(tǒng)40，其中:外殼10，包括前蓋板11，以及殼體12，所述前蓋板11以及殼體12形成反應(yīng)室，所述殼體12的下底部具有長條狀的出口，則所述外殼形成具有出口的反應(yīng)室。進(jìn)氣系統(tǒng)20，包括內(nèi)部管道201和外部管道202 ；所述內(nèi)部管道201安裝在所述外殼10上，位于所述反應(yīng)室內(nèi)，用于向反應(yīng)室內(nèi)釋放反應(yīng)氣體；本實(shí)施例中，具體的，內(nèi)部管道201 —端固定在前蓋板11上并與反應(yīng)氣體源連接，另一端固定在殼體12的背部；進(jìn)一步的，所述內(nèi)部管道201安裝在外殼10的中軸線上；在本實(shí)施例中，所述反應(yīng)氣體包括易電離且不易污染等離子體源的工藝氣體，以及易污染等離子體源的工藝氣體，具體的，所述易電離且不易污染等離子體源的工藝氣體，為氨氣，所述易污染等離子體源的工藝氣體，為硅烷，內(nèi)部管道用于釋放易電離且不易污染等離子體源的工藝氣體，外部管道用于釋放易污染等離子體源的工藝氣體，則，內(nèi)部管道201 一端與易電離且不易污染等離子體源的工藝氣體源連接；進(jìn)一步的，所述內(nèi)部管道201具有多個(gè)氣孔，使氨氣能夠簡單的從內(nèi)部管道201內(nèi)釋放到反應(yīng)室中，具體的，所述氣孔均勻的分布在內(nèi)部管道201上。由于進(jìn)氣系統(tǒng)內(nèi)外分別設(shè)置，這樣可以使得易污染等離子體源的工藝氣體不通入反應(yīng)室內(nèi)，則可以避免反應(yīng)室中等離子體的附著，有效延長線性等離子體源的維護(hù)間隔時(shí)間，并且增加了電池片的潔凈度，在別的實(shí)施例中，可以通過內(nèi)部管道將所有反應(yīng)氣體直接通入反應(yīng)室內(nèi)；所述外部管道202，位于電磁線圈401下方，鄰接等離子出口 400，用于釋放易污染等離子體源的工藝氣體；進(jìn)一步的，所述外部管道202采用金屬多孔材料制成；進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣系統(tǒng)20還包括:安裝在外殼10上，用于固定外部管道202的U形槽203，所述U形槽203能夠遮蔽等離子體對外部管道202的污染；
進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括:第一管道系統(tǒng)2020，所述第一管道系統(tǒng)包括與所述易污染等離子體源的工藝氣體源連接的第一主管道2021，與所述第一主管道2021連接的三通2022，與三通2022連接的兩條第一分流管道2023，所述兩條第一分流管2023道分別與外部管道202的首尾連接，由于外部管道202孔隙分布均勻，并且首尾兩端同時(shí)進(jìn)氣，有效消除氣孔分布盲點(diǎn)，使其釋放的氣體更加均勻。本實(shí)施例中，內(nèi)部管道僅由一端通入氣體，在別的實(shí)施例中，所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括:第二管道系統(tǒng)，所述第二管道系統(tǒng)包括與所述易電離且不易污染等離子體源的工藝氣體源連接的第二主管道，與所述第二主管道連接的三通，與三通連接的兩條第二分流管道，所述兩條第二分流管道分別與內(nèi)部管道的首尾連接。電極系統(tǒng)30，包括至少兩個(gè)電極板301，所述電極板301安裝在外殼10上，位于所述反應(yīng)室內(nèi)的內(nèi)部管道202周圍；進(jìn)一步的，在本實(shí)施例中，所述電極系統(tǒng)30包括兩個(gè)平行的電極板301，所述電極板301位于內(nèi)部管道202的兩側(cè)；具體的，所述兩個(gè)平行的電極板301相對于外殼10的中軸線軸對稱；進(jìn)一步的， 所述電極系統(tǒng)30還包括電極水冷管道302，安裝在每個(gè)電極板301的內(nèi)部，能夠有效的對電極板進(jìn)行降溫；本實(shí)施例中，電極板301固定在電極水冷管道302上，所述電極水冷管道302固定在前蓋板11上；進(jìn)一步的，所述線性等離子體源還還包括:低頻電源(未圖示)，用于向電極板供電，所述低頻電源的頻率為100至500KHZ。在別的實(shí)施例中，可以使用高頻電源代替，例如13.56MHz的高頻電源；進(jìn)一步的，所述電極系統(tǒng)30還包括安裝在兩個(gè)平行的電極板301之間的滾輪303，安裝了滾輪的電極板301更容易拆卸以更換新的電極板301。在別的實(shí)施例中，所述外殼10還包括用于固定電極板301的支架，所述支架與電極板和外殼連接。采用平行電極板的電離方式，結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)制造成本低，并且有效增加等離子的形成面積和均勻性。電磁系統(tǒng)40,包括電磁線圈401,所述電磁線圈401安裝在所述外殼10反應(yīng)室的出口處，具有等離子出口 400 ；進(jìn)一步的，所述電磁系統(tǒng)40還包括安裝在電磁線圈401兩側(cè)的電磁水冷管道402，有效的對電磁線圈401進(jìn)行散熱。采用電磁線圈形成有效磁場，能夠有效的約束等離子體的運(yùn)動(dòng)方向和增加等離子體的密度，有效的加快沉膜或刻蝕的速度，增加等離子體在有效區(qū)域分布的均勻性。在別的實(shí)施例中，線性等離子體源可以兩個(gè)或以上的在同一設(shè)備上連續(xù)使用。請參閱圖7，為本發(fā)明實(shí)施例中等離子體源與等離子體截面示意圖，內(nèi)部管道201將易電離且不易污染等離子體源的工藝氣體散播到反應(yīng)室內(nèi)，電極板301將所述工藝氣體電離成等離子體，在電磁線圈401的作用下，等離子體被限制在反應(yīng)室內(nèi)并待等離子體密度到達(dá)一定程度時(shí)，等離子體經(jīng)過離子出口 400發(fā)出，外部管道202釋放易污染等離子體源的工藝氣體，并共同作用與工件，所述工件可以為電池片。以上對本發(fā)明實(shí)施例所提供的等離子體源進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時(shí)，對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實(shí)施方式
及應(yīng)用范圍上均 會有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本發(fā)明的限制。
權(quán)利要求
1.一種線性等離子體源，其特征在于，包括: 外殼，所述外殼形成具有出口的反應(yīng)室； 進(jìn)氣系統(tǒng)，包括內(nèi)部管道，所述內(nèi)部管道安裝在所述外殼上，位于所述反應(yīng)室內(nèi)，用于向反應(yīng)室內(nèi)釋放反應(yīng)氣體； 電極系統(tǒng)，包括至少兩個(gè)電極板，所述電極板安裝在外殼上，位于所述反應(yīng)室內(nèi)的內(nèi)部管道周圍； 電磁系統(tǒng)，包括電磁線圈，所述電磁線圈安裝在所述外殼反應(yīng)室的出口處，具有等離子出口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線性等離子體源，其特征在于，所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括: 外部管道，所述外部管道位于所述電磁線圈下方，鄰接所述等離子出口，用于釋放易污染等離子體源的工藝氣體； 所述內(nèi)部管道用于釋放易電離且不易污染等離子體源的工藝氣體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線性等離子體源，其特征在于， 所述內(nèi)部管道具有多個(gè)氣孔，所述易電離且不易污染等離子體源的工藝氣體為氨氣； 所述外部管道采用金屬多孔材料制成，所述易污染等離子體源的工藝氣體為硅烷； 所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括安裝在外殼上，用于固定外部管道的U形槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線性等離子體源，其特征在于， 所述電極系統(tǒng)包括兩個(gè)平行的電極板，所述電極板位于內(nèi)部管道的兩側(cè)； 所述電極系統(tǒng)還包括電極水冷管道，安裝在每個(gè)電極板的內(nèi)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線性等離子體源，其特征在于， 所述電磁系統(tǒng)還包括安裝在電磁兩側(cè)的電磁水冷管道。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線性等離子體源，其特征在于，所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括: 第一管道系統(tǒng)，所述第一管道系統(tǒng)包括與所述易污染等離子體源的工藝氣體源連接的第一主管道，與所述第一主管道連接的三通，與三通連接的兩條第一分流管道，所述兩條第一分流管道分別與外部管道的首尾連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1，2或6所述的線性等離子體源，其特征在于，所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括: 第二管道系統(tǒng)，所述第二管道系統(tǒng)包括與所述易電離且不易污染等離子體源的工藝氣體源連接的第二主管道，與所述第二主管道連接的三通，與三通連接的兩條第二分流管道，所述兩條第二分流管道分別與內(nèi)部管道的首尾連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的線性等離子體源，其特征在于，還包括: 低頻電源，用于向電極板供電，所述低頻電源的頻率為100至500KHz。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的線性等離子體源，其特征在于，所述電極系統(tǒng)還包括安裝在兩個(gè)平行的電極板之間的滾輪。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的線性等離子體源，其特征在于，所述外殼還包括用于固定電極板的支架。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施例公開了一種線性等離子體源，應(yīng)用于太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域。一種線性等離子體源，包括外殼，所述外殼形成具有出口的反應(yīng)室；進(jìn)氣系統(tǒng)，包括內(nèi)部管道，所述內(nèi)部管道安裝在所述外殼上，位于所述反應(yīng)室內(nèi)，用于向反應(yīng)室內(nèi)釋放反應(yīng)氣體；電極系統(tǒng)，包括至少兩個(gè)電極板，所述電極板安裝在外殼上，位于所述反應(yīng)室內(nèi)的內(nèi)部管道周圍；電磁系統(tǒng)，包括電磁線圈，所述電磁線圈安裝在所述外殼反應(yīng)室的出口處，具有等離子出口。本發(fā)明實(shí)施例結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)制作成本低，均勻性好，膜層致密性高。
文檔編號H01J37/32GK103227090SQ20131004363
公開日2013年7月31日 申請日期2013年2月4日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月4日
發(fā)明者陳潔欣, 徐志明, 劉月娥 申請人:深圳市勁拓自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司