波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提出一種波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，包括：積分球，包括進(jìn)光口和出光口，用于將由進(jìn)光口照射的光線(xiàn)進(jìn)行混合，并由出光口發(fā)射；至少一個(gè)紫外光源；準(zhǔn)直管；衍射裝置，包括光柵，光柵位于準(zhǔn)直管的另一端，以將由多個(gè)相互平行的出光管傳輸?shù)钠叫泄夥瓷錇轭A(yù)定方向的平行光；匯聚透鏡，用于將預(yù)定方向的平行光進(jìn)行匯聚；殼體，光柵和匯聚透鏡設(shè)置在殼體內(nèi)，殼體包括出射狹縫，出射狹縫用于發(fā)射由匯聚透鏡匯聚后的出射光。本發(fā)明的實(shí)施例能夠在較寬的紫外波段內(nèi)實(shí)現(xiàn)對(duì)出射光的譜帶中心位置和譜帶寬度的連續(xù)調(diào)節(jié)，有效地避免無(wú)用的譜帶產(chǎn)生的干擾，且該裝置還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、光路穩(wěn)定，操作簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光譜探測(cè)【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]了解低溫等離子體中特定分子的產(chǎn)生和損失規(guī)律的基本的方法之一，是通過(guò)研究分子的吸收光譜的特征譜線(xiàn)。對(duì)于典型的CF4 (四氟化碳)氣體低溫容性耦合等離子體來(lái)說(shuō)，其核心的放電參數(shù)大致是電子密度為1015-1016m-3，電子溫度為l_10eV，此時(shí)在200?400nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)有著豐富的發(fā)射光譜,每個(gè)譜帶在幾納米至幾十納米的波長(zhǎng)范圍內(nèi)，即意味著可以在這個(gè)波段內(nèi)吸收光譜，因此，需要有一個(gè)寬帶(幾十納米)的紫外光源。
[0003]當(dāng)寬帶光源發(fā)光波段很寬，且使用帶光柵的檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)全波段的光譜時(shí)，雜散光或光柵的高級(jí)衍射光容易進(jìn)入探測(cè)器，影響探測(cè)結(jié)果。與此同時(shí)，紫外光散射到等離子體放電電極或腔體上會(huì)引發(fā)與光通量成比例的二次電子發(fā)射，從而影響等離子體參數(shù)。因此，需要光源的出射光能限定在一定的譜帶范圍內(nèi)。此外，對(duì)于不同的氣體分子，其吸收譜帶的位置和寬度也有所不同，所以要求出射光譜帶較寬的同時(shí)其中心位置和譜帶寬度也應(yīng)當(dāng)是可以調(diào)節(jié)的。目前市場(chǎng)上常用的寬帶光源有氣燈和氣燈。氣燈波長(zhǎng)范圍為170?400nm,氣燈的波長(zhǎng)范圍為180?2000nm，都滿(mǎn)足寬帶的要求，但都沒(méi)有對(duì)譜帶進(jìn)行限制和調(diào)節(jié)的系統(tǒng)。如果使用濾光片限制譜帶，則難以做到連續(xù)調(diào)節(jié)譜帶的寬度和位置。不僅如此，氙燈和氘燈還有能耗大、發(fā)光效率低、發(fā)光不夠穩(wěn)定等缺陷，而且兩者均能發(fā)射很強(qiáng)的紫外線(xiàn)，存在一定的安全隱患。
[0004]LED由于其體積小、質(zhì)量輕、耗能低、壽命長(zhǎng)和發(fā)光穩(wěn)定等特點(diǎn)，近年來(lái)被廣泛應(yīng)用于光譜探測(cè)領(lǐng)域。然而單個(gè)紫外LED發(fā)射光譜是高斯型的窄帶譜，如果結(jié)合多個(gè)紫外LED可以有效地拓寬發(fā)射光譜范圍。此外，LED發(fā)光角度很大，需要一個(gè)有效的光收集裝置來(lái)提高光的利用率。綜上所述，在等離子體環(huán)境中的分子吸收光譜測(cè)量需要一種在較寬的紫外波長(zhǎng)范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)的寬帶光源裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明旨在至少解決上述技術(shù)問(wèn)題之一。
[0006]為此，本發(fā)明的目的在于提出一種波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，該裝置能夠在較寬的紫外波段內(nèi)實(shí)現(xiàn)對(duì)出射光的譜帶中心位置和譜帶寬度的連續(xù)調(diào)節(jié)，有效地避免無(wú)用的譜帶產(chǎn)生的干擾，且該裝置還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、光路穩(wěn)定，操作簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例提出了一種波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，包括:積分球，所述積分球包括進(jìn)光口和出光口，用于將由所述進(jìn)光口照射的光線(xiàn)進(jìn)行混合，并由所述出光口發(fā)射；至少一個(gè)紫外光源，所述至少一個(gè)紫外光源位于所述進(jìn)光口 ；準(zhǔn)直管，所述準(zhǔn)直管的一端與所述出光口相連，所述準(zhǔn)直管包括多個(gè)相互平行的出光管；衍射裝置，所述衍射裝置包括光柵，所述光柵位于所述準(zhǔn)直管的另一端，以將由所述多個(gè)相互平行的出光管傳輸?shù)钠叫泄夥瓷錇轭A(yù)定方向的平行光；匯聚透鏡，所述匯聚透鏡用于將所述預(yù)定方向的平行光進(jìn)行匯聚；以及殼體，所述光柵和所述匯聚透鏡設(shè)置在所述殼體內(nèi)，所述殼體包括出射狹縫，所述出射狹縫用于發(fā)射由所述匯聚透鏡匯聚后的出射光。
[0008]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，采用了多個(gè)紫外光源，有效地拓寬了可利用的譜帶寬度，可以在一個(gè)裝置上滿(mǎn)足對(duì)多個(gè)不同位置的譜帶的吸收測(cè)量的要求。另外，該裝置采用積分球與紫外光源集成的方式，同時(shí)利用多孔準(zhǔn)直管來(lái)連接積分球和光柵，有效地提高了出射光的利用率，同時(shí)在出射截面上可以得到分布比較均勻的出射光。此外，本發(fā)明實(shí)施例的發(fā)射裝置可通過(guò)調(diào)節(jié)光柵角度和出射狹縫寬度，實(shí)現(xiàn)對(duì)出射光的譜帶中心位置和譜帶寬度的連續(xù)調(diào)節(jié)，極大地方便了在等離子放電環(huán)境中對(duì)分子吸收線(xiàn)譜的測(cè)量，有效地避免了無(wú)用的譜帶對(duì)測(cè)量帶來(lái)的干擾，其次，該裝置還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、光路穩(wěn)定、安裝調(diào)試和系統(tǒng)的維護(hù)方便的優(yōu)點(diǎn)。
[0009]另外，根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置還可以具有如下附加的技術(shù)特征:
[0010]在本發(fā)明的實(shí)施例中，還包括:半導(dǎo)體制冷片，所述半導(dǎo)體制冷片設(shè)置在所述積分球的進(jìn)光口，以調(diào)節(jié)所述至少一個(gè)紫外光源的溫度。
[0011]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述至少一個(gè)紫外光源為紫外LED光源。
[0012]在本發(fā)明的實(shí)施例中，還包括:固定裝置，所述至少一個(gè)紫外光源設(shè)置在所述固定裝置上，并保證良好的光密封性。
[0013]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述多個(gè)相互平行的出光管沿所述準(zhǔn)直管的橫截面的橫向和縱向均勻分布。
[0014]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述準(zhǔn)直管與所述積分球的出光口密封相連。
[0015]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述衍射裝置還包括:光柵轉(zhuǎn)盤(pán)，所述光柵轉(zhuǎn)盤(pán)用于調(diào)節(jié)所述光柵的反射角度；轉(zhuǎn)盤(pán)旋鈕，所述轉(zhuǎn)盤(pán)旋鈕用于對(duì)所述光柵轉(zhuǎn)盤(pán)進(jìn)行控制。
[0016]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述衍射裝置還包括:光柵轉(zhuǎn)盤(pán)，所述光柵轉(zhuǎn)盤(pán)用于調(diào)節(jié)所述光柵的反射角度；控制器，所述控制器用于對(duì)所述光柵轉(zhuǎn)盤(pán)進(jìn)行自動(dòng)控制。
[0017]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述出射狹縫為出射狹縫寬度可調(diào)節(jié)的出射狹縫。
[0018]在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述出射狹縫與所述多個(gè)相互平行的出光管平行。
[0019]本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]本發(fā)明的上述和附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0021]圖1為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置的不意圖；
[0022]圖2為根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置的不意圖；和[0023]圖3為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置的準(zhǔn)直管的橫截面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0025]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
[0026]在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。
[0027]以下結(jié)合附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置。
[0028]圖1為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置的示意圖。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置100 (圖中未標(biāo)出)，包括:積分球110、至少一個(gè)紫外光源120、準(zhǔn)直管130、衍射裝置140、匯聚透鏡150和殼體160。
[0029]具體而言，積分球110包括進(jìn)光口 111和出光口 112，用于將由進(jìn)光口 111照射的光線(xiàn)進(jìn)行混合，并由出光口 112發(fā)射。在本發(fā)明的實(shí)施例中，積分球110是一個(gè)為至少一個(gè)紫外光源120提供光混合的容器。
[0030]至少一個(gè)紫外光源120位于積分球110的進(jìn)光口 111。其中，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，優(yōu)選地，至少一個(gè)紫外光源120例如為紫外LED光源，紫外LED光源具有安全可靠、簡(jiǎn)單環(huán)保及長(zhǎng)壽易維護(hù)的優(yōu)點(diǎn)。作為一個(gè)具體的示例，至少一個(gè)紫外LED光源為多個(gè)譜帶中心位置相近且譜帶略有重疊的紫外LED光源，其組成初級(jí)的寬帶紫外光源，且所有的紫外LED光源的電流均由恒流源提供。至少一個(gè)紫外LED光源發(fā)射的紫外光經(jīng)過(guò)進(jìn)光口 111進(jìn)入積分球120，多條紫外光在積分球120內(nèi)混合后形成寬帶紫外光并由出光口 112射出，且在出射面上光強(qiáng)是近似均勻分布的。
[0031]準(zhǔn)直管130的一端與出光口 112相連，準(zhǔn)直管130包括多個(gè)相互平行的出光管。具體而言，多個(gè)相互平行的出光管沿準(zhǔn)直管130的橫截面的橫向和縱向分布，例如圖3所示。作為一個(gè)具體的示例，優(yōu)選地，準(zhǔn)直管130例如為蜂窩狀準(zhǔn)直管，即多個(gè)出光管垂直于準(zhǔn)直管橫截面，且均相互平行，并沿橫截面橫向和縱向均勻分布。蜂窩狀準(zhǔn)直管在使光線(xiàn)輸出準(zhǔn)直的同時(shí)，還可以提高光通量。[0032]另外，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，準(zhǔn)直管130與積分球110的出光口 112密封相連，從而可以提高光的利用率。
[0033]衍射裝置140包括光柵141,光柵141位于準(zhǔn)直管130的另一端，以將由多個(gè)相互平行的出光管傳輸?shù)钠叫泄夥瓷錇轭A(yù)定方向的平行光。作為一個(gè)具體示例，光柵141例如為反射式平面光柵，其可以將經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直管130的多個(gè)相互平行的出光管傳輸?shù)亩鄺l平行光線(xiàn)反射至預(yù)設(shè)方向，使其成為射向預(yù)設(shè)方向的多條平行光線(xiàn)。其中，預(yù)設(shè)方向根據(jù)實(shí)際需求由用戶(hù)預(yù)先設(shè)定。
[0034]另外，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，衍射裝置140還包括:光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142和轉(zhuǎn)盤(pán)旋鈕143。具體而言，光柵141設(shè)置在光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142上，光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142用于調(diào)節(jié)光柵141的反射角度。轉(zhuǎn)盤(pán)按鈕143與光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142相連，用于對(duì)光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142進(jìn)行控制。作為一個(gè)具體的示例，如圖1所示，轉(zhuǎn)盤(pán)按鈕143例如為手動(dòng)旋鈕，即用戶(hù)可通過(guò)手動(dòng)旋轉(zhuǎn)該旋鈕，以控制與其相連的光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142轉(zhuǎn)動(dòng)，從而間接控制光柵141的轉(zhuǎn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)連續(xù)調(diào)節(jié)光柵141的反射角度，以使平行光線(xiàn)反射至預(yù)定方向，從而控制出射譜帶的中心位置。
[0035]另一方面，作為另一個(gè)具體的實(shí)施例，上述的衍射裝置140還包括:光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142和控制器144。具體而言，光柵141設(shè)置在光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142上，光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142用于調(diào)節(jié)光柵141的反射角度?？刂破?44與光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142相連,用于對(duì)光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142進(jìn)行自動(dòng)控制。換言之，即如圖2所示，用控制器144替代圖1中的轉(zhuǎn)盤(pán)旋鈕143。轉(zhuǎn)盤(pán)旋鈕143需要用戶(hù)手動(dòng)操作，較為不便，而控制器144中預(yù)先寫(xiě)入相應(yīng)的程序，可對(duì)光柵轉(zhuǎn)盤(pán)142進(jìn)行自動(dòng)控制，從而實(shí)現(xiàn)光柵141反射角度的自動(dòng)調(diào)節(jié)，無(wú)需人為操作，比較方便。
[0036]匯聚透鏡150用于將預(yù)定方向的平行光進(jìn)行匯聚。換言之，即經(jīng)過(guò)光柵141反射得到的預(yù)定方向的平行光線(xiàn)穿過(guò)匯聚透鏡150后實(shí)現(xiàn)匯聚。
[0037]光柵141和匯聚透鏡150設(shè)置在殼體160內(nèi)，殼體160包括出射狹縫161，出射狹縫161用于發(fā)射由匯聚透鏡150匯聚后的出射光。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，出射狹縫161為出射狹縫寬度接調(diào)節(jié)的出射狹縫，且如圖1或圖2所示，出射狹縫161與多個(gè)相互平行的出光管平行。換言之，即出射狹縫161的寬度可連續(xù)調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)出射光的出射譜帶寬度的連續(xù)調(diào)節(jié)。
[0038]另外，結(jié)合圖1和圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置100，還包括:半導(dǎo)體制冷片170和固定裝置180。
[0039]具體而言，半導(dǎo)體制冷片170設(shè)置在積分球110的進(jìn)光口 111，用于調(diào)節(jié)至少一個(gè)紫外光源120的溫度，以使至少一個(gè)紫外光源120工作在恒定的低溫狀態(tài)，保證紫外光源能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的發(fā)光，提高其可靠性。
[0040]至少一個(gè)紫外光源120設(shè)置在固定裝置180上，并保證良好的光密封性，固定裝置180用于固定至少一個(gè)紫外光源120，且如圖1或圖2所示，固定裝置180設(shè)置在進(jìn)光口 111處，以使至少一個(gè)紫外光源120能夠穩(wěn)定、可靠的位于進(jìn)光口 111,向積分球110發(fā)射紫外光。另外，值得注意的是，在一個(gè)具體的示例中，固定裝置180集成在積分球120的進(jìn)光口111處，從而可保證至少一個(gè)紫外光源120發(fā)射的所有的出射光可以全部進(jìn)入積分球110，充分提高了光的利用率。
[0041]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，采用了多個(gè)紫外LED光源，有效地拓寬了可利用的譜帶寬度，可以在一個(gè)裝置上滿(mǎn)足對(duì)多個(gè)不同位置的譜帶的吸收測(cè)量的要求，同時(shí)紫外LED光源具有安全可靠，簡(jiǎn)單環(huán)保，長(zhǎng)壽易維護(hù)的優(yōu)點(diǎn)。另外，該裝置采用積分球與紫外LED光源集成的方式，同時(shí)利用多孔準(zhǔn)直管來(lái)連接積分球和光柵，有效地提高了出射光的利用率，且在出射截面上可以得到分布比較均勻的出射光。此外，對(duì)所有的紫外LED光源使用半導(dǎo)體制冷片進(jìn)行降溫，能有效地實(shí)現(xiàn)LED的高穩(wěn)定的長(zhǎng)時(shí)間發(fā)光；進(jìn)一步地，本發(fā)明實(shí)施例的發(fā)射裝置可通過(guò)調(diào)節(jié)光柵角度和出射狹縫寬度，實(shí)現(xiàn)對(duì)出射光的譜帶中心位置和譜帶寬度的連續(xù)調(diào)節(jié)，極大地方便了在等離子放電環(huán)境中對(duì)分子吸收線(xiàn)譜的測(cè)量，有效地避免了無(wú)用的譜帶對(duì)測(cè)量帶來(lái)的干擾，其次，該裝置還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、光路穩(wěn)定、安裝調(diào)試和系統(tǒng)的維護(hù)方便的優(yōu)點(diǎn)。
[0042]在本說(shuō)明書(shū)的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書(shū)中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0043]盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解:在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同限定。
【權(quán)利要求】
1.一種波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，其特征在于，包括: 積分球，所述積分球包括進(jìn)光口和出光口，用于將由所述進(jìn)光口照射的光線(xiàn)進(jìn)行混合，并由所述出光口發(fā)射； 至少一個(gè)紫外光源，所述至少一個(gè)紫外光源位于所述進(jìn)光口 ； 準(zhǔn)直管，所述準(zhǔn)直管的一端與所述出光口相連，所述準(zhǔn)直管包括多個(gè)相互平行的出光管； 衍射裝置，所述衍射裝置包括光柵，所述光柵位于所述準(zhǔn)直管的另一端，以將由所述多個(gè)相互平行的出光管傳輸?shù)钠叫泄夥瓷錇轭A(yù)定方向的平行光； 匯聚透鏡，所述匯聚透鏡用于將所述預(yù)定方向的平行光進(jìn)行匯聚；以及 殼體，所述光柵和所述匯聚透鏡設(shè)置在所述殼體內(nèi)，所述殼體包括出射狹縫，所述出射狹縫用于發(fā)射由所述匯聚透鏡匯聚后的出射光。
2.如權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，其特征在于，還包括: 半導(dǎo)體制冷片，所述半導(dǎo)體制冷片設(shè)置在所述積分球的進(jìn)光口，以調(diào)節(jié)所述至少一個(gè)紫外光源的溫度。
3.如權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)紫外光源為紫外LED光源。
4.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，其特征在于，還包括: 固定裝置，所述至少一個(gè)紫外光源設(shè)置在所述固定裝置上，并保證良好的光密封性。
5.如權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，其特征在于，所述多個(gè)相互平行的出光管沿所述準(zhǔn)直管的橫截面的橫向和縱向均勻分布。
6.如權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，其特征在于，所述準(zhǔn)直管與所述積分球的出光口密封相連。
7.如權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，其特征在于，所述衍射裝置還包括: 光柵轉(zhuǎn)盤(pán)，所述光柵轉(zhuǎn)盤(pán)用于調(diào)節(jié)所述光柵的反射角度； 轉(zhuǎn)盤(pán)旋鈕，所述轉(zhuǎn)盤(pán)旋鈕用于對(duì)所述光柵轉(zhuǎn)盤(pán)進(jìn)行控制。
8.如權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，其特征在于，所述衍射裝置還包括: 光柵轉(zhuǎn)盤(pán)，所述光柵轉(zhuǎn)盤(pán)用于調(diào)節(jié)所述光柵的反射角度； 控制器，所述控制器用于對(duì)所述光柵轉(zhuǎn)盤(pán)進(jìn)行自動(dòng)控制。
9.如權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，其特征在于，所述出射狹縫為出射狹縫寬度可調(diào)節(jié)的出射狹縫。
10.如權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)的高穩(wěn)定寬帶紫外光源發(fā)射裝置，其特征在于，所述出射狹縫與所述多個(gè)相互平行的出光管平行。
【文檔編號(hào)】F21V14/00GK103470986SQ201310421925
【公開(kāi)日】2013年12月25日 申請(qǐng)日期:2013年9月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月16日
【發(fā)明者】劉飛翔, 蒲以康 申請(qǐng)人:清華大學(xué)