掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)，其中的裝置包括：過零檢測單元，用于從交流電壓的過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號，并將產(chǎn)生的同步信號輸出給控制單元；控制單元，從同步信號的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對信號進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號并控制數(shù)模轉(zhuǎn)換單元輸出與延時(shí)同步信號同步的數(shù)字量的掃描信號。利用過零點(diǎn)進(jìn)行掃描信號和電網(wǎng)工頻的同步不會由于電網(wǎng)電壓波動而產(chǎn)生相移，從而保證了掃描信號和電網(wǎng)工頻的良好同步，輸出掃描信號不受電網(wǎng)電壓波動的影響。由于控制單元對同步信號進(jìn)行了編程延時(shí)，經(jīng)過延時(shí)后的掃描信號起點(diǎn)能夠避開由于電網(wǎng)電壓過零而導(dǎo)致電路噪聲較大的時(shí)刻，掃描信號與電網(wǎng)工頻的同步性更好，對電網(wǎng)電壓的抗干擾性和對電路噪聲的抗干擾性更好。
【專利說明】掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種電子學(xué)、電子光學(xué)的方法、裝置和系統(tǒng)。具體地說，涉及一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]掃描電子顯微鏡,簡稱掃描電鏡是一種電子光學(xué)儀器，利用聚焦電子束在樣品表面進(jìn)行逐行掃描，電子束轟擊樣品表面產(chǎn)生二次電子或背散射電子的效率與樣品的表面形貌或材料相關(guān)，將樣品表面產(chǎn)生的二次電子或背散射電子收集起來，將樣品表面電子束掃描的位置和產(chǎn)生的二次電子或背散射電子的數(shù)量用二維圖像的形式表示，即得到掃描電鏡的二次電子圖像或背散射電子圖像。掃描電鏡圖像的分辨率可達(dá)到納米級甚至優(yōu)于1.0納米，在新材料、新能源、國防、科學(xué)研究等領(lǐng)域起著無法替代的作用。
[0003]《掃描電鏡用圖像采集系統(tǒng)的設(shè)計(jì)》(微細(xì)加工技術(shù)，No。3，2005)—文公開了掃描電鏡用圖像采集系統(tǒng)的技術(shù)現(xiàn)狀。掃描電鏡在采集高質(zhì)量電子圖像時(shí)，為了消除電網(wǎng)工頻干擾對于圖像質(zhì)量的影響，一般將掃描電鏡的行掃描信號和電網(wǎng)輸電的工頻信號進(jìn)行同步。如圖1所示，常用方法中與電網(wǎng)電壓同步是通過幅值比較實(shí)現(xiàn)的，電網(wǎng)電壓為220V50HZ交流電，比較電路對電網(wǎng)電壓采樣得到的正弦信號和一個(gè)固定閾值電壓進(jìn)行比較，高于閾值電壓時(shí)輸出高電平,低于閾值電壓時(shí)輸出低電平，這樣得到的同步信號是一個(gè)和電網(wǎng)工頻同步的方波。在同步信號的上升沿觸發(fā)掃描信號開始新一行的掃描，這樣就實(shí)現(xiàn)了掃描信號和電網(wǎng)工頻的同步。但是使用這種方法，當(dāng)電網(wǎng)電壓波動時(shí)，正弦波的幅值產(chǎn)生變化，而用于比較的閾值電壓是固定的，所以當(dāng)正弦波幅值變化時(shí)，同步信號高電平的起點(diǎn)或終點(diǎn)(如圖1中的a點(diǎn)和b點(diǎn))的位置也會改變，即同步信號的占空比和相位都會相應(yīng)改變，就會造成掃描信號與電網(wǎng)工頻的同步性不好。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為此，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于采用固定閾值電壓與電網(wǎng)電壓進(jìn)行比較實(shí)現(xiàn)的同步信號容易受電網(wǎng)電壓波動的影響進(jìn)而影響掃描電鏡的圖像質(zhì)量，從而提出一種不受電網(wǎng)電壓波動影響的掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
[0006]一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置，包括:
[0007]過零檢測單元，用于從交流電壓的過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號，并將產(chǎn)生的所述同步信號輸出給控制單元；
[0008]控制單元，從所述同步信號的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對信號進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號，產(chǎn)生的所述延時(shí)同步信號用于產(chǎn)生與工頻同步的掃描信號。
[0009]所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置，所述過零檢測單元進(jìn)一步包括:第一電阻RU第一二極管Tl、第二二極管T2、比較器和第二電阻R2，其中，
[0010]所述第一電阻Rl的一端與工頻電源的輸出端相連；所述第一電阻Rl的另一端與所述第一二極管Tl的負(fù)極、所述第二二極管T2的正極和所述比較器的正相輸入端相連；所述第一二極管Tl的正極、所述第二二極管T2的負(fù)極和所述比較器的反相輸入端相連并共同接地；所述比較器的輸出端與所述第二電阻R2的一端相連。
[0011]所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置，所述過零檢測單元還包括光耦合器，所述光耦合器的輸入端與所述第二電阻R2的另一端相連。
[0012]所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置，所述控制單元為單片機(jī)STM32，所述單片機(jī)STM32的外部中斷觸發(fā)端口輸入所述同步信號，所述同步信號的上升沿觸發(fā)單片機(jī)STM32的外部中斷對所述同步信號進(jìn)行可編程延時(shí)得到所述延時(shí)同步信號。
[0013]同時(shí)，提供一種掃描電鏡用行掃描信號與工頻同步的方法，包含以下步驟:
[0014]對工頻電源從過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號并輸出；
[0015]從所述同步信號的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對信號進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號，產(chǎn)生的所述延時(shí)同步信號用于產(chǎn)生與工頻同步的掃描信號。
[0016]同時(shí)，提供一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)，包括:
[0017]降壓單元，降壓單元的輸入端與工頻電源的輸出端相連，將輸入的電壓降為安全電壓后輸出給過零檢測單元；
[0018]過零檢測單元，用于從交流電壓的過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號，并將產(chǎn)生的所述同步信號輸出給控制單元；
[0019]控制單元，從所述同步信號的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對信號進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號并控制數(shù)模轉(zhuǎn)換單元輸出延時(shí)同步的掃描信號；
[0020]數(shù)模轉(zhuǎn)換單元，將控制單元輸出的數(shù)字量的所述延時(shí)同步信號轉(zhuǎn)換成模擬量的掃描信號，并將生成的所述延時(shí)模擬量的掃描信號輸出至功率放大單元；
[0021]功率放大單元，將所述模擬量的掃描信號進(jìn)行放大生成與所述工頻信號同步的掃描信號并輸出。
[0022]所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)，所述降壓單元為取樣變壓器。
[0023]所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)，所述數(shù)模轉(zhuǎn)換單元是DAC8581。
[0024]所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)，所述功率放大單元為大電流運(yùn)算放大器。
[0025]本發(fā)明的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0026](I)本發(fā)明的掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)中，從交流電壓的過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號，并將產(chǎn)生的所述同步信號輸出給控制單元和從所述同步信號的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對信號進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號，這樣，電網(wǎng)電壓過零點(diǎn)的位置不會隨電網(wǎng)電壓波動而改變，所以利用過零點(diǎn)進(jìn)行掃描信號和電網(wǎng)工頻的同步不會由于電網(wǎng)電壓波動而產(chǎn)生相移，從而保證了掃描信號和電網(wǎng)工頻的良好同步，這樣的輸出掃描信號不受電網(wǎng)電壓波動的影響。通過過零點(diǎn)檢測的方法檢測正弦波過零點(diǎn)位置，在電網(wǎng)電壓的正半周期輸出高電平同步信號，在負(fù)半周期輸出低電平同步信號，同步信號從傳統(tǒng)的采用閾值比較形成轉(zhuǎn)變?yōu)椴捎眠^零檢測形成，這樣的轉(zhuǎn)變使得同步信號能夠不受電網(wǎng)電壓不穩(wěn)定的影響。[0027](2)本發(fā)明的掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)中，過零檢測單元的輸出采用光耦合技術(shù)輸出同步信號，隔離了過零檢測單元與其他電路，避免了電路噪聲對其他電路的影響。另外，由于控制單元對同步信號進(jìn)行了編程延時(shí)，從而經(jīng)過延時(shí)后的掃描信號起點(diǎn)能夠避開由于電網(wǎng)電壓過零而導(dǎo)致電路噪聲較大的時(shí)刻，為掃描信號與電網(wǎng)的同步提供了更大的自由度。與常規(guī)方法相比，掃描信號與電網(wǎng)工頻的同步性更好，對電網(wǎng)電壓的抗干擾性和對電路噪聲的抗干擾性更好。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本發(fā)明的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中
[0029]圖1是用傳統(tǒng)方式產(chǎn)生同步信號，電網(wǎng)電壓、同步信號、掃描信號的對比圖；
[0030]圖2是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)中電網(wǎng)電壓、同步信號、掃描信號的對比圖；
[0031]圖3是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)的電路結(jié)構(gòu)框圖；
[0032]圖4是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)的電路圖；
[0033]圖5是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)的電路圖；
[0034]圖6是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法的流程圖；
[0035]圖中附圖標(biāo)記表示為:1-降壓單元；2_過零檢測單元；3_控制單元；4_數(shù)模轉(zhuǎn)換單元；5_功率放大單元。
【具體實(shí)施方式】
[0036]實(shí)施例1
[0037]參見圖3所示，作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)，包括:
[0038]降壓單元1，降壓單元的輸入端與工頻電源的輸出端相連，將輸入的電壓降為安全電壓后輸出給過零檢測單元2。
[0039]過零檢測單元2，用于從交流電壓的過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號，并將產(chǎn)生的所述同步信號輸出給控制單元3。
[0040]控制單元3，從所述同步信號的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對信號進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號，并將產(chǎn)生的所述延時(shí)同步信號，并控制數(shù)模轉(zhuǎn)換單元4輸出與延時(shí)同步信號同步的數(shù)字量的掃描信號。其中，產(chǎn)生的所述延時(shí)同步信號用于產(chǎn)生于所述工頻同步的掃描信號。所述過零檢測單元2和所述控制單元3構(gòu)成本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步裝置。
[0041]數(shù)模轉(zhuǎn)換單元4，將控制單元3輸出的所述延時(shí)同步信號數(shù)字量轉(zhuǎn)換成模擬量的掃描信號，并將生成的所述模擬量的掃描信號輸出至功率放大單元5。[0042]功率放大單元5，用于將所述模擬量的掃描信號進(jìn)行放大生成與所述工頻信號同步的掃描信號。
[0043]本實(shí)施例的掃描電鏡用掃描信號與工頻同步裝置和系統(tǒng)中，電網(wǎng)電壓的波動不會造成電壓過零點(diǎn)位置的改變，通過過零點(diǎn)檢測的方法檢測正弦波過零點(diǎn)位置，在電網(wǎng)電壓的正半周期輸出高電平同步信號，在負(fù)半周期輸出低電平同步信號。通過本過零檢測單元的設(shè)計(jì)，同步信號從傳統(tǒng)的采用閾值比較形成轉(zhuǎn)變?yōu)椴捎眠^零檢測形成，這樣的轉(zhuǎn)變使得同步信號能夠不受電網(wǎng)電壓不穩(wěn)定的影響。同時(shí)，過零檢測單元的輸出采用光耦合技術(shù)輸出同步信號，隔離了過零檢測單元與其他電路，避免了電路噪聲對其他電路的影響。本發(fā)明的掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置中，控制單元，對輸入的同步信號加入可編程延時(shí)，經(jīng)過延時(shí)后的掃描信號起點(diǎn)能夠避開由于電網(wǎng)電壓過零而導(dǎo)致電路噪聲較大的時(shí)刻，為掃描信號與電網(wǎng)的同步提供了更大的自由度。與常規(guī)方法相比，掃描信號與電網(wǎng)工頻的同步性更好，對電網(wǎng)電壓的抗干擾性和對電路噪聲的抗干擾性更好。
[0044]實(shí)施例2
[0045]作為本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置和系統(tǒng)，在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上，參見圖4所示，優(yōu)選地，所述過零檢測單元2進(jìn)一步包括:第一電阻R1、第一二極管Tl、第二二極管T2、比較器、第二電阻R2和光耦合器，其中，
[0046]所述第一電阻Rl的一端與工頻電源輸出端相連；所述第一電阻Rl的另一端與所述第一二極管Tl的負(fù)極、所述第二二極管T2的正極和所述比較器的正相輸入端相連；所述第一二極管Tl的正極、所述第二二極管T2的負(fù)極和所述比較器的反相輸入端相連并共同接地；所述比較器的輸出端與所述第二電阻R2的一端相連，所述第二電阻R2的另一端與所述光耦合器的輸出端相連。信號最后通過光耦合器輸出，通過過零點(diǎn)檢測的方法檢測正弦波過零點(diǎn)位置，在電網(wǎng)電壓的正半周期輸出高電平同步信號，在負(fù)半周期輸出低電平同步信號。
[0047]作為其他實(shí)施例，所述過零檢測單元可以為任何能完成對輸入正弦信號的零位檢測并且輸出同步方波信號的電路。比如，如圖5所示的過零檢測單元，包括采用運(yùn)算放大器代替圖4所示的過零檢測單元中的比較器，其它部分不變，也可以具有過零檢測單元的功倉泛。
[0048]當(dāng)然，作為其他實(shí)施例的過零檢測單元2，也可以僅包括第一電阻R1、第一二極管Tl、第二二極管T2、比較器、第二電阻R2，而不包括光耦合器。這樣過零檢測單元直接輸出的信號未經(jīng)過所述光耦合器的隔離降噪，噪聲相對較大。
[0049]本實(shí)施例的掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置和系統(tǒng)中，過零檢測電路中，電網(wǎng)電壓的波動不會造成電壓過零點(diǎn)位置的改變，通過過零點(diǎn)檢測的方法檢測正弦波過零點(diǎn)位置，在電網(wǎng)電壓的正半周期輸出高電平同步信號，在負(fù)半周期輸出低電平同步信號。通過本過零檢測單元的設(shè)計(jì)，同步信號從傳統(tǒng)的采用閾值比較形成轉(zhuǎn)變?yōu)椴捎眠^零檢測形成，這樣的轉(zhuǎn)變使得同步信號能夠不受電網(wǎng)電壓不穩(wěn)定的影響。同時(shí)，過零檢測單元的輸出采用光耦合技術(shù)輸出同步信號，隔離了過零檢測單元與其他電路，避免了電路噪聲對其他電路的影響。
[0050]實(shí)施例3
[0051]作為本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步裝置和系統(tǒng)，在實(shí)施例1或?qū)嵤├?的基礎(chǔ)上，參見圖4所示，所述降壓單元I為取樣變壓器。所述取樣變壓器將220V AC市電轉(zhuǎn)變?yōu)?4V AC的安全電壓，并且輸出到過零檢測單元。
[0052]所述取樣變壓器作為降壓單元I，能夠有效地將市電轉(zhuǎn)換為安全電壓，從而供給后續(xù)電路作為輸入信號。
[0053]其他實(shí)施例中，所述降壓單元也可為任何降壓電路，比如采用分壓電阻方式實(shí)現(xiàn)的降壓電路，具體如圖5所示，只要其功能是將輸入的市電轉(zhuǎn)換為安全電壓，比如24V即可。
[0054]實(shí)施例4
[0055]作為本發(fā)明其他實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置和系統(tǒng)中，在上述任一個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上，所述控制單元3為單片機(jī)STM32，所述單片機(jī)STM32的外部中斷觸發(fā)端口輸入所述同步信號，所述同步信號的上升沿觸發(fā)單片機(jī)STM32的外部中斷對所述同步信號進(jìn)行可編程延時(shí)得到所述延時(shí)同步信號。
[0056]所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)中，如圖5所示，所述控制單元3也可為FPGA等其他具有控制功能的單元，不僅局限于單片機(jī)FPGA。
[0057]實(shí)施例5
[0058]作為本發(fā)明其他實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置和系統(tǒng)中，在上述任一個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上，所述數(shù)模轉(zhuǎn)換單元4是DAC8581。
[0059]實(shí)施例6
[0060]作為本發(fā)明其他實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置和系統(tǒng)中，在上述任一個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上，所述功率放大單元5也可為大電流運(yùn)算放大器，同樣能實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0061]作為本發(fā)明其他實(shí)施例的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置和系統(tǒng)中，如圖5所示，所述功率放大單元5也可為大功率三極管加普通運(yùn)算放大器的實(shí)現(xiàn)方式。
[0062]實(shí)施例7
[0063]同時(shí)，參見圖6所示，提供一種掃描電鏡用行掃描信號與工頻同步的方法，包含以下步驟:
[0064]將工頻電壓降為安全電壓后輸出。
[0065]對所述安全電壓從過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號并輸出。
[0066]從所述同步信號的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對信號進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號，并將產(chǎn)生的所述延時(shí)同步信號輸出。其中，產(chǎn)生的所述延時(shí)同步信號用于產(chǎn)生與工頻同步的掃描信號。
[0067]在所述延時(shí)同步信號的控制下，生成與所述延時(shí)同步信號同步的數(shù)字量的掃描信號，并將所述掃描信號的進(jìn)行數(shù)模轉(zhuǎn)換，得到模擬量的掃描信號并輸出。
[0068]將模擬量的所述掃描信號進(jìn)行放大生成與所述工頻信號同步的掃描信號。
[0069]顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實(shí)施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。
【權(quán)利要求】
1.一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置，其特征在于，包括: 過零檢測單元，用于從交流電壓的過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號，并將產(chǎn)生的所述同步信號輸出給控制單元； 控制單元，從所述同步信號的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對信號進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號，產(chǎn)生的所述延時(shí)同步信號用于產(chǎn)生與工頻同步的掃描信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置，其特征在于，所述過零檢測單元進(jìn)一步包括:第一電阻R1、第一二極管Tl、第二二極管T2、比較器和第二電阻R2，其中， 所述第一電阻Rl的一端與工頻電源的輸出端相連；所述第一電阻Rl的另一端與所述第一二極管Tl的負(fù)極、所述第二二極管T2的正極和所述比較器的正相輸入端相連；所述第一二極管Tl的正極、所述第二二極管T2的負(fù)極和所述比較器的反相輸入端相連并共同接地；所述比較器的輸出端與所述第二電阻R2的一端相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置，其特征在于，所述過零檢測單元還包括光耦合器，所述光耦合器的輸入端與所述第二電阻R2的另一端相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的裝置，其特征在于，所述控制單元為單片機(jī)STM32，所述單片機(jī)STM32的外部中斷觸發(fā)端口輸入所述同步信號，所述同步信號的上升沿觸發(fā)單片機(jī)STM32的外部中斷對所述同步信號進(jìn)行可編程延時(shí)得到所述延時(shí)同步信號。
5.一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的方法，其特征在于，包含以下步驟: 對工頻電源從過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號并輸出； 從所述同步信號的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對信號進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號，產(chǎn)生的所述延時(shí)同步信號用于產(chǎn)生與工頻同步的掃描信號。
6.一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)，其特征在于，包括: 降壓單元，降壓單元的輸入端與工頻電源的輸出端相連，將輸入的電壓降為安全電壓后輸出給過零檢測單元； 過零檢測單元，用于從交流電壓的過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號，并將產(chǎn)生的所述同步信號輸出給控制單元； 控制單元，從所述同步信號的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對信號進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號并控制數(shù)模轉(zhuǎn)換單元輸出與延時(shí)同步信號同步的數(shù)字量的掃描信號； 數(shù)模轉(zhuǎn)換單元，將控制單元輸出的數(shù)字量的所述延時(shí)同步信號轉(zhuǎn)換成模擬量的掃描信號，并將生成的所述模擬量的掃描信號輸出至功率放大單元； 功率放大單元，將所述模擬量的掃描信號進(jìn)行放大生成與所述工頻信號同步的掃描信號并輸出。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)，其特征在于，所述降壓單元為取樣變壓器。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)模轉(zhuǎn)換單元是DAC8581。
9.根據(jù)權(quán)利要求6-8任一所述的一種掃描電鏡用掃描信號與工頻同步的系統(tǒng),其特征在于，所述功率放大單元為大電流運(yùn)算放大器。`
【文檔編號】H01J37/26GK103700563SQ201310444740
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月26日
【發(fā)明者】王大千, 韓勇 申請人:北京中科科儀股份有限公司