帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置。該帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置包括：容置腔、調(diào)諧組件、梯形杠桿架和控制組件，其采用電感調(diào)諧方式，調(diào)諧活塞插入帶狀注速調(diào)管管體，構(gòu)成了諧振腔的一個(gè)腔壁；通過杠桿原理控制調(diào)諧活塞的移動(dòng)，改變了諧振腔的體積和分布電感，進(jìn)而改變了諧振腔的諧振頻率。本發(fā)明不采用波紋管，而是采用可變形密封膜片實(shí)現(xiàn)諧振腔的調(diào)諧，從而降低了成本，簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)。
【專利說明】帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及微波真空電子器件【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在速調(diào)管中，諧振腔的結(jié)構(gòu)和尺寸決定了其諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)等特性，進(jìn)而決定了速調(diào)管的工作特性。在速調(diào)管的制管過程中，諧振腔尺寸與設(shè)計(jì)值存在偏差，進(jìn)而導(dǎo)致諧振腔的頻率特性改變。速調(diào)管諧振腔調(diào)諧技術(shù)在一定程度上彌補(bǔ)了制管過程帶來的尺寸誤差。
[0003]諧振腔的調(diào)諧技術(shù)分為電容調(diào)諧、電感調(diào)諧和復(fù)合調(diào)諧三種。電感調(diào)諧是通過移動(dòng)諧振腔內(nèi)的電感調(diào)諧塊，改變諧振腔的體積，改變諧振腔的分布電感，從而改變諧振腔的頻率。這種方式適合于矩形諧振腔。帶狀注速調(diào)管的諧振腔一般為矩形，通常采用電感調(diào)諧。
[0004]在現(xiàn)有技術(shù)中，速調(diào)管采用波紋管隔離管內(nèi)真空和管外大氣，波紋管外側(cè)的外調(diào)諧機(jī)構(gòu)通過連桿與波紋管內(nèi)側(cè)的電感調(diào)諧塊相連。該外調(diào)諧機(jī)構(gòu)采用彈簧和螺釘實(shí)現(xiàn)電感調(diào)諧塊在兩個(gè)方向的往返重復(fù)移動(dòng)，而波紋管隨之伸長(zhǎng)或者縮短，從而實(shí)現(xiàn)諧振腔的調(diào)諧。
[0005]隨著微波真空電子器件朝著高頻率和小型化方向發(fā)展，要求波紋管的尺寸越來越小，然而小尺寸波紋管研制費(fèi)用昂貴且存在一定的難度，并且滿足要求的彈簧研制存在困難。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006](一 )要解決的技術(shù)問題
[0007]鑒于上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種低成本、小尺寸的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置。
[0008]( 二 )技術(shù)方案
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置。該帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置包括:容置腔、調(diào)諧組件、梯形杠桿架和控制組件。其中，容置腔，開設(shè)于帶狀注調(diào)速管諧振腔的一側(cè)。調(diào)諧組件包括:可變形密封膜片，其四周密封于容置腔底部，諧振腔的上方；過渡釘，固定于可變形密封膜片遠(yuǎn)離諧振腔的一側(cè)；調(diào)諧活塞，固定于可變形密封膜片靠近諧振腔的一側(cè)，并伸入諧振腔內(nèi)，構(gòu)成諧振腔的一個(gè)腔壁。梯形杠桿架，其短端固定于過渡釘，其長(zhǎng)端向上延伸并伸出容置腔外，長(zhǎng)端和短端的連接處通過樞轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地固定于容置腔前壁和后壁上的定位孔?？刂平M件，用于控制梯形杠桿架長(zhǎng)端左右移動(dòng)。其中，控制組件控制梯形杠桿架長(zhǎng)端左右移動(dòng)，梯形杠桿架短端隨之上下移動(dòng)，通過過渡釘拉動(dòng)可變形密封膜片下方的調(diào)諧活塞做上下移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)諧振腔的調(diào)諧。
[0010](三)有益效果
[0011]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置具有以下有益效果:[0012](I)不采用波紋管，而是采用可變形密封膜片實(shí)現(xiàn)諧振腔的調(diào)諧；
[0013]可變形密封膜片能夠產(chǎn)生一定的形變，當(dāng)過渡釘拉伸密封膜片時(shí)，帶動(dòng)調(diào)諧活塞移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)腔體頻率的變化；采用波紋管也能實(shí)現(xiàn)密封和調(diào)節(jié)，但是小尺寸波紋管費(fèi)用昂貴。該方案省去了大量小尺寸波紋管的研制費(fèi)用，每支5mm波紋管約8000元，而膜片的費(fèi)用相對(duì)于波紋管可以忽略。
[0014](2)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，重量輕。
[0015]傳統(tǒng)調(diào)諧機(jī)構(gòu)的外調(diào)諧機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而本裝置中只有U型固定架和梯形杠桿架，采用兩個(gè)推進(jìn)螺釘鎖定梯形杠桿架的平衡位置，結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單。裝置不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，性能可靠，還省去了小尺寸彈簧的研制。此外，該裝置質(zhì)量小于0.2kg，僅使速調(diào)管的橫向?qū)挾仍龃?3_。目前的微波真空電子器件正向高頻率和緊湊型方向發(fā)展，該裝置體積小、質(zhì)量輕，滿足了微波真空電子器件的發(fā)展需求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1A為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖1B為圖1A所示帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置安裝于諧振腔上的剖視圖；
[0018]圖2為圖1A所示帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置中調(diào)諧組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3為圖1A所示帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置中梯形杠桿架調(diào)節(jié)比例的示意圖。
[0020]【本發(fā)明主要 元件符號(hào)說明】
[0021]10-容置腔；
[0022]20-調(diào)諧組件；
[0023]21-可變形密封膜片；22_過渡釘；
[0024]23-調(diào)諧活塞；
[0025]30-梯形杠桿架；
[0026]31-短端；32-長(zhǎng)端；
[0027]33-樞轉(zhuǎn)軸；34_鎖緊螺母；
[0028]40-控制組件；
[0029]41-倒U形固定架；42、43_推進(jìn)螺釘；
[0030]50-帶狀注調(diào)速管。
【具體實(shí)施方式】
[0031]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。需要說明的是，在附圖或說明書描述中，相似或相同的部分都使用相同的圖號(hào)。附圖中未繪示或描述的實(shí)現(xiàn)方式，為所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中普通技術(shù)人員所知的形式。另外，雖然本文可提供包含特定值的參數(shù)的示范，但應(yīng)了解，參數(shù)無需確切等于相應(yīng)的值，而是可在可接受的誤差容限或設(shè)計(jì)約束內(nèi)近似于相應(yīng)的值。實(shí)施例中提到的方向用語，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，僅是參考附圖的方向。因此，使用的方向用語是用來說明并非用來限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0032]本發(fā)明采用電感調(diào)諧方式，調(diào)諧活塞插入帶狀注速調(diào)管管體，構(gòu)成了諧振腔的一個(gè)腔壁；通過杠桿原理控制調(diào)諧活塞的移動(dòng)，改變了諧振腔的體積和分布電感，進(jìn)而改變了諧振腔的諧振頻率。
[0033]在本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例中，提供了一種帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置。圖1A為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖1B為圖1A所示帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置安裝于諧振腔上的剖視圖。
[0034]請(qǐng)參照?qǐng)D1A和圖1B，本實(shí)施例帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置包括:容置腔10、調(diào)諧組件20、梯形杠桿架30和控制裝置40。其中，容置腔10，開設(shè)于帶狀注調(diào)速管50諧振腔的一偵U。調(diào)諧組件20包括:可變形密封膜片21，位于容置腔10內(nèi)，其四周釬焊于容置腔底部；過渡釘22，固定于所述可變形密封膜片21遠(yuǎn)離諧振腔的一側(cè)；調(diào)諧活塞23，固定于所述可變形密封膜片21靠近諧振腔的一側(cè)，并伸入諧振腔內(nèi)，構(gòu)成諧振腔的一個(gè)腔壁。梯形杠桿架30，呈L形或反L形，其短端31固定于所述過渡釘22，其長(zhǎng)端32向上延伸并伸出所述容置腔10外，長(zhǎng)端32和短端31的連接處通過樞轉(zhuǎn)軸33可旋轉(zhuǎn)地固定于容置腔10前壁和后壁上的定位孔?？刂平M件40，用于通過兩側(cè)推進(jìn)螺釘42分別推進(jìn)的方式控制梯形杠桿架32長(zhǎng)端的左右移動(dòng)；其中，所述控制組件40控制梯形杠桿架32的長(zhǎng)端左右移動(dòng)，所述梯形杠桿架短端隨之上下移動(dòng)，通過過渡釘31拉動(dòng)可變形密封膜片21下方的調(diào)諧活塞22上下移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)諧振腔的調(diào)諧。
[0035]本實(shí)施例帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置中，不使用波紋管，省去了大量小尺寸波紋管的研制費(fèi)用，降低了成本。此外，該外調(diào)諧裝置采用膜片密封和杠桿調(diào)節(jié)原理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，實(shí)現(xiàn)了調(diào)諧組件的緊湊型。
[0036]以下分別對(duì)本實(shí)施例帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置的各個(gè)組成部分進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0037]圖2為圖1A所示帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置中調(diào)諧組件的結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D2，可變形密封膜片21的尺寸為14mmX7mmX0.22mm，過渡釘22和調(diào)諧活塞23分別通過高溫釬焊固定于可變形密封膜片21的上方和下方。焊接面積為3mmXlmm，可變形密封膜片21與容置腔10底壁的焊接密封寬度不小于1_。
[0038]本實(shí)施例中，可變形密封膜片21的材料為N1-Cu合金。過渡釘?shù)牟牧蠟槊赡藸枴Ｔ诟邷剽F焊工藝中，使用的是0.02_厚的金箔或銀箔焊料。調(diào)諧活塞作為諧振腔的一個(gè)腔壁，應(yīng)具有良好的導(dǎo)電和導(dǎo)熱特性，材料為無氧銅。
[0039]在過渡釘31拉動(dòng)可變形密封膜片21的過程中，可變形密封膜片21發(fā)生一定程度的形變，需要說明的是，該形變的程度不易過大，一般情況下，該形變上下移動(dòng)的距離應(yīng)當(dāng)控制在-0.1mm?0.1mm之內(nèi)。
[0040]請(qǐng)參照?qǐng)D1A和圖1B，控制組件40通過兩側(cè)螺釘分別推進(jìn)的方式控制梯形杠桿架32長(zhǎng)端的左右移動(dòng)。該控制組件40包括:倒U形固定架41，其左臂和右臂的下端分別固定于容置腔10兩側(cè)的帶狀注速調(diào)管50上，沿水平方向形成貫穿所述左臂和右臂的螺紋孔；兩推進(jìn)螺釘(42、43)，分別貫穿并螺接于倒U形固定架左臂和右臂的螺紋孔，所述梯形杠桿架32的長(zhǎng)端末端由兩推進(jìn)螺釘(42、43)擠壓固定于所述左臂和右臂中間的部分，其操作順序如下:左側(cè)推進(jìn)螺釘42向左旋出后，右側(cè)推進(jìn)螺釘43推動(dòng)梯形杠桿架32長(zhǎng)端向左至平衡位置，左側(cè)推進(jìn)螺釘42向右擠壓并固定梯形杠桿架32。
[0041]本實(shí)施例中，通過分別位于倒U形固定架41左臂和右臂上的兩個(gè)推進(jìn)螺孔來鎖定和調(diào)節(jié)梯形杠桿架30長(zhǎng)端32的位置，相比于單螺孔鎖定和調(diào)節(jié)，其可靠性和精度都較高。
[0042]需要說明的是，雖然本實(shí)施例控制組件40采用兩側(cè)分別推進(jìn)的方式控制梯形杠桿架32長(zhǎng)端的左右移動(dòng)，但本發(fā)明并不以此為限，該控制組件也可以采用拉或者推拉結(jié)合的方式來控制梯形杠桿架32長(zhǎng)端的左右移動(dòng)，其對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來講較易實(shí)現(xiàn)，此處不再贅述。
[0043]請(qǐng)參照?qǐng)D1A和圖1B，梯形杠桿架30呈反L形，其長(zhǎng)端32與短端31所成的角度為近似90°。倒U形固定架41和梯形杠桿架30的材料均為黃銅。此外，還可以采用無磁不銹鋼材料加工倒U形固定架41和梯形杠桿架30。
[0044]本實(shí)施例中，梯形杠桿架的長(zhǎng)端32和短端31的連接處具有貫穿前后的樞轉(zhuǎn)孔。樞轉(zhuǎn)軸33為一不銹鋼桿，其穿過樞轉(zhuǎn)孔，兩端可旋轉(zhuǎn)地固定于容置腔10前壁和后壁上的定位孔，從而梯形杠桿架30可繞該樞轉(zhuǎn)軸33轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0045]在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，梯形杠桿架的長(zhǎng)端32和短端31的連接處向前后延伸，形成所述樞轉(zhuǎn)軸33，該樞轉(zhuǎn)軸的兩端同樣可旋轉(zhuǎn)地固定于容置腔10前壁和后壁上的定位孔，從而同樣可以實(shí)現(xiàn)梯形杠桿架30可繞該樞轉(zhuǎn)軸33轉(zhuǎn)動(dòng)，此處不再重述。
[0046]梯形杠桿架30的短端31通過鎖緊螺母34固定于可變形密封膜片21上方的過渡釘22上。其中，鎖緊螺母34的材料為無磁不銹鋼。
[0047]圖3為圖1A所示帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置中梯形杠桿架調(diào)節(jié)比例的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D3，dsl為推進(jìn)方向(或反方向)，ds2為從動(dòng)方向(或反方向)，其中調(diào)節(jié)比例dsl /ds2 ^ SI / S2，其中，SI為梯形杠桿架長(zhǎng)端的長(zhǎng)度，S2為梯形杠桿架短端的長(zhǎng)度。因此，可以通過控制SI和S2的大小實(shí)現(xiàn)不同的調(diào)節(jié)比例。一般情況下，SI / S2的取值介于5至10之間。
[0048]舉例來講，推進(jìn)螺釘?shù)穆菥酁?.35mm,推進(jìn)螺釘旋轉(zhuǎn)30 °時(shí)對(duì)應(yīng)的推進(jìn)距離dsl=0.35mmX30 / 360=0.029mm ;若選取 S1 / S2=5:1，則 ds2 約為 0.006mm，可見調(diào)節(jié)精度
可達(dá)微米量級(jí)。
`[0049]在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，采用螺距為0.2mm的螺釘做推進(jìn)螺釘以實(shí)現(xiàn)更高的調(diào)節(jié)精度，其對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來講較易實(shí)現(xiàn)，此處不再贅述。并且，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以合理設(shè)置推進(jìn)螺釘?shù)穆菥啵詫?shí)現(xiàn)不同的調(diào)節(jié)精度，一般情況下該推進(jìn)螺釘?shù)穆菥嘈∮?br> 0.35mm0
[0050]以下介紹本實(shí)施例帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置的使用方法:通過倒U形固定架41兩側(cè)的推進(jìn)螺釘帶動(dòng)梯形杠桿架30繞著O點(diǎn)定位孔轉(zhuǎn)動(dòng)，向上拉伸或下壓過渡釘，進(jìn)而帶動(dòng)調(diào)諧活塞移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)諧振腔的調(diào)諧。
[0051]至此，已經(jīng)結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)描述。依據(jù)以上描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)對(duì)本發(fā)明帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置有了清楚的認(rèn)識(shí)。
[0052]此外，上述對(duì)各元件和方法的定義并不僅限于實(shí)施方式中提到的各種具體結(jié)構(gòu)、形狀或方式，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可對(duì)其進(jìn)行簡(jiǎn)單地熟知地替換，例如:
[0053](I)對(duì)于包含多個(gè)諧振腔的帶狀注速調(diào)管來講，可以采用多個(gè)本發(fā)明的外調(diào)諧裝置，互不干擾以實(shí)現(xiàn)腔體頻率的單獨(dú)調(diào)節(jié)。
[0054]綜上所述，本發(fā)明提供了一種基于杠桿調(diào)節(jié)和膜片密封的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置。該帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置體積小，成本低，質(zhì)量輕、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，調(diào)節(jié)比例可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整，不會(huì)給磁場(chǎng)帶來影響，在小尺寸的帶狀注速調(diào)管或帶狀注分布作用速調(diào)管領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。[0055]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置，其特征在于，包括: 容置腔，開設(shè)于帶狀注調(diào)速管諧振腔的一側(cè)； 調(diào)諧組件，包括: 可變形密封膜片，其四周密封于所述容置腔底部，諧振腔的上方； 過渡釘，固定于所述可變形密封膜片遠(yuǎn)離諧振腔的一側(cè)； 調(diào)諧活塞，固定于所述可變形密封膜片靠近諧振腔的一側(cè)，并伸入所述諧振腔內(nèi)，構(gòu)成諧振腔的一個(gè)腔壁； 梯形杠桿架，其短端固定于所述過渡釘，其長(zhǎng)端向上延伸并伸出所述容置腔外，所述長(zhǎng)端和短端的連接處通過樞轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地固定于容置腔前壁和后壁上的定位孔； 控制組件，用于控制所述梯形杠桿架長(zhǎng)端左右移動(dòng)； 其中，所述控制組件控制梯形杠桿架長(zhǎng)端左右移動(dòng)，所述梯形杠桿架短端隨之上下移動(dòng)，通過過渡釘拉動(dòng)可變形密封膜片下方的調(diào)諧活塞做上下移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)諧振腔的調(diào)諧。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置，其特征在于，所述可變形密封膜片的材料為N1-Cu合金，其焊接密封于所述容置腔底部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置，其特征在于，所述可變形密封膜片上下移動(dòng)形變的距離介于-0.1mm?0.1mm范圍之內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置，其特征在于，所述梯形杠桿架呈L形或反L形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置，其特征在于，所述梯形杠桿架中，SI / S2的取值介于5至10之間，其中，SI為所述梯形杠桿架長(zhǎng)端的長(zhǎng)度，S2為所述梯形杠桿架短端的長(zhǎng)度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置，其特征在于，所述控制組件采用推、拉或者推拉結(jié)合的方式來控制所述梯形杠桿架長(zhǎng)端的左右移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置，其特征在于，所述控制組件采用推的方式控制所述梯形杠桿架長(zhǎng)端的左右移動(dòng)，包括: 倒U形固定架，其左臂和右臂的下端分別固定于容置腔兩側(cè)的帶狀注速調(diào)管上，沿水平方向形成貫穿所述左臂和右臂的螺紋孔； 兩推進(jìn)螺釘，分別貫穿并螺接于倒U形固定架左臂和右臂的螺紋孔，所述梯形杠桿架的長(zhǎng)端末端由兩推進(jìn)螺釘擠壓固定于所述倒U形固定架中左臂和右臂中間的部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置，其特征在于，所述推進(jìn)螺釘?shù)穆菥嘈∮?.35臟。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置，其特征在于，所述梯形杠桿架的長(zhǎng)端和短端的連接處具有貫穿前后的樞轉(zhuǎn)孔； 所述樞轉(zhuǎn)軸為一桿狀軸，其穿過所述樞轉(zhuǎn)孔，兩端可旋轉(zhuǎn)地固定于所述容置腔前壁和后壁上的定位孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的帶狀注速調(diào)管外調(diào)諧裝置，其特征在于，所述過渡釘?shù)牟牧蠟槊赡藸?，所述調(diào)諧活塞的材料為無氧銅，所述控制組件和梯形杠桿架的材料均為黃銅。
【文檔編號(hào)】H01J23/20GK103681176SQ201310515982
【公開日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年10月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月28日
【發(fā)明者】楊修東, 王樹忠, 阮存軍, 趙鼎, 張長(zhǎng)青 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所