一種電子回旋共振離子源的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種電子回旋離子源，其由微波系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波窗口、放電腔、導(dǎo)出系統(tǒng)、磁體和進(jìn)氣管組成，其特征在于，微波系統(tǒng)由微波功率源、磁控管基座、環(huán)形器、注水負(fù)載、三銷釘調(diào)諧器、定向耦合器、隔離波導(dǎo)和過渡波導(dǎo)組成，其為離子源提供微波場，磁體由多個(gè)分離的永磁環(huán)構(gòu)成，放電腔由透明的石英玻璃制成，放電腔被設(shè)置在微波屏蔽殼內(nèi)，微波屏蔽殼具有多個(gè)觀察窗口，微波窗口由一片厚度為20mm的陶瓷片和三片厚度為5mm的氮化硼構(gòu)成，微波屏蔽殼為由鋁制成的外方內(nèi)圓的結(jié)構(gòu)，其上具有多個(gè)孔，分別用于微波窗的安裝、冷卻系統(tǒng)的進(jìn)出水、觀察窗以及離子束的引出。
【專利說明】—種電子回旋共振離子源
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種離子源，尤其是涉及一種電子回旋共振離子源。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展，離子源其應(yīng)用范圍日益廣泛，其中電子回旋共振離子源更因其具有產(chǎn)生離子種類多、束流強(qiáng)度大、穩(wěn)定性好、重復(fù)性高、使用壽命長、維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn)而備受矚目，雖然目前離子源技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)中已有廣泛報(bào)道，但是隨著研究的進(jìn)一步深入，現(xiàn)有的離子源的性能已不能滿足目前的實(shí)際需要，亟需一種新型的電子回旋共振離子源。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供一種電子回旋離子源，其由微波系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波窗口、放電腔、導(dǎo)出系統(tǒng)、磁體和進(jìn)氣管組成，其特征在于，微波系統(tǒng)由微波功率源、磁控管基座、環(huán)形器、注水負(fù)載、三銷釘調(diào)諧器、定向耦合器、隔離波導(dǎo)和過渡波導(dǎo)組成，其為離子源提供微波場，磁體由多個(gè)分離的永磁環(huán)構(gòu)成，放電腔由透明的石英玻璃制成，放電腔被設(shè)置在微波屏蔽殼內(nèi)，微波屏蔽殼具有多個(gè)觀察窗口，微波窗口由一片厚度為20mm的陶瓷片和三片厚度為5_的氮化硼構(gòu)成，微波屏蔽殼為由鋁制成的外方內(nèi)圓的結(jié)構(gòu)，其上具有多個(gè)孔，分別用于微波窗的安裝、冷卻系統(tǒng)的進(jìn)出水、觀察窗以及離子束的引出。
【具體實(shí)施方式】
[0004]下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本發(fā)明講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本發(fā)明作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。
[0005]實(shí)施例1
[0006]該電子回旋離子源，其由微波系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波窗口、放電腔、導(dǎo)出系統(tǒng)、磁體和進(jìn)氣管組成，微波系統(tǒng)由微波功率源、磁控管基座、環(huán)形器、注水負(fù)載、三銷釘調(diào)諧器、定向耦合器、隔離波導(dǎo)和過渡波導(dǎo)組成，其為離子源提供微波場，磁體由6個(gè)分離的永磁環(huán)構(gòu)成，放電腔由透明的石英玻璃制成，放電腔被設(shè)置在微波屏蔽殼內(nèi)，微波屏蔽殼具有多個(gè)觀察窗口，觀察窗的大小為30mmX 30臟，微波窗口由一片厚度為20mm的陶瓷片和三片厚度為5_的氮化硼構(gòu)成，微波屏蔽殼為由鋁制成的外方內(nèi)圓的結(jié)構(gòu)，其上具有多個(gè)孔，分別用于微波窗的安裝、冷卻系統(tǒng)的進(jìn)出水、觀察窗以及離子束的引出。
[0007]實(shí)施例2
[0008]該電子回旋離子源，其由微波系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波窗口、放電腔、導(dǎo)出系統(tǒng)、磁體和進(jìn)氣管組成，微波系統(tǒng)由微波功率源、磁控管基座、環(huán)形器、注水負(fù)載、三銷釘調(diào)諧器、定向耦合器、隔離波導(dǎo)和過渡波導(dǎo)組成，其為離子源提供微波場，磁體由4個(gè)分離的永磁環(huán)構(gòu)成，永磁環(huán)之間有3個(gè)寬度為6mm的空隙，放電腔由透明的石英玻璃制成，放電腔被設(shè)置在微波屏蔽殼內(nèi)，微波屏蔽殼具有多個(gè)觀察窗口，微波窗口由一片厚度為20mm的陶瓷片和三片厚度為5_的氮化硼構(gòu)成，微波屏蔽殼為由鋁制成的外方內(nèi)圓的結(jié)構(gòu)，其上具有多個(gè)孔，分別用于微波窗的安裝、冷卻系統(tǒng)的進(jìn)出水、觀察窗以及離子束的引出。
[0009]實(shí)施例3
[0010]該電子回旋離子源，其由微波系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波窗口、放電腔、導(dǎo)出系統(tǒng)、磁體和進(jìn)氣管組成，微波系統(tǒng)由微波功率源、磁控管基座、環(huán)形器、注水負(fù)載、三銷釘調(diào)諧器、定向耦合器、隔離波導(dǎo)和過渡波導(dǎo)組成，其為離子源提供微波場，磁體由5個(gè)分離的永磁環(huán)構(gòu)成，放電腔由透明的石英玻璃制成，放電腔的外徑為60mm，內(nèi)徑為50mm，為離子產(chǎn)生區(qū)，放電腔被設(shè)置在微波屏蔽殼內(nèi)，微波屏蔽殼具有多個(gè)觀察窗口，微波窗口由一片厚度為20_的陶瓷片和三片厚度為5_的氮化硼構(gòu)成，微波屏蔽殼為由鋁制成的外方內(nèi)圓的結(jié)構(gòu)，其上具有多個(gè)孔，分別用于微波窗的安裝、冷卻系統(tǒng)的進(jìn)出水、觀察窗以及離子束的引出。
[0011]以上的離子源，其性能滿足了其應(yīng)用的新需要，而且節(jié)能環(huán)保，具有良好的技術(shù)效益和市場前景。
【權(quán)利要求】
1.一種電子回旋離子源,其由微波系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波窗口、放電腔、導(dǎo)出系統(tǒng)、磁體和進(jìn)氣管組成，其特征在于，微波系統(tǒng)由微波功率源、磁控管基座、環(huán)形器、注水負(fù)載、三銷釘調(diào)諧器、定向耦合器、隔離波導(dǎo)和過渡波導(dǎo)組成，其為離子源提供微波場，磁體由多個(gè)分離的永磁環(huán)構(gòu)成，放電腔由透明的石英玻璃制成，放電腔被設(shè)置在微波屏蔽殼內(nèi)，微波屏蔽殼具有多個(gè)觀察窗口，微波窗口由一片厚度為20mm的陶瓷片和三片厚度為5mm的氮化硼構(gòu)成，微波屏蔽殼為由鋁制成的外方內(nèi)圓的結(jié)構(gòu)，其上具有多個(gè)孔，分別用于微波窗的安裝、冷卻系統(tǒng)的進(jìn)出水、觀察窗以及離子束的引出。
2.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于，所述磁體由6個(gè)分離的永磁環(huán)構(gòu)成，所述觀察窗的大小為30mmX30mm。
3.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于，所述磁體由4個(gè)分離的永磁環(huán)構(gòu)成，永磁環(huán)之間有3個(gè)寬度為6mm的空隙。
4.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于，所述磁體由5個(gè)分離的永磁環(huán)構(gòu)成，所述放電腔的外徑為60mm,內(nèi)徑為50mm,為離子產(chǎn)生區(qū)。
【文檔編號】H01J49/10GK103715054SQ201310755704
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月26日
【發(fā)明者】吳聯(lián)順 申請人:青島永通電梯工程有限公司