帶電粒子線裝置用隔音罩以及帶電粒子線裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于提供隔音罩以及帶電粒子線裝置，所述隔音罩實(shí)現(xiàn)由特定頻率帶來的圖像干擾的抑制和小型化的并存。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，在本發(fā)明中提出有如下隔音罩以及被該隔音罩包圍的帶電粒子線裝置的方案，在以下包圍帶電粒子線裝置的隔音罩中，具備空心部形成部件，該空心部形成部件形成筒狀體，該筒狀體具有沿該隔音罩的內(nèi)壁的壁面，通過該空心部形成部件形成的筒狀體的一端開放，該筒狀部的另一端封閉。
【專利說明】帶電粒子線裝置用隔音罩以及帶電粒子線裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及帶電粒子線裝置等所使用的隔音罩，特別涉及能夠抑制特定頻率聲音的影響的隔音罩以及帶電粒子線裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在使用電子線的、在高分辨率下進(jìn)行微小構(gòu)造觀察的電子顯微鏡等的帶電粒子線裝置中，隨著分辨率的提高因來自外部的微小振動或聲音而產(chǎn)生的圖像干擾明顯化。因此，以防止因被設(shè)置環(huán)境聲音照射而產(chǎn)生的圖像干擾的產(chǎn)生為目的，以從外側(cè)覆蓋裝置的方式設(shè)置隔音罩作為隔斷向裝置照射的聲波的傳遞的單元。
[0003]隔音罩考慮到聲波的衍射性質(zhì)再鑒于可操作性或低成本化，通常形成為具有上下、左右、上下面的六面體構(gòu)造。
[0004]對于提高該罩的隔音性能，對罩內(nèi)部進(jìn)行吸聲是有效的，在罩內(nèi)面上布滿有機(jī)多孔質(zhì)材料也是有效的。但是，帶電粒子線裝置一般用在清潔室內(nèi)，因而存在因這些有機(jī)材料的飛沫引起的起塵性妨礙清潔室的防塵性而產(chǎn)生問題的情況。專利文獻(xiàn)I中公開了由防塵纖維覆蓋吸聲件并安裝在隔音罩內(nèi)面上的技術(shù)作為避免上述問題的方法。
[0005]另外，一般在聲音工程的領(lǐng)域中，已知存在因瓶型容器形狀的口部的空氣振動而引起并依賴容器形狀的共振頻率。這被稱為亥姆霍茲共振器，存在利用該吸聲原理進(jìn)行吸聲的技術(shù)。例如作為利用該技術(shù)的東西，在專利文獻(xiàn)2中公開有由具備多個(gè)小孔的箱部件構(gòu)成的吸聲構(gòu)造體。另外，在專利文獻(xiàn)3以及專利文獻(xiàn)4中公開有在雙層框架部分上設(shè)置亥姆霍茲共振器的構(gòu)造，在專利文獻(xiàn)5中公開有在鐵道車輛的防護(hù)板部下部設(shè)置亥姆霍茲共振器的構(gòu)造。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006 - 79870號公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2008 - 138505號公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)3:日本專利第4232153號公報(bào)
[0011]專利文獻(xiàn)4:日本特開2010 - 216104號公報(bào)
[0012]專利文獻(xiàn)5:日本專利第3911208號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]發(fā)明所要解決的課題
[0014]在分辨率較高的帶電粒子線裝置中，設(shè)置隔音罩作為隔斷向裝置照射的聲波的傳遞的單元，并由此來提高比較高頻的耐噪音性能。但是另一方面，存在低頻率區(qū)域中耐噪音性能下降的情況。引起該情況的原因如下:一般的設(shè)計(jì)中在裝置內(nèi)將對振動敏感的部位配置在罩中央部附近，對此，因某一頻率在罩內(nèi)產(chǎn)生的聲音駐波的聲壓的波腹恰好到達(dá)該罩中央，從而進(jìn)一步對振動敏感的部位激振。
[0015]在對于因該特定頻率的聲音而產(chǎn)生的振動，以專利文獻(xiàn)I的隔音罩對應(yīng)的情況下，由于對象頻率較低因此應(yīng)當(dāng)設(shè)置的吸聲件的厚度變厚。另外，在專利文獻(xiàn)2所公開的現(xiàn)有技術(shù)中，需要開設(shè)有無數(shù)個(gè)與板厚同程度以下開口直徑的孔，因?yàn)樵谝话愕臎_孔加工中難以進(jìn)行，因此需要額外進(jìn)行激光加工，因而存在制作成本提高的可能性。再有，在專利文獻(xiàn)3乃至專利文獻(xiàn)5中并沒有提供能夠通過專門應(yīng)對帶電粒子線裝置中成為問題的頻率的吸聲構(gòu)造來有效地進(jìn)行吸聲的形狀或設(shè)置位置等構(gòu)造。
[0016]以下，對以實(shí)現(xiàn)抑制由特定頻率帶來的圖像干擾和小型化并存為目的的隔音罩以及帶電粒子線裝置進(jìn)行說明。
[0017]用于解決課題的方法
[0018]作為實(shí)現(xiàn)上述目的的一方案，提出有如下隔音罩以及被該隔音罩包圍的帶電粒子線裝置的方案，在以下包圍帶電粒子線裝置的隔音罩中，具備空心部形成部件，該部件形成筒狀體，該筒狀體具有沿該隔音罩的內(nèi)壁的壁面，通過上述空心部形成部件形成的筒狀體的一端開放，該筒狀部的另一端封閉。
[0019]發(fā)明效果
[0020]根據(jù)上述構(gòu)成，可提供隔音罩以及帶電粒子線裝置，所述隔音罩不需要較厚的吸聲件等就能夠小型并且抑制由特定頻率帶來的圖像干擾。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1是帶電粒子線裝置的構(gòu)成圖。
[0022]圖2是表示帶電粒子線裝置的耐噪音性能的頻率特性的圖。
[0023]圖3是表示對于帶電粒子線裝置設(shè)置隔音罩的例子的圖。
[0024]圖4是表示對隔音罩的耐噪音性能的影響的圖。
[0025]圖5是表示帶電粒子線裝置和在隔音罩內(nèi)產(chǎn)生的聲音駐波的關(guān)系的圖。
[0026]圖6是表示設(shè)置有隔音罩的帶電粒子線裝置的一個(gè)例子的圖。
[0027]圖7是說明隔音罩部詳細(xì)的圖。
[0028]圖8是對驗(yàn)證隔音罩的效果的數(shù)值分析模型進(jìn)行說明的圖。
[0029]圖9是對驗(yàn)證本發(fā)明的實(shí)施例1的效果的數(shù)值分析結(jié)果進(jìn)行說明的圖。
[0030]圖10是對驗(yàn)證隔音罩的效果的數(shù)值分析結(jié)果進(jìn)行說明的另一圖。
[0031]圖11是表示設(shè)置有隔音罩的帶電粒子線裝置的另一例的圖。
[0032]圖12是表示設(shè)置有隔音罩的帶電粒子線裝置的又一例的圖。
[0033]圖13是表示設(shè)置有隔音罩的帶電粒子線裝置的又一例的圖。
[0034]圖14是表示設(shè)置有隔音罩的帶電粒子線裝置的又一例的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0035]以下說明的實(shí)施例涉及因聲音激振而產(chǎn)生圖像干擾的帶電粒子線裝置。作為一個(gè)例子，涉及用于降低來自外部環(huán)境的噪音或振動的隔音罩，特別地假定在清潔室等中使用。
[0036]特別地，在本實(shí)施例中，對于以防止因設(shè)置環(huán)境聲音而引起的圖像干擾的產(chǎn)生為目的而設(shè)置的高分辨率帶電粒子線裝置用的隔音罩的構(gòu)造進(jìn)行說明，該構(gòu)造遍及全頻率帶寬無遺漏地提高耐噪音性能，并且，廉價(jià)地實(shí)現(xiàn)經(jīng)得住帶電粒子線裝置的設(shè)置環(huán)境即清潔室的使用的防塵性以及不損失考慮維護(hù)的罩開閉的容易性。
[0037]更具體地來說，本實(shí)施例中涉及由電子槍、試樣室以及檢測器構(gòu)成的帶電粒子線裝置和覆蓋該帶電粒子線裝置外側(cè)的隔音罩，并對以如下方式配置的例子進(jìn)行說明:上述帶電粒子線裝置能夠以非常高的分辨率進(jìn)行觀察，所述高分辨率能夠判別10nm以下的東西，并且，在裝置的端部配置有電子槍或檢測器或者這兩者，并且，在裝置的中央部配置有試樣室，該隔音罩具有相對于內(nèi)面一方打開而另一方封閉的筒狀空心部，該筒狀空心部的開口部分朝向罩內(nèi)部的上下左右方向端部或上下左右方向中央部或者這兩者。
[0038]如上所述，隔音罩能夠有效地排除被帶到罩內(nèi)的聲音的影響，所述隔音罩具備空心部形成部件，該部件形成筒狀體，該筒狀體具有沿著隔音罩內(nèi)壁的壁面，通過該空心部形成部件形成的筒狀體的一端開放，該筒狀體的另一端封閉。具體來說，可以在罩內(nèi)產(chǎn)生的聲音駐波的聲壓的波腹的位置設(shè)置該聲音駐波的產(chǎn)生頻率下的吸聲特性較大的吸聲機(jī)構(gòu)。以下詳述的隔音罩對特別是適用于高分辨率的帶電粒子線裝置有效，能夠防止由設(shè)置環(huán)境聲音引起的圖像干擾的產(chǎn)生。
[0039]另外，以下說明的隔音罩能夠遍及全頻率帶寬無遺漏地提高耐噪音性能。另外，廉價(jià)地提供經(jīng)得住帶電粒子線裝置的設(shè)置環(huán)境即清潔室的使用的防塵性以及不損失考慮維護(hù)的罩開閉的容易性。
[0040]以下所說的帶電粒子線裝置，是指廣泛應(yīng)用的掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、尺寸掃描裝置(CD - SEM)、檢查裝置、缺陷檢測裝置、使用帶電粒子線的試樣加工裝置等進(jìn)行高精度的檢測、觀察、加工的裝置，泛指因裝置的微小的振動而產(chǎn)生圖像干擾的裝置。
[0041]圖1是表示帶電粒子線裝置100的一個(gè)例子即透射電子顯微鏡的整體構(gòu)成的示意圖。圖1的透射電子顯微鏡包括圓柱101和收斂器102、試樣室103、平臺104、支架105、試樣106、檢測器107、架臺108、除振臺109等，從位于圓柱101內(nèi)的電子槍110 (帶電粒子源)射出的電子透射試樣106并由檢測器107測出。若使收斂器102中的電磁場的施加方向變化，則由于從電子槍110射出的電子的軌跡極微小地歪斜，因此電子透射試樣106的位置極微小地變化，隨之由檢測器107測出的電子的強(qiáng)度變化。這樣一來，通過將在試樣106中透射的電子的強(qiáng)度作為相對于對應(yīng)的坐標(biāo)的濃淡而圖像化，能夠得到試樣的微細(xì)構(gòu)造的放大圖。
[0042]由于這樣的帶電粒子線裝置是攝像裝置，引起其主要性能是分辨率。但是，由于放大表示非常微小的構(gòu)造，因此即使是因?yàn)榉浅Ｎ⒉蛔愕赖臄_亂也會產(chǎn)生圖像干擾。上述除振臺109為了防止因來自底板的振動產(chǎn)生的圖像干擾而設(shè)置，其效果為減少因底板振動而引起的圖像干擾。另一方面，隨著越來越聞精細(xì)化的分辨率的提聞，特別是在實(shí)現(xiàn)10nm以下分辨率的最近的高分辨率機(jī)種中，因帶電粒子線裝置的設(shè)置環(huán)境聲音而產(chǎn)生的圖像干擾也變得明顯化。
[0043]以下對該設(shè)置環(huán)境聲音與圖像干擾的量的對應(yīng)關(guān)系進(jìn)行說明。測定、把握向帶電粒子線裝置照射聲波時(shí)的照射聲壓和圖像干擾的量，在該對應(yīng)關(guān)系的基礎(chǔ)上，為了使圖像干擾的程度在規(guī)定的值以下，將對是否求得多少dB以下的設(shè)置環(huán)境聲音進(jìn)行換算而得的聲壓稱為“允許聲壓”，意味著值越大越能夠在紛雜環(huán)境下確保規(guī)定的分辨率，表示耐噪音性能較好。圖2是表示該“允許聲壓”的一個(gè)例子，已知普遍具有頻率特性，已知特別在某些頻率下為凸。這樣，允許聲壓的頻率特性在某些頻率下向下凸，雖然表示在該頻率易于因設(shè)置環(huán)境聲音產(chǎn)生圖像干擾，但這是由于帶電粒子線裝置的構(gòu)造的任一處均存在易于以該頻率振動的部位，并承受該固有振動的影響。在透射電子顯微鏡的情況下，一般來說這由支架105的固有振動引起，允許聲壓下降的頻率也與支架105的固有振動頻率一致的情況較多。
[0044]作為用于提高對于這種因設(shè)置環(huán)境聲音而產(chǎn)生的圖像干擾的耐性、即耐噪音性能的方法，最近對高分辨率的帶電粒子線裝置設(shè)置圖3所示的隔音罩200。通過該隔音罩200的設(shè)置，使耐噪音性能在較高頻率下較廣范圍內(nèi)提高，也可以改善上述的帶電粒子線裝置的構(gòu)造各部的固有振動弓I起的允許聲壓的下降。
[0045]但是如圖4所示，能夠確認(rèn)到如下現(xiàn)象，通過隔音罩200的設(shè)置在高頻率區(qū)域中耐噪音性能提高，但是在低頻率區(qū)域特別是某一限定的頻率帶寬內(nèi)耐噪音性能反而惡化。
[0046]這是由于下述原因引起的:由于如圖5所示的聲音駐波在罩內(nèi)產(chǎn)生，因此一般的設(shè)計(jì)中在裝置內(nèi)將對振動敏感的部位配置在罩中央部附近，對此，因在罩內(nèi)產(chǎn)生的聲音駐波的聲壓的波腹恰好到達(dá)該罩中央，更對振動敏感的部位進(jìn)行激振。
[0047]在以下說明的實(shí)施例中，對在該罩內(nèi)產(chǎn)生的聲音駐波以由罩的尺寸所決定的頻率產(chǎn)生這種情況反其道行之，提供有效地降低罩內(nèi)聲音駐波的構(gòu)造。以下，使用附圖對實(shí)施例進(jìn)行說明。
[0048]實(shí)施例1
[0049]在本實(shí)施例中，使用圖6乃至圖7來說明能夠有效地降低罩內(nèi)聲音駐波的隔音罩構(gòu)造和具備該構(gòu)造的帶電粒子線裝置的實(shí)施例。
[0050]圖6是本實(shí)施例的帶電粒子線裝置以及其隔音罩的構(gòu)成的剖視圖的例子，其中虛線所示的部分的立體圖由圖7表示。在圖6所示的實(shí)施例中，對于相對于罩內(nèi)面，一方封閉另一方打開的筒狀空心部210而言，以該筒狀空心部210的開口部211位于成為聲音駐波的聲壓的波腹的罩內(nèi)部的上面、下面以及罩上下方向中央部的方式，設(shè)置在隔音罩的側(cè)壁內(nèi)面上。圖7所例示的隔音板設(shè)置在包圍帶電粒子線裝置的隔音罩內(nèi)壁上，形成為多個(gè)具有沿該隔音罩的內(nèi)壁的壁面的筒狀體沿隔音罩內(nèi)壁排列。該隔音板形成為筒狀體的封閉側(cè)與其他的筒狀體的封閉側(cè)連結(jié)。在本實(shí)施例的情況下，雖然該隔音板為空心部形成部件，但并不限定于此，也可以選擇能夠發(fā)揮如下述的效果的其他的筒狀體。
[0051]如上所述，即使在帶電粒子線裝置中特別是透射電子顯微鏡，其構(gòu)造上，支架105部分經(jīng)不住振動，因此在支架105的固有頻率附近耐噪音性能比周圍的頻率更差。雖然該頻率的耐噪音性能的下降由隔音罩200的設(shè)置來改善，但是在低于方才的支架105的固有振動數(shù)的其他頻率下，產(chǎn)生聲壓的波腹處于配置有支架的罩中央附近的聲音駐波因而耐噪音性能惡化?？墒锹晧旱牟ǜ固幱谂渲糜性撝Ъ艿恼种醒氲穆曇赳v波(聲音模式)的產(chǎn)生頻率依賴罩的形狀、尺寸，例如在垂直方向第二模式中，若罩的高度為h[m]則產(chǎn)生340/h[Hz]。若假定罩的高度為2[m]則垂直方向第二模式的產(chǎn)生頻率為170[Hz]。
[0052]對此已知有如下方法，一方封閉另一方打開的筒當(dāng)波長為該筒長度4倍的聲音到來時(shí)，通過再放射該到來聲波的逆相位的聲音，來抵消原來的到來音，從而進(jìn)行降低(吸聲)。這被稱作吸聲管，若其長度為l[m]，則該吸聲管最能發(fā)揮吸聲效果的頻率為340/41[Hz]。
[0053]在使用該吸聲管將在方才高度h[m]的罩內(nèi)產(chǎn)生的垂直方向第二模式的駐波有效地吸聲的情況下，其長度I [m]變?yōu)镮 =h/4[m]，恰好成為將高度方向四等分的長度。另外，為了最大限度地發(fā)揮吸聲效果優(yōu)選將開口部211設(shè)置在處于聲壓的波腹的位置，即設(shè)置開口部使其位于垂直方向第二模式中罩上內(nèi)面、罩下內(nèi)面以及罩內(nèi)高度方向中央。
[0054]在本實(shí)施例中，以開口位于與頂板相接的第一空間、比該第一空間位于下方，并包含隔音罩的高度方向的中心區(qū)域的第二空間以及比該第二空間位于下方，包含底部的第三空間的方式，將圖7所例示的隔音板分別在四面的側(cè)壁各設(shè)置兩個(gè)。本例的隔音板沿高度方向排列四個(gè)筒狀體，并形成為開口分別位于上述第一?第三空間。其中，第二空間大致位于隔音罩的高度方向的中央，處于透射電子顯微鏡的試樣支架(試樣臺)所處的區(qū)域。
[0055]通過將這樣的構(gòu)成在像圖6以及圖7所示一樣的配置中設(shè)置在罩內(nèi)面上，起到吸聲管作用的筒狀空心部210彼此并不重疊，其結(jié)果能夠有效地抑制在罩內(nèi)產(chǎn)生的垂直方向第二模式，從而能夠提供在全頻率帶寬內(nèi)無遺漏地提高耐噪音性能的隔音罩構(gòu)造。
[0056]使用圖8乃至圖10對實(shí)施例1所示的構(gòu)造的效果、使用數(shù)值分析驗(yàn)證的結(jié)果進(jìn)行說明。
[0057]圖8是用于驗(yàn)證實(shí)施例1所示的構(gòu)造的效果而作成的解析模型。模型僅將隔音罩模型化，罩的高度2m、寬度lm、深度1.4m，與一般的透射電子顯微鏡相當(dāng)。內(nèi)部的吸聲管的設(shè)置有以下四個(gè)種類，未設(shè)置吸聲管的情況(模型I)、與實(shí)施例1相當(dāng)?shù)那闆r(模型2)、僅設(shè)置實(shí)施例1中下1/4的情況(模型3)，吸聲管的長度與實(shí)施例1相同但開口位置不同的情況(模型4)。
[0058]對于這些模型，在罩側(cè)面外側(cè)lm、底板上Im的位置配置點(diǎn)聲源，在距離罩下端1mm下的位置設(shè)定模擬底板的反射面時(shí)，計(jì)算從該底板與罩的間隙泄漏而向罩內(nèi)部傳遞的聲音的結(jié)果由圖9表示。圖表示175Hz的垂直方向的聲壓等級(等高線的單位為[dB])的截面，可以看出在模型I中，在如上所述地計(jì)算的該頻率下產(chǎn)生垂直方向第二模式。對此，可以看出在與實(shí)施例1相當(dāng)?shù)哪Ｐ?中有效地抑制上述聲音駐波。另一方面，在模型3中駐波的抑制并不充分，模型4的抑制效果較小，在還能夠確認(rèn)垂直方向第二模式的程度。
[0059]圖10是對上述所示的各模型求得聲壓的頻率特性的圖，表示圖10的上圖所示的聲壓評價(jià)點(diǎn)的平均聲壓。對此也能夠與上述相同地說明，表示與實(shí)施例1相當(dāng)?shù)哪Ｐ?在該頻率下最能夠降低罩內(nèi)噪音。
[0060]實(shí)施例2
[0061]在本實(shí)施例中，使用圖11對不僅側(cè)面還利用頂板的內(nèi)面或底面來設(shè)置吸聲管而能夠抑制垂直方向第二模式或水平方向第一模式的聲音駐波的構(gòu)造的例子進(jìn)行說明。圖11以有效利用隔音罩200的頂板的內(nèi)面或底面為目的而將圖6所示的實(shí)施例1的筒狀空心部210的筒的長度方向在罩內(nèi)沿罩橫方向設(shè)置而不是沿罩高度方向。這樣一來除了能夠有效地利用隔音罩200的頂板的內(nèi)面或底面，幫助雖小但能夠降低罩內(nèi)水平方向第一模式，期待能夠?qū)?shí)施例1進(jìn)一步降低圖像干擾。
[0062]實(shí)施例3
[0063]接下來作為另一實(shí)施例，使用圖12對與多孔板組合的樣式進(jìn)行說明。圖12中表示的是對在圖6所示的實(shí)施例1中說明的構(gòu)造的筒狀空心部210的開口部211設(shè)置多孔板的例子。通過這樣地將多孔板設(shè)置在開口部，能夠不妨礙在開口部振動的空氣的運(yùn)動容易程度，從而即使相比于未設(shè)置多孔板情況較短的長度的筒狀空心部，也能夠發(fā)揮吸聲效果。由此，即使在罩內(nèi)面一帶不能設(shè)置筒狀空心部的情況下，也能夠發(fā)揮同樣的吸聲效果。另外在多孔板的開孔率極小的情況下，能夠使筒狀空心部長度縮短，由此將開口方向設(shè)置在垂直于罩面的方向上，從而增加設(shè)計(jì)上的自由度。
[0064]實(shí)施例4
[0065]接下來作為又一實(shí)施例，使用圖13對將筒狀空心部相對于隔音罩內(nèi)面設(shè)置多級的樣式進(jìn)行說明。在圖13中表示的例子如下，相對于在圖6所示的實(shí)施例1說明的構(gòu)造中相對于隔音罩200的內(nèi)面設(shè)置的筒狀空心部210的進(jìn)一步內(nèi)面再次設(shè)置筒狀空心部210。也可以這樣地將筒狀空心部多級地設(shè)置，這些筒狀空心部的長度無需與第一級相同。另外，在使用如圖11所示的實(shí)施例2那樣的隔音罩頂面或底面的情況下也可以同樣地多級設(shè)置。
[0066]通過良好地設(shè)置這種筒狀空心部的多級構(gòu)造，能夠期待全頻率帶寬的耐噪音性能提高。例如，在圖10的下圖中適用實(shí)施例1的模型2中，即使對于罩內(nèi)聲壓比未適用實(shí)施例I的模型I更上升的帶寬，也期待通過二級、三級筒狀空心部的設(shè)置來改善。
[0067]實(shí)施例5
[0068]接下來作為又一實(shí)施例，使用圖14對以將多級配置的筒狀空心部由隔音罩頂板吊著的方式配置的樣式進(jìn)行說明。圖14中表示的例子如下，并非將圖13所示的實(shí)施例4中說明的構(gòu)造中筒狀空心部的多級構(gòu)造直接配置在隔音罩內(nèi)面，而是例如從隔音罩頂面使用夾具吊下的構(gòu)成。帶電粒子線裝置的隔音罩的內(nèi)側(cè)在上側(cè)一方存在較廣的空間。另一方面，由于隔音罩自身出于維護(hù)的原因而需要能夠容易地進(jìn)行開閉作業(yè)，因此存在幾乎不能在內(nèi)面上設(shè)置構(gòu)造物的限制。在這種情況下，也可以像圖一樣將實(shí)施例4所示的筒狀空心部的多級構(gòu)造從頂面用夾具吊下地構(gòu)成等，采用不直接設(shè)置在隔音罩內(nèi)面的構(gòu)成。
[0069]符號說明
[0070]100—帶電粒子線裝置，101—圓柱，102—收斂器，103—試樣室，104—平臺，105—支架，106—試樣，107—檢測器，108—架臺，109—除振臺，110—電子槍，200—隔音罩，210—筒狀空心部，211—筒狀空心部的開口部，212—多孔板。
【權(quán)利要求】
1.一種帶電粒子線裝置用隔音罩，其包圍帶電粒子線裝置，上述帶電粒子線裝置用隔音罩的特征在于， 具備空心部形成部件，該空心部形成部件形成筒狀體，該筒狀體具有沿該隔音罩的內(nèi)壁的壁面，通過該空心部形成部件形成的筒狀體的一端開放，該筒狀部的另一端封閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線裝置用隔音罩，其特征在于， 上述空心部形成部件以將多個(gè)上述筒狀體沿上述隔音罩的內(nèi)壁排列的方式形成該筒狀體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線裝置用隔音罩，其特征在于， 上述空心形成部件在上 述隔音罩的側(cè)壁上形成上述筒狀體，并以上述開口位于與該隔音罩的頂板相接的第一空間、包含該隔音罩的高度方向的中心區(qū)域的第二空間以及包含底部的第三空間中至少一處的方式形成上述筒狀體。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶電粒子線裝置用隔音罩，其特征在于， 上述筒狀體在上述側(cè)壁的高度方向上至少排列有四個(gè)，最靠近頂板的筒狀體在上述第一空間具有開口，第二和第三靠近頂板的筒狀體在上述第二空間具有開口，第四靠近頂板的筒狀體在上述第三空間具有開口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶電粒子線裝置用隔音罩，其特征在于， 上述筒狀體的空心部的長度為上述隔音罩的高度的1/4左右。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線裝置用隔音罩，其特征在于， 在上述開口處設(shè)置多孔板。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線裝置用隔音罩，其特征在于， 上述空心形成部件在上述隔音罩的頂板上形成上述筒狀體。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線裝置用隔音罩，其特征在于， 上述空心形成部件在上述隔音罩的底部上形成上述筒狀體。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線裝置用隔音罩，其特征在于， 上述空心部形成部件將上述筒狀體相對于上述隔音罩的內(nèi)側(cè)、外側(cè)或者這兩者多級重疊地形成。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線裝置用隔音罩，其特征在于， 上述空心部形成部件將上述筒狀體相對于上述隔音罩的內(nèi)側(cè)的空間一級或多級重疊地形成。
11.一種帶電粒子線裝置，其具備帶電粒子源和保持被從該帶電粒子源射出的帶電粒子線照射的試樣的試樣臺，上述帶電粒子線裝置的特征在于， 具有包圍該帶電粒子線裝置的隔音罩，該隔音罩具備空心部形成部件，該空心部形成部件形成筒狀體，該筒狀體具有沿該隔音罩的內(nèi)壁的壁面，通過該空心部形成部件形成的筒狀體的一端開放，該筒狀部的另一端封閉。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的帶電粒子線裝置，其特征在于， 上述空心部形成部件以將多個(gè)上述筒狀體沿上述隔音罩的內(nèi)壁排列的方式形成該筒狀體。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的帶電粒子線裝置，其特征在于， 上述空心形成部件在上述隔音罩的側(cè)壁上形成上述筒狀體，并以上述開口位于與該隔音罩的頂板相接的第一空間、包含該隔音罩的高度方向的中心區(qū)域的第二空間以及包含底部的第三空間中至少一處的方式形成上述筒狀體。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的帶電粒子線裝置，其特征在于， 上述空心形成部件在上述隔音罩的側(cè)壁上形成上述筒狀體，并以上述開口位于與該隔音罩的頂板相接的第一空間、包含該隔音罩的高度方向的中心區(qū)域的第二空間以及包含底部的第三空間中至少第二空間的方式形成上述筒狀體。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的帶電粒子線裝置，其特征在于， 上述試樣 臺配置于上述第二空間。
【文檔編號】H01J37/09GK104081491SQ201380007222
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2013年2月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月13日
【發(fā)明者】武藤大輔, 菊池秀樹, 上田浩大, 長沖功, 高野靖 申請人:株式會社日立高新技術(shù)