一種平行光柵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種平行光柵的制作方法，利用兩種不同材料對某種刻蝕溶液的抗刻蝕程度不同，把這兩種材料通過壓制、打磨等簡單機械手段分別制作成兩類板體，不同材料制成的板體交叉排列，通過兩種板體的尺寸來控制制備光柵的周期，寬度、高度等特征參數。然后把這種交叉排列的板體綁定到一個基板上。最后，通過選擇某一刻蝕溶液去除其中一種材料的板體，而留下另一類材料的板體就會形成光柵狀結構。本發(fā)明所需設備成本低廉，工藝簡單，制備出的成品平行光柵具有尺寸精度高、表面及側面光潔度好、均勻一致性好、硬度強和側壁陡等優(yōu)點。
【專利說明】一種平行光柵的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及應用到真空電子器件的慢波結構、光學和微電子等行業(yè)的平行光柵，具體地說，本發(fā)明涉及一種平行光柵的制作方法。
【背景技術】
[0002]平行光柵結構被廣泛應用到電真空行業(yè)的慢波結構、微波傳輸器件、半導體集成電路和光學器件中。隨著科技的發(fā)展和人類需求的提高，這些器件對平行光柵的要求越來越高，譬如，由于“尺寸共度效應”，隨著電真空器件工作頻率的提高，要求作為慢波結構的平行光柵周期越來越小，同時為了減小趨膚效應，提高器件的工作效率，對光柵表面的光潔度要求也越來越高。在半導體行業(yè)，也要制作一些類似光柵的微結構，隨著集成度的提高，器件的特征尺寸越來越小，對這些微結構的溝槽深寬比、側壁陡直度的要求也越來越高。
[0003]為了制備出符合器件所需的結構特征，出現了很多新的加工手段和方法，如電火花加工、光刻、超聲加工和激光加工等，但這些加工手段由于自身工作機理的原因而常常受限，如電火花的加工精度取決于機床的精度和電極絲的粗細；而光刻工藝受限于曝光波長和光刻膠的特性和工藝水平，目前，盡管有很多科研人員在研究深刻蝕技術，如“B0SCH”工藝技術，但獲得理想深寬比的微納結構仍是光刻加工的一個技術瓶頸；而超聲加工的對象往往是硬脆材料，且加工的結構誤差較大，很難大面積推廣；激光加工微細結構時，如果利用激光“熱效應”進行切割，往往會改變切割邊緣材料的物理化學性能，而如果利用激光的“冷效應”進行切割，而整套設備價格高昂，且激光加工受限于激光束的能量、波長和光學最小分辨率。

【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明提供一種平行光柵的制作方法，目的是簡化工藝流程，提供提高產品質量。
[0005]為了實現上述目的，本發(fā)明采取的技術方案為:一種平行光柵的制作方法，包括如下步驟:
[0006]( I)制作兩塊基板和一塊背板；
[0007](2)制作甲板體和乙板體；
[0008](3)選取其中一塊基板,將第一塊甲板體放置在該基板上,將第一塊乙板體放置在甲板體上；
[0009](4)將第二塊甲板體放置在第一塊乙板體上，將第二塊乙板體放置在第二塊甲板體上；
[0010](5)重復步驟(4)，直至放置第η塊甲板體，得到光柵的周期數η ;
[0011](6)將另一塊基板放置在第η塊甲板體上，甲板體和乙板體堆疊形成夾在兩塊基板之間的光柵毛坯結構；
[0012](7)切割兩塊基板和光柵毛坯結構，使兩塊基板的底部端面與光柵毛坯結構的底部端面處于同一平面內；[0013](8)將兩塊基板和光柵毛坯結構的底部端面與背板接觸并固定到背板上；
[0014](9)精加工光柵毛坯結構；
[0015](10)去除甲板體之間的乙板體；去除兩塊基板；
[0016](11)得到平行光柵。
[0017]在所述步驟(2)中，使用能夠與刻蝕溶液發(fā)生反應而被刻蝕掉的材料制作乙板體。
[0018]在所述步驟(10)中，將光柵毛坯結構連同兩塊基板和背板一起放入刻蝕溶液中，使乙板體與刻蝕溶液發(fā)生反應，直至被刻蝕掉。
[0019]在所述步驟(I)中，使用能夠與刻蝕溶液發(fā)生反應而被刻蝕掉的材料制作基板。
[0020]在所述步驟(I I)中，將光柵毛坯結構連同兩塊基板和背板一起放入刻蝕溶液中，使背板與刻蝕溶液發(fā)生反應，直至被刻蝕掉。
[0021 ] 在所述步驟(8 )中，所述兩塊基板和光柵毛坯結構為焊接或粘接在所述背板上，且所使用的焊料或粘結劑不溶于后續(xù)使用的刻蝕溶液。
[0022]在所述步驟(3)、(4)、(5)中，在每放置一塊甲板體和一塊乙板體后，需使用另一塊基板蓋在最上層的甲板體或乙板體上，并對兩基板施加壓力以擠壓甲板體和乙板體，使甲板體和乙板體表面平整并緊密接觸。
[0023]所述兩個基板和乙板體易與所選的刻蝕溶液發(fā)生反應而被刻蝕掉；而背板和甲板體不能與刻蝕溶液發(fā)生反應被保留下來；如，選擇的刻蝕溶液為強酸性溶液時，基板和乙板體可以選擇Al、Fe、Zn等活性材料制作，而所述背板和甲板體則可采用無氧Cu、Ag、Po、Au等材料制作。
[0024]所述基板、背板、甲板體和乙板體均為矩形，在所述步驟(3)中，將甲板體放置在基板的中心位置，乙板體與甲板體對齊放置。
[0025]本發(fā)明的制作方法所需設備成本低廉，工藝簡單，制備出的平行光柵具有尺寸精度高、表面及側面光潔度好、均勻一致性好、硬度強和側壁陡等優(yōu)點，提升了產品的質量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]本說明書包括以下附圖，所示內容分別是:
[0027]圖1是基板的結構示意圖；
[0028]圖2是甲板體的結構示意圖；
[0029]圖3是乙板體的結構示意圖；
[0030]圖4是將第一塊甲板體放置在基板上的結構示意圖；
[0031]圖5是將第一塊乙板體放置在甲板體上的結構示意圖；
[0032]圖6是由兩塊基板夾住光柵毛坯結構的結構示意圖；
[0033]圖7是完成切割后的基板與光柵毛坯結構的結構示意圖；
[0034]圖8是背板與基板、光柵毛坯結構的裝配示意圖；
[0035]圖9是精加工后的光柵毛坯結構與背板、基板的裝配示意圖；
[0036]圖10是成品平行光柵的結構示意圖；
[0037]圖11是實施例一中將第一塊甲板體放置在基板上的結構示意圖；
[0038]圖12是實施例一中使用B1基板和B2基板擠壓甲板體的狀態(tài)圖；
[0039]圖13是實施例一中將第一塊乙板體放置在甲板體上的結構示意圖；[0040]圖14是實施例一中由B1基板和B2基板夾住光棚毛還結構的結構不意圖；
[0041]圖15是實施例一中使用夾子夾持B1基板、B2基板和光柵毛坯結構的結構示意圖；
[0042]圖16是實施例一中完成切割后的基板與光柵毛坯結構的結構示意圖；
[0043]圖17是實施例一中背板與基板、光柵毛坯結構的裝配示意圖；
[0044]圖18是實施例一中精加工后的光柵毛坯結構與背板、基板的裝配示意圖；
[0045]圖19是實施例一中成品雙梳形矩形光柵結構的結構示意圖；
[0046]圖20是實施例一中成品雙梳形矩形光柵結構的側視圖；
[0047]圖中標記為:
[0048]1、基板；2、甲板體；3、乙板體；4、背板。
【具體實施方式】
[0049]下面對照附圖，通過對實施例的描述，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步詳細的說明，目的是幫助本領域的技術人員對本發(fā)明的發(fā)明構思、技術方案有更完整、準確和深入的理解，并有助于其實施。
[0050]為了解決常規(guī)加工方法制作平行光柵時，結構側面光滑度不易控制、深寬比小、精密度低、所需設備昂貴，加工工藝復雜等問題，本發(fā)明從而提供一種新的制備平行光柵狀結構的新方法。
[0051]本發(fā)明一種平行光柵的制作方法，包括如下步驟:
[0052]( I)制作兩塊基板和一塊背板；
[0053](2)制作甲板體和乙板體；
[0054](3)選取其中一塊基板,將第一塊甲板體放置在該基板上,將第一塊乙板體放置在甲板體上；
[0055](4)將第二塊甲板體放置在第一塊乙板體上，將第二塊乙板體放置在第二塊甲板體上；
[0056](5)重復步驟(4)，直至放置第η塊甲板體，得到光柵的周期數η ;
[0057](6)將另一塊基板放置在第η塊甲板體上，甲板體和乙板體堆疊形成夾在兩塊基板之間的光柵毛坯結構；
[0058](7)切割兩塊基板和光柵毛坯結構，使兩塊基板的底部端面與光柵毛坯結構的底部端面處于同一平面內；
[0059](8)將兩塊基板和光柵毛坯結構的底部端面與背板接觸并固定到背板上；
[0060](9)精加工光柵毛坯結構；
[0061](10)去除甲板體之間的乙板體；去除兩塊基板；
[0062](11)得到平行光柵；
[0063]在上述步驟(2)中，甲板體和乙板體此阿勇不同的材料制成。
[0064]在上述的步驟(I)中，制作的基板的結構如圖1所示，基板為薄板，形狀為矩形，要求該薄板的上下表面光滑，表面粗糙度小于最終產品側壁要求的表面粗糙度，同時要求用于制作基板的材料硬度比較大，且能夠溶于后續(xù)濕法刻蝕時的刻蝕溶液，如濕法刻蝕選擇的是強酸性溶液，該基板可以選用Al、Zn、Fe、Sn等材料。制作的基板不易發(fā)生彎曲；基板作為將要制備光柵結構的基板，其長度L1和寬度W1都要大于待制備光柵的長度和寬度，其厚度為h。
[0065]在上述的步驟(I)中，制作的背板的結構如圖8所示，背板的形狀為矩形，其寬度為%。背板作為用于安裝基板的光柵毛坯結構的基板，用于制作背板的材料不溶于后續(xù)濕法刻蝕所用的刻蝕溶液，如采用無氧Cu材料制作；背板的寬度Wtl要大于或等于成品平行光柵的寬度W，背板的上表面粗糙度符合成品光柵指標要求。在步驟(8)中，兩塊基板和光柵毛坯結構可以通過焊接工藝或粘接法固定到背板上，這就要求所使用的焊料或粘結劑不溶于后續(xù)濕法刻蝕時的刻蝕溶液，如濕法刻蝕選擇的是強酸性溶液，可采用銀基焊料或銅基焊料等。
[0066]在上述步驟(2)中，采用兩種不同的材料分別制作甲板體和乙板體，要求采用的材料都具有良好的延展性，可以通過壓制、鍛造、切削或平磨等技術，制備出厚度均勻一致、表面光滑的甲板體和乙板體，甲板體和乙板體均為形狀為矩形的薄板。如圖2和圖3所示，甲板體的長、寬和厚度分別為L2、W2、h2，乙板體的長、寬和厚度分別為L2、W3、h3。甲板體和乙板體的厚度可以通過壓制、切削、打磨等手段來精確控制，其中，甲板體和乙板體的厚度大小決定著最終要制備光柵的周期長度(h2+h3)和凹槽的寬度(h2或h3)。
[0067]在步驟(2)中，使用不能與刻蝕溶液發(fā)生反應而被刻蝕掉的材料制作甲板體；使用能夠與刻蝕溶液發(fā)生反應而被刻蝕掉的材料制作乙板體；如選擇的刻蝕溶液為強酸性溶液時，甲板體則可采用無氧Cu、Ag、Po、Au等材料制作。乙板體可以選擇Al、Fe、Zn等材料制作。
[0068]在上述步驟(3)中，把制備出厚度符合指標要求的甲板體放到其中一塊基板之上，如圖4所示。將另一塊基板蓋在甲板體上，并在兩塊基板上施加壓力以輕輕擠壓該甲板體，使甲板體的表面平整，不會出現褶皺、凸起等現象。而且要將甲板體放到基板的正中心位置處，即要使甲板體的寬邊和長邊與基板的寬邊和長邊方向都對稱。
[0069]在上述步驟(3)中，把制備出厚度符合指標要求的第一塊乙板體放到之前處理過的第一塊甲板體上，如圖5所示。同樣，將另一塊基板蓋在乙板體上，并在兩塊基板上施加壓力以輕輕擠壓該乙板體和甲板體，以使乙板體的表面平整，不會出現褶皺、凸起等現象。
[0070]在上述步驟(4 )中，依次在第一塊乙板體上放置第二塊甲板體，在第二塊甲板體上放置第二塊乙板體，與上述步驟(3)相同的，需要使用兩塊基板輕輕擠壓，以使第二塊甲板體和第二塊乙板體表面平整，不會出現褶皺、凸起等現象。
[0071]在上述步驟(5)中，需要重復步驟(4)，依次放置一塊甲板體和一塊乙板體，直至放置第η塊甲板體時，停止放置乙板體，乙板體的個數比甲板體少一±夾，此時得到周期數η的光柵，如圖6所示。
[0072]因此，在上述步驟(3)、(4)、(5)中，在每放置一塊甲板體和一塊乙板體后，需使用另一塊基板蓋在最上層的甲板體或乙板體上，并對兩基板施加壓力以擠壓甲板體和乙板體，使后續(xù)甲板體和乙板體表面平整，并確保相鄰兩板體貼合緊密。
[0073]在上述步驟(6 )中，甲板體和乙板體堆疊形成夾在兩塊基板之間的光柵毛坯結構，輕壓兩塊基板，使光柵毛坯結構的各層板體之間緊密貼合。為了確保夾緊可靠，可以使用工具如夾子等夾緊兩塊基板。
[0074]在上述步驟(7 )中，對光柵毛坯結構進行初次加工處理，至少對兩塊基板和光柵毛坯結構的底部端面進行機械加工，使加工后兩塊基板的底部端面與光柵毛坯結構的底部端面處于同一平面內，且底部端面光滑平整。
[0075]要求一:使用機械手段對該光柵毛坯結構該側端面加工時，保證加工時，采用的手段(如切割、打磨等)不能使整個光柵發(fā)生彎曲等結構變形。
[0076]要求二:根據最終光柵結構要求，保證加工后底端平面與光柵平面之間的夾角α值(如圖7所示)符合實際制作光柵的要求，如光柵平面垂直于底座時，該值為90°，也可使該底部端面與光柵平面成一定傾角。
[0077]在上述步驟(8)中，將經步驟(7)處理后的兩塊基板和光柵毛坯結構固定到背板上，兩塊基板和光柵毛坯結構的底部端面與背板的上表面貼合，如圖8所示。
[0078]在上述步驟(9)中，對光柵毛坯結構進行精細加工，要求甲板體和乙板體的高度和寬度的尺寸大小完全符合成品光柵的要求，且需對光柵毛坯結構的上表面和側表面進行打磨，使表面粗糙度符合成品光柵指標要求，如圖9所示。在對光柵毛坯結構進行加工的同時，光柵毛坯結構兩側的基板和底部的背板也同時被加工。
[0079]在上述步驟(10)中，經步驟(9)精加工處理后，需采用化學腐蝕的工藝去除甲板體之間的乙板體。把帶有基板和背板的光柵毛坯結構放入刻蝕溶液中，經過足夠長時間的刻蝕，乙板體由于與溶液發(fā)生化學反應而被刻蝕掉，甲板體不溶于刻蝕溶液被完整的保留下來，這樣就在背板上初步形成了光柵的結構。
[0080]然后還需去除兩塊基板，基板的去除既可以采用化學腐蝕的工藝，也可以采用機械加工的手段來實現。采用化學腐蝕的工藝時，當基板的材料與乙板體的材料相同時，在去除乙板體時，兩塊基板會同時被刻蝕掉。當然，也可以選擇一種新的刻蝕溶液，使基板與該刻蝕溶液發(fā)生反應而被刻蝕掉，并要求該刻蝕溶液不與背板和甲板體發(fā)生化學反應。而采用機械手段，可以采用線切割切除兩塊基板。
[0081 ] 在上述步驟(11)中，在去除基板和乙板體后，清洗掉光柵結構表面殘留的雜質，最終得到成品平行光柵，如圖10。
[0082]本發(fā)明的制作方法，利用兩種(或多種)材料對某種刻蝕溶液的抗刻蝕程度不同，把這兩種(或多種)材料通過壓制、打磨等簡單機械手段制作成甲板體和乙板體，不同材料制成的板體交叉排列，利用乙板體的尺寸來控制制備光柵的周期，寬度、高度等特征參數。然后把這種交叉排列的板體綁定到一個基板上，并通過刻蝕溶液去除乙板體，留下的甲板體就會形成光柵狀結構。本發(fā)明具有所需設備低廉，工藝簡單，制備出光柵尺寸精度高、表面及側面光潔度好、均勻一致性好、硬度強和側壁陡等優(yōu)點。
[0083]實施例一
[0084]本實施例是利用銅鋁薄板來制造繞射輻射器件中雙梳形矩形光柵結構。
[0085]雙梳形光柵結構是繞射輻射器件的一種慢波結構，其光柵結構的周期長度與繞射輻射的頻率成反比，表面光潔度也影響繞射輻射的性能，兩排光柵的柵片對齊程度影響著電磁波的相互作用，因此制備精密度高、側壁光滑、兩排光柵的柵片完全對齊的雙梳形光柵結構是制造這樣電真空器件的一個關鍵。下面簡述利用控制不同物質薄板的厚度來制造一個光柵:周期常數為1=0.13mm,光柵溝槽深度h=10mm，溝槽寬度d=0.065mm,周期n=10的雙梳形矩形光柵。該雙梳形矩形光柵的制作方法的步驟如下:
[0086]步驟1、利用兩塊Al材料薄板作為基板，基板的表面粗糙度小于1.6um，長、寬和厚度分別為20mm、15mm和2mm。為了敘述方便,其中一塊基板命名為B1基板,另一塊基板命名為B2基板。
[0087]選擇牌號為TUl的一片Cu材料矩形板作為背板。
[0088]步驟2、選擇牌號為TUl的無氧Cu薄板，通過切削和壓制，制作厚度均勻一致、長、寬和厚度分為15mm、12mm和0.065mm的甲板體。
[0089]選擇牌號為LI的高純鋁薄板，通過機械加工，制作厚度均勻一致、長、寬和厚度分別為15mm、12mm和0.065mm的乙板體。
[0090]步驟3、把步驟2制作的一塊甲板體放到基板B1的上表面上的正中心位置處，并且使長寬邊分別與&基板的長寬邊平行，如圖11所示；然后把B2基板放到甲板體的上表面上，使用夾子(或其他工具)，用較小的力輕輕擠壓一下B1基板和B2基板，使夾在其中的甲板體(Cu板體)比較平整，如圖12所示；然后移走基板B2，把一塊乙板體(Al板體)放到甲板體(Cu板體)的上表面上，且使其長寬邊分別與甲板體的長寬邊對齊，如圖13所示；最后把B2基板再放到乙板體的上表面上，使用夾子(或其他工具)，用較小的力輕輕擠壓一下B1基板和B2基板,使夾在其中的乙板體比較平整。
[0091]步驟4、移走B2基板，將第二塊甲板體放置在第一塊乙板體上，且使該甲板體的長寬邊與乙板體的長寬邊對齊，與步驟3相同的，同樣使用BI基板和B2基板進行擠壓，使夾在其中的第二塊甲板(Cu板體)體比較平整；移走B2基板,將第二塊乙板體(Al板體)放置在第二塊甲板體(Cu板體)上,且使該乙板體(Al板體)的長寬邊與甲板體(Cu板體)的長寬邊對齊，與步驟3相同的，同樣使用B1基板和B2基板進行擠壓，使夾在其中的第二塊乙板體(Al板體)比較平整。
[0092]步驟5、重復步驟4,依次放置一塊甲板體(Cu板體)和乙板體(Al板體),直至放置第26塊甲板體(Cu板體)后,停止放置板體,此時交叉分布的甲板體(Cu板體)和乙板體(Al板體)的結構周期等于待制造的成品平行光柵的周期數n=10，如圖14所示。
[0093]在本步驟5中，在每放置一塊甲板體(Cu板體)和一塊乙板體(Al板體)后，與步驟3和步驟4相同的，同樣要使用B1基板和B2配合對兩者之間的所有板體進行擠壓，使后續(xù)增加的甲板體(Cu板體)和乙板體(Al板體)表面平整，并確保相鄰兩板體貼合緊密。
[0094]步驟6、把B2基板放到最上層的甲板體(Cu板體)的上表面上，用夾子夾住B1基板和B2基板，夾在B1基板和B2基板之間的板體堆置形成光棚毛還結構，B1基板和B2基板使夾在其中的光柵毛坯結構保持形狀不變，如圖15所示。
[0095]步驟7、采用線切割手段，對B1基板、B2基板和它們之間夾著的光柵毛坯結構其中一個寬邊進行加工。加工后，B1基板、B2基板和光柵毛坯結構的板體的該端面都在同一平面上，該端面可以作為與背板固定的端面，為了保證該端面光滑，可以對其進行打磨處理，使其表面光滑，如圖16所示。
[0096]步驟8、把步驟7切割后的端面作為焊接面，利用焊料把光柵毛坯結構和B1基板、B2基板焊接固定到背板的上表面上，如圖17所示；為了使焊料不溶于后續(xù)濕法刻蝕的酸溶液，可以采用銀基焊料或銅基焊料等。
[0097]步驟9、焊接完成后，取下夾子，對光柵毛坯結構進行精密加工，使其尺寸完全符合待制造成品平行光柵的要求。首先，對光柵毛坯結構的寬和高進行切削，使其分別為12mm、10_。其次，為了獲得雙梳形光柵結構，再在寬邊的中心進行切割，切割出一個寬帶為2_，高度為12mm的矩形，如圖18所示。[0098]步驟10、去除光柵毛坯結構中的乙板體(Al板體)，使用刻蝕溶液對光柵毛坯結構進行刻蝕。因為該光柵毛坯結構中的B1基板、B2基板和乙板體(Al板體)易與酸發(fā)生反應而溶于酸性溶液，而甲板體(Cu板體)和背板不易溶于酸性溶液，故可選濃HCl作為刻蝕溶液。把該光柵毛坯結構連同三塊基板一起放入濃HCl溶液中，經過足夠長時間的刻蝕，B1基板、B2基板和乙板體(Al板體)被刻蝕掉。而甲板體(Cu板體)和背板被保留下來，初步形成了待制備的雙梳形矩形光柵結構，如圖19和圖20所示。
[0099]步驟11、利用超聲清洗機，依次在去離子水、丙酮溶液、酒精溶液、去離子水中清洗經步驟10處理后的光柵結構10分鐘，去掉光柵結構表面殘留的離子，并經清洗，最終得到一個周期常數1=0.065mm+0.065mm=0.13mm的成品雙梳形矩形光柵結構，該光柵具有比較大的深寬比和比較光滑的側表面。
[0100]以上結合附圖對本發(fā)明進行了示例性描述。顯然，本發(fā)明具體實現并不受上述方式的限制。只要是采用了本發(fā)明的方法構思和技術方案進行的各種非實質性的改進；或未經改進，將本發(fā)明的上述構思和技術方案直接應用于其它場合的，均在本發(fā)明的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種平行光柵的制作方法，其特征在于，包括如下步驟: (1)制作兩塊基板和一塊背板； (2)制作甲板體和乙板體； (3 )選取其中一塊基板,將第一塊甲板體放置在該基板上，將第一塊乙板體放置在甲板體上； (4)將第二塊甲板體放置在第一塊乙板體上，將第二塊乙板體放置在第二塊甲板體上； (5)重復步驟(4)，直至放置第η塊甲板體，得到光柵的周期數η; (6)將另一塊基板放置在第η塊甲板體上，甲板體和乙板體堆疊形成夾在兩塊基板之間的光柵毛坯結構； (7)切割兩塊基板和光柵毛坯結構，使兩塊基板的底部端面與光柵毛坯結構的底部端面處于同一平面內； (8)將兩塊基板和光柵毛坯結構的底部端面與背板接觸并固定到背板上； (9)精加工光柵毛坯結構； (10)去除甲板體之間的乙板體；去除兩塊基板； (11)得到平行光柵； 在上述步驟(2)中，甲板體和乙板體此阿勇不同的材料制成。
2.根據權利要求1所述的平行光柵的制作方法，其特征在于:在所述步驟(2)中，使用能夠與刻蝕溶液發(fā)生反應而被刻蝕掉的材料制作乙板體。
3.根據權利要求2所述的平行光柵的制作方法，其特征在于:在所述步驟(10)中，將光柵毛坯結構連同兩塊基板和背板一起放入刻蝕溶液中，使乙板體與刻蝕溶液發(fā)生反應，直至被刻蝕掉。
4.根據權利要求1所述的平行光柵的制作方法，其特征在于:在所述步驟(I)中，使用能夠與刻蝕溶液發(fā)生反應而被刻蝕掉的材料制作基板。
5.根據權利要求4所述的平行光柵的制作方法，其特征在于:在所述步驟(11)中，將光柵毛坯結構連同兩塊基板和背板一起放入刻蝕溶液中，使背板與刻蝕溶液發(fā)生反應，直至被刻蝕掉。
6.根據權利要求2或4所述的平行光柵的制作方法，其特征在于:在所述步驟(8)中，所述兩塊基板和光柵毛坯結構為焊接或粘接在所述背板上。
7.根據權利要求4所述的平行光柵的制作方法，其特征在于:在所述步驟(3)、(4)、(5)中，在每放置一塊甲板體和一塊乙板體后，需使用另一塊基板蓋在最上層的甲板體或乙板體上，并對兩基板施加壓力以擠壓甲板體和乙板體，使甲板體和乙板體表面平整并緊密接觸。
8.根據權利要求7所述的平行光柵的制作方法，其特征在于:所述基板和乙板體采用Al、Fe或Zn材料制作,所述背板和甲板體采用無氧Cu、Ag、Po或Au材料制作。
9.根據權利要求8所述的平行光柵的制作方法，其特征在于:所述基板、背板、甲板體和乙板體均為矩形，在所述步驟(3)中，將甲板體放置在基板的中心位置，乙板體與甲板體對齊放置。
【文檔編號】H01J9/00GK103762136SQ201410027668
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2014年1月21日 優(yōu)先權日:2014年1月21日
【發(fā)明者】吳華夏, 席洪柱, 賀兆昌, 溫旭杰, 張建成, 余峰, 余正紅 申請人:安徽華東光電技術研究所