紫外線燈的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種紫外線燈，其能夠?qū)⑵谕牟ㄩL(zhǎng)的紫外線從放電容器內(nèi)向外部射出，并且能夠在放電容器中的與光射出部對(duì)應(yīng)的整個(gè)區(qū)域內(nèi)防止由短波長(zhǎng)的紫外線引起的玻璃的劣化。該紫外線燈具備：放電容器(1)；一對(duì)電極(2)，其在所述放電容器(1)的外表面處以?shī)A著密封空間(13)的方式對(duì)置形成；光射出部(3)，其使在所述密封空間(13)內(nèi)通過(guò)放電產(chǎn)生的光向所述放電容器外射出；及放電容器保護(hù)膜(5)，其供波長(zhǎng)λ以上的紫外線透過(guò)，并且發(fā)射或吸收不足波長(zhǎng)λ的紫外線，至少形成在所述放電容器(1)的內(nèi)表面中的與所述光射出部(3)對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)。
【專利說(shuō)明】紫外線燈

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種紫外線燈，其構(gòu)成為將在玻璃制的放電容器內(nèi)產(chǎn)生的紫外線從光射出部向外部射出。

【背景技術(shù)】
[0002]例如，為了基板的清洗、墨的固化等這樣的用途而使用有用于照射紫外線的紫外線燈。作為這樣的紫外線燈100A的一個(gè)例子，如專利文獻(xiàn)I及圖6所示而具有如下結(jié)構(gòu)，即，紫外線燈100A具備:大致扁平長(zhǎng)方體形狀的放電容器1A，其在內(nèi)部具有封入有稀有氣體的密封空間13A ;及網(wǎng)眼狀的一對(duì)電極2A，它們?cè)O(shè)置為與放電容器IA的外表面IlA對(duì)置，將在所述放電容器IA中設(shè)有一方的網(wǎng)眼狀電極22A的面設(shè)為光射出部3A，將在內(nèi)部產(chǎn)生的紫外線向放電容器IA外取出。另外，該結(jié)構(gòu)設(shè)置為將在放電容器IA產(chǎn)生的紫外線僅從所述光射出部3A射出，為了提高光的取出效率，在放電容器IA的內(nèi)表面12A中的除與光射出部3A對(duì)應(yīng)的部分以外形成有由S12構(gòu)成的紫外線反射膜4A。
[0003]然而，在放電容器IA內(nèi)產(chǎn)生的紫外線不僅產(chǎn)生符合基板的清洗、墨的固化等這樣的目的所期望的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線，還一并產(chǎn)生與其相比短波長(zhǎng)的紫外線。并且，該短波長(zhǎng)的紫外線被形成在放電容器IA的內(nèi)表面12A的紫外線反射膜4A反射，因此僅向放電容器IA的內(nèi)表面12A中的與光射出部3A對(duì)應(yīng)的部分照射。
[0004]當(dāng)該短波長(zhǎng)的紫外線向形成放電容器IA的玻璃照射時(shí)，玻璃的劣化逐漸加劇，首先降低紫外線的透過(guò)率，使紫外線的取出效率下降。進(jìn)而，當(dāng)玻璃的劣化加劇時(shí)，在放電容器IA產(chǎn)生裂縫且形成燈故障，需要更換。
[0005]近年來(lái)，期望提高運(yùn)轉(zhuǎn)率而使燈整體降低成本，因此謀求通過(guò)消除該光射出部3A中的因短波長(zhǎng)的紫外線引起的玻璃的劣化、或緩解該劣化以能夠降低燈的更換頻率。
[0006]為了防止這樣的光射出部3A中的形成放電容器IA的玻璃的劣化，在專利文獻(xiàn)2所示的具備雙重圓筒管構(gòu)造的放電容器IA的紫外線燈100A中，形成為在放電容器IA的內(nèi)表面12A形成的紫外線反射膜4A覆蓋到光射出部3A的一部分為止。
[0007]具體來(lái)說(shuō)，該結(jié)構(gòu)設(shè)為，如圖7所示，在放電容器IA的內(nèi)側(cè)管的內(nèi)表面IlA形成第一固體電極21A，在放電容器IA的外側(cè)管的外表面IlA以橫向剖視觀察下呈C字狀的方式形成第二固體電極22A，將沒(méi)有形成第二固體電極22A的開(kāi)口部分作為光射出部3A。并且，在放電容器IA的外側(cè)管的內(nèi)表面12A中的與第二固體電極22A對(duì)應(yīng)的部分、及在放電容器IA的外側(cè)管的內(nèi)表面12A中的第二固體電極22A附近、即所述光射出部3A的一部分形成有紫外線反射膜4A。
[0008]S卩，在專利文獻(xiàn)2中，通過(guò)將光射出部3A中的特別容易產(chǎn)生由紫外線引起的玻璃的劣化的、外側(cè)管的內(nèi)表面12A的第二固體電極22A附近的一部分由紫外線反射膜4A來(lái)覆蓋，從而能夠?qū)崿F(xiàn)長(zhǎng)壽命化。
[0009]然而，在上述結(jié)構(gòu)中，對(duì)于在光射出部3A中沒(méi)有形成紫外線反射膜4A的區(qū)域來(lái)說(shuō)，由于受到短波長(zhǎng)的紫外線的照射，因此無(wú)法完全地防止光射出部3A中的劣化。反過(guò)來(lái)說(shuō)，當(dāng)為了防止光射出部3A中的整個(gè)區(qū)域內(nèi)的由短波長(zhǎng)引起的紫外線的劣化，當(dāng)在放電容器IA中的與光射出部3A對(duì)應(yīng)的部分全部將紫外線反射膜4A形成于內(nèi)表面12A時(shí)，無(wú)法實(shí)現(xiàn)將在放電容器IA的內(nèi)部產(chǎn)生的紫外線經(jīng)由光射出部3A而向外部大部分取出，無(wú)法發(fā)揮紫外線燈10A原本的功能。
[0010]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0011]專利文獻(xiàn)
[0012]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2012-243435號(hào)公報(bào)
[0013]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2010-218833號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]發(fā)明要解決的課題
[0015]本發(fā)明是鑒于上述那樣的問(wèn)題而完成的，其目的在于提供一種紫外線燈，作為紫外線燈，能夠?qū)⑵谕牟ㄩL(zhǎng)的紫外線從放電容器內(nèi)向外部射出，并且在放電容器中的與光射出部對(duì)應(yīng)的整個(gè)區(qū)域內(nèi)防止由短波長(zhǎng)的紫外線引起的玻璃的劣化，能夠消除或進(jìn)一步緩解紫外線的取出效率的降低、裂縫的產(chǎn)生等。
[0016]解決方案
[0017]S卩，本發(fā)明的紫外線燈的特征在于，所述紫外線燈具備:放電容器，其由透光性玻璃構(gòu)成，并在內(nèi)部具有封入有規(guī)定氣體的密封空間；至少一對(duì)電極，它們形成在所述放電容器的外表面；光射出部，其使在所述密封空間內(nèi)通過(guò)放電產(chǎn)生的光向所述放電容器外射出；及放電容器保護(hù)膜，其供波長(zhǎng)λ以上的紫外線透過(guò)，并且反射或吸收不足波長(zhǎng)λ的紫外線，所述放電容器保護(hù)膜形成在所述放電容器的內(nèi)表面中的至少與所述光射出部對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)。
[0018]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于供波長(zhǎng)λ以上的紫外線透過(guò)、并且反射或吸收不足波長(zhǎng)λ的紫外線的放電容器保護(hù)膜形成在所述放電容器的內(nèi)表面中的與所述光射出部對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)，因此將必要波長(zhǎng)λ以上的紫外線向外部取出，并且不會(huì)向放電容器中的與光射出部對(duì)應(yīng)的部分直接照射不足波長(zhǎng)λ的紫外線。
[0019]S卩，能夠利用所述放電容器保護(hù)膜來(lái)防止如下所述的情況:對(duì)無(wú)法防止現(xiàn)有玻璃的劣化加劇的放電容器中的與光射出部對(duì)應(yīng)的區(qū)域照射短波長(zhǎng)的紫外線即不足波長(zhǎng)λ的紫外線。因而，與以往相比，能夠在長(zhǎng)期間內(nèi)防止在放電容器中的與光射出部對(duì)應(yīng)的部分處的紫外線的透過(guò)率的降低、裂縫的產(chǎn)生。
[0020]如此，根據(jù)本發(fā)明，能夠保持紫外線燈原本的功能，并且防止形成放電容器的玻璃的劣化，實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽命化。因而，減少紫外線燈的更換頻率，例如提高生產(chǎn)線的運(yùn)轉(zhuǎn)率。
[0021]為了使在所述密封空間內(nèi)產(chǎn)生且想向外部取出的波長(zhǎng)λ以上的紫外線向所述光射出部集中而提高取出效率，并且不會(huì)使在所述密封空間內(nèi)產(chǎn)生的短波長(zhǎng)的紫外線到達(dá)至放電容器，能夠防止針對(duì)放電容器中的任何部分產(chǎn)生由短波長(zhǎng)紫外線弓I起的玻璃的劣化，進(jìn)行如下設(shè)置即可:所述放電容器保護(hù)膜形成在所述放電容器的內(nèi)表面中的與所述光射出部對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)，所述紫外線燈還具備紫外線反射膜，該紫外線反射膜反射紫外線，形成在所述放電容器的內(nèi)表面中的與所述光射出部以外的部分對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)。
[0022]作為例如將適用于基板的清洗的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線從所述光射出部射出、并且用于能夠防止形成所述放電容器的玻璃的劣化的波長(zhǎng)λ的具體例，舉出所述波長(zhǎng)λ是165nm以上且175nm以下的波長(zhǎng)。
[0023]作為在所述紫外線反射膜中用于不使從光射出部射出且期望的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線透過(guò)而被反射、并且使形成放電容器的玻璃劣化的短波長(zhǎng)的紫外線也被反射的具體的結(jié)構(gòu)例，舉出所述紫外線反射膜由顆粒直徑大于所述波長(zhǎng)λ的S12形成的例子。
[0024]作為在所述放電容器保護(hù)膜中用于反射或吸收使玻璃劣化的短波長(zhǎng)的紫外線中的、特別是比使劣化加劇的波長(zhǎng)要短的波長(zhǎng)的紫外線、并且作為期望的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線而僅供具有比波長(zhǎng)λ要長(zhǎng)的波長(zhǎng)的紫外線透過(guò)的具體結(jié)構(gòu)例，只要所述放電容器保護(hù)膜由顆粒直徑小于所述波長(zhǎng)λ且顆粒直徑為160nm以上的S12形成即可。
[0025]在所述放電容器保護(hù)膜中，為了使比波長(zhǎng)λ要長(zhǎng)的波長(zhǎng)的紫外線透過(guò)、并且使比波長(zhǎng)λ要短的波長(zhǎng)的紫外線被吸收，只要所述放電容器保護(hù)膜是由Al2O3形成的紫外線透過(guò)膜即可。
[0026]作為所述放電容器保護(hù)膜的其他形態(tài)，在所述放電容器保護(hù)膜中，為了使比波長(zhǎng)λ要長(zhǎng)的波長(zhǎng)的紫外線透過(guò)，并且使比波長(zhǎng)λ要短的波長(zhǎng)的紫外線被反射，只要所述放電容器保護(hù)膜是由MgO、CaF2 *MgF2中的任一者形成的單層反射膜即可。
[0027]發(fā)明效果
[0028]如此，根據(jù)本發(fā)明的紫外線燈，對(duì)于所述放電容器的內(nèi)表面中的至少與所述光射出部對(duì)應(yīng)的區(qū)域，形成有供波長(zhǎng)λ以上的紫外線透過(guò)、并且反射或吸收不足波長(zhǎng)λ的紫外線的所述放電容器保護(hù)膜，能夠防止現(xiàn)有未被保護(hù)的光射出部中的形成放電容器的玻璃的劣化，能夠?qū)崿F(xiàn)長(zhǎng)壽命化。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0029]圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的紫外線燈的使用狀態(tài)的示意性立體圖。
[0030]圖2是表示上述實(shí)施方式中的紫外線燈的內(nèi)部構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0031]圖3是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的紫外線燈的內(nèi)部構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0032]圖4是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的紫外線燈的內(nèi)部構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0033]圖5是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的紫外線燈的內(nèi)部構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0034]圖6是表示現(xiàn)有的紫外線燈的內(nèi)部構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0035]圖7是表示另一現(xiàn)有的紫外線燈的內(nèi)部構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0036]附圖標(biāo)記說(shuō)明如下:
[0037]100 紫外線燈
[0038]I 放電容器
[0039]11 外表面
[0040]12 內(nèi)表面
[0041]13 密封空間
[0042]2一對(duì)電極
[0043]3光射出部
[0044]4紫外線反射膜
[0045]5放電容器保護(hù)膜

【具體實(shí)施方式】
[0046]參照?qǐng)D1及圖2對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的紫外線燈(準(zhǔn)分子燈)進(jìn)行說(shuō)明。
[0047]第一實(shí)施方式的紫外線燈100將通過(guò)電介質(zhì)勢(shì)壘放電而產(chǎn)生的紫外線向基板照射而用于去除有機(jī)物。
[0048]即，如圖1的立體圖所示，從大致扁平長(zhǎng)方體形狀的所述紫外線燈100向下側(cè)照射紫外線，形成帶狀的紫外線照射區(qū)域。然后，以橫切該紫外線照射區(qū)域的方式搬運(yùn)工件，從而對(duì)工件照射紫外線。
[0049]接下來(lái)，對(duì)該紫外線燈100的詳細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
[0050]如圖2的橫向剖視圖所示，所述紫外線燈100具備:放電容器1，其由透光性玻璃構(gòu)成，并呈在內(nèi)部具有密封空間13的大致中空長(zhǎng)方體形狀；一對(duì)電極2，它們分別形成在所述放電容器I的對(duì)置的寬度較廣的上下面的外表面11 ;及光射出部3，其設(shè)定在所述放電容器I的下側(cè)面，供在所述密封空間13內(nèi)通過(guò)放電產(chǎn)生的光向所述放電容器I外射出。
[0051]另外，該紫外線燈100形成有紫外線反射膜4與放電容器保護(hù)膜5這兩種膜，該紫外線反射膜4形成在放電容器I的內(nèi)表面12中的與所述光射出部3以外的部分對(duì)應(yīng)的部分，該放電容器保護(hù)膜5形成在所述放電容器I的內(nèi)表面12中的與所述光射出部3對(duì)應(yīng)的部分。另外，第一實(shí)施方式的紫外線反射膜4構(gòu)成為將在所述密封空間13產(chǎn)生的紫外線與其波長(zhǎng)無(wú)關(guān)地大致全部反射或吸收，與此相對(duì)地，所述放電容器保護(hù)膜5構(gòu)成為使規(guī)定的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線透過(guò)、并且對(duì)與規(guī)定的波長(zhǎng)區(qū)域相比短波長(zhǎng)的紫外線進(jìn)行反射或吸收。即，在所述放電容器I的內(nèi)表面12分別形成有特性不同的紫外線反射膜4及放電容器保護(hù)膜5。
[0052]對(duì)各部分進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0053]所述放電容器I由石英玻璃形成且具有透光性，在密封空間13內(nèi)封入有作為稀有氣體的氣氣。
[0054]所述一對(duì)電極2是相對(duì)于所述放電容器I的寬度較廣面即上下面的外表面11而形成的網(wǎng)眼狀電極，在各電極21、22間施加規(guī)定的高頻.高電壓的電壓，從而在所述密封空間13內(nèi)產(chǎn)生電介質(zhì)勢(shì)壘放電。由于在所述密封空間13內(nèi)封入有氙氣，因此當(dāng)產(chǎn)生電介質(zhì)勢(shì)壘放電時(shí)，產(chǎn)生峰值為172nm且具有規(guī)定展寬的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線。另外，所述一對(duì)電極2分別形成為網(wǎng)眼狀，因此能夠使在所述密封空間13內(nèi)產(chǎn)生的紫外線通過(guò)電極22的空隙部分而逐漸排出到外部。
[0055]如圖2所示，所述紫外線反射膜4形成為放電容器I的內(nèi)表面12上的與在放電容器I的上表面形成的一方的網(wǎng)眼狀的電極21對(duì)置的面、及放電容器I的內(nèi)表面12上的一對(duì)寬度較窄的左右側(cè)面。即，所述紫外線反射膜4形成為全部覆蓋除內(nèi)表面12上的與在放電容器I的下表面形成的另一方的網(wǎng)眼狀的電極22對(duì)置的面以外的部分。
[0056]另外，該紫外線反射膜4構(gòu)成為對(duì)作為規(guī)定的波長(zhǎng)區(qū)域的光而在所述密封空間13中通過(guò)電介質(zhì)勢(shì)壘放電而產(chǎn)生的大致全部的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線進(jìn)行反射或吸收。更具體來(lái)說(shuō)，所述紫外線反射膜4由顆粒直徑比所述規(guī)定的波長(zhǎng)區(qū)域中最長(zhǎng)的波長(zhǎng)大的S12形成。如此，由于構(gòu)成紫外線反射膜4，因此在密封空間13中產(chǎn)生的大致全部的紫外線與構(gòu)成紫外線反射膜4的S12的顆粒碰撞，進(jìn)行反射或吸收。因而，紫外線幾乎不會(huì)到達(dá)放電容器I的形成有紫外線反射膜4的內(nèi)表面12。
[0057]所述放電容器保護(hù)膜5構(gòu)成為形成在內(nèi)表面12上的與在放電容器I的下表面處形成的另一方的網(wǎng)眼狀的電極22對(duì)置的面，供波長(zhǎng)λ以上的紫外線透過(guò)、并且對(duì)不足波長(zhǎng)λ的波長(zhǎng)的紫外線進(jìn)行反射或吸收。在第一實(shí)施方式中，為了僅使在所述密封空間13內(nèi)產(chǎn)生的紫外線中的、作為照射用途而有效的波長(zhǎng)成分透過(guò)，而將所述波長(zhǎng)λ設(shè)定為170nm。換言之，由于將所述波長(zhǎng)λ設(shè)定為170nm，因此該放電容器保護(hù)膜5至少可供在密封空間13產(chǎn)生的紫外線的峰值波長(zhǎng)即172nm及其附近的波長(zhǎng)的紫外線透過(guò)。因而，不會(huì)遮擋在基板的清洗等中顯示優(yōu)異效果的波長(zhǎng)區(qū)域的光而將其向外部射出。
[0058]另一方面，對(duì)于使形成放電容器I的玻璃的劣化加劇的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線、即不足160nm的波長(zhǎng)的短波長(zhǎng)的紫外線，設(shè)定為不使其到達(dá)該放電容器I地被反射或吸收。即，由于具有不足160nm的波長(zhǎng)的紫外線被所述放電容器保護(hù)膜5反射或吸收，因此不會(huì)到達(dá)至放電容器I。
[0059]為了獲得這樣的透過(guò)特性和反射、吸收特性，該放電容器保護(hù)膜5由顆粒直徑比所述紫外線反射膜4小的S12形成。更具體來(lái)說(shuō)，在本第一實(shí)施方式中，所述放電容器保護(hù)膜5由顆粒直徑比所述波長(zhǎng)λ即170nm小且顆粒直徑為160nm以上的S12形成。因而，比160nm長(zhǎng)且不足170nm的波長(zhǎng)的紫外線不與形成放電容器保護(hù)膜5的S12發(fā)生碰撞，到達(dá)放電容器I而向外部射出，另一方面比160nm短的波長(zhǎng)的紫外線與形成放電容器保護(hù)膜5的S12發(fā)生碰撞，被反射或吸收，不會(huì)到達(dá)所述放電容器I。
[0060]如此，在所述放電容器I的內(nèi)表面12中，僅形成有放電容器保護(hù)膜5的部分供在密封空間13產(chǎn)生的峰值波長(zhǎng)及其附近的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線透過(guò)，形成有向外部射出紫外線的光射出部3。反而言之，也可以說(shuō)在放電容器I中的想要形成光射出部3的部分的內(nèi)表面12形成放電容器保護(hù)膜5，在不想形成光射出部3的部分的內(nèi)表面12形成有所述紫外線反射膜4。另外，也可以說(shuō)，形成所述紫外線反射膜4的S12的顆粒直徑具有大于所述波長(zhǎng)λ的顆粒直徑，以便對(duì)在密封空間13產(chǎn)生的紫外線的大致全部進(jìn)行反射或吸收。
[0061]根據(jù)如此構(gòu)成的第一實(shí)施方式的紫外線燈100，在放電容器I的內(nèi)表面12的全部形成有所述紫外線反射膜4或所述放電容器保護(hù)膜5中的任一者，因此在密封空間13內(nèi)產(chǎn)生的至少具有比160nm短的波長(zhǎng)、具備使形成所述放電容器I的玻璃劣化的作用的紫外線在所述紫外線反射膜4或所述放電容器保護(hù)膜5處被反射或吸收，從而不會(huì)到達(dá)放電容器
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[0062]因而，能夠降低使形成放電容器I的玻璃劣化而想要向外部射出的期望的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線的透過(guò)率，并且在長(zhǎng)期間內(nèi)防止劣化加劇而在放電容器I上產(chǎn)生裂縫，變得無(wú)法保持密封空間13而形成燈故障。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)紫外線燈100的長(zhǎng)壽命化，能夠降低相對(duì)于光源箱101而更換紫外線燈100的頻率，能夠提高生產(chǎn)線的工件的處理效率。
[0063]另外，所述放電容器保護(hù)膜5將顆粒直徑形成得比170nm小，因此能夠使期望的波長(zhǎng)區(qū)域即172nm及其附近的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線透過(guò)，因此，即便在放電容器I的與光射出部3對(duì)應(yīng)的內(nèi)表面12的整個(gè)區(qū)域內(nèi)形成有所述放電容器保護(hù)膜5，也能夠使所需的紫外線向外部射出。換言之，通過(guò)形成所述放電容器保護(hù)膜5，不會(huì)降低應(yīng)對(duì)工件照射的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線的取出效率，不會(huì)損害作為光射出部3的功能。
[0064]綜上所述，根據(jù)第一實(shí)施方式的紫外線燈100，不會(huì)降低基板的清洗、墨的固化等這樣的工件的處理能力，能夠?qū)崿F(xiàn)長(zhǎng)壽命化。
[0065]接下來(lái)，參照?qǐng)D3對(duì)第二實(shí)施方式的紫外線燈100進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，在第二實(shí)施方式中，對(duì)與第一實(shí)施方式對(duì)應(yīng)的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。
[0066]第二實(shí)施方式的紫外線燈100與第一實(shí)施方式相比，所述放電容器保護(hù)膜5不同，其他部分共用。
[0067]更具體來(lái)說(shuō)，第二實(shí)施方式的所述放電容器保護(hù)膜5是由Al2O3形成的紫外線透過(guò)膜，構(gòu)成為供波長(zhǎng)λ以上的紫外線透過(guò)并且吸收比波長(zhǎng)λ短的波長(zhǎng)的紫外線。在此，由于Al2O3的紫外線的吸收端為160nm附近，因此在使用該放電容器保護(hù)膜5的情況下，能夠使波長(zhǎng)比160nm附近長(zhǎng)的紫外線透過(guò)，并且使波長(zhǎng)比160nm附近短的紫外線在該放電容器保護(hù)膜5處被吸收。
[0068]使用上述的結(jié)構(gòu)，也能夠獲得與第一實(shí)施方式相同的效果，能夠?qū)崿F(xiàn)紫外線燈100的長(zhǎng)壽命化。
[0069]接下來(lái)，參照?qǐng)D4對(duì)第三實(shí)施方式的紫外線燈100進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，在第三實(shí)施方式中，對(duì)與第一實(shí)施方式對(duì)應(yīng)的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。
[0070]第三實(shí)施方式的紫外線燈100與第一實(shí)施方式相比，也是所述放電容器保護(hù)膜5不同，其他部分共用。
[0071]更具體來(lái)說(shuō)，第三實(shí)施方式的所述放電容器保護(hù)膜5是由MgOXaF2或MgF2中的任一者形成的單層反射膜，構(gòu)成為供波長(zhǎng)λ以上的紫外線透過(guò)并且反射與波長(zhǎng)λ相比波長(zhǎng)較短的紫外線。
[0072]使用上述的結(jié)構(gòu)，也能夠獲得與第一實(shí)施方式相同的效果。
[0073]接著，參照?qǐng)D5對(duì)第四實(shí)施方式的紫外線燈100進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，在第四實(shí)施方式，對(duì)與第一實(shí)施方式對(duì)應(yīng)的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。
[0074]第四實(shí)施方式的紫外線燈100與第一實(shí)施方式相比，在放電容器I中使設(shè)有所述光射出部3的面不同，構(gòu)成為紫外線從放電容器I的寬度較窄的側(cè)面射出。即，使在放電容器I的內(nèi)表面12形成的紫外線反射膜4及放電容器保護(hù)膜5的位置與第一實(shí)施方式不同。
[0075]更具體來(lái)說(shuō)，如圖5所示，所述紫外線反射膜4形成為全部覆蓋與各電極21、22對(duì)置的內(nèi)表面12的面及與一方的寬度較窄的面對(duì)置的內(nèi)表面12，并且所述放電容器保護(hù)膜5形成為全部覆蓋與所述光射出部3對(duì)應(yīng)的部分即與另一方的寬度較寬的面對(duì)置的內(nèi)表面12。
[0076]如此，通過(guò)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定形成所述紫外線反射膜4及所述放電容器保護(hù)膜5的場(chǎng)所，能夠在任意的位置設(shè)定光射出部3，并且能夠?qū)崿F(xiàn)放電容器I的長(zhǎng)壽命化。即，光射出部3的位置未必由所述電極21、22規(guī)定，也能夠自由地設(shè)定。
[0077]對(duì)其他實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0078]在所述各實(shí)施方式中，采用具有扁平長(zhǎng)方體形狀的放電容器的、使用有該放電容器的結(jié)構(gòu)，本發(fā)明也能夠適用圖7所示那樣的具備雙重圓筒管形狀的放電容器的紫外線燈。即，在圖7中，在放電容器的內(nèi)表面中與光射出部對(duì)應(yīng)的部分的整個(gè)區(qū)域范圍內(nèi)形成各實(shí)施方式所記載的放電容器保護(hù)膜，從而與以往相比能夠?qū)崿F(xiàn)紫外線燈的長(zhǎng)壽命化，并且能夠使期望的波長(zhǎng)區(qū)域的紫外線從光射出部射出。
[0079]在所述各實(shí)施方式中，各電極采用了網(wǎng)眼狀的電極，但例如在無(wú)須穿過(guò)電極而射出紫外線的情況下，也可以使用固體電極。另外，封入到放電容器內(nèi)的氣體也可以是除氙以外的氪等稀有氣體。另外，也可以是鹵化后的稀有氣體等。在這種情況下，只要與產(chǎn)生的紫外線的波長(zhǎng)區(qū)域相吻合，選擇所述紫外線反射膜及所述放電容器保護(hù)膜的特性即可。
[0080]在所述各實(shí)施方式中記載的波長(zhǎng)λ為一個(gè)例子，只要與想要對(duì)工件照射的紫外線的波長(zhǎng)區(qū)域、及不想使其到達(dá)至所述放電容器的紫外線的波長(zhǎng)區(qū)域相應(yīng)地設(shè)定波長(zhǎng)入即可。另外，對(duì)于波長(zhǎng)λ，也可以根據(jù)放電容器所使用的透光性玻璃的性質(zhì)來(lái)決定。采用所述實(shí)施方式，也可以通過(guò)將不足160nm的波長(zhǎng)的紫外線反射、并且使160nm以上的波長(zhǎng)的紫外線透過(guò)的方式形成放電容器保護(hù)膜。
[0081]例如，作為用于在基板的清洗等中獲得優(yōu)選清洗效果、防止放電容器的劣化、實(shí)現(xiàn)紫外線燈的長(zhǎng)壽命化的具體例，也舉出有所述波長(zhǎng)λ為165nm以上且175nm以下的波長(zhǎng)的結(jié)構(gòu)。
[0082]此外，也可以在不違反本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種實(shí)施方式的變形、組合。
【權(quán)利要求】
1.一種紫外線燈，其特征在于， 所述紫外線燈具備: 放電容器，其由透光性玻璃構(gòu)成，并在內(nèi)部具有封入有規(guī)定氣體的密封空間； 至少一對(duì)電極，它們形成在所述放電容器的外表面； 光射出部，其使在所述密封空間內(nèi)通過(guò)放電產(chǎn)生的光向所述放電容器外射出；及放電容器保護(hù)膜，其供波長(zhǎng)λ以上的紫外線透過(guò)，并且反射或吸收不足波長(zhǎng)λ的紫外線，所述放電容器保護(hù)膜形成在所述放電容器的內(nèi)表面中的至少與所述光射出部對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外線燈，其中， 所述放電容器保護(hù)膜形成在所述放電容器的內(nèi)表面中的與所述光射出部對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)， 所述紫外線燈還具備紫外線反射膜，該紫外線反射膜反射紫外線，形成在所述放電容器的內(nèi)表面中的與所述光射出部以外的部分對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紫外線燈，其中， 所述波長(zhǎng)λ是165nm以上且175nm以下的波長(zhǎng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的紫外線燈，其中， 所述紫外線反射膜由顆粒直徑大于所述波長(zhǎng)λ的S12形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的紫外線燈，其中， 所述放電容器保護(hù)膜由顆粒直徑小于所述波長(zhǎng)λ且顆粒直徑為160nm以上的S12B成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的紫外線燈，其中， 所述放電容器保護(hù)膜是由Al2O3形成的紫外線透過(guò)膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的紫外線燈，其中， 所述放電容器保護(hù)膜是由MgO、CaF2或MgF2中的任一者形成的單層反射膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的紫外線燈，其特征在于， 所述紫外線燈為準(zhǔn)分子燈， 在所述放電容器內(nèi)產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電。
【文檔編號(hào)】H01J61/35GK104078304SQ201410105380
【公開(kāi)日】2014年10月1日 申請(qǐng)日期:2014年3月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月28日
【發(fā)明者】細(xì)谷浩二, 片桐毅, 畑瀨和也 申請(qǐng)人:株式會(huì)社杰士湯淺國(guó)際