將凍結(jié)含水樣本結(jié)合到微探針的方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種將在低于大約-137℃的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的溫度的玻璃狀生物樣本結(jié)合到也保持在低于玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的溫度的微操縱器的方法。在現(xiàn)有技術(shù)方法使用利用例如丙烷或加熱的針(以電阻方式加熱或通過(guò)例如激光加熱)的IBID的情況下，本發(fā)明使用振動(dòng)的針使樣本局部融化。通過(guò)停止振動(dòng)，樣本凍結(jié)到微操縱器。加熱的部分的熱容量小，并且保持在玻璃狀狀況的材料的量因此大。
【專利說(shuō)明】將凍結(jié)含水樣本結(jié)合到微探針的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種將樣本結(jié)合到微探針的方法，所述方法包括下述步驟:
提供樣本；
提供具有末端的微探針；
將該末端向樣本移動(dòng)，直至發(fā)生接觸；
在使樣本的部分保持凝固的同時(shí)，使樣本局部融化；以及將局部融化的樣本凍結(jié)到該末端。
[0002]本發(fā)明還涉及一種被裝備用于執(zhí)行所述方法的設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0003]從第EP2009422B1號(hào)歐洲專利知道這種方法。
[0004]已知的方法描述一種方法，其中在低溫溫度使具有尖銳末端的微探針與凍結(jié)含水樣本(諸如，玻璃化生物樣本)接觸。該末端隨后被臨時(shí)加熱到高于水的融點(diǎn)的溫度。通過(guò)例如電阻加熱或利用激光束的加熱來(lái)實(shí)現(xiàn)該加熱。在此之后，允許該末端再次冷卻，作為其結(jié)果，含水樣本凍結(jié)到該末端。足夠快速地執(zhí)行加熱和冷卻，以使得樣本的至少部分被保持在凍結(jié)狀態(tài)，更具體地講，保持在玻璃化狀態(tài)。
[0005]這種玻璃化樣本可以例如是將要在電子顯微鏡中檢查的生物組織。經(jīng)常使用聚焦離子束設(shè)備從更大的部分挖出這種樣本，并且然后使用微探針將這種樣本運(yùn)送到樣本載臺(tái)以用于進(jìn)一步檢查。
[0006]該已知方法的缺點(diǎn)在于:由于所述末端的加熱的部分的熱容量，樣本的一部分融化或失去其玻璃化狀態(tài)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]存在如下需要:使樣本的較小部分融化或者樣本的較小部分失去其玻璃化狀態(tài)的結(jié)合方法。
[0008]為此，根據(jù)本發(fā)明的方法特征在于:通過(guò)所述末端的振動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)局部融化，當(dāng)振動(dòng)停止時(shí)，局部融化的樣本凍結(jié)到所述末端。
[0009]通過(guò)所述末端的振動(dòng)，所述末端和凍結(jié)樣本彼此摩擦。這種摩擦引起凍結(jié)樣本局部融化。當(dāng)摩擦隨后停止時(shí)，樣本的融化部分隨后凍結(jié)到所述末端。因?yàn)閮H樣本和所述末端通過(guò)摩擦被加熱，所以通過(guò)摩擦產(chǎn)生的熱量被快速地運(yùn)送走，多數(shù)熱量被運(yùn)送到所述末端毗鄰并且保持低溫(低于樣本材料的融點(diǎn))的部分中。
[0010]要注意的是，從歐洲專利申請(qǐng)EP2402477A1知道另一方法。在這種已知方法中，樣本被放置在設(shè)備的樣本室中，所述設(shè)備裝備有:聚焦離子束鏡筒，產(chǎn)生精細(xì)聚焦的離子束；和氣體注入系統(tǒng)，噴射具有低于樣本融點(diǎn)的融點(diǎn)的氣體。粘附于樣本的氣體分子分為鍵合到樣本的部分和從樣本室被抽走的揮發(fā)性部分。所使用的氣體的例子是丙烷，在樣本和末端之間產(chǎn)生碳鍵。
[0011]這種方法的缺點(diǎn)在于需要用于將樣本結(jié)合到所述末端的離子束鏡筒和氣體注入系統(tǒng)。
[0012]在實(shí)施例中，固體樣本是凍結(jié)含水樣本、玻璃化含水樣本或聚合物。
[0013]在電子顯微鏡檢查中對(duì)這種樣本很感興趣，其中這種樣本也稱為“生物樣本”。在電子顯微鏡檢查中，這些樣本包含細(xì)胞、細(xì)胞碎片、細(xì)菌、病毒、酶和蛋白質(zhì)。
[0014]在優(yōu)選實(shí)施例中，樣本是玻璃化含水樣本或玻璃化聚合物，以低于樣本的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的溫度提供樣本，并且樣本的部分在該方法中始終保持低于樣本材料的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度，作為其結(jié)果，樣本的部分保持玻璃狀。
[0015]特別地，使用該方法將玻璃化生物樣本(含水樣本或聚合物樣本)附著于微探針證明是有效的。經(jīng)常在低溫電子顯微鏡檢查(低溫EM)(更具體地講，低溫透射電子顯微鏡檢查(低溫TEM))中使用玻璃化生物樣本，因?yàn)椴ＡЩ筒ＡЩ酆衔锊皇境瞿軌驌p壞生物結(jié)構(gòu)(諸如，膜)的晶體。
[0016]在又另一實(shí)施例中，所述末端是金屬末端。
[0017]微探針通常裝備有金屬末端，例如鎢或鎢/鎳針。
[0018]在又另一實(shí)施例中，在進(jìn)行接觸的同時(shí)所述末端振動(dòng)。
[0019]這個(gè)實(shí)施例能夠精確地觀測(cè)到何時(shí)發(fā)生接觸，因?yàn)殡S后振動(dòng)的幅度改變。
[0020]在又另一實(shí)施例中，振動(dòng)的頻率在I和100 kHz之間。
[0021]這些是利用例如壓電致動(dòng)器容易實(shí)現(xiàn)的頻率。優(yōu)選地，頻率被選擇在接觸時(shí)發(fā)生波腹處，以使得發(fā)生最大能量傳遞。
[0022]在又另一實(shí)施例中，振動(dòng)的幅度在10和200 nm之間。
[0023]在另一實(shí)施例中，所述末端在平行于樣本的表面的平面中振動(dòng)。
[0024]這個(gè)實(shí)施例描述了:所述末端在樣本上方摩擦，而非輕敲樣本。在兩種模式中都傳遞能量并且實(shí)現(xiàn)局部融化，但摩擦證明更加可控。
[0025]在又另一實(shí)施例中，在抽空的室中，更具體地講，在帶電粒子設(shè)備的樣本室中，發(fā)生結(jié)合。
[0026]明顯地，必須在非凝結(jié)環(huán)境中執(zhí)行所述方法。尤其對(duì)于低于水的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的溫度，優(yōu)選抽空的室。
[0027]在另一實(shí)施例中，帶電粒子設(shè)備包括電子鏡筒和/或聚焦離子束鏡筒。
[0028]通過(guò)使帶電粒子設(shè)備裝備有聚焦離子束鏡筒能夠使所述設(shè)備執(zhí)行聚焦離子束銑削或蝕刻。雖然離子束能夠被用于對(duì)樣本成像并且因此被用于該過(guò)程，但由于SEM鏡筒的更高信噪比及其更高的分辨率而優(yōu)選SEM鏡筒。
[0029]在本發(fā)明的一方面，用于帶電粒子設(shè)備的微探針，帶電粒子設(shè)備示出被裝備用于保持樣本的樣本位置，微探針示出末端，微探針裝備有用于使所述末端與樣本接觸的定位裝置，其特征在于:所述末端被裝配用于振動(dòng)，所述末端在振動(dòng)時(shí)使樣本局部融化，當(dāng)振動(dòng)停止時(shí)，局部融化的樣本凍結(jié)到所述末端。
[0030]在微探針的另一實(shí)施例中，所述末端被裝備為被冷卻到低于_50°C的溫度，更具體地講，低于玻璃狀冰的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度。
[0031]在又另一實(shí)施例中，一種裝備有聚焦離子束鏡筒和/或電子束鏡筒的帶電粒子設(shè)備，樣本位置被裝備用于在低溫溫度保持玻璃化生物樣本，帶電粒子設(shè)備裝備有示出末端的微探針，微探針裝備有用于使所述末端與樣本接觸的定位裝置，所述末端被裝備用于振動(dòng)，所述末端在振動(dòng)時(shí)使樣本局部融化，當(dāng)振動(dòng)停止時(shí)，局部融化的樣本凍結(jié)到所述末端。
[0032]在另一實(shí)施例中，帶電粒子設(shè)備被裝備用于將樣本保持在低于_50°C的溫度，更具體地講，低于玻璃狀冰的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度，并且微探針的末端被裝備為被冷卻到低于_50°C的溫度，更具體地講，低于玻璃狀冰的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0033]現(xiàn)在使用圖說(shuō)明本發(fā)明，其中相同的參考數(shù)字表示對(duì)應(yīng)的特征。
[0034]為此:
圖1示出圖示所述方法的示例性實(shí)施例的流程圖，
圖2示出被裝備用于執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明的方法的示例性雙射束SEM/FIB系統(tǒng)。
[0035]這個(gè)示例性實(shí)施例被用于使玻璃化樣本附著于操縱器。

【具體實(shí)施方式】
[0036]在步驟I中，在具有冷卻的載物臺(tái)的雙射束設(shè)備中引入玻璃化工件。能夠通過(guò)將薄工件投入到低溫液體(諸如，丙烷)中或者通過(guò)高壓凍結(jié)來(lái)制作玻璃化工件，兩種方法本身都是已知的。為了使樣本保持玻璃化，樣本應(yīng)該保持低于水的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度，大約_137°C，這意味著載物臺(tái)應(yīng)該保持在低溫并且應(yīng)該存在低溫罩以防止樣本變熱。經(jīng)常利用通向保持在液氮溫度的冷卻散熱器的編織物冷卻載物臺(tái)和低溫罩。
[0037]在步驟2中，從工件挖出樣本。通常，通過(guò)離子束銑削來(lái)實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)。樣本經(jīng)常被保持為在一個(gè)位置經(jīng)橋附著到工件并且隨后在稍后階段與工件斷開(kāi)連接，或者替代地，將橋銑除?？稍谙蚬ぜ龑?dǎo)蝕刻劑的同時(shí)執(zhí)行銑削，蝕刻劑加強(qiáng)銑削速度或者加強(qiáng)沿優(yōu)先方向的銑削。
[0038]在步驟3中，使微探針與樣本接觸。微探針可在此時(shí)已經(jīng)振動(dòng)。使已經(jīng)振動(dòng)的微探針與樣本接觸的優(yōu)點(diǎn)在于:容易觀測(cè)到何時(shí)所述末端與樣本接觸，因?yàn)檫@引起幅度的改變。
[0039]在步驟4中，微探針摩擦樣本。要注意的是，所述末端(針)不必須表現(xiàn)為剛性單元并且可發(fā)生波節(jié)和波腹。應(yīng)該隨后觀測(cè)到，在接觸時(shí)，所述末端不與波節(jié)一致，因?yàn)殡S后在摩擦點(diǎn)不產(chǎn)生能量或產(chǎn)生很少的能量。
[0040]還要注意的是，通常，不能觀測(cè)到融化，并且摩擦?xí)r間基于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。在發(fā)明人執(zhí)行實(shí)驗(yàn)的測(cè)試車輛中，在20 KHz的振動(dòng)頻率和50 nm的振動(dòng)幅度下發(fā)現(xiàn)2到5秒的摩擦?xí)r間令人滿意。
[0041]在步驟5中，摩擦停止，并且允許樣本凍結(jié)在微探針的所述末端周圍。
[0042]在步驟6中，從工件移除樣本。為了進(jìn)一步檢查,樣本可例如移動(dòng)到TEM的樣本載臺(tái)，或者樣本可被減薄并且隨后被放置在樣本載臺(tái)上。
[0043]圖2描繪被裝備用于執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明的方法的示例性雙射束SEM/FIB系統(tǒng)皿?？衫鐝亩砝諏?Oregon)希爾巴羅(Hillsboro)的FEI公司(本申請(qǐng)的受讓人)商業(yè)獲得合適的雙射束系統(tǒng)。盡管以下提供合適硬件的例子，但本發(fā)明不限于在任何特定類型的硬件中實(shí)現(xiàn)。
[0044]雙射束系統(tǒng)皿在可抽空的樣本室103上具有垂直安裝的電子束鏡筒皿和與垂直方向以大約52度的角度安裝的聚焦離子束(FIB)鏡筒1M。樣本室可由例如渦輪分子泵或其它已知泵送裝置(諸如，油擴(kuò)散泵、離子吸氣泵、渦旋泵等(未示出))抽空。
[0045]電子束鏡筒皿包括用于產(chǎn)生電子束112的電子源110。電子光學(xué)聚光透鏡114a、114b和物鏡116被用于將電子束精細(xì)聚焦在樣本104上。物鏡116包括靜電浸沒(méi)透鏡，并且優(yōu)選地還包括磁透鏡，以使得電子束112通過(guò)靜電浸沒(méi)場(chǎng)和磁場(chǎng)而被聚焦。電子束能夠通過(guò)偏轉(zhuǎn)線圈1183和118b而被定位在樣本(也稱為基底)104的表面上并且能夠在樣本104的表面上方掃描。要注意的是，透鏡和偏轉(zhuǎn)單元可使用電場(chǎng)來(lái)操縱電子束或者可使用磁場(chǎng)或者其組合。
[0046]雙射束系統(tǒng)皿還包括聚焦離子束(FIB)鏡筒M，聚焦離子束鏡筒M包括用于產(chǎn)生離子束的離子源120。離子光學(xué)聚光透鏡124a、124b和物鏡126被用于將離子束精細(xì)聚焦在樣本104上。離子束能夠通過(guò)偏轉(zhuǎn)器128a和128b而被定位在樣本104的表面上并且在樣本104的表面上方掃描。由于離子的性質(zhì)(質(zhì)荷比)，透鏡和偏轉(zhuǎn)器通常在本質(zhì)上是靜電的。
[0047]電子束112和離子束122能夠聚焦在樣本104上，樣本104安裝在真空室103內(nèi)的按照可移動(dòng)X-Y-Z載物臺(tái)105的形式的樣本操縱器的平坦側(cè)上。
[0048]鏡筒101和102被調(diào)準(zhǔn)以在離子束122和電子束112之間形成交叉點(diǎn)106。優(yōu)選地，樣本位于這個(gè)交叉點(diǎn)處。
[0049](可伸縮)氣體注入系統(tǒng)(GIS)142被安裝在真空室上。GIS包括:儲(chǔ)存器(未示出)，用于保持前體材料；和針144，用于將前體材料引導(dǎo)至基底的表面。GIS還包括用于調(diào)節(jié)前體材料到基底的供給的裝置。在這個(gè)例子中，調(diào)節(jié)裝置被描繪為可調(diào)整閥143，但調(diào)節(jié)裝置也可采用例如前體材料的受控加熱的形式。
[0050]可伸縮和定位的微操縱器145也安裝在真空室上，微操縱器145包括尖端146，尖端146具有位于真空室中的遠(yuǎn)端。尖端146的遠(yuǎn)端部分例如被用于探測(cè)樣本或者使用例如射束誘導(dǎo)沉積(使用離子束、電子束或激光束)粘附樣本(的一部分)。
[0051]當(dāng)電子束中的電子撞擊樣本104時(shí),發(fā)射次級(jí)電子(SE)和反向散射電子(BSE) 0SE經(jīng)常被定義為以小于50 eV的能量從樣本發(fā)射的電子，而B(niǎo)SE經(jīng)常被定義為以超過(guò)50 eV的能量從樣本發(fā)射的電子。SE和BSE的至少部分由電子探測(cè)器140(諸如Everhard-Thornley探測(cè)器或安裝在鏡筒內(nèi)(更優(yōu)選地，安裝在物鏡116內(nèi))的鏡筒內(nèi)探測(cè)器)探測(cè)，所述探測(cè)器能夠探測(cè)低能電子和反向散射電子。要注意的是，這種探測(cè)器可以是基于閃爍體的或者可以形成為半導(dǎo)體器件，并且這種探測(cè)器可以被分段或者不被分段。
[0052]要注意的是，除了 SE和BSE之外，還發(fā)射其它類型的輻射，諸如X射線、可見(jiàn)光等。也可使用合適的探測(cè)器來(lái)探測(cè)這些類型的輻射。
[0053]探測(cè)器的信號(hào)被提供給系統(tǒng)控制器130。所述系統(tǒng)控制器還控制偏轉(zhuǎn)器信號(hào)、透鏡、電子源、GIS、載物臺(tái)和(一個(gè)或多個(gè))泵、以及儀器的其它零件(包括GIS系統(tǒng)142和微操縱器145)。系統(tǒng)控制器因此能夠附加地使用掃描圖案或穩(wěn)態(tài)偏轉(zhuǎn)將離子束和電子束兩者都引導(dǎo)至樣本上的特定位置。使用射束的定位信息，并且使用探測(cè)器的信息，控制器能夠在監(jiān)視器上形成樣本的圖像。
[0054]要注意的是，系統(tǒng)控制器還例如通過(guò)控制探測(cè)器的增益來(lái)控制探測(cè)器。
[0055]要注意的是，鏡筒內(nèi)探測(cè)器141示出用于使電子束112通過(guò)的中心通孔。
[0056]還要注意的是，探測(cè)器(諸如，探測(cè)器140)能夠定位于真空室中以優(yōu)化探測(cè)效率或者在特定觀測(cè)期間為其它部分騰出空間，所述觀測(cè)例如需要另一類型的探測(cè)器。
[0057]載物臺(tái)105能夠支撐樣本和/或一個(gè)或多個(gè)TEM樣本保持器，以使得能夠從樣本提取樣本的微小部分并且將該部分移動(dòng)到TEM樣本保持器。載物臺(tái)105能夠優(yōu)選地在水平平面(X和Y軸)中并且垂直地(Z軸)移動(dòng)，并且其溫度能夠由于冷卻裝置(未示出)而降低，冷卻裝置可例如包括以熱方式連接載物臺(tái)與液氮杜瓦瓶的編織物。載物臺(tái)105還能夠傾斜大約六十￠0)度或更多并且圍繞Z軸旋轉(zhuǎn)。在一些實(shí)施例中，能夠使用單獨(dú)的TEM樣本載物臺(tái)(未示出)。
[0058]泵被用于抽空電子束鏡筒101、離子束鏡筒102和真空室103。真空泵通常在室103內(nèi)提供大約3 X l(T6mbar的真空。當(dāng)合適的前體氣體被引入到樣本表面上時(shí),室背景壓強(qiáng)可通常升高至大約5 X 10_5mbar。然而，已知的是，使用1_10 mbar高的壓強(qiáng)以實(shí)現(xiàn)濕樣本的觀測(cè)和“機(jī)加工”。
[0059]微操縱器145 (諸如，來(lái)自德克薩斯州汰拉斯的Omniprobe公司的AutoProbe 200?或者來(lái)自德國(guó)羅伊特林根(Reutlingen)Kleindiek Nanotechnik的型號(hào)MM3A)能夠精確地在真空室內(nèi)移動(dòng)物體。微操縱器可包括:精密電動(dòng)機(jī)，定位于真空室外面用于提供對(duì)定位于真空室內(nèi)的遠(yuǎn)端的X、Y、Z和theta控制。微操縱器能夠安裝有不同的端操縱裝置以用于操縱小物體。在這里描述的實(shí)施例中，端操縱裝置是薄探針。如現(xiàn)有技術(shù)中所知的，微操縱器(或微探針)能夠被用于將TEM樣本(該樣本已通常通過(guò)離子束被從基底釋放)傳遞到TEM樣本保持器以用于分析。
[0060]微操縱器■或者微探針被適配為具有:冷卻裝置(連接到在液氮溫度的冷卻散熱器的編織物)；和壓電致動(dòng)器，能夠使尖端(端操縱裝置)以所需的頻率和幅度振蕩(振動(dòng))。由此，標(biāo)準(zhǔn)可獲得的微操縱器被改變?yōu)楦鶕?jù)本發(fā)明的微操縱器。
[0061]要注意的是，當(dāng)觀測(cè)例如聚合物時(shí)，替代冷卻到液氮溫度，利用珀?duì)柼?Peltier)元件冷卻到例如-50°C的溫度可滿足需要。在還更高的溫度(室溫及以上)也可使用這種方法，但這里，IBID是已經(jīng)被很好地證明并且很好地接受的技術(shù)。
[0062]在優(yōu)選實(shí)施例中，本發(fā)明因此涉及一種將在低于大約_137°C的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的溫度的玻璃狀生物樣本結(jié)合到也保持在低于玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的溫度的微操縱器的方法。在現(xiàn)有技術(shù)方法使用利用例如丙烷或加熱的針(以電阻方式加熱或通過(guò)例如激光加熱)的IBID的情況下，本發(fā)明使用振動(dòng)的針使樣本局部融化。通過(guò)停止振動(dòng),樣本凍結(jié)到微操縱器。加熱的部分的熱容量小，并且保持在玻璃狀狀況的材料的量因此大。
【權(quán)利要求】
1.一種將樣本(104)結(jié)合到微探針(145)的方法，所述方法包括下述步驟: ?提供樣本； ?提供具有末端的微探針； ?將所述末端向所述樣本移動(dòng)，直至發(fā)生接觸； ?在使所述樣本的部分保持凝固的同時(shí)，使所述樣本局部融化；以及 ?將局部融化的樣本凍結(jié)到所述末端； 其特征在于， 通過(guò)所述末端的振動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)局部融化，當(dāng)振動(dòng)停止時(shí)，局部融化的樣本凍結(jié)到所述末端。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述固體樣本是凍結(jié)含水樣本、玻璃化含水樣本或聚合物。
3.如前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述樣本是玻璃化含水樣本或玻璃化聚合物，以低于所述樣本的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的溫度提供樣本，并且所述樣本的部分在該方法中始終保持低于樣本材料的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度，作為其結(jié)果，樣本的部分保持玻璃化。
4.如前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述末端是金屬末端。
5.如前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中在進(jìn)行接觸的同時(shí)所述末端振動(dòng)。
6.如前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述振動(dòng)的頻率在I和100kHz之間。
7.如前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中在所述末端處的振動(dòng)幅度在10和200nm之間。
8.如前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述末端在與所述樣本的表面平行的平面中振動(dòng)。
9.如前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中在抽空的室中，更具體地講，在帶電粒子設(shè)備的樣本室中，發(fā)生結(jié)合。
10.如前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述帶電粒子設(shè)備包括電子鏡筒或者聚焦離子束鏡筒。
11.一種用于帶電粒子設(shè)備(IM)的微探針(145)，所述帶電粒子設(shè)備示出被裝備用于保持樣本(104)的樣本位置，微探針示出末端，微探針裝備有用于使所述末端與樣本接觸的定位裝置，其特征在于，所述末端被裝配用于振動(dòng)以在振動(dòng)時(shí)使樣本局部融化。
12.如權(quán)利要求11所述的微探針，其中所述末端被裝備為被冷卻到低于_50°C的溫度，更具體地講，冷卻到低于玻璃狀冰的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的溫度。
13.一種裝備有聚焦離子束鏡筒和/或電子束鏡筒的帶電粒子設(shè)備，樣本位置被裝備用于在低溫溫度保持玻璃化生物樣本，帶電粒子設(shè)備裝備有如權(quán)利要求11所述的微探針。
14.如權(quán)利要求13所述的帶電粒子設(shè)備，所述帶電粒子設(shè)備被裝備為將樣本保持在低于_50°C的溫度，更具體地講，保持在低于玻璃狀冰的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的溫度，并且所述微探針是如權(quán)利要求12所述的微探針。
【文檔編號(hào)】H01J37/20GK104236968SQ201410263957
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年6月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月14日
【發(fā)明者】J. P. G. 沙姆佩斯 R., A. H. W. G. 佩索恩 J., T. 恩格倫 A. 申請(qǐng)人:Fei 公司