放電燈的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠增加從放電管的長度方向端部照射出的光量的放電燈。該放電燈具備：放電管(2)；一對電極(31、32)，其沿著放電管(2)的長度方向設置；反射膜(4)，其沿著放電管(2)的長度方向且以在放電管(2)上具有開口部(5)的方式設置；端部發(fā)光區(qū)域，其在所述放電管的至少一個端部處，通過以夾著比反射膜(4)的長度方向端部靠外側的區(qū)域的方式配置一對電極(31、32)，從而形成在比反射膜4的長度方向端部靠外側的位置，放電管(2)的長度方向上的存在端部發(fā)光區(qū)域的區(qū)域的至少一部分中的工作方向上的光透過區(qū)域(Rx)比放電管(2)的長度方向中央部處的工作方向上的光透過區(qū)域大。
【專利說明】放電燈

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種例如被稱作受激準分子燈的紫外線燈等放電燈。

【背景技術】
[0002]例如作為受激準分子燈，具有如專利文獻I所示那樣，具備呈截面為矩形的直管狀的放電管和設置在該放電管的外表面的一對電極，在該一對電極之間產(chǎn)生受激準分子放電，從而照射例如波長為170nm左右的真空紫外線。
[0003]而且，在所述放電管的內(nèi)表面形成有例如由二氧化硅粒子構成的紫外線反射膜。通過以這種方式形成紫外線反射膜，使在放電管的內(nèi)部產(chǎn)生的紫外線被該反射膜漫反射，從而能夠增加從光射出部向外部射出的光量。
[0004]在先技術文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:日本特開2010-55971號公報
[0007]發(fā)明要解決的課題
[0008]然而，由于在紫外線反射膜的長度方向端部處漫反射的光量降低，因此從光射出部的長度方向端部射出的光量也降低。因此，如圖8所示，存在被照射面中的長度方向上的光量分布(光量均勻度)變差的問題。即，在上述的受激準分子燈中，存在長度方向上的端部處的光量比中央部處的光量小的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明是為了解決上述問題點而完成的，其提供一種能夠增加從放電燈的長度方向端部照射出的光量的放電燈。
[0010]解決方案
[0011]即，本發(fā)明所涉及的放電燈具備:放電管；一對電極，其沿著所述放電管的長度方向而設置在所述放電管上；反射膜，其沿著所述放電管的長度方向且以在所述放電管上具有開口部的方式設置；端部發(fā)光區(qū)域，其在所述放電管的至少一個端部處，通過以夾著比所述反射膜的長度方向端部靠外側的區(qū)域的方式配置所述一對電極，由此形成在比所述反射膜的長度方向端部靠外側的位置，所述放電管的長度方向上的存在所述端部發(fā)光區(qū)域的區(qū)域的至少一部分中的工作方向上的光透過區(qū)域比所述放電管的長度方向中央部處的所述工作方向上的光透過區(qū)域大。
[0012]如果是上述的放電燈，則能夠增加從放電燈的長度方向端部照射出的光量。
[0013]優(yōu)選地，所述一對電極在所述放電管的外表面上沿著包含所述光透過區(qū)域在內(nèi)的長度方向對置設置。
[0014]如此，能夠在所述光透過區(qū)域內(nèi)發(fā)生放電，從而能夠進一步增加從放電燈的長度方向端部照射出的光量。
[0015]優(yōu)選地，所述一對電極中的一個電極是設置在開口部側的網(wǎng)狀電極，另一個電極是板狀電極。
[0016]如此，由于能夠在使在所述光透過區(qū)域內(nèi)發(fā)生放電而產(chǎn)生的光通過所述板狀電極而向所述開口部方向反射，因此能夠進一步增加從放電燈的長度方向端部照射出的光量。
[0017]優(yōu)選地，以夾著比所述反射膜的長度方向端部靠外側的區(qū)域的方式配置的所述一對電極的一部分作為光監(jiān)視器用的窗口而使用。
[0018]如此，由于既能夠控制從放電燈照射出的光量，又無需另外設置用于形成光監(jiān)視器用窗口的專用空間，因此設計變得簡單。
[0019]發(fā)明效果
[0020]根據(jù)如此構成的放電燈，能夠增加從放電燈的長度方向端部照射出的光量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1是表示本實施方式的放電燈的立體圖。
[0022]圖2是表示該實施方式的放電燈的仰視圖。
[0023]圖3是表示該實施方式的放電燈的A-A’線剖視圖。
[0024]圖4是表示該實施方式的放電燈的B-B’線放大剖視圖。
[0025]圖5是表示其他實施方式的放電燈的仰視圖。
[0026]圖6是表示其他實施方式的放電燈的B-B ’線放大剖視圖。
[0027]圖7是示意性地表示該實施方式的放電燈中的長度方向上的光量分布的圖。
[0028]圖8是示意性地表示現(xiàn)有的放電燈中的長度方向上的光量分布的圖。
[0029]附圖標記說明如下:
[0030]100...放電燈
[0031]2…放電管
[0032]2a…長度方向一端部
[0033]2b…長度方向另一端部
[0034]2c…長度方向中央部
[0035]31、32----對電極
[0036]4…反射膜
[0037]5…開口部
[0038]6…遮光膜
[0039]Rx…光透過區(qū)域

【具體實施方式】
[0040]以下，參照附圖來說明本發(fā)明所涉及的放電燈的一個實施方式。
[0041]如圖1?圖4所示，本實施方式所涉及的放電燈100是具有直管狀的放電管2和在該放電管2的外表面上沿著長度方向對置設置的一對外部電極31、32的電介質勢壘放電燈。需要說明的是，在以下的說明中，將放電管2的長度方向設為左右方向，將與所述放電管2的長度方向正交的2個方向設為前后方向及上下方向(以下，一并稱為寬度方向)。
[0042]放電管2是合成石英玻璃制的構件，且為具有上下對置的一對平坦的上壁部21及下壁部22的呈長條狀的構件。尤其是如圖3所示，本實施方式的放電管2是由上壁部21及下壁部22、與上壁部21及下壁部22的前端部連續(xù)的彎曲狀的前壁部23、與上壁部21及下壁部22的后端部連續(xù)的彎曲狀的后壁部24構成的截面大致呈履帶狀的構件。另外，放電管2的長度方向上的兩端部由左壁部25及右壁部26閉塞。需要說明的是，左壁部25及右壁部26通過在構成放電管2的合成石英玻璃管上溶敷合成石英塊而形成。
[0043]另外，在形成于放電管2的內(nèi)部的放電空間內(nèi)填充有電介質勢壘放電用氣體。需要說明的是，作為電介質勢壘放電用氣體，可以使用氙(Xe)、氬(Ar)或氪(Kr)等稀有氣體、或者氟(F2)或氯(Cl2)等鹵素氣體等。放電燈2根據(jù)不同的氣體種類而發(fā)出不同的波長(172nm、222nm、308nm等)的受激準分子光。例如為了分解有機化合物，作為放電用氣體而使用氙(Xe)，成為發(fā)出以172nm為中心波長的受激準分子光的電介質勢壘放電燈。
[0044]—對外部電極31、32是具有與放電管2的放電空間大致相等的長度且呈膜狀的構件，其設置在從上下方向夾著放電管2的放電空間的位置處、即設置在上壁部21及下壁部22上。該外部電極31、32足由鋁、鋁合金、不銹鋼等導電性材料形成，通過例如電鍍、噴鍍、蒸鍍或濺射而形成在放電管2的側周面上的薄膜電極。在上壁部21上設置的外部電極31是呈板狀的電極(以下，稱為板狀電極)。另外，在下壁部22上設置的外部電極32是呈網(wǎng)狀的電極(以下，稱為網(wǎng)狀電極)。而且，從在該下壁部22上設置的外部電極32射出受激準分子光。
[0045]在本實施方式的放電管2的內(nèi)表面上形成有對在放電管2的內(nèi)部所產(chǎn)生的受激準分子光進行反射的反射膜4。
[0046]該反射膜4沿著長度方向而設置在放電管2的與長度方向平行的內(nèi)周面(以下，也簡稱為內(nèi)周面)上。具體而言，跨及放電管2的上壁部21、前壁部23、后壁部24地設置(參照圖3)。需要說明的是，反射膜4的一部分也可以跨及下壁部22形成。另外，反射膜4以沿著長度方向具有開口部的方式設置。具體而言，在內(nèi)周面上沿著內(nèi)周面方向具有反射膜4的兩端部4a、4b，該兩端部4a、4b之間的開口部5成為工作方向上的光透過區(qū)域。
[0047]在本實施方式中，以開口部5被設定成放電管2的整個下壁部22或一部分的方式，設定反射膜4的兩端部4a、4b的位置。
[0048]另外，本實施方式的所述一對外部電極31、32的長度方向端部31a、31b、32a、32b以夾著放電管的方式配置在比反射膜4的長度方向端部4m、4n靠放電管2的長度方向端部2a、2b側的位置，在外部電極31的長度方向端部31a(外部電極32的長度方向端部32a)和反射膜4的長度方向端部4m之間以及在外部電極31的長度方向端部31b (外部電極32的長度方向端部32b)和反射膜4的長度方向端部4n之間具有不形成反射膜4的端部發(fā)光區(qū)域，并且在一對外部電極31、32的長度方向端部31a、31b、32a、32b的內(nèi)周面上具有比由開口部5形成的工作方向上的光透過區(qū)域大的工作方向上的光透過區(qū)域Rx(以下，簡稱為工作方向上的光透過區(qū)域Rx)(參照圖4)。
[0049]如果是上述的放電燈，則能夠增加從放電燈的長度方向端部照射出的光量。
[0050]需要說明的是，工作方向上的光透過區(qū)域是指在由與長度方向平行的面HS(參照圖3)將放電管分割為兩部分時的放電管的工作側外周部(以下，簡稱為放電管的工作側外周部)的區(qū)域內(nèi)形成的光透過區(qū)域。
[0051]S卩，能夠從比由開口部5形成的工作方向上的光透過區(qū)域大的工作方向上的光透過區(qū)域Rx射出在不形成反射膜4的端部發(fā)光區(qū)域發(fā)生放電而產(chǎn)生的光，因此能夠增加從放電燈的長度方向端部照射出的光量。
[0052]另外，也可以是一對外部電極31、32的長度方向端部31a、31b、32a、32b的一部分以夾著放電管的方式配置在比反射膜4的長度方向端部4m、4n靠放電管2的長度方向端部2a、2b側的位置。
[0053]需要說明的是，在反射膜4的長度方向端部4m、4n和一對外部電極31、32的長度方向端部31a、31b、32a、32b在放電管2的長度方向上位于相同位置的情況下，同樣地,如圖8所示，存在被照射面中的長度方向上的光量分布(光量均勻度)變差的問題。
[0054]在反射膜4的長度方向端部4m、4n配置在比一對外部電極31、32的長度方向端部3la、3lb、32a、32b靠放電管2的長度方向端部2a、2b側的位置的情況下,通過在比一對外部電極31、32的長度方向端部31a、31b、32a、32b靠放電管2的長度方向端部2a、2b側的位置處配置的反射膜4，能夠使在一對外部電極31、32的長度方向端部31a、31b、32a、32b處產(chǎn)生并漫反射的光返回現(xiàn)有的光射出部的長度方向端部，因此能夠增加從該放電燈的長度方向端部照射出的光量。然而，當與在放電管2的長度方向端部2a、2b側不存在一對電極的、放電管2的長度方向上的尺寸相同的放電管進行比較時，從放電燈的長度方向端部照射出的光量的增加均較少。
[0055]另外，當采用本實施方式這樣的放電燈時，反射膜4的長度方向端部4m、4n成為放電空間，因此存在該端部4m、4n處的反射膜4剝離的可能性，在假設發(fā)生了這樣的剝離的情況下，通過提高該端部4m、4n處的反射膜4的粘合力、使反射膜4的長度方向端部4m、4n處的內(nèi)周面的尺寸比放電管2的長度方向中央部2c的內(nèi)周面的尺寸短、或減小膜厚，從而能夠抑制剝離。
[0056]需要說明的是，在圖8所示的通過石英塊將放電管的長度方向兩端部溶敷而成的放電燈中，存在因石英塊溶敷時的熱量導致在放電管的長度方向兩端部處形成的反射膜剝離的問題。
[0057]另外，在所述溶敷石英塊而成的放電燈中，隨著放電燈的使用，紫外線照射到該溶敷部分，由此容易產(chǎn)生該溶敷部分的劣化或龜裂，因此放電管的長度方向兩端部處形成有遮光膜(光吸收膜)(圖8)。
[0058]然而，由于在放電管的長度方向兩端部處設置的遮光膜幾乎不具有反射功能，因此存在從光射出部的長度方向端部射出的光量進一步降低、被照射面中的長度方向上的光量分布(光量均勻度)變差的問題(圖8)。
[0059]就本發(fā)明而言，如此，即使是通過石英塊將放電管的長度方向兩端部溶敷而成的放電燈，也能夠增加從放電燈的長度方向端部照射出的光量。
[0060]即，在本實施方式的放電燈100中，在放電管2的與寬度方向平行的內(nèi)端面(左壁部25及右壁部26的放電管2的內(nèi)表面)及所述放電管2的長度方向端部處形成有設置在所述內(nèi)周面上的吸收紫外線以進行遮光的遮光膜(光吸收膜)6。該遮光膜6是保護放電管2中的石英塊(左壁部25和右壁部26)的溶敷部分不受紫外線照射的構件。具體而言，遮光膜6不僅形成在長度方向兩端部2a、2b中的構成所述內(nèi)周面的上壁部21的內(nèi)表面、下壁部22的內(nèi)表面、前壁部23的內(nèi)表面及后壁部24的內(nèi)表面上，還形成在左壁部25的內(nèi)表面及右壁部26的內(nèi)表面上。
[0061]通過該遮光膜6，能夠不易產(chǎn)生因紫外線照射到石英塊的溶敷部分而產(chǎn)生的劣化、龜裂。需要說明的是，雖然不設置所述遮光膜6而是設置反射膜以進行遮光也能夠獲得同樣的效果，但在使用反射膜的情況下，為了可靠地反射需要增加膜厚，從而成膜變得困難。另外，難以均勻地涂抹，從而產(chǎn)生反射率的不均。另一方面，如果是光吸收膜，則只需為不使光透過的程度的膜厚即可，從而能夠使成膜工序簡單。另外，在使用光吸收膜的情況下，反射的影響變小，能夠減輕光量分布(光量均勻度)的不均。
[0062]而且，尤其是如圖2及圖4所示，在本實施方式的放電燈100中，在反射膜4和遮光膜6之間的內(nèi)周面上形成有不設置反射膜4及遮光膜6的、比由開口部5形成的工作方向上的光透過區(qū)域大的工作方向上的光透過區(qū)域Rx。即，反射膜4設置于放電管2的長度方向兩端部2a、2b之間的長度方向中央部2c處。
[0063]如果是這種放電燈，則即便足用石英塊將放電管2的長度方向兩端部2a、2b溶敷而成的放電燈，也由于不易受遮光膜6的影響(光吸收)，因此能夠增加從放電燈的長度方向端部照射出的光量。
[0064]需要說明的是，在本申請中所說的工作方向上的光透過區(qū)域Rx除不設置反射膜4和遮光膜6的情況以外，還包括形成有反射膜4和遮光膜6但各個膜的功能較低的情況(如果是反射膜4則幾乎不反射而是透過、如果是遮光膜6則幾乎不吸收光而是透過等)。
[0065]另外，在本實施方式中，雖然示出了在反射膜4和遮光膜6之間的內(nèi)周面上不設置反射膜4和遮光膜6的情況，但也可以在工作方向上的光透過區(qū)域以外的區(qū)域設置反射膜4和遮光膜6，還可以在工作方向上的光透過區(qū)域的一部分區(qū)域設置反射膜4和遮光膜6。
[0066]優(yōu)選地，反射膜4和遮光膜6之間的工作方向上的光透過區(qū)域Rx形成于放電管的工作側外周部的整個區(qū)域。如果是上述的放電燈，則不易受遮光膜6的影響(光吸收)，并且能夠從放電管的工作側外周部的整個區(qū)域射出光，從而能夠最大限度地增加光量。
[0067]對于以上的工作方向上的光透過區(qū)域Rx，具體而言，反射膜4的長度方向一端部(左端部)4m和在放電管2的左側壁25的內(nèi)表面251 (放電管2的與寬度方向平行的內(nèi)端面)及放電管2的長度方向一端部2a處設置在內(nèi)周面上的遮光膜6在長度方向上分離，在反射膜4的長度方向一端部4m與遮光膜6的長度方向端部6m之間形成有工作方向上的光透過區(qū)域Rx。另外，反射膜4的長度方向另一端部(右端部)4n和在放電管2的右側壁26的內(nèi)表面261 (放電管2的與寬度方向平行的內(nèi)端面)及放電管2的長度方向另一端部2b處設置在內(nèi)周面上的遮光膜6在長度方向上分離，在反射膜4的長度方向另一端部4n與遮光膜6的長度方向端部6n之間形成有工作方向上的光透過區(qū)域Rx。
[0068]需要說明的是，在本實施方式中，在放電管2的長度方向一端部2a處形成的工作方向上的光透過區(qū)域Rx和在長度方向另一端部2b處形成的工作方向上的光透過區(qū)域Rx的沿著長度方向的尺寸相同。
[0069]如此構成的反射膜4是包含二氧化硅粒子的構件。另外，在反射膜4的形成方法中，將二氧化硅粉末和規(guī)定的溶劑混合、攪拌以制成料漿。將該料漿涂敷在構成放電管2的合成石英玻璃管的規(guī)定部分(放電管2的長度方向中央部2c的所述內(nèi)周面)處并進行干燥。需要說明的是，在將所述料漿涂敷在玻璃管的規(guī)定部位時，在不形成反射膜4的部分處，預先通過遮蔽膠帶等掩膜進行遮蔽。然后，在使料漿干燥之后，剝離掩膜，通過將玻璃管在例如1000°C下燒制規(guī)定時間，從而形成反射膜4。需要說明的是，通過在形成有該反射膜4的玻璃管的兩端開口部處溶敷石英塊，從而制作出放電管2。另外，也可以在相當于工作方向上的光透過區(qū)域Rx的部分處與其他部分同樣地形成反射膜之后，通過使相當于工作方向上的光透過區(qū)域Rx的部分處的反射膜熔融而使其喪失反射功能以形成工作方向上的光透過區(qū)域Rx。
[0070]遮光膜6是包含氧化釔微粒的構件。另外，在遮光膜6的形成方法中，將氧化釔微粒子與規(guī)定的溶劑混合、攪拌以制成料漿。將該料漿涂敷在構成放電管2的玻璃管的比形成工作方向上的光透過區(qū)域Rx的規(guī)定部分更靠兩端部的內(nèi)周面以及所溶敷的石英塊在溶敷時成為放電管2的與寬度方向平行的內(nèi)端面的表面上并進行干燥。需要說明的是，在將料漿涂敷在玻璃管、石英塊的規(guī)定部分處時，向玻璃管內(nèi)放入規(guī)定量的料漿，在將玻璃管和石英塊焊接在一起后，對玻璃管內(nèi)進行減壓并抽吸至規(guī)定范圍之后，通過在例如500°C下燒制規(guī)定時間，從而形成遮光膜6。
[0071]另外，在本實施方式的放電燈100中，一對外部電極31、32在放電管2的外表面上沿著包含工作方向上的光透過區(qū)域Rx在內(nèi)的長度方向對置設置。
[0072]S卩，一對外部電極31、32以覆蓋工作方向上的光透過區(qū)域Rx的一部分或全部的方式對置設置(參照圖2及圖4:在圖中為全部)。由此，即使在不設置反射膜4的部分(端部發(fā)光區(qū)域)處也能夠放電。另外，由此，能夠增加從工作方向上的光透過區(qū)域Rx照射出的紫外線的光量。
[0073]優(yōu)選地，一對外部電極31、32中的一個電極是設置在光射出部側的網(wǎng)狀電極32，另一個電極是板狀電極31。
[0074]如此一來，由于能夠使在端部發(fā)光區(qū)域發(fā)生放電而產(chǎn)生的光通過板狀電極31而向光射出部方向反射，因此能夠進一步增加從工作方向上的光透過區(qū)域Rx照射出的光量。
[0075]在圖7中圖示該放電燈100的長度方向上的光量分布。如該圖7所示，可知通過在放電管2的長度方向兩端部2a、2b的內(nèi)周面上形成工作方向上的光透過區(qū)域Rx，放電燈100的長度方向上的光量均勻的區(qū)域變大，從而能夠使從放電燈100照射出的光量在長度方向上均勻化。
[0076]另外，通過將工作方向上的光透過區(qū)域Rx設為用與長度方向平行的面HS(參照圖3)將放電管分割為兩部分時的放電管的工作側外周部的區(qū)域內(nèi)整個區(qū)域，從而能夠進一步提聞該效果。
[0077]優(yōu)選地，在比反射膜4的長度方向端部4n靠放電管2的長度方向端部2b側的外部電極31的一部分區(qū)域形成有用于向光量監(jiān)視器(未圖示)射出紫外線的例如網(wǎng)眼狀的監(jiān)視器用窗口 2W(參照圖1和圖4)。
[0078]如此一來，由于既能夠控制從放電燈照射出的光量，又無需另外設置用于形成光監(jiān)視器用窗口的專用空間，因此設計變得簡單。
[0079]另外，就監(jiān)視器用窗口而言，也可以在比反射膜4的長度方向端部4n靠放電管2的長度方向端部2b側的外部電極32的一部分區(qū)域形成有用于向光量監(jiān)視器(未圖示)射出紫外線的例如網(wǎng)眼狀的監(jiān)視器用窗口 2W。
[0080]根據(jù)如此構成的本實施方式所涉及的放電燈100，由于在放電管2的長度方向兩端部2a、2b形成有工作方向上的光透過區(qū)域Rx，因此能夠增加從放電管2的長度方向兩端部2a、2b照射出的光量。因此，能夠使從放電燈100照射出的光量在長度方向上均勻化。另外，在比反射膜4的長度方向端部4n靠放電管2的長度方向端部2b側的外部電極31的一部分區(qū)域形成有用于向光量監(jiān)視器(未圖示)射出紫外線的例如網(wǎng)眼狀的監(jiān)視器用窗口2W，因此能夠控制從放電燈100照射出的光量。
[0081]優(yōu)選地，一對外部電極31、32在放電管的外表面上沿著包含工作方向上的光透過區(qū)域Rx在內(nèi)的長度方向對置設置，且不設置在形成有遮光膜的區(qū)域。
[0082]具體而言，優(yōu)選地，如圖5、圖6所示，遮光膜6的長度方向端部6m、6n不包含在沿著電極的長度方向對置設置的對置區(qū)域內(nèi)。
[0083]如此一來，能夠減少在遮光膜6的附近產(chǎn)生的光，因此能夠抑制遮光膜6的劣化，進而抑制溶敷部分的劣化或龜裂的產(chǎn)生。
[0084]需要說明的是，在該情況下，雖然存在從放電燈的長度方向端部照射出的光量降低的可能性，但原本在電極的對置區(qū)域內(nèi)具有遮光膜6的情況下，在對置區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的光會被遮光膜6吸收，因此認為即使采用上述的結構，也能夠將光量的降低抑制為最小程度。
[0085]需要說明的是，本發(fā)明并不限定于所述實施方式。
[0086]例如，在所述實施方式中，雖然在放電管2的長度方向兩端部2a、2b形成工作方向上的光透過區(qū)域Rx，但也可以在放電管2的長度方向兩端部2a、2b的任意一方形成工作方向上的光透過區(qū)域Rx。
[0087]另外，也可以構成為，放電管2的長度方向一端部2a的工作方向上的光透過區(qū)域Rx和放電管2的長度方向另一端部2b的工作方向上的光透過區(qū)域Rx的沿長度方向的尺寸不同。
[0088]另外，在所述實施方式中，雖然以覆蓋放電管2的長度方向端部的整個工作方向上的光透過區(qū)域Rx的方式設置一對外部電極31、32，但也可以僅覆蓋一部分工作方向上的光透過區(qū)域Rx。
[0089]除此以外，雖然所述實施方式的反射膜4是由二氧化硅粒子構成的構件，但也可以是除二氧化硅微粒以外還包含氧化鋁粒子的構件。
[0090]放電燈除電介質勢壘放電燈以外，還可以是波長為185nm、254nm等的低壓水銀燈等紫外線燈。另外，燈形狀除截面呈履帶狀的扁平管以外，也可以是截面呈圓形的圓管或截面斷面呈矩形的方管，還可以是雙重管結構。
[0091]尤其是在本實施方式的如圖2所示的、在長度方向兩端部形成有不設置反射膜的工作方向上的光透過區(qū)域Rx的情況下，由于在截面呈矩形的方管的角部處容易產(chǎn)生劣化、龜裂，因此優(yōu)選使用截面呈圓形的圓管、截面呈履帶狀的扁平管。
[0092]另外，本發(fā)明并不限定于所述實施方式，當然在不脫離其主旨的范圍內(nèi)能夠進行各種變形。
【權利要求】
1.一種放電燈，其中， 所述放電燈具備: 放電管； 一對電極，其沿著所述放電管的長度方向而設置在所述放電管上； 反射膜，其沿著所述放電管的長度方向且以在所述放電管上具有開口部的方式設置；端部發(fā)光區(qū)域，其在所述放電管的至少一個端部處，通過以夾著比所述反射膜的長度方向端部靠外側的區(qū)域的方式配置所述一對電極，由此形成在比所述反射膜的長度方向端部靠外側的位置， 所述放電管的長度方向上的存在所述端部發(fā)光區(qū)域的區(qū)域的至少一部分中的工作方向上的光透過區(qū)域比所述放電管的長度方向中央部處的所述工作方向上的光透過區(qū)域大。
2.根據(jù)權利要求1所述的放電燈，其中， 所述一對電極在所述放電管的外表面上沿著包含所述光透過區(qū)域在內(nèi)的長度方向對置設置。
3.根據(jù)權利要求2所述的放電燈，其中， 所述一對電極中的一個電極是設置在開口部側的網(wǎng)狀電極，另一個電極是板狀電極。
4.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的放電燈，其中， 以夾著比所述反射膜的長度方向端部靠外側的區(qū)域的方式配置的所述一對電極的一部分作為光監(jiān)視器用的窗口而使用。
【文檔編號】H01J65/00GK104347344SQ201410374105
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年7月31日 優(yōu)先權日:2013年7月31日
【發(fā)明者】片桐毅, 畑瀨和也 申請人:株式會社杰士湯淺國際