一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種安裝在干法刻蝕設(shè)備的反應(yīng)腔壁，用于設(shè)備的終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)接收光波信號(hào)，來(lái)檢測(cè)反應(yīng)腔中化學(xué)物質(zhì)變化過(guò)程的終點(diǎn)檢測(cè)窗口的透光片安裝結(jié)構(gòu)，通過(guò)取消現(xiàn)有的使用螺釘安裝透光片的方式，在窗口主體凸出的上下邊框內(nèi)側(cè)分別開(kāi)設(shè)一條卡槽，并增加透光片的寬度與卡槽配合，將透光片從窗口一側(cè)插入卡槽，即可便捷地將透光片與窗口主體安裝固定，且便于取出，實(shí)現(xiàn)對(duì)透光片的一次安裝成功，從而提高了機(jī)臺(tái)保養(yǎng)的效率和一次成功率，并可有效避免原有的安裝結(jié)構(gòu)會(huì)因安裝不當(dāng)造成透光片發(fā)生碎裂的現(xiàn)象，節(jié)約了維護(hù)保養(yǎng)的費(fèi)用。
【專利說(shuō)明】—種終點(diǎn)檢測(cè)窗口

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工用干法刻蝕設(shè)備的終點(diǎn)檢測(cè)窗口，更具體地，涉及一種半導(dǎo)體加工用干法刻蝕設(shè)備終點(diǎn)檢測(cè)窗口的透光片安裝結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]干法刻蝕被用于半導(dǎo)體制造工藝中先進(jìn)電路的小特征尺寸的精細(xì)刻蝕，是指以反應(yīng)氣體為主要媒體，在射頻(RF)電場(chǎng)的作用下形成等離子體，對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行刻蝕，得到所需要的器件外形結(jié)構(gòu)。
[0003]在干法刻蝕過(guò)程中，晶圓上的涂層化合物被解離，形成電漿?；衔锝怆x的過(guò)程中會(huì)發(fā)出特定的光波，不同的化合物會(huì)產(chǎn)生不同波長(zhǎng)的光波。刻蝕設(shè)備的終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)會(huì)通過(guò)安裝在設(shè)備上的終點(diǎn)檢測(cè)窗口接收光波信號(hào)，來(lái)檢測(cè)反應(yīng)腔中化學(xué)物質(zhì)變化的過(guò)程。因此，刻蝕過(guò)程中的每個(gè)工序都可受到嚴(yán)密的監(jiān)測(cè)和分析，從而能以極高的精度確定該工序的終點(diǎn)。刻蝕過(guò)程中的生成物會(huì)在終點(diǎn)檢測(cè)窗口及其部件上面沉積，如果沉積過(guò)多，會(huì)影響檢測(cè)系統(tǒng)接收光波信號(hào)。所以，需要對(duì)終點(diǎn)檢測(cè)窗口定期進(jìn)行拆裝和清洗。
[0004]東京電子有限公司(Tokyo Electron Limited，TEL)生產(chǎn)的型號(hào)為JIN和VI⑶S的二種12英寸干法刻蝕機(jī)臺(tái)，主要運(yùn)用于氧化物刻蝕，達(dá)到刻開(kāi)窗口和線槽的作用，目前在半導(dǎo)體制造中都有廣泛的運(yùn)用。該機(jī)臺(tái)掛載的反應(yīng)腔，都要使用到終點(diǎn)檢測(cè)窗口。圖1是TEL干法刻蝕機(jī)臺(tái)的一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口的結(jié)構(gòu)示意圖，該終點(diǎn)檢測(cè)窗口安裝在機(jī)臺(tái)反應(yīng)腔的外側(cè)壁。如圖所示，該終點(diǎn)檢測(cè)窗口主體I的外形為矩形，中部設(shè)有多孔狀的透光孔4，用于接收光波信號(hào)；窗口主體I的上下邊部中間設(shè)有與腔體的安裝孔8、16，二個(gè)安裝孔8、16的二側(cè)是向外凸出的邊框6、10和19、15，在上下邊框6、10和19、15上按斜對(duì)角方向各設(shè)有一個(gè)螺釘安裝孔9、17，可用平頭螺釘將藍(lán)寶石透光片壓住，并適當(dāng)擰緊，使透光片與窗口主體I之間安裝固定。藍(lán)寶石透光片有很強(qiáng)的抗電漿刻蝕功能，起到保護(hù)作用，可避免電漿刻蝕到反應(yīng)腔檢測(cè)窗口后面的透明側(cè)壁。圖2是圖1中終點(diǎn)檢測(cè)窗口的右視結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，窗口主體的上下邊部具有向外凸出的邊框6、10和19、15，上下邊框的凸出面上按斜對(duì)角方向各設(shè)有一個(gè)螺釘安裝孔(圖略)，可用平頭螺釘將藍(lán)寶石透光片壓住，并適當(dāng)擰緊，使透光片與窗口主體I之間安裝固定。上下邊框之間的窗口主體內(nèi)凹的部位開(kāi)有多孔狀的透光孔(圖略)。圖3是圖1中終點(diǎn)檢測(cè)窗口安裝的透光片的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，藍(lán)寶石透光片2的外形為矩形，可安裝在窗口上下邊框6、10和19、15之間的窗口主體I中部位置，并遮擋住透光孔4。透光片2的上下邊部對(duì)應(yīng)部位具有避讓窗口安裝孔8、16的圓弧缺口 21、23，及避讓透光片固定螺釘安裝孔9、17的圓弧缺口 22、24。
[0005]刻蝕過(guò)程中的生成物會(huì)沉積在前述的終點(diǎn)檢測(cè)窗口和藍(lán)寶石透光片上面，如果沉積過(guò)多會(huì)影響檢測(cè)系統(tǒng)接收光波信號(hào)，所以，需要對(duì)該終點(diǎn)檢測(cè)窗口定期進(jìn)行拆裝和清洗。藍(lán)寶石透光片為玻璃材質(zhì)，其厚度只有0.5_左右，且易碎。透光片在安裝時(shí)靠平頭螺釘與窗口安裝固定，螺釘擰緊時(shí)如用力不當(dāng)，極易使藍(lán)寶石透光片碎裂；且在與窗口進(jìn)行組裝時(shí)，透光片極易滑動(dòng)，更增加了安裝的困難。終點(diǎn)檢測(cè)窗口存在的上述缺陷，會(huì)影響機(jī)臺(tái)保養(yǎng)的效率和一次成功率，還會(huì)因藍(lán)寶石透光片易發(fā)生碎裂而帶來(lái)不必要的經(jīng)濟(jì)損失。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種半導(dǎo)體加工用干法刻蝕設(shè)備終點(diǎn)檢測(cè)窗口的透光片新型安裝結(jié)構(gòu)，通過(guò)取消使用螺釘安裝透光片的方式，在窗口的上下邊框內(nèi)側(cè)分別開(kāi)設(shè)一條卡槽，并增加透光片的寬度與卡槽配合，將透光片從窗口一側(cè)插入卡槽，即可便捷地將透光片與窗口安裝固定，且便于取出，實(shí)現(xiàn)對(duì)透光片的一次安裝成功，從而提高了機(jī)臺(tái)保養(yǎng)的效率和一次成功率，并可有效避免因安裝不當(dāng)造成透光片發(fā)生碎裂，節(jié)約了維護(hù)保養(yǎng)的費(fèi)用。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0008]一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口，安裝在干法刻蝕設(shè)備的反應(yīng)腔壁，用于設(shè)備的終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)接收光波信號(hào)，來(lái)檢測(cè)反應(yīng)腔中化學(xué)物質(zhì)變化的過(guò)程，所述終點(diǎn)檢測(cè)窗口包括窗口主體，所述窗口主體中部設(shè)有多孔狀透光孔，所述透光孔外側(cè)的所述窗口主體的上、下邊部中間設(shè)有所述窗口與腔體的安裝孔，二個(gè)所述安裝孔的左、右二側(cè)位于所述透光孔外側(cè)的所述窗口主體上、下邊部具有向外凸出的邊框，所述邊框設(shè)有透光片安裝結(jié)構(gòu)，所述透光片的上、下邊部對(duì)應(yīng)部位具有避讓所述安裝孔的缺口，其特征在于，所述透光片安裝結(jié)構(gòu)包括卡槽，所述卡槽設(shè)于上、下所述邊框相對(duì)的內(nèi)側(cè)端面，并形成沿所述邊框水平方向的直線形卡槽，所述卡槽在所述邊框的外側(cè)具有至少一個(gè)開(kāi)口，所述卡槽具有與所述透光片厚度相配合的槽寬；所述透光片具有與上、下所述卡槽的間距相配合的寬度，并可沿水平方向插入所述卡槽之間，與所述窗口主體安裝連接。本實(shí)用新型通過(guò)取消現(xiàn)有的使用螺釘安裝透光片的方式，在窗口主體凸出的上下邊框內(nèi)側(cè)分別開(kāi)設(shè)一條卡槽，并增加透光片的寬度與卡槽配合，將透光片從窗口一側(cè)插入卡槽，即可便捷地將透光片與窗口主體安裝固定，且便于取出，實(shí)現(xiàn)對(duì)透光片的一次安裝成功，從而提高了機(jī)臺(tái)保養(yǎng)的效率和一次成功率，并可有效避免原有的安裝結(jié)構(gòu)會(huì)因安裝不當(dāng)造成透光片發(fā)生碎裂的現(xiàn)象，節(jié)省了 2個(gè)安裝螺釘，節(jié)約了維護(hù)保養(yǎng)的費(fèi)用。
[0009]進(jìn)一步地，所述卡槽為沿所述邊框水平方向的貫通直線形卡槽，可以從窗口主體的任意一個(gè)側(cè)面將透光片插入卡槽，實(shí)現(xiàn)與窗口主體的安裝。
[0010]進(jìn)一步地，所述卡槽在所述邊框的右外側(cè)具有開(kāi)口，并終止于所述透光孔左側(cè)邊緣以外、所述邊框左外側(cè)以內(nèi)之間的位置。由于透光片的作用是遮蓋住透光孔，所以，只要卡槽的長(zhǎng)度大于透光孔左右兩側(cè)邊緣的距離，并將透光片的長(zhǎng)度加工成與之對(duì)應(yīng)，即可達(dá)到工藝目的和要求。
[0011 ] 進(jìn)一步地，所述卡槽在所述邊框的左外側(cè)具有開(kāi)口，并終止于所述透光孔右側(cè)邊緣以外、所述邊框右外側(cè)以內(nèi)之間的位置。這是從機(jī)臺(tái)布局角度考慮，使透光片可以從任意一側(cè)插入窗口主體安裝。
[0012]進(jìn)一步地，所述卡槽的兩側(cè)內(nèi)壁各具有沿水平方向的凸起卡條，所述卡條的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。采用卡條形式可以更好地固定透光片，并減少其插入卡槽時(shí)與卡槽內(nèi)壁的摩擦面積。
[0013]進(jìn)一步地，所述卡槽內(nèi)壁的其中一側(cè)具有沿水平方向的凸起卡條，所述卡條的凸起端點(diǎn)與所述卡槽另一側(cè)內(nèi)壁的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
[0014]進(jìn)一步地，所述卡條的橫截面形狀為弧形，以減小與透光片間的摩擦，并避免劃傷透光片。
[0015]進(jìn)一步地，所述卡槽的兩側(cè)內(nèi)壁各具有凸點(diǎn)，所述凸點(diǎn)在所述安裝孔兩側(cè)的所述邊框的卡槽內(nèi)壁至少各設(shè)置一對(duì)，所述卡槽兩側(cè)內(nèi)壁凸點(diǎn)的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。采用凸點(diǎn)形式除具備與卡條同樣的功能外，還可進(jìn)一步減小與透光片間的摩擦，更利于插入。
[0016]進(jìn)一步地，所述卡槽內(nèi)壁的其中一側(cè)具有凸點(diǎn)，所述凸點(diǎn)在所述安裝孔兩側(cè)的所述邊框的卡槽內(nèi)壁至少各設(shè)置一個(gè)，所述凸點(diǎn)的凸起端點(diǎn)與所述卡槽另一側(cè)內(nèi)壁的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
[0017]進(jìn)一步地，所述透光片具有大于所述透光孔邊緣距離并與所述卡槽長(zhǎng)度相適應(yīng)的長(zhǎng)度，既可以遮擋住透光孔，又不至于突出在窗口主體之外；所述透光片的寬度大于上、下所述邊框相對(duì)內(nèi)側(cè)端面之間的距離，并與上、下所述卡槽的深度相配合，保證了透光片能夠同時(shí)插入二個(gè)卡槽，穩(wěn)定安裝。
[0018]從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型通過(guò)取消原有的使用螺釘安裝透光片的方式,在終點(diǎn)檢測(cè)窗口主體凸出的上下邊框相對(duì)內(nèi)側(cè)端面分別開(kāi)設(shè)一條卡槽,并增加透光片的寬度與卡槽配合，將透光片從窗口主體的一側(cè)插入卡槽，即可便捷地將透光片與窗口主體安裝固定，且便于取出，實(shí)現(xiàn)對(duì)透光片的一次安裝成功，從而提高了機(jī)臺(tái)保養(yǎng)的效率和一次成功率，并可有效避免因安裝不當(dāng)造成透光片發(fā)生碎裂的現(xiàn)象，節(jié)約了維護(hù)保養(yǎng)的費(fèi)用。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是TEL干法刻蝕機(jī)臺(tái)的一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是圖1中終點(diǎn)檢測(cè)窗口的右視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3是圖1中終點(diǎn)檢測(cè)窗口安裝的透光片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4是本實(shí)用新型一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖5是圖4中終點(diǎn)檢測(cè)窗口的右視卡槽結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖6是圖4中終點(diǎn)檢測(cè)窗口的左視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖7是本實(shí)用新型一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口透光片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖8是本實(shí)用新型一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口卡槽的另一種右視結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0028]實(shí)施例一
[0029]在本實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖4，圖4是本實(shí)用新型一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口的一種結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型的終點(diǎn)檢測(cè)窗口安裝在干法刻蝕設(shè)備的反應(yīng)腔壁，用于設(shè)備的終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)接收光波信號(hào)，來(lái)檢測(cè)反應(yīng)腔中化學(xué)物質(zhì)變化的過(guò)程。如圖所示，終點(diǎn)檢測(cè)窗口包括矩形窗口主體1，窗口主體I中部設(shè)有多孔狀透光孔4。在透光孔4外側(cè)的窗口主體I的上、下邊部中間，設(shè)有窗口主體I與腔體的安裝孔8、16。二個(gè)安裝孔8、16的左、右二側(cè)位于透光孔4外側(cè)的窗口主體I的上、下邊部具有向外凸出的邊框6、10和15、19。邊框6和邊框10之間因需要避讓安裝孔8而斷開(kāi)；同樣，邊框15和邊框19之間也因需要避讓安裝孔16而斷開(kāi)。
[0030]請(qǐng)接著參閱圖4。在窗口主體I的邊框6、10和15、19分別設(shè)有安裝透光片的卡槽
7、11和14、18 (圖中虛線表示)?？ú?、11和14、18設(shè)于上、下邊框相對(duì)的內(nèi)側(cè)端面，并形成沿邊框水平方向的直線形卡槽，即卡槽7和卡槽11平齊、卡槽14和卡槽18平齊。卡槽11和卡槽14在邊框10和邊框15的外側(cè)各有一個(gè)開(kāi)口 12、13，用于透光片從此開(kāi)口部位插入窗口主體安裝?？ú?和卡槽18在邊框6、19靠左側(cè)的部位具有終點(diǎn)5、20，即沒(méi)有貫通邊框6、19。卡槽7和卡槽18具體的終點(diǎn)位置，只要滿足位于透光孔4左側(cè)邊緣以外、窗口主體I左側(cè)以內(nèi)之間的邊框6、19的適當(dāng)位置即可。由于透光片的作用是遮蓋住透光孔4，所以，只要卡槽7、11和卡槽14、18的始、終點(diǎn)距離大于透光孔4左右兩側(cè)邊緣的距離，并將透光片的長(zhǎng)度加工成與之對(duì)應(yīng)，即可達(dá)到工藝目的和要求?？ú?1、14在邊框10、15的左側(cè)是貫通的；卡槽7、18在邊框6、19的右側(cè)也是貫通的。這樣，透光片可以自窗口主體I的右側(cè)卡槽開(kāi)口 12、13插入，一直到卡槽的終點(diǎn)5、20位置為止，并遮蓋住全部的透光孔4。
[0031]請(qǐng)參閱圖5，圖5是圖4中終點(diǎn)檢測(cè)窗口的右視卡槽結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，在窗口主體的凸出邊框6、10和15、19相對(duì)的內(nèi)側(cè)端面，開(kāi)有內(nèi)凹的卡槽7、11和14、18?？ú垡哂信c透光片厚度相配合的槽寬；透光片要具有與卡槽的間距相配合的寬度，并可沿水平方向插入卡槽之間，與窗口主體安裝連接。
[0032]請(qǐng)參閱圖6，圖6是圖4中終點(diǎn)檢測(cè)窗口的左視結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，由于卡槽7和卡槽18在邊框6、19靠左側(cè)的部位具有終點(diǎn)，即沒(méi)有貫通邊框6、19，因此，從窗口主體的左側(cè)方向看過(guò)去，是看不到卡槽的。
[0033]請(qǐng)參閱圖7，圖7是本實(shí)用新型一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口透光片的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，與本實(shí)用新型的終點(diǎn)檢測(cè)窗口的主體配合安裝的透光片3，與圖3的現(xiàn)有技術(shù)同樣具有避讓窗口安裝孔8、16的圓弧缺口 21、23，但不再需要開(kāi)設(shè)避讓透光片固定螺釘安裝孔9、17的圓弧缺口 22、24。相應(yīng)的改進(jìn)是，透光片3的左右長(zhǎng)度要大于透光孔邊緣距離并與卡槽的始、終點(diǎn)距離相適應(yīng)，既可以遮擋住透光孔，又不至于突出在窗口主體之外；并且，透光片3的上下寬度要大于上邊框6、10和下邊框19、15相對(duì)內(nèi)側(cè)端面之間的距離，并與上、下卡槽的深度相配合，以保證透光片3能夠同時(shí)插入上、下卡槽，穩(wěn)定安裝。
[0034]實(shí)施例二
[0035]在本實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖8，圖8是本實(shí)用新型一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口卡槽的另一種右視結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)施例與實(shí)施例一的不同之處，僅在于卡槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。如圖所示，在窗口主體的上邊框6、10和下邊框15、19的卡槽7、11和14、18的外側(cè)內(nèi)壁各加工一條向內(nèi)凸出的卡條25、26和27、28。采用卡條形式可以更好地固定透光片，并減少其插入卡槽時(shí)與卡槽內(nèi)壁的摩擦面積?？l的截面形狀為弧形，以減小與透光片間的摩擦，并避免劃傷透光片。卡條的凸起端點(diǎn)與卡槽另一側(cè)內(nèi)壁的水平間距可與透光片的厚度相配合。除此之外，本實(shí)施例與實(shí)施例一完全相同，不再贅述。
[0036]需要說(shuō)明的是，根據(jù)需要和機(jī)臺(tái)的布局形式，用于安裝透光片的卡槽也可以將一端開(kāi)口設(shè)于窗口主體的左側(cè)，甚至貫通窗口主體兩側(cè)，以便透光片從左右兩個(gè)方向都可以插入窗口主體安裝。實(shí)施例二中卡槽單側(cè)內(nèi)壁設(shè)置的卡條，也可以在雙側(cè)內(nèi)壁同時(shí)設(shè)置。另夕卜,卡條也可以變形為凸點(diǎn)形式。本行業(yè)普通技術(shù)人員都能正確理解,故不再通過(guò)其他實(shí)施例展開(kāi)描述。
[0037]以上所述的僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本實(shí)用新型的說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種終點(diǎn)檢測(cè)窗口，安裝在干法刻蝕設(shè)備的反應(yīng)腔壁，用于設(shè)備的終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)接收光波信號(hào)，來(lái)檢測(cè)反應(yīng)腔中化學(xué)物質(zhì)變化的過(guò)程，所述終點(diǎn)檢測(cè)窗口包括窗口主體和透光片，所述窗口主體中部設(shè)有多孔狀透光孔，所述透光孔外側(cè)的所述窗口主體的上、下邊部中間設(shè)有所述窗口與腔體的安裝孔，二個(gè)所述安裝孔的左、右二側(cè)位于所述透光孔外側(cè)的所述窗口主體上、下邊部具有向外凸出的邊框，所述邊框設(shè)有透光片安裝結(jié)構(gòu)，所述透光片的上、下邊部對(duì)應(yīng)部位具有避讓所述安裝孔的缺口，其特征在于，所述透光片安裝結(jié)構(gòu)包括卡槽，所述卡槽設(shè)于上、下所述邊框相對(duì)的內(nèi)側(cè)端面，并形成沿所述邊框水平方向的直線形卡槽，所述卡槽在所述邊框的外側(cè)具有至少一個(gè)開(kāi)口，所述卡槽具有與所述透光片厚度相配合的槽寬；所述透光片具有與上、下所述卡槽的間距相配合的寬度，并可沿水平方向插入所述卡槽之間，與所述窗口主體安裝連接。
2.如權(quán)利要求1所述的終點(diǎn)檢測(cè)窗口，其特征在于，所述卡槽為沿所述邊框水平方向的貫通直線形卡槽。
3.如權(quán)利要求1所述的終點(diǎn)檢測(cè)窗口，其特征在于，所述卡槽在所述邊框的右外側(cè)具有開(kāi)口，并終止于所述透光孔左側(cè)邊緣以外、所述邊框左外側(cè)以內(nèi)之間的位置。
4.如權(quán)利要求1所述的終點(diǎn)檢測(cè)窗口，其特征在于，所述卡槽在所述邊框的左外側(cè)具有開(kāi)口，并終止于所述透光孔右側(cè)邊緣以外、所述邊框右外側(cè)以內(nèi)之間的位置。
5.如權(quán)利要求1所述的終點(diǎn)檢測(cè)窗口，其特征在于，所述卡槽的兩側(cè)內(nèi)壁各具有沿水平方向的凸起卡條，所述卡條的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
6.如權(quán)利要求1所述的終點(diǎn)檢測(cè)窗口，其特征在于，所述卡槽內(nèi)壁的其中一側(cè)具有沿水平方向的凸起卡條，所述卡條的凸起端點(diǎn)與所述卡槽另一側(cè)內(nèi)壁的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
7.如權(quán)利要求6所述的終點(diǎn)檢測(cè)窗口，其特征在于，所述卡條的橫截面形狀為弧形。
8.如權(quán)利要求1所述的終點(diǎn)檢測(cè)窗口，其特征在于，所述卡槽的兩側(cè)內(nèi)壁各具有凸點(diǎn)，所述凸點(diǎn)在所述安裝孔兩側(cè)的所述邊框的卡槽內(nèi)壁至少各設(shè)置一對(duì)，所述卡槽兩側(cè)內(nèi)壁凸點(diǎn)的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
9.如權(quán)利要求1所述的終點(diǎn)檢測(cè)窗口，其特征在于，所述卡槽內(nèi)壁的其中一側(cè)具有凸點(diǎn)，所述凸點(diǎn)在所述安裝孔兩側(cè)的所述邊框的卡槽內(nèi)壁至少各設(shè)置一個(gè)，所述凸點(diǎn)的凸起端點(diǎn)與所述卡槽另一側(cè)內(nèi)壁的水平間距可與所述透光片的厚度相配合。
10.如權(quán)利要求1所述的終點(diǎn)檢測(cè)窗口，其特征在于，所述透光片具有大于所述透光孔邊緣距離并與所述卡槽長(zhǎng)度相適應(yīng)的長(zhǎng)度，所述透光片的寬度大于上、下所述邊框相對(duì)內(nèi)側(cè)端面之間的距離，并與上、下所述卡槽的深度相配合。
【文檔編號(hào)】H01J37/244GK203859097SQ201420152944
【公開(kāi)日】2014年10月1日 申請(qǐng)日期:2014年3月31日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月31日
【發(fā)明者】鄧必文, 季高明 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司