本技術(shù)屬于晶圓檢測，特別是涉及一種用于晶圓檢測照明的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、晶圓是半導(dǎo)體芯片制造過程中重要一環(huán)，在其生產(chǎn)的工藝步驟中，很有可能會(huì)劃痕、麻點(diǎn)、凸起、破表、微小顆粒等缺陷，這些缺陷會(huì)直接影響芯片的性能及可靠性；因此，為了保證芯片的質(zhì)量，需要對(duì)生產(chǎn)過程中晶圓的缺陷進(jìn)行檢測。

2、目前多采用光學(xué)檢測方法來進(jìn)行晶圓缺陷檢測，通過將光線照射到晶圓表面，若晶圓存在缺陷，光線會(huì)在缺陷處發(fā)生反射或散射，反射光或散射光會(huì)被探測器接受，轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，根據(jù)這些電信號(hào)，能夠判斷晶圓是否存在缺陷，隨著集成電路節(jié)點(diǎn)尺寸的進(jìn)一步微縮，需要檢測的缺陷尺寸也越來越小，為了滿足檢測要求，可采用點(diǎn)掃描的檢測方式，即光線通過一種由準(zhǔn)直鏡和聚焦鏡組成的光束控制器后，能夠在晶圓表面形成一個(gè)照明點(diǎn)，需要對(duì)光束控制器進(jìn)行調(diào)節(jié)；現(xiàn)有的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、調(diào)節(jié)難度大且精度不夠等問題，影響著檢測設(shè)備的安裝效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型提供了一種用于晶圓檢測照明的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)光束控制器的快速調(diào)節(jié)，在保持高精度調(diào)節(jié)需求的前提下，提高調(diào)節(jié)效率，解決了背景技術(shù)中的問題。

2、為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

3、本實(shí)用新型的一種用于晶圓檢測照明的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括晶圓承載臺(tái)組件、設(shè)置于晶圓承載臺(tái)組件頂部的吊頂支架、安裝于吊頂支架底部正對(duì)晶圓承載臺(tái)組件的物鏡、安裝于吊頂支架底部且位于物鏡兩側(cè)的第一光束控制器組件以及第二光束控制器組件，所述第一光束控制器組件以及第二光束控制器組件結(jié)構(gòu)相同，且光束口正對(duì)晶圓承載臺(tái)組件；

4、所述第一光束控制器組件包括可調(diào)節(jié)式安裝于吊頂支架底部的調(diào)整支架、通過導(dǎo)向球箍固定安裝于調(diào)整支架與調(diào)整支架壓板之間的光束控制器主體；

5、所述晶圓承載臺(tái)組件包括表面放置有晶圓的承載臺(tái)；通過調(diào)整第一光束控制器組件以及第二光束控制器組件的位置，獲得晶圓高質(zhì)量的照明點(diǎn)。

6、進(jìn)一步地，所述導(dǎo)向球箍抱緊在光束控制器主體上，采用與光束控制器主體外凹部相卡合的導(dǎo)向球箍上半件以及導(dǎo)向球箍下半件構(gòu)成，所述導(dǎo)向球箍上半件與導(dǎo)向球箍下半件之間通過螺絲孔配合螺絲進(jìn)行固定，與光束控制器主體運(yùn)動(dòng)狀態(tài)保持一致。

7、進(jìn)一步地，所述調(diào)整支架與調(diào)整支架壓板采用對(duì)導(dǎo)向球箍包裹的弧形結(jié)構(gòu)，通過外側(cè)部刮邊之間貫穿螺絲連接為一體，并與導(dǎo)向球箍內(nèi)壁間隙配合，所述調(diào)整支架位于光束控制器主體的位置大間隙套設(shè)配合。

8、進(jìn)一步地，所述調(diào)整支架一端環(huán)繞設(shè)置有螺紋通孔，通過于螺紋通孔內(nèi)擰入頂絲對(duì)光束控制器主體進(jìn)行固定及微調(diào)照明點(diǎn)。

9、進(jìn)一步地，所述調(diào)整支架上設(shè)置有與吊頂支架主體底端的限位槽滑動(dòng)配合的導(dǎo)軌凸塊，導(dǎo)軌凸塊位于調(diào)整支架與吊頂支架相接觸的安裝面上，吊頂支架主體為吊頂支架的主體機(jī)構(gòu)。

10、進(jìn)一步地，所述安裝面上開設(shè)有調(diào)節(jié)孔，通過調(diào)節(jié)孔調(diào)節(jié)照明點(diǎn)位置，并用螺絲于調(diào)節(jié)孔內(nèi)擰緊固定在吊頂支架主體上，從而對(duì)第一光束控制器組件進(jìn)行固定。

11、本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)包括有以下有益效果：

12、(1)本實(shí)用新型通過于晶圓承載臺(tái)組件上布置吊頂支架，吊頂支架上設(shè)置有物鏡及兩組光束控制器組件，光束控制器組件由導(dǎo)向球箍、光束控制器主體、調(diào)整支架、調(diào)整支架壓板等構(gòu)成，且調(diào)整支架通過一段環(huán)繞設(shè)置的螺紋通孔內(nèi)擰入頂絲對(duì)光束控制器主體進(jìn)行固定及微調(diào)照明點(diǎn)；

13、(2)本實(shí)用新型通過調(diào)整支架上設(shè)置有與吊頂支架主體底端的限位槽滑動(dòng)配合的導(dǎo)軌凸塊，安裝面上開設(shè)有調(diào)節(jié)孔，通過調(diào)節(jié)孔調(diào)節(jié)照明點(diǎn)位置，并用螺絲于調(diào)節(jié)孔內(nèi)擰緊固定在吊頂支架主體上，從而對(duì)第一光束控制器組件進(jìn)行固定；能夠?qū)崿F(xiàn)位置高效調(diào)節(jié)；

14、(3)本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)光束控制器的快速調(diào)節(jié)，在保持高精度調(diào)節(jié)需求的前提下，提高調(diào)節(jié)效率；結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)節(jié)方便。

15、當(dāng)然，實(shí)施本實(shí)用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種用于晶圓檢測照明的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括晶圓承載臺(tái)組件(50)、設(shè)置于晶圓承載臺(tái)組件(50)頂部的吊頂支架(10)、安裝于吊頂支架(10)底部正對(duì)晶圓承載臺(tái)組件(50)的物鏡(20)、安裝于吊頂支架(10)底部且位于物鏡(20)兩側(cè)的第一光束控制器組件(30)以及第二光束控制器組件(40)，所述第一光束控制器組件(30)以及第二光束控制器組件(40)結(jié)構(gòu)相同，且光束口正對(duì)晶圓承載臺(tái)組件(50)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓檢測照明的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向球箍抱緊在光束控制器主體(31)上，采用與光束控制器主體(31)外凹部相卡合的導(dǎo)向球箍上半件(34)以及導(dǎo)向球箍下半件(35)構(gòu)成，所述導(dǎo)向球箍上半件(34)與導(dǎo)向球箍下半件(35)之間通過螺絲孔(340)配合螺絲進(jìn)行固定，與光束控制器主體(31)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)保持一致。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓檢測照明的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)整支架(32)與調(diào)整支架壓板(33)采用對(duì)導(dǎo)向球箍包裹的弧形結(jié)構(gòu)，通過外側(cè)部刮邊之間貫穿螺絲連接為一體，并與導(dǎo)向球箍內(nèi)壁間隙配合，所述調(diào)整支架(32)位于光束控制器主體(31)的位置大間隙套設(shè)配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于晶圓檢測照明的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)整支架(32)一端環(huán)繞設(shè)置有螺紋通孔(322)，通過于螺紋通孔(322)內(nèi)擰入頂絲對(duì)光束控制器主體(31)進(jìn)行固定及微調(diào)照明點(diǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于晶圓檢測照明的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)整支架(32)上設(shè)置有與吊頂支架主體(11)底端的限位槽(110)滑動(dòng)配合的導(dǎo)軌凸塊(320)，導(dǎo)軌凸塊(320)位于調(diào)整支架(32)與吊頂支架(10)相接觸的安裝面上，吊頂支架主體(11)為吊頂支架(10)的主體機(jī)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于晶圓檢測照明的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述安裝面上開設(shè)有調(diào)節(jié)孔(321)，通過調(diào)節(jié)孔(321)調(diào)節(jié)照明點(diǎn)位置，并用螺絲于調(diào)節(jié)孔(321)內(nèi)擰緊固定在吊頂支架主體(11)上，從而對(duì)第一光束控制器組件(30)進(jìn)行固定。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種用于晶圓檢測照明的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域。本技術(shù)包括晶圓承載臺(tái)組件、吊頂支架、物鏡、第一光束控制器組件、第二光束控制器組件，第一光束控制器組件以及第二光束控制器組件結(jié)構(gòu)相同，且光束口正對(duì)晶圓承載臺(tái)組件；調(diào)整支架通過一段環(huán)繞設(shè)置的螺紋通孔內(nèi)擰入頂絲對(duì)光束控制器主體進(jìn)行固定及微調(diào)照明點(diǎn)；通過調(diào)節(jié)孔調(diào)節(jié)照明點(diǎn)位置，并用螺絲于調(diào)節(jié)孔內(nèi)擰緊固定在吊頂支架主體上，從而對(duì)第一光束控制器組件進(jìn)行固定；能夠?qū)崿F(xiàn)位置高效調(diào)節(jié)；本技術(shù)實(shí)現(xiàn)光束控制器的快速調(diào)節(jié)，在保持高精度調(diào)節(jié)需求的前提下，提高調(diào)節(jié)效率；結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)節(jié)方便。

技術(shù)研發(fā)人員：王超,彭博方
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海澈芯科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240507
技術(shù)公布日：2025/1/9