專利名稱：主要用于電子顯微鏡的電子槍組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及主要用于電子顯微鏡的電子槍組件。它由一個設(shè)置在文納爾圓柱電極(Wehneltcylinder)里的陽極與一個和陰極相對地設(shè)置且?guī)в幸粋€中心孔的陽極構(gòu)成。
電子顯微鏡的電子槍在結(jié)構(gòu)上通常帶有一個以電絕緣材料制成的管形的高壓真空襯套，其一端連接到電子顯微鏡柱身外罩，另一端連接到實際的電子槍上。電子槍的另一種已知的結(jié)構(gòu)是帶有以電絕緣材料制成的板形的高壓真空襯套，其周邊固定到電子顯微鏡柱身外罩上，而其中央部分設(shè)置有一個真空密閉的電襯套，實際的電子槍即固定在這里。
上述各已知技術(shù)方案的缺點主要是所說電子槍的尺寸太大。采用管形高壓電子襯套形式的電子槍其尺寸太長;而采取板形高壓電子襯套的電子槍其尺寸太寬。并且，當考慮到防護輻射時，在這些技術(shù)方案中的需要采用較笨重的陽極覆蓋層，從而更增加了電子槍的重量，對于輕便型電子顯微鏡來說，這就特別成為一個大缺點。
先有技術(shù)的上述缺點，在現(xiàn)在這種主要用于電子顯微鏡的電子槍組件的技術(shù)方案里實際上得到了解決。這種電子槍由一個設(shè)置在文納爾圓柱電極里的陰極，一個與陰極相對地設(shè)置并帶有一個中心孔的陽極構(gòu)成。根據(jù)本發(fā)明，該技術(shù)方案的實質(zhì)在于所述文納爾圓柱電極被固定到一個鐘形高壓真空襯套頂部，該鐘形高壓襯套以其開端可滑動地安置于陽極體上，在陽極體與高壓真空襯套之間的槽口內(nèi)設(shè)置有真空密封裝置。在本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例里，該槽口制作在陽極體上，在本發(fā)明的另一個實施例里，該槽口被設(shè)置在高壓真空襯套的接觸面上。而在本發(fā)明的又一個實施例里，在陽極體高出的凸緣部位有一組帶內(nèi)螺紋的孔。這一組孔沿徑向按照等角間隔而分布，孔內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)螺釘，調(diào)節(jié)螺釘?shù)牟僮鞫松斐鲲@微鏡柱身之外，而螺桿與所述高壓真空襯套的外表面相接觸。
根據(jù)本發(fā)明的電子槍組件的主要優(yōu)點是結(jié)構(gòu)緊湊和重量輕，因而使得這種電子槍特別適用于輕便型電子顯微鏡。它的另一優(yōu)點是簡化了陽極罩的結(jié)構(gòu)和消除了大直徑尺寸密封的要求。
以下根據(jù)附圖
對本發(fā)明進行比較詳細的說明。這里的附圖是根據(jù)本發(fā)明的電子槍組件的一個優(yōu)選實施例的局部剖面圖。圖中，1是鐘形高壓真空襯套。在襯套的較狹窄的頂部有一個中心孔，文納爾圓柱電極2在中心孔部位按真空密閉方式而被固定。這里是利用0形圈3而實現(xiàn)這種真空密閉的。高壓真空襯套1由其開端上形成的一個底座面坐落在陽極體6內(nèi)嵌入一槽口5里的真空密封裝置4之上。在陽極體6上有一圈高出的凸緣7，在這凸緣部位沿徑向等角度間隔分布有一組(最好是3個或4個)帶內(nèi)螺紋的孔8。調(diào)節(jié)螺釘9埋入孔8內(nèi)。調(diào)節(jié)螺釘?shù)牟僮魃斐龅斤@微鏡柱身10之外，而螺桿與高壓真空襯套1的外表面相接觸。陽極罩11就安放在凸緣7之上。高壓電纜12與文納爾圓柱電極2之間具有電氣聯(lián)接。
根據(jù)本發(fā)明的電子槍組件在工作時，高壓通過高壓電纜12送進文納爾圓柱電極2。此高壓依靠高壓真空襯套1內(nèi)空間的真空以及高壓真空襯套1的內(nèi)表面而與陽極體6相絕緣。借助于調(diào)節(jié)螺釘9，使高壓真空襯套1在真空密封裝置4上與陽極體6的中心孔位置作相對移動，從而實現(xiàn)對電子束的調(diào)節(jié)作用。
在輕便型電子顯微鏡中，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)可得到有利的應(yīng)用。
權(quán)利要求
1.主要用于電子顯微鏡的電子槍組件，它由一個設(shè)置在文納爾圓柱電極里的陰極和一個與所述陰極相對地設(shè)置并帶有一個中心孔的陽極構(gòu)成，其特征在于所述文納爾圓柱電極(2)固定在鐘形高壓真空襯套(1)的頂部內(nèi)，該高壓真空襯套(1)以其開端可滑動地安置在陽極體(6)上，在該陽極體(6)與該高壓真空襯套(1)之間的槽口(5)內(nèi)設(shè)置有真空密封裝置(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的電子槍組件，其特征謨謁霾劭冢 )被制作在所述陽極體(6)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的電子槍組件，其特征在于所述槽口(5)被制作在所述高壓真空襯套(1)的接觸面內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3的電子槍組件，其特征在于所述陽極體(6)的一圈高出的凸緣(7)部位沿徑向等角度間隔分布著一組帶內(nèi)螺紋的孔(8)，調(diào)節(jié)螺釘(9)嵌入孔(8)內(nèi)，該調(diào)節(jié)螺釘(9)的操作端伸出到顯微鏡柱身(10之外，螺桿與所述高壓真空襯套(1)的外表面相接觸。
全文摘要
一種主要用于電子顯微鏡的電子槍組件，它由一個設(shè)置在文納爾圓柱電極(2)里的陰極和一個與陰極相對地設(shè)置并帶有一個中心孔的陽極構(gòu)成。文納爾圓柱電極(2)固定在鐘形高壓真空襯套(1)的頂部，高壓真空襯套(1)以其開端可滑動地安置在陽極體(6)上，陽極體(6)與高壓真空襯套(1)之間的槽口(5)內(nèi)所有真空密封裝置(4)。
文檔編號H01J37/067GK1037615SQ8910149
公開日1989年11月29日 申請日期1989年3月15日 優(yōu)先權(quán)日1988年4月8日
發(fā)明者埃米爾·弗拉特尼切克 申請人:特斯拉公司