專利名稱：成像裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種成象裝置，如顯示裝置，特別涉及一種包含一個(gè)安裝在裝置里邊的隔板的成象裝置。
現(xiàn)有兩種電子發(fā)射器件;即熱電子型和冷陰板型。
其中，冷陰極型包括場(chǎng)發(fā)射<型在下文稱為FE型>，金屬/絕緣層/金屬型<在下文稱為MIM-型>，和表面?zhèn)鲗?dǎo)型。
FE-電子發(fā)射器件的各實(shí)例已由W.P.Dyke&W.W.Dolan，“場(chǎng)發(fā)射(Fieldemission)”，AdvanceinElectronPhysics，8-89(1956)和C.A.SPindt，“PHYSICALPropertiesofthin-filmfieldemissioncathodeswithMolybdenumcones(具有鉬喇叭形薄膜場(chǎng)發(fā)射陰極的物理特性，”，J.Appl.phys.47.5284(1976)公開(kāi)。MIM器件已在C.A.Mead的文章“Thetunnel-emissionamplifier(燧道發(fā)射放大器)”，J.Appl.phys.32.646(1961)中公開(kāi)。表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件已在M.Z.Elinson.RadioEng，ElectronPhys.10.(1965)的文章中公開(kāi)。
表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件是利用下述現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)的，即，在與薄膜表面平行的方向里流過(guò)的電流過(guò)載時(shí)，基片表面上形成的小的薄膜發(fā)射出電子。Elinson建議采用SnO2薄膜制造這類(lèi)器件，而在G.Dittmer的“Thin solid Films(固體薄膜)”9，317(1972)的文章中建議采用An(金)薄膜。在M.Hartwell和C.G.Fonstad的“IEEETrans.ED conf.”519(1975)和H.Araki等人的“Vacuum”，Vol.26.No.l.P.22(1983)的文章中分別討論了In2O3/SnO2薄膜和碳薄膜的使用。
圖22表示由M.Hartwell建議的典型的表面導(dǎo)電發(fā)射電子器件的說(shuō)明附圖。在圖22中，標(biāo)號(hào)1011和1013分別表示基片和導(dǎo)電薄膜，導(dǎo)電薄膜通常是用濺射法根據(jù)所給定的圖形由一個(gè)H形金屬氧化物薄膜而形成的，當(dāng)其經(jīng)過(guò)稱為“電形成”的電激勵(lì)處理時(shí)，薄膜的一部分最后會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電子發(fā)射區(qū)1012。圖22中，金屬氧化物薄膜的薄的水平區(qū)其長(zhǎng)度L為0.5至1毫米，寬度W為0.1毫米的將一對(duì)器件電極分開(kāi)。應(yīng)注意的是，由于無(wú)法精確地知道電子發(fā)射區(qū)1012外形及所處的位置，因此，電子發(fā)射區(qū)1012只是極簡(jiǎn)略地表示。
如上所述，這種表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的導(dǎo)電薄膜1013通常要經(jīng)過(guò)電激活預(yù)處理，這種電激活預(yù)處理稱為“電形成”，以產(chǎn)生一個(gè)電子發(fā)射區(qū)1012。在電形成過(guò)程中，給導(dǎo)電薄膜1013的兩個(gè)相對(duì)編加直流電壓或緩慢升高的電壓，典型的升壓速度為1伏/分，使薄膜部分地?fù)p壞，變形或改變、并產(chǎn)生一個(gè)高電阻的電子發(fā)射區(qū)1012。因此，電子發(fā)射區(qū)1012是導(dǎo)電薄膜1013中有裂縫的典型部分，所以，電子可以從那些裂縫中發(fā)射出來(lái)。
注意，一旦經(jīng)過(guò)了電形成工序，表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件就變成了以它的電子發(fā)射區(qū)1012發(fā)射電子，只要給導(dǎo)電薄膜1013加適當(dāng)?shù)碾妷?，就可以使電流流過(guò)器件。
如上所述，由于表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并能用簡(jiǎn)單的方法制造，因此，可以毫無(wú)困難地在一個(gè)大的面積上很方便地安裝許多這樣的器件。實(shí)際上，為了充分利用表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的這種優(yōu)點(diǎn)，已進(jìn)行了大量的研究。應(yīng)用正在研究中的這種類(lèi)型的器件所考慮的問(wèn)題包括帶電荷的電子束源和電子的顯示器。
在包含有大量表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的應(yīng)用的典型例中，把器件排列成相互平行的許多行。象梯形那樣的形狀，使每個(gè)器件在所指定的相對(duì)端分別用導(dǎo)線(公共導(dǎo)線)，連接，排成列，以構(gòu)成一個(gè)電子源，如日本專利申請(qǐng)?zhí)亻_(kāi)昭-64-31332，平1-283749和平1-257552所公開(kāi)的。作為顯示裝置和其他成象裝置包括，表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件，如電子顯示器，盡管平板形電子顯示器包括液晶板代替CRT近年來(lái)已普遍采用，這樣的顯示器不會(huì)沒(méi)有問(wèn)題。問(wèn)題之一是，顯示器中需要另外加入一個(gè)光源，以照射液晶板，因?yàn)?，顯示器不是所謂的發(fā)射型，因此，工業(yè)上熱切希望開(kāi)發(fā)發(fā)射型顯示裝置。采用發(fā)射型電子顯示器是用由多個(gè)表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件排列結(jié)合由從電子源發(fā)射的電子放出可見(jiàn)光而制成的熒光元件，制成的光源而實(shí)現(xiàn)的(參見(jiàn)，例如，本專利申請(qǐng)人申請(qǐng)的美國(guó)專利No.5066883。)具有上述構(gòu)形的一種成象裝置，通常要求在裝置內(nèi)安裝一個(gè)或多個(gè)隔板。以保持裝置內(nèi)具有給定的真空度，使器件處于最佳的工作狀態(tài)，若顯示屏具有大面積，那么它不得不承受大氣壓力(見(jiàn)日本專利申請(qǐng)，特開(kāi)平2-299136)，結(jié)合


上述類(lèi)型的成象裝置。
圖20是上述類(lèi)型的成象裝置的部分剖面圖。該裝置是用包括許多表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的冷陰極電子源實(shí)現(xiàn)的。參見(jiàn)圖20，在基片2021上構(gòu)成許多電子發(fā)射器件2025(每個(gè)器件有一對(duì)電極2022，2023，和一個(gè)排列其間的電子發(fā)射區(qū)2024)，一個(gè)與基片2021相對(duì)設(shè)置的面板2030，該面板包括一個(gè)平板玻璃2027和設(shè)置在玻璃板2027內(nèi)表面上的熒光層2028。當(dāng)成象裝置是一個(gè)彩色成象裝置時(shí)，熒光層2028是由許多發(fā)光元件2032和黑色元件2031交替排列構(gòu)成的，黑色元件也叫黑帶，如圖21所示。采用黑帶是為了構(gòu)成區(qū)域線，使紅，綠，藍(lán)熒光元件隔開(kāi)，為了使彩色顯示不太明顯，并避免由熒光層2028反射外部光而產(chǎn)生的顯示圖形中的對(duì)比度任何可能的降低，必須采用黑帶。
熒光層2028通常設(shè)置在帶有稱為金屬底板2029的襯層的內(nèi)表面上。安裝金屬底板2029以便防止由電荷(電子)產(chǎn)生裝置的電動(dòng)勢(shì)的任何可能的降低，這些電荷(電子)可能聚集在具有相當(dāng)高電阻率的熒光層2032上，其電阻率范圍為1010至1012歐姆厘米，用它作為一個(gè)電極，將電壓加到在裝置中產(chǎn)生的電子束上，并加速電子束中的電子，與此同時(shí)，通過(guò)熒光元件發(fā)射的光線的鏡面反射，改進(jìn)顯示屏的亮度，并射向裝置的里邊，以防止可能由離子對(duì)它們?cè)斐傻膿p環(huán)，保護(hù)熒光元件3032。通常用鋁作金屬底板2029的材料最適合上述目的。
在裝置中有規(guī)則地排列許多隔板2026，使載有許多電子發(fā)射器件2025的基片2021與面板2030之間保持一個(gè)預(yù)定不變的距離，抗大氣壓力。
本發(fā)明的目的是，提供一種象顯示裝置那樣的成象裝置，特別是，提供一種包含抗大氣壓力隔板的成象裝置，有效地防止從裝置的電子源發(fā)射出的電子來(lái)和抗大氣壓力隔板的碰撞引起的成象元件(熒光靶)的電子來(lái)輻射速率的任何可能的降低。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是，提供一種成象裝置，它能有效地防止由于電子束與抗大氣壓力隔板的碰撞的產(chǎn)生的任何光電現(xiàn)象，有效地防止由于裝置的電子束軌道中無(wú)法預(yù)料的偏差引起顯示屏上成象質(zhì)量的降低，有效地防止由于裝置中產(chǎn)生的緩慢放電引起的象電子發(fā)射器件的任何毀壞，所說(shuō)的變壞和毀壞應(yīng)歸固于充電現(xiàn)象。
本發(fā)明還有一個(gè)目的是，提供一種成象裝置，它包括有效排列的抗大氣壓力隔板，以改進(jìn)裝置的抽真空效率。
本發(fā)明還有一個(gè)目的是，提供一種成象裝置，其包括一抗大氣壓力隔板，它防止可能引起的對(duì)熒光層的損壞和對(duì)裝置的電子發(fā)射器件的損壞，因此，裝置可以延長(zhǎng)使用壽命，工作穩(wěn)定，以產(chǎn)生高清晰度圖象。
按照本發(fā)明，提供一種成象裝置可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述目的和其它目的，該成象裝置包括一個(gè)底板，底板上裝有許多電子發(fā)射器件;一個(gè)面板，面板與底板相對(duì)設(shè)置，該面板上裝有許多熒光元件;一個(gè)抗大氣壓力隔板;其特征是使抗大氣壓力隔板的縱軸與從所述電子發(fā)射器件發(fā)射的電子束的偏轉(zhuǎn)方向基本上平行。
根據(jù)本發(fā)明，還提供一種成象裝置，它包括一個(gè)底板，底板上裝有許多電子發(fā)射器件;一個(gè)與底板相對(duì)設(shè)置的面板，面板上裝有熒光元件;一個(gè)抗大氣壓力隔板;其特征是，在底板上裝有器件側(cè)肋狀條，從底板上凸起，高于電子發(fā)射器件的任何電極，在面板上裝有熒光層側(cè)肋狀條，從面板上凸起、高于熒光層、所述抗大氣壓力隔板用器件側(cè)肋狀條和熒光層側(cè)肋狀條分別與底板和面板保持接觸。
根據(jù)本發(fā)明，還提供一種裝置，它包括一個(gè)底板，底板上裝有許多電子發(fā)射器件;一個(gè)與底板相對(duì)設(shè)置的面板，面板上裝有熒光元件;一個(gè)抗大所壓力隔板;其特征是，抗大壓力隔板的縱軸基本上平行于從所述電子發(fā)射器件發(fā)射的電子束的偏轉(zhuǎn)方向，并在底板上裝有器件側(cè)肋狀條，從底板上凸起、高于任何電子發(fā)射器件的電極，在面板上裝有熒光層側(cè)肋狀條，從面板上凸起，高于熒光層，所述抗大氣壓力隔板用器件側(cè)肋狀條和熒光層側(cè)肋狀條分別與底板和面板接觸。
圖1A是按本發(fā)明成象裝置第1實(shí)施例的總透視簡(jiǎn)圖。
圖1B是圖1A所示實(shí)施例局部切開(kāi)的透視簡(jiǎn)圖，圖中示出了本發(fā)明第2至第10實(shí)施例的共同部分。
圖1C是按本發(fā)明成象裝置的第4實(shí)施例的總透視簡(jiǎn)圖。
圖2是沿圖1A所示實(shí)施例的X-Y平面的局部截面平面圖。
圖3A和3B分別是本發(fā)明的第2實(shí)施例沿X-Y平面和X-Z平面的局部截面平面圖和局部截面?zhèn)纫晥D。
圖4是按本發(fā)明的第3個(gè)實(shí)施例沿X-2平面的局部截面?zhèn)纫晥D。
圖5是圖4所示實(shí)施例沿X-Y平面的局部截面平面圖。
圖6是按本發(fā)明的第6實(shí)施例的沿X-Y平面的局部截面平面圖。
圖7是按本發(fā)明的第5實(shí)施例的沿X-Y平面的部問(wèn)截面平面圖。
圖8是按本發(fā)明的第7實(shí)施例的局部切開(kāi)的透視簡(jiǎn)圖。
圖9是圖8所示實(shí)施例沿X-Y平面放大后的局部截面平面圖。
圖10是按本發(fā)明的第8實(shí)施例的，沿X-Y平面的放大后的局部截面平面圖。
圖11是按本發(fā)明的第9實(shí)施例的，沿X-Y平面的放大后局部截面平面圖。
圖12是按本發(fā)明的第10實(shí)施例的，沿X-Y平面的放大后的局部截面平面圖。
圖13是按本發(fā)明的第11實(shí)施例的部件分解透視簡(jiǎn)圖，它示出了裝置的主要元件及基配置。
圖14是圖13所示實(shí)施例中使用的電子發(fā)射器件的電子發(fā)射區(qū)的放大后的平面簡(jiǎn)圖。
圖15是圖13所示實(shí)施例的熒光層的放大后的局部平面簡(jiǎn)圖。
圖16是按本發(fā)明的第12實(shí)施例的部件分解透視簡(jiǎn)圖，它示出了裝置的主要元件及其裝置。
圖17是按本發(fā)明的第13實(shí)施例的部件分解透視圖，它示出了裝置的主要元件及其裝置。
圖18是圖17所示實(shí)施例的熒光層的放大后的局部平面簡(jiǎn)圖。
圖19是按本發(fā)明的第14實(shí)施例的部件分解透視圖，它示出了裝置的主要元件及其裝配。
圖20是普通的平面型成象裝置的局部截面?zhèn)纫晥D。
圖21是普通的平面型成象裝置的熒光層的放大后的局部平面簡(jiǎn)圖。
圖22是典型的表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的平面簡(jiǎn)圖。
圖23A和23B分別是用于測(cè)試表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的性能的測(cè)量裝置的部件分解透視圖和截面?zhèn)纫晥D。
圖24是對(duì)圖13所示第11實(shí)施例改進(jìn)而獲得的成象裝置的透視圖，它更詳細(xì)地示出了電子源基片。
圖25是沿圖24所示裝置的B-B′線的面?zhèn)纫晥D。
圖26是對(duì)圖13所示第11實(shí)施例改進(jìn)而獲得的另一成象裝置的透視簡(jiǎn)圖。
圖27是圖26所示成象裝置的熒光層的放大后的局部平面簡(jiǎn)圖。
圖28A和28B是通用于本發(fā)明的成象裝置的平板型表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的平面圖和側(cè)視圖。
圖29是按本發(fā)明的成象裝置適用的豎直型表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的透視圖，簡(jiǎn)略地示出了它的基本結(jié)構(gòu)。
現(xiàn)在，結(jié)合說(shuō)明本發(fā)明的最佳實(shí)施例的附圖，更詳細(xì)是說(shuō)明本發(fā)明。
如下面更詳細(xì)是說(shuō)明那樣，特別適用于本發(fā)明目的的電子發(fā)射器件是表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件。這是因?yàn)椋缜八?，表面?dǎo)電電子發(fā)射器件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并能用簡(jiǎn)單方式制造。因此，可以毫無(wú)困難地在大面積上很好地排列大量的這種器件。
下面將說(shuō)明作為電子發(fā)射的表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件某些特有的作用。
圖23A和23B是一種測(cè)試裝置的部件分解透視圖和側(cè)面剖面圖，該裝置用于按表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件中的以其電子發(fā)射區(qū)發(fā)射的電子來(lái)測(cè)試平面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的性能。參見(jiàn)圖23A和23B，被測(cè)的表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件包括，一個(gè)基片1011，一對(duì)器件電極1014和1015，和一個(gè)導(dǎo)電薄膜1013，導(dǎo)電薄膜1013包括一個(gè)電子發(fā)射區(qū)1012。而所述的測(cè)試裝置包括一個(gè)玻璃基片1016，一個(gè)由透明導(dǎo)電薄膜制成的陽(yáng)極1017，一個(gè)熒光薄膜1018，當(dāng)熒光薄膜被電子輻射后便發(fā)射可見(jiàn)光，和一個(gè)給電子發(fā)射器件加電壓的功率源1019。
器件電極1014和1015接到功率源1019，而陽(yáng)極接到另一個(gè)功率源1020，并位于電子發(fā)射器件的上面。
陽(yáng)極1017，載有熒光層1018的玻璃基片1016和電子發(fā)射器件安裝在測(cè)試裝置中，在裝置內(nèi)保持在真空。
當(dāng)給定的電壓加到器件電極1014和1015(它們分別是較低的位電和較高的電位電極)，使電子發(fā)射區(qū)1012發(fā)射電子，并給陽(yáng)極1017加高達(dá)幾百和幾千伏的高電壓，從電子發(fā)射區(qū)中發(fā)射出的電子朝較高電位電極(器件電極1015)實(shí)施轉(zhuǎn)彎(或正如以下稱為偏轉(zhuǎn))，以法向(圖23B中的點(diǎn)劃線H所示)從電子發(fā)射區(qū)1012的中心沿圖23B中箭頭所示的虛線G相對(duì)于絕緣基片1011的表面射出，因此，熒光薄膜1018的光發(fā)射部分J的中心位于馬法線位置距離S的地方。
如上所述的發(fā)射出的電子的特性被認(rèn)為歸因以下的事實(shí)，即，平行于絕緣基片1011的平面上的電位分布相對(duì)于電子發(fā)射區(qū)是對(duì)稱的，而且，這是表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的特性。(注意，根據(jù)器件的結(jié)構(gòu)，如前所述的FE和MIM型器件可以顯示出這種特性)。
因此，根據(jù)本發(fā)明，發(fā)現(xiàn)成象裝置包括電子發(fā)射器件，該器件可以制成具有上述的特有的偏轉(zhuǎn)特性，通過(guò)適當(dāng)?shù)匮b配裝置內(nèi)的隔板，可以避免發(fā)射電子和裝置里的抗大氣壓隔板的碰撞，不會(huì)損壞裝置的抗大氣壓結(jié)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明還發(fā)現(xiàn)、將隔板適當(dāng)是排列裝置中，能制成正在考慮中的類(lèi)型的成象裝置，使其不破壞熒光層和/或電子發(fā)射器件而能令人滿意地工作。
現(xiàn)在，要說(shuō)明適用于本發(fā)明目的的表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件。
適用于本發(fā)明目的的表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件可以是平板型也可以是豎直型。首先要說(shuō)明平板型表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件。
圖28A和28B是適用于按本發(fā)明的成象裝置的平板型表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的平面圖和側(cè)視圖，簡(jiǎn)略地表示它的基本結(jié)構(gòu)。
參見(jiàn)圖28A和28B，正在考慮中的類(lèi)型的表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件包括，一個(gè)基片3201，一對(duì)器件電極3205和3206，和包含電子發(fā)射區(qū)3203的薄膜3204。
可以用作基片3201的材料包括石英，為降低濃度而含有雜質(zhì)Na(鈉)的玻璃，堿碳玻璃，用濺射法在堿碳玻璃上形成一層SiO2，構(gòu)成的玻璃基片，象氧化鋁的陶瓷材料和硅片。
可以用任何具有較高導(dǎo)電性的材料制造相對(duì)排列的器件電極3205和3206，優(yōu)選材料包括金屬Ni，Cr，Au，Mo，W，Pt，Ti，Al，Cu和pd及其合金，用從Pd，Ag，RuO2，Pd-Ag中選出的金屬或金屬氧化物，和玻璃，象In2O3_SnO2這樣的透明導(dǎo)電材料，和象多晶硅那樣的半導(dǎo)體材料制造可印刷的導(dǎo)電材料。
電極之間的間距L1為幾百埃和幾百微米，間距大小由器件制造中所用的各種光刻技術(shù)狀況確定，包括對(duì)準(zhǔn)器的性能和使用的刻蝕方法，為發(fā)射電子而設(shè)計(jì)的電場(chǎng)強(qiáng)度和加到電極上的電壓。間距L1最好選為幾微米到幾十微米之間。器件電極3205和3206的長(zhǎng)度W1和厚度d取決于器件設(shè)計(jì)中的要求，例如電極的電阻，和設(shè)置在裝置內(nèi)的多個(gè)電子源的排列，電極的長(zhǎng)度W1通常是在幾微來(lái)到幾十微米之間，器件電極3205和3206的厚度典型值在幾百埃至幾微米之間。
器件的薄膜3204安排在相對(duì)地位于基片3201上的器件電極3205和3206之間，并包含電子發(fā)射區(qū)3203。圖28B中，包括電子發(fā)射區(qū)3203的薄膜3204，部分覆蓋在器件電極3205和3206上，它也可以安排成不覆蓋基片3201上的器件電極3205和3206。假若是這種情況，在基片3201上首先形成一個(gè)構(gòu)成電子發(fā)射區(qū)的薄膜，然后，在基片3201上淀積一對(duì)相對(duì)排列的器件電極3205和3206，以制成這種器件。
還可以作這樣的排列，將薄膜的全部面積設(shè)置在相對(duì)排列的器件電極3205和3206之間，使其起電子發(fā)射區(qū)的作用。包含電子發(fā)射區(qū)的薄膜3204的厚度可以在幾埃區(qū)幾干埃之間，最好在10至20埃之間，取決于器件電極3205和3206上的薄膜3204的臺(tái)階復(fù)蓋區(qū)，電子發(fā)射區(qū)3203與器件電極3205和3206之間的電阻值，電子發(fā)射區(qū)3203的粒子的平均大小，以后將要說(shuō)明的形成操作參數(shù)以及其它因素一樣會(huì)在以后說(shuō)明。薄膜3204通常表示103至107歐/方之間的薄層電阻。
包含電子發(fā)射區(qū)的薄膜3204用材料細(xì)粒制成，所用材料選自金屬，如Pd，Pt，Ru，Ag，Au，Ti，In，Cu，Cr，F(xiàn)e，Zn，Sn，Ta，W以及Pb，氧化物如，PdO，SnO2，In2O3，PbO和Sb2O3，硼化物如HfB2，ZrB2，LaB6，CeB6，YB4，和GdB4，碳化物如，TiC，ZrC，HfC，TaC，SiC，和WC，氮化物，如TiN，ZrN和HfN，半導(dǎo)體，如Si和G，碳，AgMg，和NiCu。
這里所用的術(shù)語(yǔ)“細(xì)粒薄膜”是指由大量松散分布的緊密排列的或相互無(wú)規(guī)則覆蓋的細(xì)粒在一定條件下形成小島結(jié)構(gòu)構(gòu)成的薄膜。
電子發(fā)射區(qū)3203由大量細(xì)導(dǎo)電顆粒構(gòu)成，導(dǎo)電顆粒的平均尺寸在幾埃至幾千埃之間，顆粒大小的選擇取決于包含電子發(fā)射區(qū)的薄膜3204的厚度和很多其他的因素，例如所選擇的器件制造方法和下面要說(shuō)明的形成操作的參數(shù)。電子發(fā)射區(qū)3203所用的材料可以選用包含電子發(fā)射區(qū)的薄膜3204所用的全部材料或其中的一部分。
現(xiàn)在要說(shuō)明具有交替截面的表面導(dǎo)電型電子發(fā)射器件，或豎直電子發(fā)射器件。
圖29是適用本發(fā)明的豎直型表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的透視簡(jiǎn)圖。
正如在圖29中所見(jiàn)到的，器件包括一個(gè)基片3251，一對(duì)器件電極3255和3256，一個(gè)包含電子發(fā)射區(qū)和一梯階形截面3257的薄膜3254。應(yīng)該注意的是，電子發(fā)射區(qū)3253的精確位置可能與包含電子發(fā)射區(qū)的薄膜3254的厚度、梯階形截面3257的厚度及制造方法，薄膜3254的制造方法密切相關(guān)，因此，電子發(fā)射區(qū)3253的精確位置可能與圖29中所示位置不同。
由于器件的基片3251，器件電極3255和3256，和包含電子發(fā)射區(qū)3253的薄膜3254是用與上述平板型表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的各相應(yīng)部分使用的相同材料制造的，因此，將只詳細(xì)說(shuō)明具有豎直型表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的特征的梯階形截面3257和包含電子發(fā)射區(qū)的薄膜3254。
梯階形截面3257用絕緣材料如SiO2制成，它的形成方法包括真空淀積，印刷，濺射或其它一些合適的技術(shù)。梯階形截面3257的厚度與上述的平板型表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的器件民極相隔距離L1相對(duì)應(yīng)，在幾百埃到幾十微米之間，盡管它的確定取決于制造梯階形截面3257所選用的技術(shù)，加于器件電極的電壓和電子發(fā)射所允許的電場(chǎng)強(qiáng)度，并最好在幾千埃至10微米之間。
當(dāng)包含電子發(fā)射區(qū)的薄膜3254是在器件電極3255和3256，和梯階形截面3257之后形成時(shí)，薄膜最好形成在器件電極3255和3256上面，或者，，假若恰當(dāng)，如此形狀以致于適合排列，除用作電連接的小面積之外薄膜不淀積在器件電極3255和3256上。包含電子發(fā)射區(qū)的薄膜3254的厚度與薄膜的制造方法有關(guān)，在很多情況下，在梯階形截面上和器件電極3255和3256上的厚度不同，通常制造的薄膜3254在梯形截面上的厚度比器件電極上的厚度小。其結(jié)果是，與平板型表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件的相應(yīng)部分相比，薄膜能夠更容易進(jìn)行電處理(電形成)，以便制成電子發(fā)射區(qū)3253。
現(xiàn)在，用最佳的實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。圖1A和1B是本發(fā)明的成象裝置的第1實(shí)施例的說(shuō)明附圖。圖1A是實(shí)施例的總透視簡(jiǎn)圖，圖1B是實(shí)施例的局部切開(kāi)的透視簡(jiǎn)圖，圖中示出了當(dāng)裝置中包含抗大氣壓隔板從裝置中除去后電子發(fā)射器件是怎樣排列的。圖2是圖1A和圖1B所示實(shí)施例當(dāng)除去裝置的面板后沿X-Y平面的局部剖截面平面圖。
參見(jiàn)圖1A，1B和2，裝置包括底板1001，外殼1002，面板1003，多個(gè)抗大氣壓隔板1004，該抗大氣壓隔板與X軸基本平行，固定栓1005用于夾緊相應(yīng)的抗大氣壓力隔板，熔結(jié)玻璃固定器1006用于將帶固定栓1005的抗大氣壓隔板緊固到外殼1022上，在底板1001上形成許多電子發(fā)射器件1007，所述電子發(fā)射器件排成許多行，每行包括多個(gè)電子發(fā)射器件這些器件標(biāo)為1007x1，……，1007x4，如圖1B中所示7。標(biāo)號(hào)1020表示導(dǎo)線，這些導(dǎo)線用于將電壓加到電子發(fā)射器件上，使其發(fā)射電子。
注意，在該實(shí)施例中，電子發(fā)射器件1008的行與抗大氣壓隔板1004交替排列，表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件用于電子發(fā)射器件，每個(gè)器件中一對(duì)相對(duì)設(shè)置的電極1014和1015按圖23A和23B所示的方式沿X軸排列。
當(dāng)加速電壓主要加到底板1001和面板1003之間時(shí)，從按上述方式排列的電子發(fā)射器件1007中發(fā)射出的電子束出現(xiàn)一個(gè)Z方向的速度分量，而且+x或-x方向的速度分量偏向相應(yīng)的器件陽(yáng)極。電子束最后與排列在面板內(nèi)表面上的被電子束輻射的相應(yīng)的熒光元件碰撞，使熒光元件發(fā)光，在裝置的顯示屏上形成圖象。注意，抗大氣壓力隔板不會(huì)使被加速電壓加速后的任何電子束受干擾，使電子束與相應(yīng)的熒光元件碰撞，好象裝置中沒(méi)有排列抗大氣壓力隔板一樣。
在該實(shí)施例中，使抗大氣壓力隔板1004在位置上與相應(yīng)的間隔空隙(黑條)對(duì)準(zhǔn)，每個(gè)與相鄰的熒光靶彼此隔開(kāi)。換句話說(shuō)，抗大氣壓力隔板不位于與任何熒光靶相對(duì)的位置。此外，隔板排列在底板上不被電子發(fā)射器件占據(jù)的面積內(nèi)。應(yīng)該注意的是，上述的固定確實(shí)貫穿在本發(fā)明所述的實(shí)施例中。
該實(shí)施例中，每個(gè)抗大氣壓力隔板1004用熔融玻璃緊固器緊固在面板1003和/或底板1001上，并用四個(gè)固緊栓夾緊。如果減小固緊栓的數(shù)量，并且只將抗大氣壓力隔板固定在底板上或面板上能保持牢固強(qiáng)度和位置的精確，但是也可以用減少數(shù)量的固緊栓將每個(gè)抗大氣壓隔板牢固地夾住。并且，在該實(shí)施例中，將每個(gè)抗大氣壓力隔板在外殼1002的兩個(gè)相對(duì)端牢固地固定在外殼上?？梢钥隙ㄈ绻辉谕鈿?002的一端固定，能確保牢固強(qiáng)度和位置精度。
此外，在本實(shí)施例中，抗大氣壓力隔板被固定在外殼上，它們也可以交替地固定在外殼內(nèi)的支架上。在本實(shí)施例中，僅管采用熔融玻璃緊固物，牢固地固定抗大氣壓力隔板緊固栓，但也可以用粘接劑代替。上述的所用的支架粘接劑準(zhǔn)確固定，貫穿發(fā)明所述的實(shí)施例中。
圖1A畫(huà)出的是有10行電子發(fā)射器件的成象裝置，圖2示出了每行包括四個(gè)電子發(fā)射器件，電子發(fā)射器件的行數(shù)和每行中包括的電子發(fā)射器件數(shù)不限，并可以適當(dāng)變化。實(shí)施例內(nèi)部用抽氣管(設(shè)畫(huà)出)和真空泵抽真空，當(dāng)內(nèi)部被抽空到真空度為10-6乇時(shí)，抽氣管熔融，使外殼密封。圖3A和3B說(shuō)明了按本發(fā)明的成象裝置的第2實(shí)施例。圖3A示出了沿X-Y平面的部分截面的平面圖，而圖3B示出的是沿X-2平面的局部截面的側(cè)視圖。
參看圖3A和3B，實(shí)施例包括形成在面板1003上的熒光靶1010和將抗大氣壓力隔板1004牢固夾緊在面板1003上的緊固栓1005′。
該實(shí)施例的特征是，支持并夾緊抗大氣壓力隔板1004的緊固栓1005′被排列成離開(kāi)電子束的軌道并用熔融玻璃固定器固定在面板1003上。
注意，緊固栓1005′也可以固定在底板1001上，假若它不干擾裝置中的電子束軌道，也可以同時(shí)固定在面板1003和底板1001上。
假若使用在第一實(shí)施例中用的緊固栓1005，再結(jié)合使用緊固栓1005′，并固定到本實(shí)施例的外殼上，可以獲得適于本實(shí)施例的更堅(jiān)固的抗大氣壓力結(jié)構(gòu)。圖4和5用圖說(shuō)明按本發(fā)明的成象裝置的第3實(shí)施例。圖4是按本發(fā)明的第3實(shí)施例沿X-Z平面的局部截面?zhèn)纫晥D。圖5是圖4所示實(shí)施例沿X-Y平面的局部截面的平面圖。
參看圖4和5，標(biāo)號(hào)1009表示容納相應(yīng)的抗大氣壓力隔板1004的槽、用熔融玻璃緊固物1006將抗大氣壓力隔板牢牢地固定進(jìn)槽1009中。
注意，本實(shí)施例與實(shí)施例1的差別僅僅是有一個(gè)槽，用來(lái)將本實(shí)施例中的抗大氣壓力隔板牢固地夾緊。
本實(shí)施例的特征是，抗大氣壓力隔板1004沿槽1009排列，因此，構(gòu)件可以無(wú)困難地安全而精確地固定到支撐件上。
正如圖4中所見(jiàn)的，槽1009形成在面板1003和底板1001中，以及形成在本實(shí)施例的外殼1002中，用于安全容納相應(yīng)的抗大氣壓力隔板1004，盡管這些槽可以只形成在一個(gè)或多個(gè)面板、底板，外殼和安裝在外殼里的支撐架中。
而在本實(shí)施例中，使用槽是為了安全地夾緊抗大氣壓力隔板。實(shí)施例1和2中使用的用于緊固抗大氣壓力隔板的那類(lèi)緊固栓與本實(shí)施例中使用的槽結(jié)合使用也可能是有蓋的。假若是這種情況，槽也設(shè)置在本實(shí)施例的電子發(fā)射器件或熒光靶沒(méi)有占據(jù)的區(qū)域中。圖1C用圖說(shuō)明按本發(fā)明的成象裝置的第4實(shí)施例。本實(shí)施例與第1實(shí)施例的差別僅僅是，第1實(shí)施例中的抗大氣壓力隔板1004被抗大氣壓力隔板1004″代替，每個(gè)隔板1004″是將第1實(shí)施例中使用的那種抗大氣壓力隔板鉆通一個(gè)孔而制成的。圖7是按本發(fā)明的成象裝置的第5實(shí)施例沿X-Y平面的局部截面圖。
本實(shí)施例與第1實(shí)施例的差別僅僅是，一行抗大氣壓力隔板1004與多行電子發(fā)射器件1008對(duì)應(yīng)。
應(yīng)該注意，第2和第3實(shí)施例可以改進(jìn)為，單行抗大氣壓力隔板與多行電子發(fā)射器件對(duì)應(yīng)，如本實(shí)施例的情況。圖6是按本發(fā)明的成象裝置的第6實(shí)施例的局部截面的平面圖。
參看圖6，實(shí)施例包括分別有長(zhǎng)度L′和L″的兩種抗大氣壓力隔板1004和1004′，長(zhǎng)度L′和L″小于它的外殼1002沿X-軸的長(zhǎng)度。正如前面結(jié)合實(shí)施例3所述的，隔板牢固地固定在面板或底板上的槽中。象在第1，第2和第3實(shí)施例那樣，電子發(fā)射器件行和抗大氣壓力行交替地排列。
抗大氣壓力隔板1004被排列成基本上平行于從電子發(fā)射器件1007中發(fā)射出的電子束的偏方向(X方向)，抗在氣壓力隔板1004′稍微偏離X-軸。注意，隔板1004′的傾斜不影響裝置中電子束的軌跡。
本實(shí)施例的抗大氣壓力隔板可以用緊固栓代替固緊，如前面結(jié)合第1和第2實(shí)施例所做的說(shuō)明。當(dāng)抗大氣壓力隔板不固定在外殼上時(shí)，它們固定在面板上或底板上。
使用長(zhǎng)度為L(zhǎng)′和L″的隔板，其長(zhǎng)度小于外殼沿X-軸的長(zhǎng)度L′裝置內(nèi)部能高效地被抽真空。此外，裝置內(nèi)的真空度能保持到高真空度，而使用的隔板具有較小的表面積。圖8和9用圖說(shuō)明按本發(fā)明的成象裝置的第7實(shí)施例。圖8是實(shí)施例的局部切開(kāi)的透視圖，圖9是實(shí)施例沿X-Y平面的放大后的局部截面的平面圖。參看圖8和9，該實(shí)施例包括沿X軸排列的抗大氣壓力隔板1004的行1021，和沿X軸排列的電子發(fā)射器件1007的行1008。電子發(fā)射器件1007的行1008與抗大氣壓力隔板1004的行1021之間的位置關(guān)系與第1實(shí)施例的情況相同。
包括在本實(shí)施例中的全部抗大氣壓力隔板1004是同樣小，其沿X-軸的長(zhǎng)度為A，在每行抗大氣壓力隔板1021中，相鄰的抗大氣壓力隔板相互之間隔開(kāi)距離B。換句話說(shuō)，本實(shí)施例的抗大氣壓力隔板1004的每一行1021，包括沿一直行排列的與X-軸平行的多個(gè)隔板，在行中具有長(zhǎng)度為A的每個(gè)隔板與相鄰的隔板彼此隔開(kāi)一個(gè)距離B。
然后，以這樣的方式排列抗大氣壓力隔板的兩個(gè)相鄰行1021，即沿X軸使行中之一相對(duì)另一行位移(A+B)/2的距離，而兩行在Y方向由10行電子發(fā)射器件隔開(kāi)，或相隔距離C?？勾髿鈮毫Ω舭宓娜啃卸家赃@種方式排列在成裝置中。
關(guān)于本實(shí)施例，本發(fā)明的發(fā)明人所進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)中，用玻璃制成抗大氣壓力隔板，其長(zhǎng)度A為40mm，沿Y軸的厚度為0.2mm，沿Z軸的高度為3mm。在本發(fā)明的成象裝置中的排列方法是，任何兩個(gè)相鄰的抗大氣壓力隔板沿X軸相互隔開(kāi)的距離B為40mm，任何兩行相鄰的抗大氣壓力隔板沿Y軸相互隔開(kāi)的距離C為15mm。裝置的面板和底板是邊長(zhǎng)為300mm的正方形，厚度為3mm。然后，在每行中排列許多的抗大氣壓力隔板，與從裝置的電子發(fā)射器件中發(fā)射出的電子束平行或基本平行，在與電子束方向垂直的方向中成鋸齒形。是有這種排列，裝置內(nèi)部能有效地被抽真空，并達(dá)到高真空度。此外，由于每個(gè)隔板的表面積明顯減小，使裝置處在好的內(nèi)真空條件下的時(shí)間周期延長(zhǎng)了。圖10是本發(fā)明的成象裝置的第8實(shí)施例除去面板后沿X-Y平面的放大后的局部截面的平面圖。
本實(shí)施例與實(shí)施例7類(lèi)似，與后者的差別僅僅是任何兩個(gè)相鄰的抗大氣壓隔板隔開(kāi)一定距離。
對(duì)本實(shí)施例而言，本發(fā)明的發(fā)明人所進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)中，用玻璃制造抗大氣壓力隔板，具有的長(zhǎng)度A為40mm，沿Y軸的厚度為0.2mm，沿Z-軸的高度為3mm，在本發(fā)明的成裝置中的排列方式是，在同一行中任何兩個(gè)相鄰的抗大氣壓力隔板相互隔開(kāi)為30mm的距離B，任何兩行相鄰的抗大氣壓力隔板沿Y軸相互隔開(kāi)為20mm的距離C。裝置的面板和底板都是邊長(zhǎng)為300mm的正方形，厚度為3mm。
具由于這種排列，裝置內(nèi)能夠被有效地抽真空至高真空度，裝置能夠保持在更好的內(nèi)部真空條件下的時(shí)間周期延長(zhǎng)了。正如實(shí)施例7的情況一樣。圖11是按本發(fā)明的成象裝置的第9實(shí)施例的面板被除去后，沿X-Y平面的放大后的局部截面的平面圖。
本實(shí)施例與實(shí)施例7和8類(lèi)似，與后者的差別僅僅是具有不同尺寸的抗大氣壓隔板行是交替排列的。
參看圖11，第1種抗大氣壓力隔板1024的行1022與第2種的抗大氣壓力隔板1023的行1025相鄰排列。第1種抗大氣壓力隔板1024沿X軸的長(zhǎng)度a1，而第2軸抗大氣壓力隔板1023沿X軸的長(zhǎng)度為a2。沿X-軸運(yùn)轉(zhuǎn)的第1種抗大氣壓力隔板1024的每一行1022中，任何兩個(gè)相鄰的第1種抗大氣壓力隔板1024沿X軸相互隔開(kāi)一個(gè)距離b1，而沿X軸接連的第2種抗大氣壓力隔板1023的每行1025中，任何兩個(gè)相鄰的第2種抗大氣壓力隔板1023相互間隔開(kāi)一個(gè)距離b2。然后，第1種抗大氣壓力隔板1024的每行1022與第2種抗大氣壓力隔板1023任何相鄰的行1025隔開(kāi)10行電子發(fā)射器件，或隔開(kāi)距離C。
關(guān)于本實(shí)施例，在本發(fā)明的發(fā)明人進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)中，用玻璃制成第1種抗大氣壓力隔板1024，具有的長(zhǎng)度a1為40mm，沿Y軸的厚度為0.2mm，沿Z軸的高度為3mm，而第2種抗大氣壓力隔板1023也是用玻璃制成的，但長(zhǎng)度a2為10mm，沿Y軸的厚度為0.2mm，沿Z軸的高度為3mm。在一行中任何兩個(gè)相鄰的第1種抗大氣壓力隔板1024沿X軸相互隔開(kāi)的距離b1為40mm，而在一行中任何兩個(gè)相鄰的第2種抗大氣壓力隔板1023沿X軸相互隔開(kāi)的距離b2為70mm?？勾髿鈮毫Ω舭迦魏蝺蓚€(gè)相鄰行沿Y軸相互隔開(kāi)的距離為15mm。裝置的面板和底板都為正方形，其邊長(zhǎng)為300mm、厚度為3mm。
由于這種排列，裝置內(nèi)部能有效地被抽真空到高真空度，而且，裝置可以保持在更好的內(nèi)部真空條件下的時(shí)間周期延長(zhǎng)了，正如實(shí)施例7的情況那樣。圖12用圖說(shuō)明按本發(fā)明的成象裝置的第10實(shí)施例的除去面板后沿X-Y平面的放大后的局部截面的平面圖。
本實(shí)施例的特征是，用同樣的抗大氣壓力隔板形成多行抗大氣壓力隔板行，以這樣的方式沿X軸排列抗大氣壓力隔板的任何相鄰的兩行。而，使兩行隔板相對(duì)于沿X軸的一線對(duì)稱。
參見(jiàn)圖12、抗大氣壓力隔板的每一行1012都包含穩(wěn)定數(shù)量的相同的抗大氣壓力隔板1004，隔板1004有沿X軸的長(zhǎng)度、而且任何兩個(gè)相鄰的抗大氣壓力隔板的任何相鄰兩行沿Y軸相互隔開(kāi)距離C。
關(guān)于本實(shí)施例，在本發(fā)明的發(fā)明人所做的實(shí)驗(yàn)中，用玻璃制成抗大氣壓力隔板1021，其長(zhǎng)度為50mm，沿Y軸的厚度為0.2mm、沿Z-軸的高度為3mm，在本發(fā)明的成象裝置中的排列方法是，在同一行中，任何兩個(gè)相鄰的抗大氣壓力隔板在沿X軸的方向相互隔開(kāi)距離b為40mm，抗大氣壓力隔板的任何相鄰兩行沿Y-軸相互隔開(kāi)的距離C為15mm。裝置的面板和底板都是正方形，其邊長(zhǎng)為300mm，厚度為3mm。
由于這種排列、裝置內(nèi)部能有效地被抽真空至高真空度，裝置能保持化更好的內(nèi)部真空條件下的時(shí)間周期延長(zhǎng)了。如實(shí)施例7中的情況那樣。圖13和14用圖說(shuō)明按本發(fā)明的成象裝置的第11實(shí)施例。
參見(jiàn)圖13和14，實(shí)施例包括玻璃基片1001和許多電子發(fā)射器件，導(dǎo)線2001，器件電極2004和電子發(fā)射區(qū)2006，以及外殼1002，許多抗大氣壓力隔板1004和有平板玻璃2008及安裝在平板玻璃2008內(nèi)表面上的熒光層2009的面板1003。它還包括許多高度(厚度)高于電極2001，2004的高度的器件側(cè)肋狀條2002和許多高度(厚度)高于熒光層2009的高度的熒光層側(cè)肋狀條2003。
在本實(shí)施例中，器件側(cè)肋條2002和熒光層側(cè)肋狀條2003均為設(shè)置成與垂直于側(cè)肋狀條的(沿X軸方向)接連的隔板1004相連接。
應(yīng)該注意，器件側(cè)肋條和熒光層側(cè)肋條的安裝及形態(tài)不限于圖13所示，它可以有各種改變。也要注意的是，在裝置內(nèi)還設(shè)置有大量的調(diào)制柵電極(未畫(huà))。
圖14是本實(shí)施例使用的電子發(fā)射器件的一個(gè)放大后的平面簡(jiǎn)圖。圖14中，包含器件的電子發(fā)射區(qū)的薄膜以陰影區(qū)顯示，并用標(biāo)號(hào)2006表示。圖15是本實(shí)施例的熒光層的一個(gè)放大后的面部平面圖。參見(jiàn)圖15，熒光層側(cè)肋狀條2003的每一個(gè)均為條形，這樣，它可以在紅(R)，綠(G)或藍(lán)(B)的任何兩個(gè)相鄰的熒光元件之間放置的黑條2021上精確地構(gòu)成。熒光層2009用金屬底層(未來(lái))鑲襯。
在本發(fā)明的發(fā)明人進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)中、成象裝置在結(jié)構(gòu)上與用上述方法制成的上述實(shí)施例相同。
(1)玻璃基片1000在有機(jī)溶劑中徹底清洗，然后，在基片1000上形成厚度為1000A的鎳(Ni)電極層。(見(jiàn)圖13和14)。然后，沿垂直于安裝在面板內(nèi)表面上的條形熒光元件的方向(沿圖14中的X-方向)構(gòu)成對(duì)應(yīng)器件電極2000的多根導(dǎo)線2001，使位置很近的器件電極2004相互隔開(kāi)一個(gè)3um的距離(圖14中的L1)，并分別與一對(duì)相應(yīng)的導(dǎo)線部分2001連接。
(2)給玻璃基片1000加含溶液的有機(jī)鈀(CCP-4230，可以從OKuno Pharma ceutical在限公司購(gòu)到)之后，對(duì)基片在300℃進(jìn)行10分鐘熱處理，形成氧化鈀細(xì)粒薄膜。然后對(duì)薄膜進(jìn)行構(gòu)圖處理，包括刻蝕，抽出形成電子發(fā)射區(qū)的薄膜2006，每個(gè)薄膜2006都位于一對(duì)器件電極2004之間。(見(jiàn)圖14)。所制成的形成電子發(fā)射區(qū)的每個(gè)薄膜2006的厚度為100 ，面電阻為5×10歐/方。此處使用的術(shù)語(yǔ)“細(xì)粒薄膜”是指由可以松散分布的，緊密排列的或相互隨機(jī)復(fù)蓋的大量細(xì)顆粒構(gòu)成的薄膜(在一定條件下形成小島結(jié)構(gòu))，而用“平均顆粒大小”這一詞，僅僅是指可識(shí)別的細(xì)粒。
(3)然后，給器件電極層2005的器件部分2004加給定電壓，使其徑受稱為“電形成”的電激勵(lì)處理，使電極2005的器件部分2004適合的每對(duì)之間構(gòu)成一個(gè)電子發(fā)射區(qū)。
(4)就沿著導(dǎo)線部分2001的許多行制成的大量電子發(fā)射器件而言、器件側(cè)肋狀條2002的設(shè)置方法是，在任何兩個(gè)相鄰器件間的中間位置，沿著導(dǎo)線部分(X方向)配置每一個(gè)肋狀條2002。換句話說(shuō)，肋狀條是沿圖14中的Y-軸設(shè)置。器件側(cè)肋狀條用低熔點(diǎn)熔融玻璃制成，用印刷法制造，因此，每個(gè)肋狀條的寬度和高度等于100μm。
(5)然后，用下述方法制造面板1003。
玻璃基片2008在含氫氟酸的溶液中徹底清洗之后，用光刻法，用石黑作主要成份，在基片上形成黑條2010。(見(jiàn)圖15)。然后，用所謂的漿料法，即一種制造CRTs用的通用技術(shù)在玻璃基片2008上形成彩色熒光層2009，該制造方法是，將紅、綠和藍(lán)三種彩色熒光材料中的每一種與光刻膠混合，將它調(diào)制成漿料狀，然后，將該漿料加到玻璃基片2008上，制成條形熒光元件2011，直至三種基色條帶部制成。然后將制成的條顯影并豎膜。熒光元件2011是令人滿意的、熒光元件是平坦地構(gòu)成的，其厚度范圍是20至30μm之間。
(6)然后，用所謂的“鍍膜”技術(shù)使熒光層2009的表面光滑，并在熒光層2009的內(nèi)表面用真空淀積法均勻地形成鋁金屬底層(未畫(huà)出)，鋁層厚約2000 。
(7)制成熒光層2009和金屬底層后，在上面形成熔融玻璃的熒光層側(cè)肋狀條2003，其厚度和寬度為100μm，熒光層側(cè)肋狀條的形成方法是，側(cè)肋狀條2003每根都精確地形成在每個(gè)第三黑條2021上，使每個(gè)側(cè)肋狀條對(duì)應(yīng)不同基色的三個(gè)熒光元件。
(8)載有大量電子發(fā)射器件的基片2000和面板用許多抗大氣壓力隔板1004和安置在基片和面板之間的外殼1002定位，并在面板1003，外殼1002和基片2000處加熔融玻璃，使其粘接在一起，然后在空氣中或氮?dú)庵性?00℃至500℃的溫度下烘10分鐘以上，使元件的組件密封。注意，實(shí)施例中設(shè)置的柵電極(未畫(huà)出)數(shù)量也可以調(diào)整。然后，將許多相同的平板玻璃片沿垂直于側(cè)肋狀條2002和2003的方向(X方向)排列成為許多隔板，每塊玻璃的高度為5mm，厚度為200μm，肋狀條2002和2003分別位于基片2000和面板1003上。
(9)然后，用真空泵通過(guò)抽氣管(未畫(huà))給所制成的玻璃色封組件(包括基片2000，外殼1002和面板1003)內(nèi)部抽真空，使其達(dá)到滿意的真空度，或達(dá)到約10-6乇。用煤氣燃燒器燒熔抽氣管(未畫(huà)出)使包封組件密封。
(10)最后，包封組件經(jīng)過(guò)吸氣處理，使組件內(nèi)保持以滿意的真空度。這是一種更進(jìn)一步的處理，吸氣劑(未畫(huà)出)安放在成象裝置的包封組件中的給定位置，對(duì)吸氣劑加熱，典型的加熱方法是用電阻加熱器或高頻感應(yīng)加熱法，使吸氣劑淀積而生成一種吸氣劑材料薄膜。典型的吸氣劑包有主要成份鋇、吸氣劑的淀積薄膜通過(guò)它的吸附效應(yīng)而能使密封容器內(nèi)提高真空度。
以上是結(jié)合實(shí)驗(yàn)對(duì)本發(fā)明的成象裝置的制備過(guò)程所作的說(shuō)明。而成象裝置是按本發(fā)明的第11個(gè)實(shí)施例制成的?？梢哉J(rèn)為，根據(jù)成象裝置的應(yīng)用情況，還可以進(jìn)行許多改進(jìn)，特別是在所使用的材料方面和對(duì)裝置的設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)上能有許多改進(jìn)。
圖24和25示出了對(duì)上述第11個(gè)實(shí)施例改進(jìn)而獲得的一種成象裝置。其中，在同一玻璃基片上設(shè)置了許多調(diào)制柵電極，而且在這同一基片上還安置了許多電子發(fā)射器件。圖24是改進(jìn)型實(shí)施例的透視圖，圖25是沿B-B′線的改進(jìn)型實(shí)施例的截面?zhèn)纫晥D。注意，用同一標(biāo)號(hào)標(biāo)注的元件是圖13所示實(shí)施例中相同的元件。參看圖24和25，實(shí)施例包括玻璃基片1001，許多電子發(fā)射區(qū)1007，導(dǎo)線2001和器件電極2004，許多調(diào)制柵電極2037，和使電子發(fā)射器件(包含電子發(fā)射區(qū)1007)與調(diào)制柵電極2037絕緣的絕緣薄膜2033。標(biāo)號(hào)2002集中表示與土述實(shí)施例中相同的肋狀條。正如從圖24和25看到的、調(diào)制柵電極2037設(shè)置在電子發(fā)射區(qū)1007，器件電極2004和導(dǎo)線2001所處的平面上和器件電極2004的下面。
由于該改進(jìn)型實(shí)施例可以象原實(shí)施例的情況一樣，而使用包括氣相淀積和刻蝕的方法制造、因此，這幾不再說(shuō)明。
對(duì)該實(shí)施例而言，用電子束輻射熒光元件的速率可以用調(diào)節(jié)加到調(diào)制柵電極2037上的電壓來(lái)控制。
如上所述，在上述的成象裝置實(shí)施例中，抗大氣壓力隔板可以容易而適當(dāng)?shù)匕惭b在面板與器件底板之間，而不損壞熒光層和電子發(fā)射器件用電極，所以，可以毫無(wú)困難的安裝整個(gè)裝置。此外，即使裝置受到變形和應(yīng)力時(shí)，該實(shí)施例不附有損壞裝置的熒光屏上的圖象顯示質(zhì)量的隔板位移。圖16是表示按發(fā)明的第12實(shí)施例的部件分解透視圖。
由于在基片2000上形成電子發(fā)射器件，形成熒光層2009以及本實(shí)施例的整個(gè)裝置的制造中所采用的方法與上述的第一實(shí)施例所用的方法相同，因此，這幾便省去了對(duì)該技術(shù)的任何更進(jìn)一步的說(shuō)明。而且，由于本實(shí)施例的側(cè)壁和柵電極也與第1實(shí)施例中的相應(yīng)部分相同，因此，在圖16中沒(méi)有畫(huà)它們。
然而，與第1實(shí)施例的不同之處是，本實(shí)施例的器件側(cè)肋狀條2002，熒光層側(cè)肋狀條2003和抗大氣壓力隔板1004不是直線式的連續(xù)排列而是間斷地排列。
但是，由于用熔融玻璃制成的高度和寬度約為100μm的肋狀條是形成在熒光層2009上和基片2000上對(duì)應(yīng)于隔板1004的位置，并且是用印刷法制造的，因此，隔板1004絕不會(huì)與熒光層相接，也不會(huì)與電子發(fā)射器件的任何電極(未畫(huà))相接，隔板的作用與實(shí)施例1中的同樣有效。
此外，由于本實(shí)施例的隔板1004短于上述第11實(shí)例的隔板，因此，它們?cè)谥圃爝^(guò)程中變形的可能性減小，能制成具有較高精度的產(chǎn)品。最后，由于實(shí)施例中電導(dǎo)無(wú)特別干擾，密封抽真空(真空度約為10-6乇)所需的時(shí)間可以顯著減少。圖18是按本發(fā)明的成象裝置的第13實(shí)施例的熒光層的放大后的局部平面圖。
如圖18所示，本實(shí)施例的熒光元件2011被排列成呈所說(shuō)的三角形(delta)陣列。圖18中，標(biāo)號(hào)2012是指黑層，其中的熒光元件被排列成矩陣。在熒光零件的三角形陣列中，假若同一種顏色(或園點(diǎn)間距)的任意兩個(gè)排列得最近的熒光元件之間的距離為P，兩個(gè)相同顏色元件之間的水平距離為(3]]>)P/2，這表明在整個(gè)顯示屏上出現(xiàn)了一個(gè)水平的改進(jìn)了的清晰度，而且能顯示出清晰的圖象。
圖17是包含熒光元件三角形陣列的第13實(shí)施例的部件分解透視圖。它示出了實(shí)施例的主要元件及其裝配關(guān)系。如圖17所示，器件側(cè)肋狀物2002和熒光層側(cè)肋狀物2003都構(gòu)成三指海星形，其安裝方式是，將肋狀物2002和2003夾緊，與相應(yīng)的園柱形抗大氣壓力隔板1004連接。具有這樣的安裝，熒光層2009和器件電極2001和2004被破壞的可能性很小，因此，該設(shè)備可以穩(wěn)定地顯示出清晰圖象，使用壽命延長(zhǎng)了。
當(dāng)選用上述設(shè)備中任一個(gè)作為圖象記錄裝置的光源時(shí)，后者可以穩(wěn)定地再現(xiàn)出清晰而無(wú)缺陷的圖象。圖19是本發(fā)明第14實(shí)施例的部件分解透視圖，表示了它的主要元件及其裝配關(guān)系。注意，在圖19中，底板是直接安裝的，與圖1B相同。
載有大量電子發(fā)射器件的底板和導(dǎo)線在X-Y平面中安裝成矩陣形，如圖13所示、在該實(shí)施例中的應(yīng)用情況也與第1實(shí)施例中的使用情況相同，如圖19所示，器件側(cè)肋狀條2022安置在底板上，沿垂直于電子發(fā)射器件發(fā)射的電子束的偏轉(zhuǎn)方向的方向排列，如11實(shí)施例情況一樣。然后，將許多小的抗大氣壓力隔板3004，所具有的長(zhǎng)度L′小于外殼1002沿X軸的長(zhǎng)度，安裝成平行于從器件中發(fā)射的電子束的偏轉(zhuǎn)方向。此外，將一定數(shù)量的小抗大氣壓力隔板沿垂直于上述小隔板的安裝方向的方向(Y方向)安裝成鋸齒形。
與這些元件一起，裝有熒光層的面板上設(shè)置許多熒光層側(cè)肋狀條，如圖15中所示的第11實(shí)施例，用以構(gòu)成成象裝置。用任何已知技術(shù)給裝置抽真空，并用吸氣處理。
當(dāng)裝置抽真空時(shí)，由于實(shí)施例中導(dǎo)電不存在特別的干擾，因此，抽真空后的實(shí)施例(真空度約為10-6乇)所需的密封時(shí)間會(huì)明顯減少。而且，由于抗大氣壓力隔板可以安置在面板和基片之間，而不損壞熒光層和電子發(fā)射器件用的電極層，可以毫無(wú)問(wèn)題地安裝整個(gè)裝置。最后，由于所安裝的抗大氣壓力隔板出現(xiàn)隨機(jī)的位移的可能性很小，因此發(fā)射的電子束的軌道的不受干擾，即使當(dāng)裝置偶而出現(xiàn)變形或受到應(yīng)力作用，裝置也能顯示出清晰圖象，使用壽命延長(zhǎng)。
圖26是按本發(fā)明的成象裝置的第15實(shí)施例的透視圖。該實(shí)施例是用第1實(shí)施例的底板(如圖1B中所示)代替第11實(shí)施例的底板(包括玻璃基片1001和形成在它上面的電子發(fā)射器件，如圖13中所示)而獲得的。在圖26中、與第1和第11中實(shí)施例中相同的元件用相同的標(biāo)號(hào)表示。
參看圖26，實(shí)施例包括一個(gè)玻璃基片1001，一個(gè)外殼1002，一個(gè)面板1003，安裝在基片上并與X軸基本上平行的許多抗大氣壓力隔板1004，形成在玻璃基片1001并安裝成矩陣形狀的許多電子發(fā)射器件，和給相應(yīng)的電子發(fā)射器件加電壓而使其發(fā)射電子用的導(dǎo)線。
電子發(fā)射器件是表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件，每個(gè)都包括一對(duì)器件電極1014和1015和包括形成在器件電極之間的電子發(fā)射區(qū)的薄膜1013。每個(gè)電子發(fā)射器件中，抗大氣壓隔板1004，配置一對(duì)器件電極1014和1015，在每一個(gè)電子發(fā)射器件中基本上平行于X軸。
許多長(zhǎng)條形的紅色(R)熒光元件2009R，綠色(G)熒光元件2009G和藍(lán)色(B)熒光元件2009B沿Y軸相互平行地安置在面板1003上，構(gòu)成熒光層2009，任何兩個(gè)相鄰的熒光元件用一黑條2010隔開(kāi)。在熒光層2009的內(nèi)表面上形成一金屬底層(未畫(huà))。
實(shí)施例還包括沿Y軸相互平行的，設(shè)置在導(dǎo)線1020上的，高度高于器件電極1014和1015的許多器件側(cè)肋狀條2002，和設(shè)置在相應(yīng)的黑條2010上并沿Y軸相互平行的，高度高于熒光元件2009的高度的許多條形熒光層側(cè)肋狀條2003。器件側(cè)肋狀條2002和熒光層側(cè)肋狀條設(shè)置成沿垂直于它們的方向(X方向)與多個(gè)隔板1004接觸。
由于成象裝置的實(shí)施例制造中所包括的技術(shù)與上述的第11實(shí)施例(圖13)用的制造技術(shù)相同，因此，省去了對(duì)制造技術(shù)更多的說(shuō)明。
從具有上述結(jié)構(gòu)的電子束發(fā)射器件1007中發(fā)射出的電子束，當(dāng)加速電壓主要加到玻璃基片1001和面板1003上時(shí)，具有Z-方向的速度分量，當(dāng)朝相應(yīng)的器件陽(yáng)極(見(jiàn)圖23A和23B)偏轉(zhuǎn)時(shí)，有+X-或-X方向的速度分量。電子束最后與安置在面板內(nèi)表面上的電子束輻射的相應(yīng)的熒光靶碰撞，并使后者發(fā)射光，在裝置的顯示屏上形成圖象。注意，本實(shí)施例中，抗大氣壓力隔板對(duì)被加速電壓加速后的任何電子束不干擾，因此，電子束與相應(yīng)的熒光靶的碰撞與裝置中不設(shè)置抗大氣壓力隔板時(shí)一樣。
如上所述，在上述的成象裝置的實(shí)施例中，其裝置包括側(cè)肋狀條2002和2003，抗大氣壓力隔板，該隔板可以容易而恰當(dāng)?shù)匕仓迷诿姘搴推骷g，不破壞熒光層和電子發(fā)射器件用電極，所以，可以毫無(wú)困難地組裝整個(gè)裝置。此外，該實(shí)施例不會(huì)出現(xiàn)損壞在裝置的熒屏上顯示的圖象質(zhì)量的隔板位移，甚至在裝置變形或受到應(yīng)力時(shí)也不會(huì)出現(xiàn)這種損壞。
由于條形熒光元件2009是沿X軸設(shè)置在設(shè)備的面板1003上的，因此，載有電子發(fā)射器件的玻璃基片1001不需要與載有按Y方向設(shè)置(與條形熒光元件2009平行的方向里)的熒光元件2009的面板1003精確地對(duì)準(zhǔn)。在實(shí)驗(yàn)中、假若玻璃基片1001和面板1003在Y方向稍有偏差，在顯示屏上沒(méi)有看到顯示的圖象亮度減弱和顏色破壞的現(xiàn)象。此外，當(dāng)隔板1004安置在面板1003上(X軸平行)時(shí)，也不要求隔板1004在X和Y方向精確地相互對(duì)準(zhǔn)，而且，當(dāng)隔板與相應(yīng)的電子發(fā)射器件按規(guī)則間距設(shè)置時(shí)，也富富有余。
上面說(shuō)明了本發(fā)明的成象裝置第15實(shí)施例的制造工藝，可以認(rèn)為，根據(jù)成象裝置的使用情況可以對(duì)裝置進(jìn)行很多改進(jìn)，特別是在所使用的材料和裝置的設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)上作許多改進(jìn)。
圖27示出了對(duì)上述第15實(shí)施例改進(jìn)而獲得的成象裝置的面板上設(shè)置的熒光元件的安排情況。改進(jìn)后的實(shí)施例與圖26所示實(shí)施例的差別是，每條矩形條熒光元件分成許多部分，這些部分對(duì)應(yīng)于相應(yīng)的像素。在任何兩個(gè)相鄰部分的邊緣2010上可以設(shè)置黑色陰影元件。
在這改進(jìn)后的實(shí)施例中，載有電子發(fā)射器件的玻璃基片1001也不需要與載有按Y方向排列的(與條形熒光元件2009平行的方向)熒光元件2009的面板1003精確對(duì)準(zhǔn)。在實(shí)驗(yàn)中，假若玻璃基片1001和面板1003在Y方向稍有偏差，在顯示屏上沒(méi)有看到顯示圖象的亮度減弱和顏色破壞。此外，當(dāng)隔板1004安裝在面板1003上(在平行于X軸方向)時(shí)也不要求隔板1004在-X和Y方向相互精確地對(duì)準(zhǔn)，而且使它們對(duì)應(yīng)于各自的電子發(fā)射器件按規(guī)則間距設(shè)置那是富富有余的。
上述實(shí)施例可以用許多不同的方式改進(jìn)。例如對(duì)每幾個(gè)電子發(fā)射器件，設(shè)置一個(gè)器件側(cè)肋狀條2002，或每三個(gè)條形熒光元件，即紅，綠和藍(lán)三個(gè)熒光元件設(shè)置一個(gè)熒光層側(cè)肋狀條。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是，如上面詳細(xì)說(shuō)明的，在按本發(fā)明的成象裝置中，其特別包括表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件，具有平板結(jié)構(gòu)，由于抗大氣壓力隔板安裝成平行于從電子發(fā)射器件發(fā)射出的電子束的偏轉(zhuǎn)方向，在該處從電子發(fā)射器件發(fā)射出的電子束的軌道不受妨礙。而且，按本發(fā)明的成象裝置，上述的全部實(shí)施例，具有以下優(yōu)點(diǎn)(1)裝置對(duì)于電子與熒光層的碰撞速度沒(méi)有任何衰減，因而熒光層能穩(wěn)定而有效地發(fā)射用于圖象顯示的光。
(2)裝置避免了由于裝置中的抗大氣壓力隔板被充電，而使其電位的分布出現(xiàn)不希望有的改變所引起電子軌道轉(zhuǎn)向，也避免了由于耐蠕變電壓降低產(chǎn)生蠕變放電所造成器件的破壞。
(3)裝置有發(fā)光部分，該發(fā)光部分具有提高了的耐蠕電壓，因此，有高加速電壓，所以能有效發(fā)射高亮度的光。
(4)由于電子發(fā)射器件和抗大氣壓隔板能緊密的配置在裝置內(nèi)，因而裝置能顯示高分辨的清晰圖象。
(5)由于用小的抗大氣壓力隔板能改進(jìn)裝置中的電導(dǎo)，因此，能有效地制造裝置。
(6)由于用鋸齒形方式配置的小的抗大氣壓力隔板使包含在裝置內(nèi)的隔板的總表面積可以減小，因而提高了裝置內(nèi)保持高真空度的能力。
另外，當(dāng)它包括器件側(cè)肋狀條和熒光層側(cè)肋狀條時(shí)時(shí)，該裝置有下列優(yōu)點(diǎn)。
(7)假若損壞器件和熒光元件，因?yàn)榛兔姘灞豢勾髿鈮毫Ω舭甯糸_(kāi)，基片和面板不夾在一起，電子發(fā)射器件與熒光元件不接觸。因此，可以用不太復(fù)雜的加工方式組裝整個(gè)裝置，并能顯示出清晰的圖象，延長(zhǎng)使用壽命。
權(quán)利要求
1.一種成象裝置，包括一個(gè)載有許多電子發(fā)射器件的底板，一個(gè)與底板相對(duì)安裝的并載有許多熒光元件的面板，和一個(gè)抗大氣壓力隔板，其特征是，抗大氣壓力隔板被安置成其縱軸基本上平行于所述電子發(fā)射器發(fā)射出的電子束的偏轉(zhuǎn)方向。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的成象裝置，其特征是，許多所述抗大氣壓力隔板，在基本上垂直于電子束的偏轉(zhuǎn)方向排列成連續(xù)的一行。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的成象裝置，其特征是，所述抗大氣壓力隔板包括許多小隔板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的成象裝置，其特征是，構(gòu)成所述許多抗大氣壓力隔板的許多小隔板，在與抗大氣壓力隔板的行方向相垂直的方向，排列成鋸齒形或交錯(cuò)形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)權(quán)利要求的成象裝置，其特征是，所述的電子發(fā)射器件是冷陰極電子發(fā)射器件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)權(quán)利要求的成象裝置，其特征是，所述電子發(fā)射器件是表面電子發(fā)射器件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的成象裝置，其特征是，面板上的所述熒光元件用分隔板分隔成許多部分，分隔板安裝在基本上垂直于抗大氣壓力隔板的縱軸的方向。
8.一種成象裝置，包括一個(gè)裝有許多電子發(fā)射器件的底板，一個(gè)與底板相對(duì)安裝的并載有許多熒光元件的面板，和一個(gè)抗大氣壓力隔板，其特征是，在底板上裝有器件側(cè)肋狀條，從底板上凸出，其高度高于電子發(fā)射器件的任何電極，和一個(gè)安置在面板上的熒光層側(cè)肋狀條，從面板上凸出，高于熒光層，所述抗大氣壓力隔板被夾緊，分別用器件側(cè)肋狀條和熒光層側(cè)肋狀條與底板和面板接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的成象裝置，其特征是，所述熒光層側(cè)肋狀條是黑的。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9的成象裝置，其特征是，所述電子發(fā)射器件是冷陰極電子發(fā)射器件。
11.根據(jù)權(quán)利要求8或9的成象裝置，其特征是，所述電子發(fā)射器件是表面導(dǎo)電電子發(fā)射裝置。
12.一種成象裝置，包括一個(gè)載有許多電子發(fā)射器上件的底板，一個(gè)與底板相對(duì)設(shè)置的并載有許多熒光元件的面板，和一個(gè)抗大氣壓力隔板，其特征是，抗大氣壓力隔板被設(shè)置成其縱軸基本上平行于由所述電子發(fā)射器件發(fā)射的電子束的偏轉(zhuǎn)方向，在底板上設(shè)置器件側(cè)肋狀條，側(cè)肋狀條從底板上突出，高于任何電子發(fā)射器件的電極，并在面板上設(shè)置熒光層側(cè)肋狀條，從面板上突出，高于熒光層，所述抗大氣壓力隔板被夾緊，用器件側(cè)肋狀條和熒光層側(cè)肋狀條分別與底板和面板接觸。
13.根據(jù)權(quán)利要求12的成象裝置，其特征是，許多所述抗大氣力隔板在基本上垂直于電子束偏轉(zhuǎn)方向上，配置成連續(xù)的一行。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的成象裝置，其特征是，每個(gè)所述抗大氣壓力隔板包括許多小隔板。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的成象裝置，其特征是，構(gòu)成所述許多抗大氣壓力隔板的許多小隔板在與抗大氣壓力隔板行垂直的方向里安置成鋸齒形或交錯(cuò)形。
16.根據(jù)權(quán)利要求12的成象裝置，其特征是，所述熒光層側(cè)肋狀條是黑色。
17.根據(jù)權(quán)利要求12至16中任一項(xiàng)權(quán)利要求的成象裝置，其特征是，所述電子發(fā)射器件是冷陰極電子發(fā)射器件。
18.根據(jù)權(quán)利要求12至16中任一項(xiàng)權(quán)利要求的面象裝置，其特征是，所述電子發(fā)射器件是表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件。
19.根據(jù)權(quán)利要求12的成象裝置，其特征是，用隔板將面板的所述熒光元件分隔成許多部分，分隔板安置在基本上垂直于抗大氣壓力隔板的縱軸的方向里。
全文摘要
一種成像裝置，包括載有許多電子發(fā)射器件的底板，一個(gè)與底板相對(duì)設(shè)置的并載有熒光元件的面板和一個(gè)抗大氣壓力隔板?？勾髿鈮毫Ω舭灞话仓贸善淇v軸基本上平行于從所述電子發(fā)射器件發(fā)射的電子束的偏轉(zhuǎn)方向。
文檔編號(hào)H01J31/12GK1104370SQ94107600
公開(kāi)日1995年6月28日 申請(qǐng)日期1994年5月20日 優(yōu)先權(quán)日1993年5月20日
發(fā)明者安藤友和, 長(zhǎng)田芳幸, 宮崎俊彥, 光武英明, 中村尚人, 多川昌宏, 金子正 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社